KR20150082938A - 압전 진동 모듈 - Google Patents

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KR20150082938A KR1020140002480A KR20140002480A KR20150082938A KR 20150082938 A KR20150082938 A KR 20150082938A KR 1020140002480 A KR1020140002480 A KR 1020140002480A KR 20140002480 A KR20140002480 A KR 20140002480A KR 20150082938 A KR20150082938 A KR 20150082938A
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삼성전기주식회사
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Abstract

본 발명은 외부 충격으로부터 압전소자를 보호할 수 있는 압전 진동 모듈에 관한 것으로, 외부 전원의 인가에 따라 팽창 및 수축 변형을 반복하여 상하방향으로 진동력을 생성하는 압전소자를 장착하고 있는 진동 플레이트와; 이 진동 플레이트와 이격되게 배열되도록, 진동 플레이트의 양단부와 결합되는 하부 케이스; 압전소자의 진동력을 증대시키기 위한 바아 형상의 중량체; 및 진동 플레이트와 중량체 사이에 개재된 탄성부재;로 이루어져 있다.

Description

압전 진동 모듈 {Piezoelectric vibration module}
본 발명은 압전 진동 모듈에 관한 것이다.
일반적으로 휴대전화, 전자책(E-book) 단말기, 게임기, PMP 등 휴대용 전자기기에 있어서, 진동 기능은 여러 가지 용도로 활용되고 있다.
특히, 이러한 진동을 발생시키기 위한 진동발생장치는 휴대용 전자기기에 주로 탑재되어 무음의 착신 신호인 경보 기능으로 이용되고 있다.
이러한 휴대용 전자기기의 다기능화에 맞춰 진동발생장치는 현재 소형화 뿐만 아니라 집적화 그리고 다양한 고기능화를 요구하고 있는 실정이다.
더욱이, 최근 휴대용 전자기기를 간편하게 사용하려는 사용자의 요구에 따라 휴대용 전자기기를 터치하여 입력하는 터치 방식의 디바이스를 일반적으로 채택하고 있다.
현재 통용되고 있는 햅틱 디바이스는 터치하여 입력하는 개념 이외에, 인터페이스 사용자의 직관적 경험을 반영하고 터치에 대한 피드백을 더욱 다양화하는 개념까지도 광범위하게 포함한다.
이러한 햅틱 디바이스는 통상적으로 압전소자의 외부 전원의 인가에 따라 팽창 및/또는 수축 변형을 반복하여 진동을 제공하게 되는데, 이러한 압전소자는 특허문헌 1의 초음파 리니어 모터(linear motor)에 기재된 바와 같이 내습성 뿐만 아니라 내구성을 개선시킬 수 있다.
특허문헌 1에 따른 초음파 리니어 모터는 습도가 높은 환경이나 먼지의 발생이 많은 환경에서 압전소자의 성능과 함께 수명을 향상시킬 수 있도록, 압전소자 둘레에 보호재, 예컨대 실리콘 고무로 둘러싸여 초음파 리니어 모터를 구성하는 다수의 구성부재들과의 충돌을 미연에 방지할 수 있도록 한다.
하지만, 특허문헌 1에 따른 초음파 리니어 모터는 병진운동을 통해 진동력을 발생시키는 압전소자의 일부를 제외한 나머지를 둘러싸고 있어 팽창 또는 수축 변형률이 현저하게 줄어들 수밖에 없다.
즉, 종래기술의 보호재가 오히려 압전소자의 진동력을 저하시키는 요인으로 작용할 수 있어 압전소자를 외부 요인으로부터 보호하기 위한 다른 방안이 간구되어야만 할 것이다.
일본국 실용신안공개 평2-94486호
본 발명은 전술된 단점들을 해결하기 위해 창출된 것으로, 낙하와 같은 외부 충격으로 인해 중량체와 진동 플레이트 사이에서 충격을 감쇄시켜 압전소자를 보호할 수 있는 압전 진동 모듈을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 하부면을 개방하고 내부공간을 형성하는 상부 케이스와; 이 상부 케이스의 하부면에 결합되어 상부 케이스의 내부공간을 차폐하는 하부 케이스; 외부 전원의 인가에 따라 팽창 및 수축 변형을 반복하여 진동력을 생성하는 압전소자를 장착하고, 상기 상부 케이스와 하부 케이스의 내부에 배치되어 상하방향으로 구동하는 진동 플레이트; 압전소자의 진동력을 증대시키기 위한 바아 형상의 중량체; 및 진동 플레이트와 중량체 사이에 개재된 탄성부재;로 이루어진 압전 진동 모듈에 관한 것이다.
바람직하기로, 본 발명의 탄성부재는 코일 스프링으로 이루어져 있다.
본 발명에서, 탄성부재는 진동 플레이트의 스프링 강성보다 큰 스프링 강성을 가진 재질로 만들어진다. 이는 특정 수치 이하의 진동에서는 탄성부재가 인장 및/또는 압축되지 않아 추가 변형이 발생되지 않기 때문에, 진동 플레이트와 중량체 사이를 일정하게 이격거리를 유지하면서 지지할 수 있다.
탄성부재는 전술된 바와 같이 중량체와 진동 플레이트의 사이에 배치되되, 구체적으로 진동 플레이트의 상부면에 탑재된다.
구체적으로, 본 발명의 탄성부재는 진동 플레이트의 상부면 중심부에 위치선정되도록 한다.
압전소자는 진동 플레이트의 하부면, 구체적으로 진동 플레이트의 하부면 중심부에 장착될 수 있다.
본 발명은 굴곡 진동 변위 확보를 위해서 진동 플레이트와 하부 케이스 사이에 소정의 간격을 두고 이격되게 배치한다.
다른 실시예에서, 본 발명은 중량체와 진동 플레이트 사이에 2개 이상의 탄성부재, 바람직하기로 2개의 탄성부재를 구비할 수 있다.
2개 이상의 탄성부재는 진동 플레이트의 중심부에서 좌우 대칭되게 배열될 수 있다.
이와 유사하게, 2개 이상의 탄성부재는 중량체의 중심부에서 좌우 대칭되게 배열될 수 있다.
본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.
이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
이상 본 발명의 설명에 의하면, 본 발명은 진동력을 제공할 수 있는 압전소자를 외부 충격력으로부터 보호하여 장시간 사용할 수 있는 압전 진동 모듈을 제공할 수 있다.
특히, 본 발명은 높은 스프링 강성을 가진 탄성부재를 채용하고 있어, 압전소자의 활성화로 발생되는 진동력에 영향을 끼치지 않으면서 압전소자를 보호할 수 있다.
덧붙여서, 본 발명은 압전소자를 장착한 진동 플레이트와 진동력을 증가시키는 중량체 사이의 결합관계를 단순화시켜 조립의 편이성을 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 진동 모듈의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 압전 진동 모듈의 분해 사시도이다.
도 3은 상부 케이스를 제외한 본 발명에 따른 압전 진동 모듈을 개략적으로 도시한 정면도이다.
도 4a 내지 도 4b는 도 3에 도시된 압전 진동 모듈의 구동 과정을 보여주는 도면이다.
도 4c는 비정상 충격을 가했을 때 도 3의 압전 진동 모듈의 동작 상태를 보여주는 도면이다.
도 5는 상부 케이스를 제외한 본 발명의 다른 실시예에 따른 압전 진동 모듈을 개략적으로 도시한 정면도이다.
이제, 본 발명에 따른 압전 진동 모듈은 첨부 도면을 참조로 하여 상세히 설명될 것이다.
본 발명의 장점, 특징, 그리고 이들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 후술되는 실시예들을 통해 명확해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조부호는 동일하거나 유사한 구성요소를 지칭한다. 또한, 본 명세서에서 관련된 공지기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불명료하게 할 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 진동 모듈(1)의 사시도이며, 도 2는 도 1에 도시된 압전 진동 모듈(1)의 분해 사시도이다.
본 발명은 반복적인 팽창 및/또는 수축 변형을 통해 압전소자(410)의 진동력을 외부 부품으로 전달할 수 있는 압전 진동 모듈(1)에 관한 것이다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 압전 진동 모듈(1)은 상부 케이스(100)와, 중량체(200), 탄성부재(300), 압전소자(410)를 장착한 진동 플레이트(400), 및 하부 케이스(500)로 이루어지는데, 이러한 구성의 압전 진동 모듈(1)은 예컨대 터치스크린 패널(touch screen panel) 등에 진동력을 전달하기 위한 수단으로 사용된다.
상부 케이스(100)는 일측면을 개방한 박스(box) 형상으로 이루어져 있으며, 그 내부공간에 구동체, 다시 말하자면 압전소자(410)를 장착한 진동 플레이트(400)와 함께 진동력을 증가시키는 중량체(200)를 충분히 수용할 수 있는 크기로 형성된다.
진동 플레이트(400)는 압전소자(410)를 장착할 수 있도록 가늘고 긴 플레이트 형상으로 이루어지는데, 바람직하기로 압전소자(410)는 진동 플레이트(400)의 하부면, 더욱 바람직하기로 진동 플레이트(400)의 하부면 중심부에 배치되도록 한다. 덧붙여서, 중량체(200)는 진동 플레이트(400)의 상부면에서 소정의 간격을 두고 장착 혹은 배치한다. 진동 플레이트(400)는 압전소자(410)를 구동하기 위해 전원을 인가하는 PCB(미도시)를 구비할 수 있다.
진동 플레이트(400)는 이의 상부면에서 상방으로 입설되어 있는 탄성부재(300)를 구비한다. 특별하기로, 탄성부재(300)는 진동 플레이트(400)의 상부면 중심부에 결합된다. 탄성부재(300)와 진동 플레이트(400)는 용접 등의 다양한 방식으로 고정접합될 수 있다.
진동 플레이트(400)는 외부 전원의 인가에 따라 팽창 및 수축 변형을 반복하는 압전소자(410)와 일체로 변형될 수 있도록 탄성력을 가진 금속 재질, 예컨대 서스(SUS)로 이루어진다. 또한, 진동 플레이트(400)와 압전소자(410)는 본딩 결합방식으로 서로 결합되는 경우에 접착부재의 경화에 의해 발생할 수 있는 밴딩(bending) 현상을 미연에 방지할 수 있도록 압전소자의 열팽창계수와 유사한 재질인 인바(invar)로 이루어질 수도 있다.
더욱이, 진동 플레이트(400)가 압전소자(410)와 유사한 열팽창계수를 가진 인바 재질로 형성되어, 압전소자(410)는 고온의 외부 환경 하에서도 작동 혹은 열 충격시 발생하는 써멀 스트레스(thermal stress)가 감소되기 때문에 전기적 특성이 저하되는 압전 열화 현상을 방지하는 효과를 가진다.
진동 플레이트(400)는 하부 케이스(500)와 소정의 간격을 두고 평행하게 이격되어 있으며, 바람직하기로는 하부 케이스(500)는 이의 양단부에 단차부(510)를 형성한다. 진동 플레이트(400)는 하부 케이스(500)의 단차부(510) 상에 결합되어 고정된다. 단차부(510)는 진동 플레이트(400)와 하부 케이스(500) 사이에 공간을 제공할 수 있다.
압전소자(410)에 전원이 인가되는 경우에, 압전소자(410)는 진동 플레이트(400)에 완전히 부착되어 있어 팽창 또는 수축 변형을 통해 진동 플레이트(400)의 중심부에 모멘트가 발생하게 된다. 진동 플레이트(400)가 하부 케이스(500)의 양단부, 즉 단차부(510)에 고정된 상태로 모멘트가 발생하기 때문에 진동 플레이트(400)의 중심부가 아치(arch)형상으로 상하방향으로 유동이 일어나게 된다. 따라서, 본 발명은 진동 플레이트(400)의 유동폭을 증가시키기 위해 압전소자(410)와 탄성부재(300)를 진동 플레이트(400)의 중심부에 배치하도록 한다. 널리 알려져 있듯이, 압전소자(410)는 단층형 또는 다층형으로 적층되어 구성될 수 있다. 다층형으로 적층된 압전소자는 낮은 외부 전압에서도 압전소자의 구동에 필요한 전계를 확보할 수 있다. 이에, 본 발명에 따른 압전 진동 모듈(1)의 구동 전압을 낮출 수 있는 효과를 야기시킬 수 있으므로 본 발명에서는 다층형으로 적층된 압전소자를 채용하는 것이 바람직하다.
본 발명은 중량체(200)와 진동 플레이트(400) 사이에 하나 이상의 탄성부재(300)를 개재하고 있다. 탄성부재(300)는 진동 플레이트(400) 상에서 중량체(200)를 지지보유할 수 있는데, 도 2 및 도 3에서는 중량체(200)의 무게중심과 함께 진동 플레이트(400)의 진폭 변위를 고려하여 진동 플레이트(400)의 상부면 중심부에 하나의 탄성부재(300)를 도해하고 있다. 여기서, 중량체(200)는 진동력을 최대로 증가시키는 바아(bar) 형상의 매개물이다. 중량체(200)는 금속 재질로 제작될 수 있으며, 동일 체적에서 상대적으로 밀도가 높은 텅스텐 재질로 제작되는 것이 바람직하다. 또한, 중량체(200)는 진동 플레이트(400)의 양단부와 불필요한 충돌을 방지하기 위해 중량체(200)의 중심부에서 양단부를 향하여 상향 경사지도록 형성될 수 있다. 덧붙여서, 본 발명의 압전 진동 모듈(1)에서 상부 케이스(100)는 중량체(200)의 상부와 이격되도록 배치되어 압전 진동 모듈(1)의 진동 플레이트(400)가 윗방향으로 휘어지는 구동 변위하는 동안에도 중량체(200)의 상부 케이스(100)의 상부 내측면과 접촉 혹은 충돌되지 않게 한다.
전술되었듯이, 탄성부재(300)가 진동 플레이트(400)의 상부면에 위치선정되어 있기 때문에 압전소자(410)는 진동 플레이트(400)의 편평한 하부면에 배치되도록 한다. 진동 플레이트(400)의 상하방향으로 굴곡 진동할 때에 압전소자(410)와 중량체(200) 혹은 탄성부재(300)의 접촉을 미연에 방지할 수 있게 한다.
본 발명의 탄성부재(300)는 탄성 변형을 거의 일으키지 않는 단단한 강성(剛性) 재질로 제작되는바, 상하방향으로 굴곡진동을 통한 진동 플레이트(400)의 진폭 변화에도 중량체(200)와 진동 플레이트(400) 사이의 이격거리를 일정하게 유지시킬 수 있는 스페이서(spacer) 역할을 수행할 수 있다. 따라서, 본 발명의 탄성부재(300)는 진동 플레이트(400)의 스프링 강성(k;spring stiffness)보다 큰 스프링 강성을 갖는 재질로 제작되어야 한다.
본 발명에 따른 압전 진동 모듈(1)이 예상치 못하게 낙하 충돌하는 경우에, 압전 진동 모듈(1)에 상당한 외력이 가해지게 된다. 이때 본 발명은 상부 케이스(100)와 중량체(200)가 부딪히게 되며, 낙하 충격력이 그대로 압전소자(410)를 구비한 진동 플레이트(400)에 전달될 것이다. 따라서, 낙하 충격력은 진동 플레이트(400)을 더욱 휘어지게 만들어 압전소자(410)에 크랙(crack)을 발생시킨다. 본 발명의 탄성부재(300)는 소정의 충격량 이상에서만 변형될 수 있는 스프링 강성을 가지고 있으면서 낙하 충격을 감쇄시키는 충격 완화작용을 수행할 수 있게 코일 스프링으로 형성되는데, 전술된 바와 같이 예컨대 낙하 등과 같은 소정의 충격량 이상의 진동이 가해진 경우에 코일 스프링의 인장 및/또는 압축 변형을 통해 진동 플레이트(400)의 이상 굴곡 현상을 방지하고 압전소자(410)에 전달되는 충격 강도를 현저하게 저감시켜 크랙 발생정도를 감소시킬 수 있다.
본 발명에서, 하부 케이스(500)는 도시된 바와 같이 가늘고 긴 편평한 형상의 플레이트로 형성되되, 상부 케이스(100)의 개방 하부면을 폐쇄할 수 있는 크기와 형상으로 형성되어 있다.
상부 케이스(100)와 하부 케이스(500)는 당해 분야의 숙련자들에게 이미 널리 알려져 있는 코킹(caulking), 용접 혹은 본딩 등의 다양한 방식으로 결합될 수 있다.
도 4a 내지 도 4b는 도 3에 도시된 압전 진동 모듈(1)의 정상 구동 상태를 도시한 도면인 반면에, 도 4c는 압전 진동 모듈(1)에 충격, 예컨대 낙하시 압전 진동 모듈(1)의 동작 상태를 도시한 도면이다.
도 4a는 전원 인가시 압전소자(410)의 길이가 팽창되는 압전 진동 모듈(1)의 정면도로서, 압전소자(410)의 길이가 길어지면 진동 플레이트(400)는 상대적으로 변형률이 작고 진동 플레이트(400)는 하부 케이스(500)에 고정되어 있기 때문에 진동 플레이트(400)는 아래 방향으로 휘어져 구동하게 된다. 압전소자(410)가 팽창하고 진동 플레이트(400)가 굴곡진동하는 경우에, 탄성부재(300)는 진동 플레이트(400)의 스프링 강성보다 큰 스프링 강성을 가지고 있기 때문에 인장 및/또는 압축 변형되지 않아 진동 플레이트(400)의 굴곡 진동을 유지하면서 진동 플레이트(400)와 중량체(200) 사이의 충돌을 방지할 수 있다.
도 4b는 전원 인가시 압전소자(410)의 길이가 수축되는 압전 진동 모듈(1)의 정면도로서, 압전소자(410)의 길이가 줄어들면 진동 플레이트(400)는 위로 휘어져 구동하게 된다. 압전소자(410)가 수축하고 진동 플레이트(400)가 굴곡진동하는 경우에, 탄성부재(300)의 스프링 강성이 진동 플레이트(400)의 스프링 강성보다 크기 때문에 탄성부재(300) 자체의 변형이 일어나지 않아 진동 플레이트(400)의 굴곡 진동을 유지하는 동시에 진동 플레이트(400)와 중량체(200) 사이의 충돌을 미연에 방지할 수 있다.
이와 달리, 도 4c는 중량체(200)에 외력이 가해진 압전 진동 모듈(1)의 정면도이다. 중량체(200)에 가해진 외력, 예컨대 낙하 충격력이 탄성부재(300)에 전달되면, 압전 진동 모듈(1)은 탄성부재(300)의 압축 변형 혹은 인장 변형을 통해 낙하 충격력을 감쇄시켜 진동 플레이트(400)에 최소한의 외력만을 전달하게 된다. 따라서, 진동 플레이트(400)는 낙하 충격력에 의한 이상 휨 현상을 줄이게 된다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 압전 진동 모듈을 개략적으로 도시한 도면으로, 상부 케이스를 탈거한 압전 진동 모듈(1)의 정면도이다.
구체적으로, 본 발명의 다른 실시예에 따른 압전 진동 모듈(1')은 도 2 내지 도 3에 도시된 압전 진동 모듈(1)에서 탄성부재(300)의 갯수와 그 배열위치를 제외하고는 매우 유사한 구조로 이루어져 있기 때문에, 본 발명의 명료한 이해를 돕기 위해서 유사하거나 동일한 구성부재에 대한 설명은 여기서 배제할 것이다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 압전 진동 모듈(1')은 도시된 바와 같이 진동 플레이트(400)의 상부면에서 수직상방으로 입설되어 있는 2개의 탄성부재(300)를 구비하고 있다. 비록 도 5는 2개의 탄성부재(300)만을 도해하고 있지만, 이에 국한되지 않고 3개 이상의 탄성부재도 탑재가능함을 미리 밝혀둔다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 압전 진동 모듈(1')은 2개의 탄성부재(300)를 탑재하는데, 이는 중량체(200)의 양단부를 진동 플레이트(400)와 일정 간격으로 유지가능하도록 지지할 수 있어 압전소자(410)의 팽창 및 수축 변형을 통한 중량체(200)의 상하이동시 중량체(200)의 양단부와 진동 플레이트(400)의 접촉을 방지할 수 있다. 도 2에 도시된 압전 진동 모듈(1)에서, 중량체(200)는 시소(seesaw)와 같이 탄성부재(300)를 중심점으로 하여 중량체(200)의 양단부에 변위방향을 달리하게 되면 상부 케이스 및/또는 진동 플레이트(400)와 예상치 못한 충돌을 야기할 수도 있다.
이러한 문제점을 해소하기 위해, 본 발명의 다른 실시예에 따른 압전 진동 모듈(1')은 진동 플레이트(400)와 중량체(200)의 중심부에서 좌우 대칭되게 배열되도록 한다. 따라서, 이러한 탄성부재의 배열은 중량체(200)와 진동 플레이트(400) 사이의 직접적인 충돌을 확실하게 방지할 수 있을 것이다.
이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 압전 진동 모듈은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.
1 ----- 압전 진동 모듈
100 ----- 상부 케이스
200----- 중량체
300 ----- 탄성부재
400 ----- 진동 플레이트
410 ----- 압전소자
500 ----- 하부 케이스

Claims (14)

  1. 외부 전원의 인가에 따라 팽창 및 수축 변형을 반복하여 상하방향으로 진동력을 생성하는 압전소자를 장착하고 있는 진동 플레이트와;
    상기 진동 플레이트와 이격되게 배열되도록, 상기 진동 플레이트의 양단부와 결합되는 하부 케이스;
    상기 압전소자의 진동력을 증대시키기 위한 바아 형상의 중량체; 및
    상기 진동 플레이트와 중량체 사이에 개재된 탄성부재;로 이루어진 압전 진동 모듈.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 탄성부재는 코일 스프링으로 이루어져 있는 압전 진동 모듈.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 탄성부재는 상기 진동 플레이트의 스프링 강성보다 큰 스프링 강성을 가진 재질로 만들어진 압전 진동 모듈.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 탄성부재는 상기 진동 플레이트의 상부면에 장착되어 있는 압전 진동 모듈.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 탄성부재는 상기 진동 플레이트의 상부면 중심부에 위치선정되어 있는 압전 진동 모듈.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 하부 플레이트는 이의 양단부에 단차부를 각각 구비하고 있는 압전 진동 모듈.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 압전소자는 상기 진동 플레이트의 하부면에 장착되어 있는 압전 진동 모듈.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 압전소자는 상기 진동 플레이트의 하부면 중심부에 장착되어 있는 압전 진동 모듈.
  9. 청구항 1에 있어서,
    일측면을 개방하고 내부공간을 형성하는 상부 케이스를 추가로 구비한 압전 진동 모듈.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 하부 케이스가 상기 상부 케이스의 개방 일측면에 결합되어, 상기 상부 케이스의 내부공간을 차폐하는 압전 진동 모듈.
  11. 청구항 9에 있어서,
    상기 상부 케이스는 하부면을 개방하고 있는 압전 진동 모듈.
  12. 청구항 1에 있어서,
    2개 이상의 탄성부재를 구비한 압전 진동 모듈.
  13. 청구항 13에 있어서,
    상기 2개 이상의 탄성부재는 상기 진동 플레이트의 중심부에서 좌우 대칭되게 배열되어 있는 압전 진동 모듈.
  14. 청구항 13에 있어서,
    상기 2개 이상의 탄성부재는 상기 중량체의 중심부에서 좌우 대칭되게 배열되어 있는 압전 진동 모듈.
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