JPS60260171A - ガスレ−ザ発振器 - Google Patents
ガスレ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS60260171A JPS60260171A JP11458484A JP11458484A JPS60260171A JP S60260171 A JPS60260171 A JP S60260171A JP 11458484 A JP11458484 A JP 11458484A JP 11458484 A JP11458484 A JP 11458484A JP S60260171 A JPS60260171 A JP S60260171A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive resistor
- dielectric
- electrode
- glow discharge
- cathode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はガスレーザ発振器の電極構造に係り、特に、交
流動体放電々極を備えた、直流主放電々極の構成の簡略
化に好適な電極構造に関する。
流動体放電々極を備えた、直流主放電々極の構成の簡略
化に好適な電極構造に関する。
従来、この種のレーザ装置の電極は、直流のグロー放電
を維持する一対の主電極の近傍に、誘電体から成る第三
電極を配置した構成のものが知られている（特公昭５ｇ
−１０８７２、特公昭５８−４０３５５） 。
を維持する一対の主電極の近傍に、誘電体から成る第三
電極を配置した構成のものが知られている（特公昭５ｇ
−１０８７２、特公昭５８−４０３５５） 。
これらに開示された、主電極の一方は、多数の針状電極
で構成され、電極構造の簡略化を妨げている。
で構成され、電極構造の簡略化を妨げている。
本発明の第一の目的は、簡略化された構造の電極を提供
するにある。
するにある。
本発明の第二の目的は、電極部分での圧力損失、流路抵
抗の少ない構造の電極を提供するにある。
抗の少ない構造の電極を提供するにある。
本発明の要点は、電気的良導体上に導電性抵抗体と誘電
体を分散配置したものを電極として使用し、導電性抵抗
体を主放電々極とし、誘電体が交流用補助放電々極とし
て、それぞれ作用するように構成したことにある。
体を分散配置したものを電極として使用し、導電性抵抗
体を主放電々極とし、誘電体が交流用補助放電々極とし
て、それぞれ作用するように構成したことにある。
以下、本発明の一実施例を第１図ないし第３図により説
明する。
明する。
第１図は本発明の一実施例の横断面図、第２図は第１図
の■−■矢視断面図、第３図は陰極拡大断面図である。
の■−■矢視断面図、第３図は陰極拡大断面図である。
図において、１は陽極、２は陰極、３は直流電源、４は
交流電源である。陰極２は第３図に示すように銅管５の
表面に、例えば、Ｔｉｅ、を水素プラズマ溶射して得ら
れる導電性抵抗体６、と誘電体７（ガラス、セラミック
等）が長手方向に交互に固着されている。従って、陰極
２は第４図に示すような電気回路と等価な特性をもつ。
交流電源である。陰極２は第３図に示すように銅管５の
表面に、例えば、Ｔｉｅ、を水素プラズマ溶射して得ら
れる導電性抵抗体６、と誘電体７（ガラス、セラミック
等）が長手方向に交互に固着されている。従って、陰極
２は第４図に示すような電気回路と等価な特性をもつ。
８は出力鏡、９は全反射鏡で、１０はレーザ媒体の流れ
の方向を示す。
の方向を示す。
１１は陰極２を冷却するための冷媒を示す。
レーザ光の発振にあたっては、直流高電圧電源３、交流
高電圧電源４を動作させて、陽極１、陰極２間に印加す
る。そうすると導電性抵抗体６と陽極１間では直流、グ
ロー放電１２が、誘電体７と陽極１間では交流、グロー
放電１３が形成される。もちろん、交流高電圧に対し、
導電性抵抗体６のインピーダンスよりも、誘電体７のイ
ンピーダンスが低くなるように、交流高電圧の周波数、
誘電体７及び導電性抵抗体の材質と膜厚を予め選んでお
く必要がある。交流のグロー放電１３により導電性抵抗
体６の近傍のレーザ媒体のイオン化が促進されるため、
導電性抵抗体６の表面上のグローの集中が防止でき、レ
ーザ媒体の圧力が高くなっても、安定した直流グロー放
電を実現できる。
高電圧電源４を動作させて、陽極１、陰極２間に印加す
る。そうすると導電性抵抗体６と陽極１間では直流、グ
ロー放電１２が、誘電体７と陽極１間では交流、グロー
放電１３が形成される。もちろん、交流高電圧に対し、
導電性抵抗体６のインピーダンスよりも、誘電体７のイ
ンピーダンスが低くなるように、交流高電圧の周波数、
誘電体７及び導電性抵抗体の材質と膜厚を予め選んでお
く必要がある。交流のグロー放電１３により導電性抵抗
体６の近傍のレーザ媒体のイオン化が促進されるため、
導電性抵抗体６の表面上のグローの集中が防止でき、レ
ーザ媒体の圧力が高くなっても、安定した直流グロー放
電を実現できる。
また、陰極２は筒状を呈し、表面には凹凸がないので、
陰極の存在がレーザ媒体の流れを妨げにくいので、この
部分での流路抵抗を小さい値に抑えることができる。
陰極の存在がレーザ媒体の流れを妨げにくいので、この
部分での流路抵抗を小さい値に抑えることができる。
第５図は本発明の他の実施例の印加電圧波形とレーザ出
力の関係を示したもので、陰極２に、常時、直流電圧を
印加しておき、交流電圧を短時間、重畳して、イオン化
を促進するようにしたもので。
力の関係を示したもので、陰極２に、常時、直流電圧を
印加しておき、交流電圧を短時間、重畳して、イオン化
を促進するようにしたもので。
この時には、パルス状のレーザ出力が得られる。
第６図は本発明の他の実施例を示し、導電性抵抗体６と
誘電体７をレーザ光軸１４と同一方向に分散配置したも
ので、第７図は第６図の■−■矢視断面図を示す。
誘電体７をレーザ光軸１４と同一方向に分散配置したも
ので、第７図は第６図の■−■矢視断面図を示す。
なお、以上の説明では陰極２のみ導電性抵抗体６と誘電
体を分散配置した例について述べたが。
体を分散配置した例について述べたが。
陽極についても同様の構成を採用することができる。ま
た、ｃｏ２ レーザ以外の他のガスレーザにも応用でき
る。
た、ｃｏ２ レーザ以外の他のガスレーザにも応用でき
る。
なお、導電性抵抗体６には、第■族金属元素である、Ｔ
ｉ、Ｈｆ、Ｚｒ系の導電性酸化膜が適している。
ｉ、Ｈｆ、Ｚｒ系の導電性酸化膜が適している。
本発明によれば、主放電々電極と補助放電々極が一体構
成できるので、電極の簡略化に効果がある。又、電極部
分は凹凸が無く、ガス流の流れを妨げにくいので、この
部分での流路抵抗を少なくできる。
成できるので、電極の簡略化に効果がある。又、電極部
分は凹凸が無く、ガス流の流れを妨げにくいので、この
部分での流路抵抗を少なくできる。
第１図は本発明の一実施例の三軸直交形レーザの横断面
図、第２図は第１図のｎ−ｎ矢視断面図。 第３図は陰極の拡大断面図、第４図は陰極の等価回路図
、第５図は本発明の他の実施例の印加電圧とレーザ出力
の波形図、第６図は本発明の他の実施例の電極の側面図
、第７図は第６図の■−■矢視断面図である。 第 １図 を 塙３図 ＄４ 囚 ／ 茅５ 固
図、第２図は第１図のｎ−ｎ矢視断面図。 第３図は陰極の拡大断面図、第４図は陰極の等価回路図
、第５図は本発明の他の実施例の印加電圧とレーザ出力
の波形図、第６図は本発明の他の実施例の電極の側面図
、第７図は第６図の■−■矢視断面図である。 第 １図 を 塙３図 ＄４ 囚 ／ 茅５ 固
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、レーザガスの気流をはさみ、対向配置された一対の
電極の少くとも一方の電極は、電気的良導体上に導電性
抵抗体と誘導体を分散配置して成り、前記一対の電極間
に直流高電圧と交流電圧を重畳した電圧が印加されるよ
うに構成した事を特徴とｒるガスレーザ発振器。 ２、特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ発振器にお
いて、前記一対の電極間に直流高電圧が印加されている
状態で、交流電圧を重畳して、パルス状グロー放電を実
現する様に構成したことを特徴とするガスレーザ発振器
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11458484A JPS60260171A (ja) | 1984-06-06 | 1984-06-06 | ガスレ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11458484A JPS60260171A (ja) | 1984-06-06 | 1984-06-06 | ガスレ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60260171A true JPS60260171A (ja) | 1985-12-23 |
Family
ID=14641504
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11458484A Pending JPS60260171A (ja) | 1984-06-06 | 1984-06-06 | ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60260171A (ja) |
-
1984
- 1984-06-06 JP JP11458484A patent/JPS60260171A/ja active Pending
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