JP2011091719A - 撓み振動型アクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】従来よりも低背型となるとともに、機器の落下などで生じる急激な加力によって前記撓み振動型アクチュエータが破損することを防止するための構造を有することを特徴とする撓み振動型アクチュエータを提供する。
【解決手段】
本発明に係る撓み振動型アクチュエータは、ベースプレートの両側部を折り曲げること及び一端にコ字形状の切欠部を設け、前記コ字形状の切欠部にてシムを保持することを特徴とし、前記ベースプレートの両側部を折り曲げることにより、従来のベースプレートに比べ高い曲げ剛性を有し、また、弾性体の設置数を削減及び薄型化することができる、従来よりも低背化及びコストダウンを計ることができる。
【選択図】図１

Description

本発明は、携帯電話機、携帯端末機などの小型電子機器のパネル型スピーカに利用されるアクチュエータに関するものであり、特に、表示パネル部前面の透明板などを振動板とする分布振動（Ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄ Ｍｏｄｅ）方式の撓み振動型スピーカに使用される、圧電素子を使用した撓み振動型アクチュエータ（ＤＭＡ：Ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄ Ｍｏｄｅ Ａｃｔｕａｔｏｒ）を、より薄い低背型とした撓み振動型アクチュエータに関するものである。

携帯電話機や携帯端末機などの小型電子機器で、音楽や音声の出力方法として表示パネル部前面のタッチパネルを振動させて音を発生させる撓み振動型アクチュエータが使用されている。近年の携帯電話、携帯端末機などの小型電子機器は薄型化が進み、それに伴い使用される部品も小型、薄型化した部品が開発され、搭載されている。撓み振動型アクチュエータも同様に、従来の部品よりも低背型の部品の開発が望まれている。

特許文献１は、従来の撓み振動型アクチュエータであり、シム１枚の上面と下面に圧電撓み振動素子を設置したバイモルフ型振動子と、ベースプレートの長手方向側に起立する折曲部を有する撓み振動型アクチュエータについて記載されている。前記折曲部に開口部を設け、前記シムの先端部に形成された凸部が前記開口部に挿入し、前記開口部の中で振動する。また、前記シムの根元側端部には、所定長にわたって、Ｌ字形状の折り曲げ部分を形成し、シムの剛性を高めている。特許文献２は、従来の撓み振動型エキサイタであり、上下２枚に配置したビームを、ケースに収容し保護する構造の振動型エキサイタが記載されている。

特開２００８−０４１２５３号公報 特開２００４−３０５８４０号公報

しかし、撓み振動型アクチュエータは、機器の落下などで生じる急激な加力により、圧電素子が破損しやすい。この圧電素子の破損を防止するため、特許文献１の撓み振動型アクチュエータは、図７に示すように、ベースプレート６６の長手方向側に起立する折曲部６７を有し、折曲部６７に開口部６８を設ける。シム７１の先端部に形成された凸部７５が開口部６８に挿入されて、凸部７５は開口部６８の中で振動する。シム７１が開口部６８以上に撓まないように規制する。また、シム７１裏面に設置された圧電撓み振動子７３とベースプレート６６の間には、緩衝材として板状弾性体６５を設置し、圧電撓み振動子７３とベースプレート６６の衝突による破損を防ぐ。また、特許文献２ではケースに格納することで破損の防止対策をしている。しかしながら、これら破損防止のための対策に用いられる緩衝材やケースは一定の厚みを有するため、さらなる低背型化が望まれている。

また、携帯電話、携帯端末機などの小型電子機器などの撓み振動型アクチュエータ（ＤＭＡ）を搭載したタッチパネル型の撓み振動型スピーカにおいては、振動板であるタッチパネルを押した（タッチした）とき、ベースプレートが撓み、振動子がベースプレートに当たって異音が発生するという問題点がある。

そこで本発明は、従来の撓み振動型アクチュエータよりも低背型となるとともに、機器の落下などで生じる急激な加力によって前記撓み振動型アクチュエータが破損することを防止するための構造を有することを特徴とする、撓み振動型アクチュエータを提供することを目的とするものである。

上記課題を解決するために、本発明の撓み振動型アクチュエータは、細長くて薄い形状の圧電撓み振動素子を上面及び／又は下面に保持するシムからなる振動子と、細長くて薄い形状のベースプレートとを備え、前記ベースプレートの一端側は、前記振動子のシムの一端側を保持する振動子保持部を保持し、前記ベースプレートの両側部の少なくとも一部は、立設した側壁を有すること、を特徴とする。

本発明の撓み振動型アクチュエータにおける、前記ベースプレートの両側部は、立設した側壁を有し、該側壁に形成されたコ字形状の切欠部に、前記ベースプレートの一端側の振動子保持部に保持された前記振動子のシムの側部の先端が、前記開口の空間内で振動できるように挿入されてなること、を特徴とする。

本発明の撓み振動型アクチュエータにおける、前記シムの先端は、前記ベースプレートの底面と側壁で囲まれた空間内で振動できるように挿入されたこと、を特徴とする。

本発明の撓み振動型アクチュエータにおいて、前記シムの一方の側に設けられた圧電撓み振動素子と、前記ベースプレートとの間に弾性板状体を設けたことを特徴とする。

本発明の撓み振動型アクチュエータにおいて、前記弾性板状体は弾性接着剤からなることを特徴とする。

本発明の撓み振動型アクチュエータにおける、前記ベースプレートは、振動板に取り付けられてなることを特徴とする。

本発明の撓み振動型アクチュエータにおける、前記圧電撓み振動素子、前記振動子保持部、前記弾性板状体の各々の幅は、前記ベースプレートの幅内で形成されてなることを特徴とする。

前記側壁は、前記ベースプレートの両側部から直立していることを特徴とする。

本発明に係る撓み振動型アクチュエータは、ベースプレートの両端を折り曲げること及び一端にコ字形状の切欠部を設け、前記コ字形状の切欠部にてシムを保持することを特徴とする撓み振動型アクチュエータを提供する。前記ベースプレートの両端を折り曲げることにより、緩衝材を削減することができたため、従来よりも低背型及びコストダウンを計ることができる。また、曲げ剛性が強化されたために、撓みによって振動子が前記ベースプレートに当たって異音が発生するということを防ぐ。また、前記ベースプレートの両側部に設けた側壁にコ字形状の切欠部を形成し、圧電撓み振動素子を上面及び／又は下面に保持するシムの両側面を挿入することによって、前記圧電撓み振動素子の過大な撓みを規制し、圧電素子が破損することを防止する、という効果を有する。

本発明に係る撓み振動型アクチュエータの分解斜視図である。 本発明に係る撓み振動型アクチュエータの側面図である。 本発明に係る撓み振動型アクチュエータの正面図である。 図４Ａは、本発明に係る撓み振動型アクチュエータのベースプレートの曲げ剛性を示す図、図４Ｂは、従来の撓み振動型アクチュエータのベースプレートの曲げ剛性を示す図である。 本発明に係る撓み振動型アクチュエータを携帯端末機に組み込んだ図である。 図５のＣ−Ｃ線断面図である。 従来の撓み振動型アクチュエータの分解斜視図である。

本発明に係る撓み振動型アクチュエータを実施するための形態について、図１乃至図３を参照して説明する。図１は、本発明に係る撓み振動型アクチュエータの分解斜視図、図２は、撓み振動型アクチュエータの側面図、図３は、撓み振動型アクチュエータをＩ方向から見た正面図である。

図１乃至図３に示すように、本発明に係る撓み振動型アクチュエータは、金属片からなるシム１１の一方の側に圧電撓み振動子１２を設け、さらに他方の側にも圧電撓み振動子１３を設けたバイモルフ型の振動子１０と、振動子保持部２０と、給電用端子１６及び入力端子１７と、ベースプレート３０及び弾性板状体３４とからなる。バイモルフ型とは、アクチュエータの構造であり、薄手の圧電素子２枚で金属板（シム）を挟む構造の振動子をいう。

本発明に係る撓み振動型アクチュエータはバイモルフ型を使用した形態であるが、薄手の圧電素子１枚を金属板（シム）の片面に設置した、ユニモルフ型を使用しても良い。

圧電素子に電圧をかけることにより、圧電素子が伸縮すると貼り合わせた金属板の寸法は変わらないため、反りが生ずる。この反りにより発生する振動や変位を利用する。振動子１０に電圧を供給すると、シム１１の撓み振動が振動子保持部２０とベースプレート３０を介して振動板４０（例えば、携帯電話機や携帯端末機などの小型電子機器の表示パネル部前面のタッチパネル）に伝播される。また、圧電素子に加える電圧よって振動の強度や変位が変化する。また、振動を効率よく広域に渡り伝達するために、ベースプレート３０の振動子保持部２０側に上面に、弾性板状体３４を設置することによって、振動の伝達面積が拡大し、音響特性が優れる。

シム１１は、全体が細長くて薄い矩形形状の金属板からなり、圧電素子である圧電撓み振動子１２は、図１及び図２に示すように、シム１１の表面に接着され、やはり圧電素子である圧電撓み振動子１３は、シム１１の裏面に接着される。また、シム１１は、図１及び図２に示すように、長手方向の一方の端部に凸状に切り欠きが形成された凸部１９が形成され、凸部１９の他方の端部の先端近傍には円形孔を有する凸状の入力端子１７が形成されている。この入力端子１７は、振動子保持部２０のシム孔２１に嵌挿される。シム１１の材質は、ステンレス鋼やアルミ合金などの硬めの材質が好適であり、摩擦損失が少なく、高Ｑ値の素材を使用することが望ましい。これらの材質を用いることによって、音響特性、励振効率が良好となる。

また、圧電撓み振動子１２は、図１及び図２に示すように、シム１１の表面側に長手方向に沿って接着される。この圧電撓み振動子１２は、薄く細長い矩形形状で形成されており、下面、すなわちシム１１の表面側の接着面には接着剤（図示せず）が塗布されて接着される。また、圧電撓み振動子１３は、圧電撓み振動子１２と同じく、細長くて薄い矩形形状をしており、上面、すなわちシム１１の裏面側の接着面には接着剤（図示せず）が塗布されて接着される。

ベースプレート３０は、細長くて薄い矩形形状で真鍮などの金属からなる金属板で構成されており、長手方向の一端側には、図１乃至図３に示すように、幅方向の両側部から立設（直立が望ましい）して一端から他端まで連続した側壁３５及び側壁３６を形成する。また、側壁３５及び側壁３６から更に直立して、上端が内側に折り曲げられた係止爪３１及び係止爪３２を形成する。また、他端には側壁３５及び側壁３６から更に立設（直立が望ましい）して、係止爪３１及び係止爪３２側に開口したコ字形状の切欠部３７及び切欠部３８を形成する。

本発明に係るベースプレート３０は、側壁３５及び側壁３６が一端から他端まで連続した形状を説明したが、一部分のみにおいて側壁３５及び側壁３６が形成される構成等、一端から他端まで連続していない形状でもよい。

側壁３５及び側壁３６の高さ（図１のＡに示す）は０．８３ｍｍであるが、切欠部３７及び切欠部３８を形成する側壁３５及び側壁３６の高さ（図１のＢに示す）では、０．７０ｍｍとなっており、Ｂの方が低くなっている。シム１１の凸部１９側の側部の先端に設けられた肩部１４及び肩部１５が振動するための空間を確保するためである。
また、側壁３５及び側壁３６の間に、短矩形状に形成された弾性板状体３４が接着剤（図示せず）によりベースプレート３０の上面の長手方向に沿って振動子保持部２０側に隣接して接着配置される。

前記切欠部３７及び切欠部３８は、シム１１の肩部１４及び肩部１５が挿入され、凸部１９は側壁３５及び側壁３６の間に設置される。シム１１とベースプレート３０は、縦方向には切欠部３７及び切欠部３８の開口以上に振れないように、横方向には凸部１９が側壁３５及び側壁３６の間でずれないように、規制する作用を有している。

上記のような圧電撓み振動子１２及び圧電撓み振動子１３は、チタン酸バリウムなどの圧電セラミックの薄板で、電極層で挟みながら複数枚積層した構造などが好適であり、また、チタン酸バリウムなどは比較的脆い圧電材料であるため、過大な撓み振動が発生すると、破損するおそれがある。この過大な撓み振動は、信号よりも、むしろ、このアクチュエータが装着された携帯電話機などの小型電子機器が、コンクリートなどの硬い床に落下した時の衝撃によって発生する場合が多い。この衝撃を抑制するため、切欠部３７及び切欠部３８でシム１１の肩部１４及び肩部１５の過大な振れを規制し、さらには側壁３６及び側壁３７で振動子１０を保護する構成としている。

次に、振動子保持部２０について説明する。
図１乃至図３に示すように、振動子保持部２０は、樹脂を主成分とする略柱状体で１つ形成されており、シム１１の一方の端部である入力端子１７が挿入されて、入力端子１７を保持するためのシム孔２１と、シム孔２１と貫通するシム孔２７及び給電用端子溝２６が形成される。この振動子保持部２０は、１つに限らず、２つ以上で構成してもよい。また、図１及び図２に示すように、入力端子１７は、振動子保持部２０のシム孔２１内に挿入されて、振動子保持部２０のシム孔２１の反対面であるシム孔２７に露出する。

振動子保持部２０に形成されたシム孔２７から露出した入力端子１７は、シム１１の一端側に形成されており、シム１１に給電できるようになっている。また、振動子保持部２０の表面と裏面（図示せず）に形成された給電用端子溝２６に嵌め込まれた給電用端子１６は、上下に分かれた二股の形状をしており、圧電撓み振動子１２及び圧電撓み振動子１３に接続されて給電できるようになっている。

また、振動子保持部２０の側面及び上面には、図１から明らかなように、係止爪３１及び係止爪３２と係合する凹部が形成されている。

次に、弾性板状体３４は、図１に示すように、短矩形状に形成されており、ベースプレート３０と接着剤（図示せず）で接着される。この弾性板状体３４の素材としては、ポリウレタン、発泡樹脂、軟質ゴムなどの弾性体を使用することができる。また、弾性板状体３４そのものを弾性接着剤にし、弾性体の部品を接着する工程と併用することもできる。板状弾性体３４は、振動子１０の振動の振幅を抑制（ダンプ）することで慣性振動となり、最低次の固有振動数（共振周波数）を従来の低音域から中音域にまで高めることができる。この結果、中音域の振動エネルギーが増加し、ベースプレート３０に伝達する振動特性が平坦化され、この結果広帯域な周波数特性が得られる。また、圧電撓み振動子１３と接触し、振動子１０の振動を伝播する面積が拡張することで効率よくベースプレート３０に伝達することができるという用途もある。

図１に示す振動板４０は、主に、携帯電話機や携帯端末機の表示パネルの保護板を使用することができ、振動子保持部２０から振動子１０の圧電撓み振動子１２及び圧電撓み振動子１３を振動させて音を出力する。振動板４０はタッチパネル形式でも良く、透明な素材など種々の素材を用いることができる。

本発明に係る撓み振動型アクチュエータのシム１１、圧電撓み振動子１２、圧電撓み振動子１３、振動子保持部２０、及び弾性板状体３４は、全体として長手状に形成されているが、それらの幅方向は、図１及び図３に示すように、シム１１はベースプレート３０よりもやや大きく、その他の構成物はベースプレート３０の幅内で形成されているので、全体として小型に構成されている。また、各々の厚みも薄く形成しているので、全体として高さ方向も薄く構成されている。

本発明に係る撓み振動型アクチュエータの組立方法について説明する。
図１及び図２に示すように、まず、圧電撓み振動子１２及び圧電撓み振動子１３を接着剤（図示せず）によってシム１１に接着した振動子１０の入力端子１７を振動子保持部２０に形成された接続用のシム孔２１に挿入する。

次に、振動子保持部２０の上面及び裏面（図示せず）に形成された給電用端子溝２６に上下に分かれた二股形状の給電用端子１６を組み込み、その先端を圧電撓み振動子１２の表面に形成された電極（図示せず）及び、圧電撓み振動子１３の裏面に形成された電極（図示せず）に接続する。これにより給電用端子１６と圧電撓み振動子１２及び圧電撓み振動子１３との間に電気的接続が形成される。同様に、シム孔２７から入力端子１７が露出して、シム１１の電気的接続が形成される。

そして、振動子保持部２０の側面の溝とベースプレート３０の係止爪３１及び係止爪３２と係合させて折り曲げ、振動子保持部２０とベースプレート３０を固定させる。

ここで、ベースプレート３０の上面に弾性板状体３４を接着剤（図示せず）で接着する。また、弾性板状体３４は振動体保持部２０に隣接して設置されるため、他端側の圧電撓み振動子１３の下は空間となる。

このとき、シム１１の肩部１４は切欠部３７に挿入され、肩部１５は切欠部３８に挿入され、それぞれこの切欠部３７及び切欠部３８の空間内をシム１１の肩部１４及び肩部１５が振動できるようになっている。また、凸部１９はベースプレート３０の底面と側壁３５及び側壁３６に挟まれた空間内に配置され、この空間内で振動する。

このように、各構成物を図３に示すように階層状に組み合わせることで、撓み振動型アクチュエータ１が構成される。

なお、本発明に係る撓み振動型アクチュエータの組立の順番については、適宜変えてよいことは勿論である。

本発明に係る撓み振動型アクチュエータ１は、ベースプレート３０に側壁３５、側壁３６、切欠部３７及び切欠部３８を設け、シム１１を挿入している。側壁を設けることによって、圧電撓み振動子１２及び圧電撓み振動子１３の保護を兼ねると共に、ベースプレート３０の剛性が向上する。

図４を用いて、ベースプレート３０の剛性について説明する。図４Ａは本発明に係るベースプレート３０の剛性の試験を示した図で、図４Ｂは従来のベースプレートの長手方向側に起立する折曲部を有する、Ｌ字形状のベースプレートの剛性の試験を示した図である。ベースプレートの厚さは０．２ｍｍである。試験はベースプレートの中央から左右均等に１２．５ｍｍ離れた位置に支点を置き、Ｚ軸方向に５００ｇｆの力を加えたときのベースプレートの変位置を測定したものである。図４Ａに示す本発明に係るベースプレートの試験によるＺ軸方向への最大変位量は０．１６２７ｍｍであり、図４Ｂに示す従来の試験によるＺ軸方向への最大変位量は０．３３０８ｍｍである。このことから、本発明に係るベースプレートの変位は従来のベースプレートの１／２以下であり、ベースプレート３０に側壁３５及び側壁３６を形成することで、ベースプレートの厚さを変えること無く、約２倍の剛性を持たせることができる。

また、作成工程に於いては一面側の係止爪３１、側壁３５及び切欠部３７と、他面側の係止爪３２、側壁３６及び切欠部３８を一括で型抜き及び折り曲げ形成することが可能となる。従来の長手方向側に起立する折曲部の加工は、折曲部の角度の調整に精度を必要としているため加工が困難であったが、本発明のベースプレートは長手方向側に起立する折曲部を有するものではなく、前述のように側壁３５及び側壁３６の加工が容易であるため、作成工程を簡略化することができる。

従来は落下時の保護として緩衝材となる板状弾性体をベースプレートに貼付していたが、本発明では側壁３５と側壁３６で保護することができるため、板状弾性体が削除できる。また、従来の板状弾性体の厚さは０．３３ｍｍであり、弾性板状体に塗布する接着剤の厚さが、前記板状弾性体の厚さとほぼ同じ厚さになるように、ベースプレートと振動子の離間間隔を調整していた。本発明では、厚さ０．３３ｍｍの板状弾性体が削除できたため、接着剤の厚さも考慮する必要はなく、振動子とベースプレート間はほぼ弾性板状体の厚さ０．２０ｍｍだけとなったことで、従来よりも低背化することができる。これにより、構成部品を減少することが可能となり、作成工数の削減、低背化、軽量化、及び廉価化することができる。

次に、本発明に係る撓み振動型アクチュエータの動作について説明する。
本発明に係る撓み振動型アクチュエータのベースプレート３０の切欠部３７及び切欠部３８の空間内に振動可能に挿入されるシム１１の肩部１４及び肩部１５は、先端が自由端となっており、音響振動用として作用する。

本発明に係る撓み振動型アクチュエータ１の給電用端子１６及び入力端子１７を交流電源（図示せず）に接続して、振動子１０を構成するシム１１と、シム１１の表面側と裏面側に設置された圧電撓み振動子１２及び圧電撓み振動子１３に交流電圧を印加する。圧電撓み振動子１２及び圧電撓み振動子１３は、互いに逆極性となる様な厚み方向への分極が形成されているため、厚み方向に伸縮が生じる。電圧は交流なので、交互に反対方向への伸縮を行う。ここで、シム１１は伸縮しないため、シム１１には圧電撓み振動子１２及び圧電撓み振動子１３の伸縮に合わせて撓みが生ずる。

シム１１が撓むと、その先端と振動子保持部２０とが上下方向に互いに逆向きに変位する。シム１１の先端の自由端が下方に変位すると、その反作用（慣性力）によって、その振動子保持部２０が上方に変位し、その結果、ベースプレート３０を介して振動板４０が上方に変位する。振動板４０が変位することで、振動板４０に振動が発生し、音を発生する。

なお、本発明に係る撓み振動型アクチュエータでは交流電源（図示せず）への接続を説明したが、直流電源の印可の有無の繰り返しによる制御や、矩形波を用いてもよい。

［実施例１］
図５は、本発明に係る撓み振動型アクチュエータに適用した実施例であり、図６は、図５のＣ−Ｃ線断面図である。携帯端末機５０は、フィルム５４とガラス５５でなる振動板を兼ねるタッチパネル部５１と、表示部５２と、操作部５３と、撓み振動型アクチュエータ２ａ及び２ｂと、クッション５６ａ及び５６ｂと、クッション５７ａ及び５７ｂとを有する。

タッチパネル部５１のガラス５５は、図５及び図６に示すように薄く透明な板状であり、上面にフィルム５４を接着している。ガラス５５とフィルム５４の間には透明導電膜（図示せず）及びドットスペーサ（図示せず）を有する。ガラス５５の下面には表示部５２にクッション５７ａ及び５７ｂが接着されおり、クッション５７ａ及び５７ｂの他端は表示部５２に接着されている。また、表示部５２の外側にアクチュエータ２ａ及び２ｂが、ガラス５５に接着剤で直接接着されている。また、ガラス５５の下面外縁部はクッション５６ａ及び５６ｂが接着されており、クッション５６ａ及び５６ｂの他端は、筐体５０に接着されている。

タッチパネル部５１のフィルム５４はガラス５５と同じ大きさに成形された薄く透明な板状であり、下面をガラス５５に接着されている。フィルム５４の表面を使用者が触覚入力すると、フィルム５４が撓み、ガラス５５とフィルム５４の間に設置された透明導電膜とドットスペーサが接触することで電流が流れ、タッチパネル部に入力があったことを検出する。

使用者は、携帯端末機５０への入力を操作部５３又はタッチパネル部５１を操作して行い、携帯端末機５０は入力に対して、表示・音声・振動等によって応答する。ここで音声は撓み振動型アクチュエータ２ａ及び２ｂが振動することにより、タッチパネル部５１に伝達し、タッチパネル部５１を振動させて音声を出力する。

従来の撓み振動型アクチュエータを設置した携帯端末機は、振動板を兼ねるタッチパネル部５１を押した（タッチした）際に、タッチパネル部に接着されている撓み振動型アクチュエータのベースプレートに圧力が掛かり、ベースプレートが著しく撓む場合がある。その際、著しく撓んだベースプレートと振動子が接触し、異音が発生する可能性があった。ベースプレートが薄いため剛性が不足するためである。

本発明の撓み振動型アクチュエータを設置した場合、本発明のベースプレート３０は従来のベースプレートの約２倍の剛性を持つため、タッチパネル部５１を押した（タッチした）際にベースプレートに圧力が掛っても撓みが発生しづらい。ベースプレートが撓みづらいため、撓んだベースプレートと振動子が接触し、異音が発生するという問題点を解消することができる。

本発明に係る撓み振動型アクチュエータは、上記実施形態や実施例に限定されるものではなく、改良の目的または本発明の趣旨の範囲内において適宜改良または変更することができることは勿論である。

１ 撓み振動型アクチュエータ
１０ 振動子
１１ シム
１２、１３ 圧電撓み振動素子
１４、１５ 肩部
１６ 給電用端子
１７ 入力端子
１９ 凸部
２０ 振動子保持部
２１ シム孔
２６ 給電用端子溝
２７ シム孔
３０ ベースプレート
３１、３２ 係止爪
３４ 弾性板状体
３５、３６ 側壁
３７、３８ 切欠部
４０ 振動板
５０ 携帯端末機
５１ タッチパネル部
５２ 表示部
５３ 操作部
５４ フィルム
５５ ガラス
５６ａ、５６ｂ クッション
５７ａ、５７ｂ クッション
６０ 撓み振動型アクチュエータ
６１ 振動子保持部
６２ 給電用端子
６４ 弾性板状体
６５ 板状弾性体
６６ ベースプレート
６７ 折曲部
６８ 開口部
７０ 振動子
７１ シム
７２、７３ 圧電撓み振動素子
７４ おもり
７５ 凸部
７８、７９ 接着剤

Claims (8)

1. 細長くて薄い形状の圧電撓み振動素子を上面及び／又は下面に保持するシムからなる振動子と、
   細長くて薄い形状のベースプレートとを備え、
   前記ベースプレートの一端側は、前記振動子のシムの一端側を保持する振動子保持部を保持し、
   前記ベースプレートの両側部の少なくとも一部は、立設した側壁を有すること、
   を特徴とする撓み振動型アクチュエータ。
2. 前記ベースプレートの両側部は、立設した側壁を有し、該側壁に形成されたコ字形状の切欠部に、前記振動子保持部に保持された前記振動子のシムの側部の先端が、前記開口の空間内で振動できるように挿入されてなること、
   を特徴とする請求項１に記載の撓み振動型アクチュエータ。
3. 前記シムの先端は、前記ベースプレートの底面と側壁で囲まれた空間内で振動できるように挿入されたこと、
   を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の撓み振動型アクチュエータ。
4. 前記シムの一方の側に設けられた圧電撓み振動素子と、前記ベースプレートとの間に弾性板状体を設けたことを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか１に記載の撓み振動型アクチュエータ。
5. 前記弾性板状体は弾性接着剤からなることを特徴とする請求項４に記載の撓み振動型アクチュエータ。
6. 前記ベースプレートは、振動板に取り付けられてなることを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れか１に記載の撓み振動型アクチュエータ。
7. 前記圧電撓み振動素子、前記弾性板状体の各々の幅は、前記ベースプレートの幅内で形成されてなることを特徴とする請求項１乃至請求項６の何れか１に記載の撓み振動型アクチュエータ。
8. 前記側壁は、前記ベースプレートの両側部から直立していること
   を特徴とする請求項１乃至請求項７の何れか１に記載の撓み振動型アクチュエータ。

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