JPS6095984A - レ−ザ−発振管 - Google Patents
レ−ザ−発振管Info
- Publication number
- JPS6095984A JPS6095984A JP20424583A JP20424583A JPS6095984A JP S6095984 A JPS6095984 A JP S6095984A JP 20424583 A JP20424583 A JP 20424583A JP 20424583 A JP20424583 A JP 20424583A JP S6095984 A JPS6095984 A JP S6095984A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- tube
- laser
- laser oscillation
- discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
- H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は内部鏡方式の気体レーザー発振管に関する物で
ある。
ある。
一般に気体レーザーにおいては、レーザー活性媒体とし
ての気体中に放電を行なわせレーザー活性媒体を励起す
るプラズマチューブと、１対以上の反射鏡を組合せレー
ザー共振器を構成する。放電は一般には、アノードとカ
ソード間で起こるが。
ての気体中に放電を行なわせレーザー活性媒体を励起す
るプラズマチューブと、１対以上の反射鏡を組合せレー
ザー共振器を構成する。放電は一般には、アノードとカ
ソード間で起こるが。
内部鏡方式のレーザー管ではミラーと電極とは、レーザ
ー活性媒体であるガスを介して接続されている為、電圧
印加開始時に、Ｗ３．ｔ！ｉとミラー間でも放電が起こ
る可能性がある。連続発振中においては、電極の印加電
圧の瞬時的な大きな変化はない為、電極とミラー間の放
電は起こりにくい。しかしパルス発振と言われる断続的
発振方法においては、電圧印加が周期的に行なわれ電極
の電位が大きく変動する為、電極とミラー間の放電もく
りかえし行なわれ、ミラー表面上の汚れ、損ｆμの原因
となる。これを防ぐ為、従来は電極とミラーとの間隔を
はなし、異物の（ｔ Ｒを防ぐなどの方法がとられてい
た。しかしこの方法では、レーザー共振器長に対して有
効放電長が短かくなり、同じレーザー出力を得る為にレ
ーザー管全体が長くなってしまい不利である。
ー活性媒体であるガスを介して接続されている為、電圧
印加開始時に、Ｗ３．ｔ！ｉとミラー間でも放電が起こ
る可能性がある。連続発振中においては、電極の印加電
圧の瞬時的な大きな変化はない為、電極とミラー間の放
電は起こりにくい。しかしパルス発振と言われる断続的
発振方法においては、電圧印加が周期的に行なわれ電極
の電位が大きく変動する為、電極とミラー間の放電もく
りかえし行なわれ、ミラー表面上の汚れ、損ｆμの原因
となる。これを防ぐ為、従来は電極とミラーとの間隔を
はなし、異物の（ｔ Ｒを防ぐなどの方法がとられてい
た。しかしこの方法では、レーザー共振器長に対して有
効放電長が短かくなり、同じレーザー出力を得る為にレ
ーザー管全体が長くなってしまい不利である。
これに対し本発明は、電極をミラーの近くにおいてもミ
ラーと電極の間に放電が起らない様にして、高いくりか
えしのパルス発振においてもミラー表面の汚れ、損傷の
少ないレーザー管を得る事を目的とする。
ラーと電極の間に放電が起らない様にして、高いくりか
えしのパルス発振においてもミラー表面の汚れ、損傷の
少ないレーザー管を得る事を目的とする。
以下図面により説明する。
第１図は本発明の一実施例である。Ｉはガラス製２重管
構造のプラズマチューブであり、該プラズマチューブｌ
の両端部近くには、円筒状のカソード２ａ及び２ｂが取
すイ」けられており、該カソード２ａ、２ｂに接続され
たリード引き出しロッド４ａ、４ｂが、ガラスと気密シ
ールを保ってプラズマチューブｌの側壁に取り付けられ
ている。又プラズマチューブｌの中央にはアノード３が
気密シールを保って取り付けられている。プラズマチュ
ーブ１は両端を、絶縁材料で作られたミラーボルダ−５
ａ及び５ｂに設けられた凹部に気密シールを保って接着
剤により固定される。金属製共振器ミラー６は、ミラー
ホルダー５ａに設けられた凹部に、ミラーおさえリンク
７でＯ−リング８をしめつける事により、気密を保って
保持される。
構造のプラズマチューブであり、該プラズマチューブｌ
の両端部近くには、円筒状のカソード２ａ及び２ｂが取
すイ」けられており、該カソード２ａ、２ｂに接続され
たリード引き出しロッド４ａ、４ｂが、ガラスと気密シ
ールを保ってプラズマチューブｌの側壁に取り付けられ
ている。又プラズマチューブｌの中央にはアノード３が
気密シールを保って取り付けられている。プラズマチュ
ーブ１は両端を、絶縁材料で作られたミラーボルダ−５
ａ及び５ｂに設けられた凹部に気密シールを保って接着
剤により固定される。金属製共振器ミラー６は、ミラー
ホルダー５ａに設けられた凹部に、ミラーおさえリンク
７でＯ−リング８をしめつける事により、気密を保って
保持される。
出力ミラー９もミラーホルダー５ｂに、ミラー押えリン
グｌＯとＯ−リング１１により保持される。
グｌＯとＯ−リング１１により保持される。
ミラーホルダー５ａ、５ｂはレーザー管支持板１２ａ及
び１２ｂにより支持固定され、レーザー発振管全体が保
持される。金属製ミラー６には、共振器外部側の鏡面で
ない面にネジ六が設けられ、導１％１３ａがビス１４に
より接続される。導線１３ａは、リード引き出しロツｉ
〜４ａｌ＼接続された導ｆｉ１３ｂとともに図示されな
いレーザー電源のカソード端子へ接続される。アノード
３に接続された、導線＋３ｃは図示されないレーザー電
源のアノード端子に接続される。リード引き出しロッド
４ｂへ接続された導線１３ｄは図示されない、レーザー
電源の１３ａ、及び＋３ｂが接続されている端子とは別
のカソード端子に接続される。
び１２ｂにより支持固定され、レーザー発振管全体が保
持される。金属製ミラー６には、共振器外部側の鏡面で
ない面にネジ六が設けられ、導１％１３ａがビス１４に
より接続される。導線１３ａは、リード引き出しロツｉ
〜４ａｌ＼接続された導ｆｉ１３ｂとともに図示されな
いレーザー電源のカソード端子へ接続される。アノード
３に接続された、導線＋３ｃは図示されないレーザー電
源のアノード端子に接続される。リード引き出しロッド
４ｂへ接続された導線１３ｄは図示されない、レーザー
電源の１３ａ、及び＋３ｂが接続されている端子とは別
のカソード端子に接続される。
レーザー発振は、ミラーホルタ−５ａに取すイ１けられ
たガス導入１コ１４ａよりプラズマチューブ内へガスを
導き、ミラーホルダー５ｂへ設【づられたガスＪ［出口
１４ｂより排出するガス経路において、アノード３に高
電圧を印加しアノード、カン゛−ド間にグロー放電を行
なわせ、レーザー活性媒体を励起し行なわれる。パルス
状発振を行なわせた場合、もし金属製ミラー６とカソー
ド２ａが導線１３ａで、接続されていないとすると、パ
ルス状放電の電位の立ち上がり及び立ち下がりの時、カ
ソード２ａと金属製ミラー６の間に電位差が生しる。そ
の結果カソード２ａと金属製ミラーにの間で、レーザー
活性ガスを通して放電が起こる。
たガス導入１コ１４ａよりプラズマチューブ内へガスを
導き、ミラーホルダー５ｂへ設【づられたガスＪ［出口
１４ｂより排出するガス経路において、アノード３に高
電圧を印加しアノード、カン゛−ド間にグロー放電を行
なわせ、レーザー活性媒体を励起し行なわれる。パルス
状発振を行なわせた場合、もし金属製ミラー６とカソー
ド２ａが導線１３ａで、接続されていないとすると、パ
ルス状放電の電位の立ち上がり及び立ち下がりの時、カ
ソード２ａと金属製ミラー６の間に電位差が生しる。そ
の結果カソード２ａと金属製ミラーにの間で、レーザー
活性ガスを通して放電が起こる。
この時金属製ミラーの鏡面を通して放電が行なわれる為
、イオンや電子等の１＃撃及びその時発生する熱の為鏡
面上に汚れ、破損等の損傷が発生ずる。
、イオンや電子等の１＃撃及びその時発生する熱の為鏡
面上に汚れ、破損等の損傷が発生ずる。
この為レーザー出力は低下し、本来のレーザー管として
の機能をそこなう事になる。これに対し１本発明の実施
例のごとく金属製ミラー６とカソード２ａを導線１３ａ
で接続し、電気的に導通した場合は、パルス状放電の立
ち上がり及び立ち下がりの時においても、カソード２ａ
と金属製ミラー６は同電位となり、この２つの間で放電
は生じない。
の機能をそこなう事になる。これに対し１本発明の実施
例のごとく金属製ミラー６とカソード２ａを導線１３ａ
で接続し、電気的に導通した場合は、パルス状放電の立
ち上がり及び立ち下がりの時においても、カソード２ａ
と金属製ミラー６は同電位となり、この２つの間で放電
は生じない。
従って、鏡面は放電に伴なう損傷を受ける事なく、レー
ザー発振は長時間にわたり安定に行なわれる。
ザー発振は長時間にわたり安定に行なわれる。
第２図は、本発明の他の実施例であり、金属製ミラーと
カソードとをレーザ工管内部で電気的に導通させたもの
である。ｌはガラス２！ＩＸ管構造のプラズマチューブ
であり、ミラーホルダー５８に接着剤により気密シール
される。ミラーホルダー５ａの内部には円筒状のカソー
ド２ａが取り（＝Ｊけられ、リード引き出しロッド４ａ
がカソード２の外側にねじ込まれ、固定具１５を介して
、ミラーホルダー５８に固定され、ミラーホルダー５８
に固定具１５を接着することで気密シールされる。
カソードとをレーザ工管内部で電気的に導通させたもの
である。ｌはガラス２！ＩＸ管構造のプラズマチューブ
であり、ミラーホルダー５８に接着剤により気密シール
される。ミラーホルダー５ａの内部には円筒状のカソー
ド２ａが取り（＝Ｊけられ、リード引き出しロッド４ａ
がカソード２の外側にねじ込まれ、固定具１５を介して
、ミラーホルダー５８に固定され、ミラーホルダー５８
に固定具１５を接着することで気密シールされる。
また、カソード２ａには金属製リボン１６が取り付けら
れており、そのリボン１６の一端をミラーホルダー５８
に設けられた段差と金属リング１７ではさみ込む様に、
金属リング１７がミラーホルダー５ａの凹部にはめ込ま
れている。金属製ミラー６は該金属リング１７にあてつ
けられるように、ミラー押えリング７と０−リング８に
よりミラーホルダー５８の凹部に固定される。
れており、そのリボン１６の一端をミラーホルダー５８
に設けられた段差と金属リング１７ではさみ込む様に、
金属リング１７がミラーホルダー５ａの凹部にはめ込ま
れている。金属製ミラー６は該金属リング１７にあてつ
けられるように、ミラー押えリング７と０−リング８に
よりミラーホルダー５８の凹部に固定される。
リート引き出しロッド４ａには、導線１３ｂが接続され
図示されないレーザー電源のカソード端子に接続される
。金属製ミラー６とカソード２８は。
図示されないレーザー電源のカソード端子に接続される
。金属製ミラー６とカソード２８は。
リボンＩ６と金属リング１７により電気的に導通され、
前述の如く、放電励起時に同電位となりミラー表面の損
傷をおさえる事ができる。
前述の如く、放電励起時に同電位となりミラー表面の損
傷をおさえる事ができる。
本発明は、以上のように構成される所から、力【
ソードと金属製ミラーをアノードとカソードの距離に比
べてかなり小さくしても、カソードと金属製ミラー間で
放電は起こらずミラーへのイオン２電子等の衝突に伴な
う汚れや破損が少なく、安定したレーザー出力が得られ
る。又本発明は放電励起のくりかえしが高い場合に、よ
り有効であるが通常の連続発振においても、その放電開
始時及び終了時におけるミラーへの影響をとりのぞく事
が出来る。
べてかなり小さくしても、カソードと金属製ミラー間で
放電は起こらずミラーへのイオン２電子等の衝突に伴な
う汚れや破損が少なく、安定したレーザー出力が得られ
る。又本発明は放電励起のくりかえしが高い場合に、よ
り有効であるが通常の連続発振においても、その放電開
始時及び終了時におけるミラーへの影響をとりのぞく事
が出来る。
第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図は他の実施
例の部分断面図である。 ■・プラズマチューブ ２ａ、２ｂ・・・カソード３・
・・アノード ４ａ、４ｂ川リード引き出しロッド ５
ａ、５ｂ・・・ミラーホルダー６・・・金属製ミラー ７．１０・・・ミラーおさえリンク ８．１１・・Ｏ−リング １２ａ、１２ｂ・・・レーザー管支持板１３ａ、１３ｂ
、１３ｃ、１３ｄ・導線＋４ａ、１４ｂ・・・ガス入出
口 Ｊ５・・・固定具 １６・・金属リング
例の部分断面図である。 ■・プラズマチューブ ２ａ、２ｂ・・・カソード３・
・・アノード ４ａ、４ｂ川リード引き出しロッド ５
ａ、５ｂ・・・ミラーホルダー６・・・金属製ミラー ７．１０・・・ミラーおさえリンク ８．１１・・Ｏ−リング １２ａ、１２ｂ・・・レーザー管支持板１３ａ、１３ｂ
、１３ｃ、１３ｄ・導線＋４ａ、１４ｂ・・・ガス入出
口 Ｊ５・・・固定具 １６・・金属リング
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｌ 内部鏡方式放電励起型のレーザー発振器において、
カソード電極と金属製共振器ミラーとを電気的に接続し
同電位としてレーザー発振を行なうことを特徴とするレ
ーザー発振管。 ２ カソード電極と金属製共振器ミラーをレーザー発振
管外部において導体により接続したことを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載のし〜ザー発振管。 ３ カソード電極と金Ｒａｎ共振器ミラーをレーザー発
振管内部において導体により接続したことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載のレーザー発振管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20424583A JPS6095984A (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | レ−ザ−発振管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20424583A JPS6095984A (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | レ−ザ−発振管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6095984A true JPS6095984A (ja) | 1985-05-29 |
| JPH0144026B2 JPH0144026B2 (ja) | 1989-09-25 |
Family
ID=16487253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20424583A Granted JPS6095984A (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | レ−ザ−発振管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6095984A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6426870U (ja) * | 1987-08-10 | 1989-02-15 | ||
| EP0967697A1 (en) * | 1998-06-26 | 1999-12-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Gas laser oscillator |
| CN105244749A (zh) * | 2015-11-11 | 2016-01-13 | 成都微深科技有限公司 | 一种具有等电位装置的二氧化碳激光器 |
-
1983
- 1983-10-31 JP JP20424583A patent/JPS6095984A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6426870U (ja) * | 1987-08-10 | 1989-02-15 | ||
| JPH0521897Y2 (ja) * | 1987-08-10 | 1993-06-04 | ||
| EP0967697A1 (en) * | 1998-06-26 | 1999-12-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Gas laser oscillator |
| US6208676B1 (en) | 1998-06-26 | 2001-03-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Gas laser oscillator |
| CN105244749A (zh) * | 2015-11-11 | 2016-01-13 | 成都微深科技有限公司 | 一种具有等电位装置的二氧化碳激光器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0144026B2 (ja) | 1989-09-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |