JP2673821B2 - エキシマレーザ装置 - Google Patents
エキシマレーザ装置Info
- Publication number
- JP2673821B2 JP2673821B2 JP63245664A JP24566488A JP2673821B2 JP 2673821 B2 JP2673821 B2 JP 2673821B2 JP 63245664 A JP63245664 A JP 63245664A JP 24566488 A JP24566488 A JP 24566488A JP 2673821 B2 JP2673821 B2 JP 2673821B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- preionization
- base
- main electrode
- spacer
- base plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はエキシマレーザの主回路に係り、詳しくは主
回路組立時の調整時間の削減に寄与する構造に関するも
のである。
回路組立時の調整時間の削減に寄与する構造に関するも
のである。
（従来の技術） 第７図は、従来技術による放電励起UV予備電離形エキ
シマレーザの主回路の構成図である。51,52は主電極、5
3,54は予備電離ピン、55はリターンロッド、56はピーキ
ングコンデンサ、57はベースプレート、58は電極プレー
ト、59は主回路ベースプレートである。
シマレーザの主回路の構成図である。51,52は主電極、5
3,54は予備電離ピン、55はリターンロッド、56はピーキ
ングコンデンサ、57はベースプレート、58は電極プレー
ト、59は主回路ベースプレートである。
主動作としてはサイラトロンのスイッチングにより57
−55−54−53−56の順に荷電されピーキングコンデンサ
に電荷が与えられる、この際予備電離ピン54、53の間で
UV予備電離を行い、次に主電極51、52の間で主放電が行
われ、レーザ媒体であるガスが励起される。
−55−54−53−56の順に荷電されピーキングコンデンサ
に電荷が与えられる、この際予備電離ピン54、53の間で
UV予備電離を行い、次に主電極51、52の間で主放電が行
われ、レーザ媒体であるガスが励起される。
（発明が解決しようとする課題） 放電の調整には、先ず、主電極51、52間の距離をリタ
ーンロッド55（機種により異なるが４〜10本位ある）の
長さで調整を行い、その後予備電離ピン53、54（通常10
対乃至60対ぐらいある）間の距離の調整を行う必要があ
り、それらの調整には多くの時間を要すると言う問題点
があった。
ーンロッド55（機種により異なるが４〜10本位ある）の
長さで調整を行い、その後予備電離ピン53、54（通常10
対乃至60対ぐらいある）間の距離の調整を行う必要があ
り、それらの調整には多くの時間を要すると言う問題点
があった。
（課題を解決するための手段） 上記問題を解決するため、本発明に係るエキシマレー
ザ装置の第１は、 対向配置された２枚のベースプレート８、９と、 所定の電極間距離を有して対向するように、両ベース
プレート８、９の対向面側に夫々の基端部を支持された
主電極対１、２と、 一端部が所定距離を有して対向すると共に、他端部が
ベースプレート８、９に支持され、かつ主電極対１、２
の側方に位置する予備電離ピン対３、４と、 予備電離ピン対３、４の所定の電極間距離に挟持され
た、絶縁物でなるスペーサ12と、 スペーサ12と共に予備電離ピン対３、４の一端部を一
体的に支持する、絶縁物でなるホルダ７と を有するエキシマレーザ装置において、 一方の主電極２の基端部と、一方の予備電離ピン４の
他端部とを固設する一方のベースプレート８と、 他方の主電極１の基端部を固設すると共に、他方の予
備電離ピン３の他端部を電極間方向に出入り自在とする
貫通部14を有する他方のベースプレート９と、 前記貫通部14に入った予備電離ピン３の他端部を、他
方のベースプレート９に固設自在に押し付ける押し付け
手段10と を有することを特徴としている。
ザ装置の第１は、 対向配置された２枚のベースプレート８、９と、 所定の電極間距離を有して対向するように、両ベース
プレート８、９の対向面側に夫々の基端部を支持された
主電極対１、２と、 一端部が所定距離を有して対向すると共に、他端部が
ベースプレート８、９に支持され、かつ主電極対１、２
の側方に位置する予備電離ピン対３、４と、 予備電離ピン対３、４の所定の電極間距離に挟持され
た、絶縁物でなるスペーサ12と、 スペーサ12と共に予備電離ピン対３、４の一端部を一
体的に支持する、絶縁物でなるホルダ７と を有するエキシマレーザ装置において、 一方の主電極２の基端部と、一方の予備電離ピン４の
他端部とを固設する一方のベースプレート８と、 他方の主電極１の基端部を固設すると共に、他方の予
備電離ピン３の他端部を電極間方向に出入り自在とする
貫通部14を有する他方のベースプレート９と、 前記貫通部14に入った予備電離ピン３の他端部を、他
方のベースプレート９に固設自在に押し付ける押し付け
手段10と を有することを特徴としている。
第２に、 対向配置された２枚のベースプレート８、９と、 所定の電極間距離を有して対向するように、両ベース
プレート８、９の対向面側に夫々の基端部を支持された
主電極対１、２と、 一端部が所定距離を有して対向すると共に、他端部が
ベースプレート８、９に支持され、かつ主電極対１、２
の側方に位置する予備電離ピン対３、４と、 予備電離ピン対３、４の所定の電極間距離に挟持され
た、絶縁物でなるスペーサ12と、 スペーサ12と共に予備電離ピン対３、４の一端部を一
体的に支持する、絶縁物でなるホルダ７と を有するエキシマレーザ装置において、 一方の主電極２の基端部と、一方の予備電離ピン４の
他端部と、予備電離ピン対３、４の方向に長い支持板５
の一端部とを固設する一方のベースプレート８と、 他方の主電極１の基端部を固設すると共に、他方の予
備電離ピン３の他端部を電極間方向に出入り自在とする
貫通部14と、支持板５の他端部を電極間方向に出入り自
在とする貫通部13とを有する他方のベースプレート９
と、 前記貫通部14に入った予備電離ピン３の他端部と、前
記貫通部13に入った支持板５の他端部とを、他方のベー
スプレート９に固設自在に押し付ける押し付け手段10と を有することを特徴としている。
プレート８、９の対向面側に夫々の基端部を支持された
主電極対１、２と、 一端部が所定距離を有して対向すると共に、他端部が
ベースプレート８、９に支持され、かつ主電極対１、２
の側方に位置する予備電離ピン対３、４と、 予備電離ピン対３、４の所定の電極間距離に挟持され
た、絶縁物でなるスペーサ12と、 スペーサ12と共に予備電離ピン対３、４の一端部を一
体的に支持する、絶縁物でなるホルダ７と を有するエキシマレーザ装置において、 一方の主電極２の基端部と、一方の予備電離ピン４の
他端部と、予備電離ピン対３、４の方向に長い支持板５
の一端部とを固設する一方のベースプレート８と、 他方の主電極１の基端部を固設すると共に、他方の予
備電離ピン３の他端部を電極間方向に出入り自在とする
貫通部14と、支持板５の他端部を電極間方向に出入り自
在とする貫通部13とを有する他方のベースプレート９
と、 前記貫通部14に入った予備電離ピン３の他端部と、前
記貫通部13に入った支持板５の他端部とを、他方のベー
スプレート９に固設自在に押し付ける押し付け手段10と を有することを特徴としている。
（作用） 上記構成により主電極間、予備電離ピン間は予め調整
されており、両電極プレートの位置は、両電極間に挟ん
だスペーサで位置が決まり、予備電離ピンは予め挟んだ
スペーサで距離が一定に保たれたまま電極プレートと主
回路ベースプレートに取付けられるため、組立後の調整
は全く不要となるものである。
されており、両電極プレートの位置は、両電極間に挟ん
だスペーサで位置が決まり、予備電離ピンは予め挟んだ
スペーサで距離が一定に保たれたまま電極プレートと主
回路ベースプレートに取付けられるため、組立後の調整
は全く不要となるものである。
（実施例） 本発明は上記のようにして成るので、その実施例を図
面により説明する。
面により説明する。
第１図は、本発明の構成を示す側面図、第２図は同じ
く立体図である。
く立体図である。
第１図に於いて１及び２は主電極、3,4は予備電離ピ
ン、５は両ベースプレート８と９を支持する支持板、６
はピーキングコンデンサ、７は予備電離ピンのホルダ
ー、11は主電極１及び２の距離を適当な寸法に保つスペ
ーサである。
ン、５は両ベースプレート８と９を支持する支持板、６
はピーキングコンデンサ、７は予備電離ピンのホルダ
ー、11は主電極１及び２の距離を適当な寸法に保つスペ
ーサである。
第２図は、第１図の構成を立体的に示した図である。
第３図及び第４図は、第２図のＡ部を詳細に示した図
で、ベースプレート９には支持板５を挿入する三角形の
みぞ13と予備電離ピン３が挿入されるみぞ14が図示のご
とく刻まれており、支持板５及び予備電離ピン３はそれ
ぞれ図示のように挿入されている。
で、ベースプレート９には支持板５を挿入する三角形の
みぞ13と予備電離ピン３が挿入されるみぞ14が図示のご
とく刻まれており、支持板５及び予備電離ピン３はそれ
ぞれ図示のように挿入されている。
第４図は、ベースプレート９と支持板５及び予備電離
ピン３を固定するため、図示の形状をした抑え板10を止
めねじ15を用いて止めたものである。従ってベースプレ
ート９はこの図の上下方向には任意の高さで固定するこ
とができる。
ピン３を固定するため、図示の形状をした抑え板10を止
めねじ15を用いて止めたものである。従ってベースプレ
ート９はこの図の上下方向には任意の高さで固定するこ
とができる。
第５図は、予備電離ピン３と４及びこれを支持するホ
ルダ７の構造を示したものである。
ルダ７の構造を示したものである。
第６図はホルダ７の構造を示したもので、内部に予備
電離ピン３、４の距離を最適に保たせるためのスペーサ
12を設けてある。
電離ピン３、４の距離を最適に保たせるためのスペーサ
12を設けてある。
尚、予備電離ピン４の下部はねじが設けてあり、ベー
スプレート８にねじ込んで固定してある。
スプレート８にねじ込んで固定してある。
主動作としてはサイラトロンのスイッチングによりベ
ースプレート８から予備電離ピン３、４を経てピーキン
グコンデンサ６に電荷が与えられる。
ースプレート８から予備電離ピン３、４を経てピーキン
グコンデンサ６に電荷が与えられる。
主電極１、２の距離は予めスペーサ11で設定され、予備
電離ピン３、４の距離もスペーサ12で設定されるのでベ
ースプレート９は取付後抑え板10を止めねじ15で止める
だけでよい。
電離ピン３、４の距離もスペーサ12で設定されるのでベ
ースプレート９は取付後抑え板10を止めねじ15で止める
だけでよい。
（本発明の効果） 本発明は上述したようにして成るので予備電離ピン
３、４との距離及び主電極１、２の距離を組立後調整す
ることなしに最適に保つことができ、従来技術に比べ、
その改善は顕著であり実用価値は極めて高いものであ
る。
３、４との距離及び主電極１、２の距離を組立後調整す
ることなしに最適に保つことができ、従来技術に比べ、
その改善は顕著であり実用価値は極めて高いものであ
る。
第１図は本発明の構成を示す側面図、第２図は同じく立
体図。 第３図、第４図は第２図のＡ部の詳細図。 第５図は予備電離ピン３、４及びこれを支持するホルダ
７の構成図。 第６図はホルダ７の構成図、第７図は従来技術による構
成図。 １、２……主電極 ３、４……予備電離ピン ８、９……ベースプレート 11、12……スペーサ
体図。 第３図、第４図は第２図のＡ部の詳細図。 第５図は予備電離ピン３、４及びこれを支持するホルダ
７の構成図。 第６図はホルダ７の構成図、第７図は従来技術による構
成図。 １、２……主電極 ３、４……予備電離ピン ８、９……ベースプレート 11、12……スペーサ
Claims (2)
- 【請求項１】対向配置された２枚のベースプレート
８、９と、 所定の電極間距離を有して対向するように、両ベース
プレート８、９の対向面側に夫々の基端部を支持された
主電極対１、２と、 一端部が所定距離を有して対向すると共に、他端部が
ベースプレート８、９に支持され、かつ主電極対１、２
の側方に位置する予備電離ピン対３、４と、 予備電離ピン対３、４の所定の電極間距離に挟持され
た、絶縁物でなるスペーサ12と、 スペーサ12と共に予備電離ピン対３、４の一端部を一
体的に支持する、絶縁物でなるホルダ７と を有するエキマレーザ装置において、 一方の主電極２の基端部と、一方の予備電離ピン４の
他端部とを固設する一方のベースプレート８と、 他方の主電極１の基端部を固設すると共に、他方の予
備電離ピン３の他端部を電極間方向に出入り自在とする
貫通部14を有する他方のベースプレート９と、 前記貫通部14に入った予備電離ピン３の他端部と、他
方のベースプレート９に固設自在に押し付ける押し付け
手段10と を有することを特徴とするエキシマレーザ装置。 - 【請求項２】対向配置された２枚のベースプレート
８、９と、 所定の電極間距離を有して対向するように、両ベース
プレート８、９の対向面側に夫々の基端部を支持された
主電極対１、２と、 一端部が所定距離を有して対向すると共に、他端部が
ベースプレート８、９に支持され、かつ主電極対１、２
の側方に位置する予備電離ピン対３、４と、 予備電離ピン対３、４の所定の電極間距離に挟持され
た、絶縁物でなるスペーサ12と、 スペーサ12と共に予備電離ピン対３、４の一端部を一
体的に支持する、絶縁物でなるホルダ７と を有するエキシマレーザ装置において、 一方の主電極２の基端部と、一方の予備電離ピン４の
他端部と、予備電離ピン対３、４の方向に長い支持板５
の一端部とを固設する一方のベースプレート８と、 他方の主電極１の基端部を固設すると共に、他方の予
備電離ピン３の他端部を電極間方向に出入り自在とする
貫通部14と、支持板５の他端部を電極間方向に出入り自
在とする貫通部13とを有する他方のベースプレート９
と、 前記貫通部14に入った予備電離ピン３の他端部を、前
記貫通部13に入った支持板５の他端部とを、他方のベー
スプレート９に固設自在に押し付ける押し付け手段10と を有することを特徴とするエキシマレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63245664A JP2673821B2 (ja) | 1988-09-29 | 1988-09-29 | エキシマレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63245664A JP2673821B2 (ja) | 1988-09-29 | 1988-09-29 | エキシマレーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0294486A JPH0294486A (ja) | 1990-04-05 |
| JP2673821B2 true JP2673821B2 (ja) | 1997-11-05 |
Family
ID=17136981
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63245664A Expired - Lifetime JP2673821B2 (ja) | 1988-09-29 | 1988-09-29 | エキシマレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2673821B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101454071B1 (ko) | 2012-05-08 | 2014-10-27 | 삼성전기주식회사 | 압전진동모듈 |
| KR101409512B1 (ko) | 2012-05-08 | 2014-06-19 | 삼성전기주식회사 | 압전진동모듈 |
| KR20150082938A (ko) | 2014-01-08 | 2015-07-16 | 삼성전기주식회사 | 압전 진동 모듈 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57192091A (en) * | 1981-05-20 | 1982-11-26 | Fujitsu Ltd | Gas laser tube |
| JPS59184579A (ja) * | 1983-04-01 | 1984-10-19 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ装置 |
| JPS61128583A (ja) * | 1984-11-28 | 1986-06-16 | Toshiba Corp | ガスレ−ザ装置 |
| JPS61135176A (ja) * | 1984-12-06 | 1986-06-23 | Nec Corp | パルスガスレ−ザ装置 |
| JPS63228772A (ja) * | 1987-03-18 | 1988-09-22 | Toshiba Corp | 高繰返しパルスレ−ザ電極 |
| JPS63229884A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-26 | Komatsu Ltd | ガスレ−ザ装置 |
-
1988
- 1988-09-29 JP JP63245664A patent/JP2673821B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0294486A (ja) | 1990-04-05 |
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