JPH0333087Y2 - - Google Patents
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- JPH0333087Y2 JPH0333087Y2 JP1253088U JP1253088U JPH0333087Y2 JP H0333087 Y2 JPH0333087 Y2 JP H0333087Y2 JP 1253088 U JP1253088 U JP 1253088U JP 1253088 U JP1253088 U JP 1253088U JP H0333087 Y2 JPH0333087 Y2 JP H0333087Y2
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- JP
- Japan
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- discharge
- laser
- discharge electrodes
- pulsed gas
- electrodes
- Prior art date
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- Expired
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- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 7
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 7
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、TEACO2レーザやエキシマレーザ
などのパルスガスレーザに関するものである。
などのパルスガスレーザに関するものである。
（従来技術）
従来のパルスガスレーザは、レーザ容器９内壁
に個別に取り付けられた一対の放電電極８とコン
デンサやスイツチング素子等からなる励起回路お
よび放電電極８間のガスを予備電離する予備電離
電極対等から構成されている。この従来のパルス
ガスレーザの一例を第２図に示す。このパルスガ
スレーザにおいて、効率よくレーザ光を取り出す
ために、放電電極８間のガスを均一なグロー放電
で励起する必要がある。このために、前もつて予
備電離電極対で発生した紫外線で放電電極８間の
ガスを予備電離し、かつ放電電極８間に均一な電
界を印加している。放電電極８間に均一な電界を
印加するため放電電極８の放電面の形状は特殊な
形状になつている。詳細については、文献「オプ
トロニクス（OPTRONICS）」1986年５号の66〜
72ページに記載されている。
に個別に取り付けられた一対の放電電極８とコン
デンサやスイツチング素子等からなる励起回路お
よび放電電極８間のガスを予備電離する予備電離
電極対等から構成されている。この従来のパルス
ガスレーザの一例を第２図に示す。このパルスガ
スレーザにおいて、効率よくレーザ光を取り出す
ために、放電電極８間のガスを均一なグロー放電
で励起する必要がある。このために、前もつて予
備電離電極対で発生した紫外線で放電電極８間の
ガスを予備電離し、かつ放電電極８間に均一な電
界を印加している。放電電極８間に均一な電界を
印加するため放電電極８の放電面の形状は特殊な
形状になつている。詳細については、文献「オプ
トロニクス（OPTRONICS）」1986年５号の66〜
72ページに記載されている。
（考案が解決しようとする課題）
上述したように従来のパルスガスレーザにおい
ては、効率よくレーザ光を取り出すために特殊な
形状をした一対の放電電極８対を用い、放電電極
８間に均一な電界を印加するようにしている。し
かし、放電電極８をレーザ容器９の内壁に個別に
取り付けているために、レーザ容器９の加工精度
および放電電極８の取付け精度などで放電電極８
間に傾きや間隔に不揃いが生じ放電電極８間の電
界が不均一になる。このため、放電電極８間のグ
ロー放電がアーク放電に移行し易く、レーザ光を
取り出す効率が悪くなる。さらに、発生したアー
ク放電によりガスの寿命が短くなるなどの欠点が
ある。
ては、効率よくレーザ光を取り出すために特殊な
形状をした一対の放電電極８対を用い、放電電極
８間に均一な電界を印加するようにしている。し
かし、放電電極８をレーザ容器９の内壁に個別に
取り付けているために、レーザ容器９の加工精度
および放電電極８の取付け精度などで放電電極８
間に傾きや間隔に不揃いが生じ放電電極８間の電
界が不均一になる。このため、放電電極８間のグ
ロー放電がアーク放電に移行し易く、レーザ光を
取り出す効率が悪くなる。さらに、発生したアー
ク放電によりガスの寿命が短くなるなどの欠点が
ある。
本考案の目的は、効率よくレーザ光を取り出す
ことができ、かつガス寿命の長いパルスガスレー
ザを提供することにある。
ことができ、かつガス寿命の長いパルスガスレー
ザを提供することにある。
（課題を解決するための手段）
本考案のパルスガスレーザは、レーザ容器とレ
ーザ励起の放電を得るための一対の放電電極と前
記放電電極に高速な高電圧パルスを印加する励起
回路とを少なくとも備えたパルスガスレーザにお
いて、少なくとも一方の前記放電電極の放電面に
対して裏面と前記レーザ容器の内壁との間に板ば
ねを取り付け前記励起回路との電気的な接続をと
りながら前記放電電極の位置を調整するようにし
たことを特徴とするパルスガスレーザである。
ーザ励起の放電を得るための一対の放電電極と前
記放電電極に高速な高電圧パルスを印加する励起
回路とを少なくとも備えたパルスガスレーザにお
いて、少なくとも一方の前記放電電極の放電面に
対して裏面と前記レーザ容器の内壁との間に板ば
ねを取り付け前記励起回路との電気的な接続をと
りながら前記放電電極の位置を調整するようにし
たことを特徴とするパルスガスレーザである。
（作用）
本考案によるパルスガスレーザにおいては、励
起回路と電気的に接続している板ばねをレーザ容
器の内壁と放電電極との間に取り付け、かつ放電
電極の位置調整を行うようにしている。従つて、
励起回路と電気的な接続を取りながら放電電極間
の傾きや間隔を調整でき、放電電極間の電界の不
均一を補正することができる。このため、アーク
放電の発生を抑えることが可能になり効率よくレ
ーザ光を取り出すことができ、さらにガスの寿命
を延ばすことができる。
起回路と電気的に接続している板ばねをレーザ容
器の内壁と放電電極との間に取り付け、かつ放電
電極の位置調整を行うようにしている。従つて、
励起回路と電気的な接続を取りながら放電電極間
の傾きや間隔を調整でき、放電電極間の電界の不
均一を補正することができる。このため、アーク
放電の発生を抑えることが可能になり効率よくレ
ーザ光を取り出すことができ、さらにガスの寿命
を延ばすことができる。
（実施例）
次に、本考案について第１図を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本考案を用いた一実施例であるパルス
ガスレーザの本考案に係わる部分の断面図を示
す。
ガスレーザの本考案に係わる部分の断面図を示
す。
第１図に示した実施例において、第２図に示し
た従来例と異なる点は励起回路と電気的に接続し
ている板ばね４および放電電極５の位置を調整す
る機構をレーザ容器６と放電電極５との間に取り
付けていることである。具体的な位置調整機構
は、レーザ容器の６の内壁に固定されたネジ１と
放電電極５の放電面に対して裏面に固定された補
助板３と補助板３をネジ１に固定するナツト２か
ら成り、補助板３の四隅に設けている。また、放
電電極５の裏面とレーザ容器６の内壁との間に金
属の板バネ４を取り付け、放電電極５と高電圧導
入線５との電気的な接続を取つている。このた
め、４箇所のナツト２で補助板３の固定位置を調
整することにより放電電極５間の傾きや間隔の調
整ができ放電電極５間の電界を均一にすることが
できる。この結果、放電電極５間のアーク放電の
発生を抑えることが可能になり効率よくレーザ光
を取り出すことができ、かつガス寿命が長くな
る。
た従来例と異なる点は励起回路と電気的に接続し
ている板ばね４および放電電極５の位置を調整す
る機構をレーザ容器６と放電電極５との間に取り
付けていることである。具体的な位置調整機構
は、レーザ容器の６の内壁に固定されたネジ１と
放電電極５の放電面に対して裏面に固定された補
助板３と補助板３をネジ１に固定するナツト２か
ら成り、補助板３の四隅に設けている。また、放
電電極５の裏面とレーザ容器６の内壁との間に金
属の板バネ４を取り付け、放電電極５と高電圧導
入線５との電気的な接続を取つている。このた
め、４箇所のナツト２で補助板３の固定位置を調
整することにより放電電極５間の傾きや間隔の調
整ができ放電電極５間の電界を均一にすることが
できる。この結果、放電電極５間のアーク放電の
発生を抑えることが可能になり効率よくレーザ光
を取り出すことができ、かつガス寿命が長くな
る。
なお、本実施例では一方の放電電極についてだ
け位置調整を行うようにしたが、他方の放電電
極、または両方の放電電極について位置調整を行
うようにしても良い。また、高電圧導入部と放電
電極との電気的な接続を金属の板ばねを介して行
つたが、ネジと補助板とを介して行つても良く、
さらに放電電極の位置調整についても本実施例で
用いた機構でなくても良い。
け位置調整を行うようにしたが、他方の放電電
極、または両方の放電電極について位置調整を行
うようにしても良い。また、高電圧導入部と放電
電極との電気的な接続を金属の板ばねを介して行
つたが、ネジと補助板とを介して行つても良く、
さらに放電電極の位置調整についても本実施例で
用いた機構でなくても良い。
（考案の効果）
以上述べたように本考案では、放電電極間の電
界を均一に調整することができるためアーク放電
の発生が抑えられ、効率よくレーザ出力を得るこ
とができ、さらにガス寿命が長くなる。
界を均一に調整することができるためアーク放電
の発生が抑えられ、効率よくレーザ出力を得るこ
とができ、さらにガス寿命が長くなる。
第１図は本考案を用いたパルスガスレーザの断
面図、第２図は従来のパルスガスレーザの断面図
である。 １……ネジ、２……ナツト、３……補助板、４
……板ばね、５，８……放電電極、６，９……レ
ーザ容器、７……高電圧導入部。
面図、第２図は従来のパルスガスレーザの断面図
である。 １……ネジ、２……ナツト、３……補助板、４
……板ばね、５，８……放電電極、６，９……レ
ーザ容器、７……高電圧導入部。
Claims (1)
- レーザ容器とレーザ励起の放電を得るための一
対の放電電極と前記放電電極間に高速な高電圧パ
ルスを印加する励起回路とを少なくとも備えたパ
ルスガスレーザにおいて、少なくとも一方の前記
放電電極の放電面に対して裏面と前記レーザ容器
の内壁との間に板ばねを取付け前記励起回路との
電気的な接続をとりながら前記放電電極の位置を
調整するようにしたことを特徴としたパルスガス
レーザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1253088U JPH0333087Y2 (ja) | 1988-02-03 | 1988-02-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1253088U JPH0333087Y2 (ja) | 1988-02-03 | 1988-02-03 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01118467U JPH01118467U (ja) | 1989-08-10 |
| JPH0333087Y2 true JPH0333087Y2 (ja) | 1991-07-12 |
Family
ID=31222046
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1253088U Expired JPH0333087Y2 (ja) | 1988-02-03 | 1988-02-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0333087Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2014046186A1 (ja) | 2012-09-21 | 2016-08-18 | ギガフォトン株式会社 | レーザ装置 |
| JP6383729B2 (ja) * | 2013-10-02 | 2018-08-29 | ギガフォトン株式会社 | レーザ装置 |
| JP7262303B2 (ja) * | 2019-05-21 | 2023-04-21 | 住友重機械工業株式会社 | パルスレーザ発振器及びパルスレーザ出力方法 |
-
1988
- 1988-02-03 JP JP1253088U patent/JPH0333087Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01118467U (ja) | 1989-08-10 |
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