JPH079404Y2 - コロナ予備電離放電励起エキシマレーザ装置 - Google Patents
コロナ予備電離放電励起エキシマレーザ装置Info
- Publication number
- JPH079404Y2 JPH079404Y2 JP17783587U JP17783587U JPH079404Y2 JP H079404 Y2 JPH079404 Y2 JP H079404Y2 JP 17783587 U JP17783587 U JP 17783587U JP 17783587 U JP17783587 U JP 17783587U JP H079404 Y2 JPH079404 Y2 JP H079404Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- discharge
- corona
- ceramics
- excimer laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Lasers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、コロナ予備電離放電励起エキシマレーザ装置
に関する。
に関する。
（従来の技術） 放電励起エキシマレーザ装置においては、負性気体であ
るハロゲンガスを含む高気圧のレーザガスをパルス的に
グロー放電させることによってレーザを励起している。
上記のレーザガスを均一にグロー放電させるためには、
放電に先立って放電電極対間隙の放電空間に多数の電子
−イオン対を形成する予備電離が必要不可欠である。
るハロゲンガスを含む高気圧のレーザガスをパルス的に
グロー放電させることによってレーザを励起している。
上記のレーザガスを均一にグロー放電させるためには、
放電に先立って放電電極対間隙の放電空間に多数の電子
−イオン対を形成する予備電離が必要不可欠である。
予備電離方式としては、ピンアーク放電を用いた紫外線
予備電離（以下ピンアーク予備電離と称す）、Ｘ線予備
電離及びコロナ予備電離等が通常用いられている。
予備電離（以下ピンアーク予備電離と称す）、Ｘ線予備
電離及びコロナ予備電離等が通常用いられている。
コロナ予備電離は、誘電体を挾んで対面する開孔電極と
コロナ電極の間に流れる変位電流によって開孔電極の開
孔部に部分放電（以下コロナ放電と称す）を誘導するも
ので、Ｘ線予備電離に比べ簡便なこと及びピンアーク予
備電離の様に金属不純物を発生しない等の利点を有し一
般的に広く用いられている（例えば、アイトルプルイー
・ジャーナル・オブ・クオンタム・エレクトロニクス12
60ページ（IEEE J.Quantum.Electron.QE-11.1260（198
0））にコロナ予備電離放電励起エキシマレーザの例が
記載されている）。
コロナ電極の間に流れる変位電流によって開孔電極の開
孔部に部分放電（以下コロナ放電と称す）を誘導するも
ので、Ｘ線予備電離に比べ簡便なこと及びピンアーク予
備電離の様に金属不純物を発生しない等の利点を有し一
般的に広く用いられている（例えば、アイトルプルイー
・ジャーナル・オブ・クオンタム・エレクトロニクス12
60ページ（IEEE J.Quantum.Electron.QE-11.1260（198
0））にコロナ予備電離放電励起エキシマレーザの例が
記載されている）。
また、コロナ予備電離放電励起エキシマレーザにおいて
は、開孔電極とコロナ電極の間に立ち上りの速い高電圧
が印加されること及びレーザガスに化学的に非常に活性
なハロゲンガスを含むことから、開孔電極とコロナ電極
の間に挿入される誘電体（以下、単に誘電体と称す）に
は、絶縁性が高いこと、イオン衝撃に対して強いこと、
熱負荷に対して強いこと、耐ハロゲン性を有すること及
び開孔電極とコロナ電極の沿面距離を長くする様な形に
加工し易いこと等の特性が要求される。
は、開孔電極とコロナ電極の間に立ち上りの速い高電圧
が印加されること及びレーザガスに化学的に非常に活性
なハロゲンガスを含むことから、開孔電極とコロナ電極
の間に挿入される誘電体（以下、単に誘電体と称す）に
は、絶縁性が高いこと、イオン衝撃に対して強いこと、
熱負荷に対して強いこと、耐ハロゲン性を有すること及
び開孔電極とコロナ電極の沿面距離を長くする様な形に
加工し易いこと等の特性が要求される。
従来のコロナ予備電離放電励起エキシマレーザ装置で
は、誘電体としてガラス、セラミックス又はフッ素系プ
ラスチックのいずれかを単体として用いている。
は、誘電体としてガラス、セラミックス又はフッ素系プ
ラスチックのいずれかを単体として用いている。
（考案が解決しようとする問題点） しかしながら、従来のコロナ予備電離放電励起エキシマ
レーザ装置では、誘電体としてガラス、セラミックス又
はフッ素系プラスチックのいずれかを単体として用いて
いるから、誘電体に要求される前記諸特性を十分に満た
すことができない。
レーザ装置では、誘電体としてガラス、セラミックス又
はフッ素系プラスチックのいずれかを単体として用いて
いるから、誘電体に要求される前記諸特性を十分に満た
すことができない。
まず、誘電体としてガラスを用いた場合、ガラスはハロ
ゲンガスと反応し易いから、装置寿命及び保守寿命が短
くなると同時にレーザガス中に不純物を発生させること
からレーザガスの寿命が短くなり、ランニングコストが
高くなる。
ゲンガスと反応し易いから、装置寿命及び保守寿命が短
くなると同時にレーザガス中に不純物を発生させること
からレーザガスの寿命が短くなり、ランニングコストが
高くなる。
次に、誘電体としてフッ素系プラスチック単体を用いた
場合、フッ素系プラスチックはハロゲンガスと反応しに
くいという利点を有するが、熱負荷及びイオン衝撃に対
して弱いから、誘電体としての寿命が極めて短く、結果
として装置の寿命及び保守寿命が短くなる。
場合、フッ素系プラスチックはハロゲンガスと反応しに
くいという利点を有するが、熱負荷及びイオン衝撃に対
して弱いから、誘電体としての寿命が極めて短く、結果
として装置の寿命及び保守寿命が短くなる。
また、誘電体としてセラミックス単体を用いた場合、セ
ラミックスはハロゲンガスと反応しにくいこと、熱負荷
及びイオン衝撃に対して強いこと等の利点を有する。し
かし、セラミックスは開孔電極とコロナ電極の間の沿面
距離を長くする様な形に加工しにくいから、セラミック
スの誘電体は開孔電極及びコロナ電極に比して寸法の非
常に大きな板の形状で使用している。その結果、誘電体
としてセラミックスを用いると、装置の寸法が非常に大
きくなりコストが高くなるという欠点があった。このよ
うに、誘電体として単体を用いると各単体ごとに個有の
問題点があり、誘電体に要求される前述の諸特性を満た
すことはできない。
ラミックスはハロゲンガスと反応しにくいこと、熱負荷
及びイオン衝撃に対して強いこと等の利点を有する。し
かし、セラミックスは開孔電極とコロナ電極の間の沿面
距離を長くする様な形に加工しにくいから、セラミック
スの誘電体は開孔電極及びコロナ電極に比して寸法の非
常に大きな板の形状で使用している。その結果、誘電体
としてセラミックスを用いると、装置の寸法が非常に大
きくなりコストが高くなるという欠点があった。このよ
うに、誘電体として単体を用いると各単体ごとに個有の
問題点があり、誘電体に要求される前述の諸特性を満た
すことはできない。
本考案の目的は、装置寿命及び保守寿命が長く、かつ装
置の寸法及びコスト上有利で、しかもレーザガス寿命が
長くランニングコスト上有利なコロナ予備電離放電励起
エキシマレーザ装置を提供することにある。
置の寸法及びコスト上有利で、しかもレーザガス寿命が
長くランニングコスト上有利なコロナ予備電離放電励起
エキシマレーザ装置を提供することにある。
（問題点を解決するための手段） 前述の問題点を解決するために本考案が提供する手段
は、空間を隔てて対向する第１及び第２の放電電極から
なる放電電極対と、前記放電電極対に光の誘導放出を可
能にする高速な高電圧を印加する励起回路とを少くとも
備え、前記第１及び第２の放電電極は互いにほぼ平行な
広い表面で対向し、前記放電電極対のうちの少くとも第
１の放電電極は開孔電極であり、前記第１の放電電極は
前記広表面を腹面とするとき背面に相当する面が該腹面
にほぼ平行な板状の形をなし、前記第１の放電電極の背
面に誘電体が密着してあり、この誘電体には前記第１の
電極の背面に接する第１の表面に平行な第２の表面があ
り、この第２の表面にコロナ電極が設置してあるコロナ
予備電離放電励起エキシマレーザ装置であって、前記誘
電体がセラミックスとフッ素系プラスチックとを重ねて
なり、前記セラミックスは、板状の形をなしていて片方
の板面が前記第１の電極の背面に密着しており、前記フ
ッ素系プラスチックは片面が平らであって、この平らな
片面は前記セラミックスの他方の板面に密着してあり、
前記コロナ電極は前記フッ素プラスチックの前記片面に
対向しその片面に平行な表面に密着してあり、前記フッ
素系プラスチックの周縁は前記コロナ電極の側面の全周
を囲んでいることを特徴とする。
は、空間を隔てて対向する第１及び第２の放電電極から
なる放電電極対と、前記放電電極対に光の誘導放出を可
能にする高速な高電圧を印加する励起回路とを少くとも
備え、前記第１及び第２の放電電極は互いにほぼ平行な
広い表面で対向し、前記放電電極対のうちの少くとも第
１の放電電極は開孔電極であり、前記第１の放電電極は
前記広表面を腹面とするとき背面に相当する面が該腹面
にほぼ平行な板状の形をなし、前記第１の放電電極の背
面に誘電体が密着してあり、この誘電体には前記第１の
電極の背面に接する第１の表面に平行な第２の表面があ
り、この第２の表面にコロナ電極が設置してあるコロナ
予備電離放電励起エキシマレーザ装置であって、前記誘
電体がセラミックスとフッ素系プラスチックとを重ねて
なり、前記セラミックスは、板状の形をなしていて片方
の板面が前記第１の電極の背面に密着しており、前記フ
ッ素系プラスチックは片面が平らであって、この平らな
片面は前記セラミックスの他方の板面に密着してあり、
前記コロナ電極は前記フッ素プラスチックの前記片面に
対向しその片面に平行な表面に密着してあり、前記フッ
素系プラスチックの周縁は前記コロナ電極の側面の全周
を囲んでいることを特徴とする。
（作用） 本考案の構造では、熱負荷及びイオン衝撃に強いセラミ
ックスを開孔電極の背面に配置するから、装置の寿命及
び保守寿命が長くなる。また、本構造の構造では、フッ
素系プラスチックをセラミックスとコロナ電極の間に配
置し、コロナ電極の側面の全周囲を覆う構造を取ること
によってコロナ電極と開孔電極の間の沿面距離を長くし
てあるから、コンパクトな設計が可能となり装置の寸法
及びコストを低減できる。さらに、セラミックス及びフ
ッ素系プラスッチックは耐ハロゲン性が高いから、本考
案の装置はレーザガス寿命が長くランニングコスト上有
利である。
ックスを開孔電極の背面に配置するから、装置の寿命及
び保守寿命が長くなる。また、本構造の構造では、フッ
素系プラスチックをセラミックスとコロナ電極の間に配
置し、コロナ電極の側面の全周囲を覆う構造を取ること
によってコロナ電極と開孔電極の間の沿面距離を長くし
てあるから、コンパクトな設計が可能となり装置の寸法
及びコストを低減できる。さらに、セラミックス及びフ
ッ素系プラスッチックは耐ハロゲン性が高いから、本考
案の装置はレーザガス寿命が長くランニングコスト上有
利である。
（実施例） 以下に、図面を参照して本考案を一層詳しく説明する。
第１図は、本考案の第１の実施例を示す模式的な横断面
図で、本考案に係る部分だけが示してある。
図で、本考案に係る部分だけが示してある。
本実施例では、開孔電極３の背面にセラミックス４を密
着させるとともに、図の如くコロナ電極６の側面の全周
囲を覆う構造を持つフッ素系プラスチック５をセラミッ
クス４とコロナ電極６の間に配置する構成を取ってい
る。
着させるとともに、図の如くコロナ電極６の側面の全周
囲を覆う構造を持つフッ素系プラスチック５をセラミッ
クス４とコロナ電極６の間に配置する構成を取ってい
る。
第１図の実施例は、イオン衝撃及び熱負荷に対して強い
セラミックス４を開孔電極３の背面に密着させた構造で
あるから、イオン衝撃に強い。また、この実施例は、コ
ロナ電極６の側面の全周囲を覆うフッ素系プラスチック
５をセラミックス４とコロナ電極６の間に配置した構造
であるから、コロナ電極６と開孔電極３の間の沿面距離
が十分に長い。したがって、この実施例は、寿命及び保
守寿命が長く、小形であり、また安価に製造できる。さ
らに、セラミックス４及びフッ素系プラスチック５は耐
ハロゲン性が高いから、レーザガス中に発生する不純物
が少くレーザガス寿命が長い。したがって、第１図実施
例はランニングコストが低い。
セラミックス４を開孔電極３の背面に密着させた構造で
あるから、イオン衝撃に強い。また、この実施例は、コ
ロナ電極６の側面の全周囲を覆うフッ素系プラスチック
５をセラミックス４とコロナ電極６の間に配置した構造
であるから、コロナ電極６と開孔電極３の間の沿面距離
が十分に長い。したがって、この実施例は、寿命及び保
守寿命が長く、小形であり、また安価に製造できる。さ
らに、セラミックス４及びフッ素系プラスチック５は耐
ハロゲン性が高いから、レーザガス中に発生する不純物
が少くレーザガス寿命が長い。したがって、第１図実施
例はランニングコストが低い。
第２図は、本考案の第２の実施例を示す模式的な横断面
で、本考案に係る部分だけが示してある。
で、本考案に係る部分だけが示してある。
本実施例では、開孔電極３の背面にセラミックス４が密
着させてあり、コロナ電極６の側面の全周囲を覆う形で
あり、表面に多数の溝が形成されているフッ素形プラス
チック７がセラミックス４とコロナ電極６の間に配置し
てある。
着させてあり、コロナ電極６の側面の全周囲を覆う形で
あり、表面に多数の溝が形成されているフッ素形プラス
チック７がセラミックス４とコロナ電極６の間に配置し
てある。
このような第２図実施例では、第１図の実施例と同様に
イオン衝撃及び熱負荷に対して強いセラミックス４を開
孔電極３の背面に密着させることによって、装置の寿命
及び保守寿命を長くするとともに、コロナ電極６と開孔
電極３との間の実効的な沿面距離が第１図の実施例より
さらに長くする溝付きのフッ素プラスチック７を備える
ことによって、さらにコンパクトな設計を可能にし、寸
法及びコストをさらに低減している。
イオン衝撃及び熱負荷に対して強いセラミックス４を開
孔電極３の背面に密着させることによって、装置の寿命
及び保守寿命を長くするとともに、コロナ電極６と開孔
電極３との間の実効的な沿面距離が第１図の実施例より
さらに長くする溝付きのフッ素プラスチック７を備える
ことによって、さらにコンパクトな設計を可能にし、寸
法及びコストをさらに低減している。
（考案の効果） 以上に述べた様に、本考案によれば、寿命及び保守寿命
が長く、コンパクトな設計が可能で寸法が小さく安価で
あり、レーザガス中に発生する不純物が少くレーザガス
の寿命が長くてランニングコストの低いコロナ予備電離
放電励起エキシマレーザ装置が得られる。
が長く、コンパクトな設計が可能で寸法が小さく安価で
あり、レーザガス中に発生する不純物が少くレーザガス
の寿命が長くてランニングコストの低いコロナ予備電離
放電励起エキシマレーザ装置が得られる。
第１図及び第２図は、それぞれ本考案の第１及び第２の
実施例に係る模式的な横断面図である。 １……励起回路、２……放電電極、３……開孔電極、４
……セラミックス、５……フッ素系プラスチック、６…
…コロナ電極、７……フッ素系プラスチック。
実施例に係る模式的な横断面図である。 １……励起回路、２……放電電極、３……開孔電極、４
……セラミックス、５……フッ素系プラスチック、６…
…コロナ電極、７……フッ素系プラスチック。
Claims (1)
- 【請求項１】空間を隔てて対向する第１及び第２の放電
電極からなる放電電極対と、前記放電電極対に光の誘導
放出を可能にする高速な高電圧を印加する励起回路とを
少くとも備え、前記第１及び第２の放電電極は互いにほ
ぼ平行な広い表面で対向し、前記放電電極対のうちの少
くとも第１の放電電極は開孔電極であり、前記第１の放
電電極は前記広表面を腹面とするとき背面に相当する面
が該腹面にほぼ平行な板状の形をなし、前記第１の放電
電極の背面に誘電体が密着してあり、この誘電体には前
記第１の電極の背面に接する第１の表面に平行な第２の
表面があり、この第２の表面にコロナ電極が設置してあ
るコロナ予備電離放電励起エキシマレーザ装置におい
て、前記誘電体がセラミックスとフッ素系プラスチック
とを重ねてなり、前記セラミックスは、板状の形をなし
ていて片方の板面が前記第１の電極の背面に密着してお
り、前記フッ素系プラスチックは片面が平らであって、
この平らな片面は前記セラミックスの他方の板面に密着
してあり、前記コロナ電極は前記フッ素プラスチックの
前記片面に対向しその片面に平行な表面に密着してあ
り、前記フッ素系プラスチックの周縁は前記コロナ電極
の側面の全周を囲んでいることを特徴とするコロナ予備
電離放電励起エキシマレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17783587U JPH079404Y2 (ja) | 1987-11-20 | 1987-11-20 | コロナ予備電離放電励起エキシマレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17783587U JPH079404Y2 (ja) | 1987-11-20 | 1987-11-20 | コロナ予備電離放電励起エキシマレーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0180966U JPH0180966U (ja) | 1989-05-30 |
| JPH079404Y2 true JPH079404Y2 (ja) | 1995-03-06 |
Family
ID=31469486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17783587U Expired - Lifetime JPH079404Y2 (ja) | 1987-11-20 | 1987-11-20 | コロナ予備電離放電励起エキシマレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH079404Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-11-20 JP JP17783587U patent/JPH079404Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0180966U (ja) | 1989-05-30 |
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