JPH0716045B2 - コロナ予備電離器 - Google Patents
コロナ予備電離器Info
- Publication number
- JPH0716045B2 JPH0716045B2 JP31207688A JP31207688A JPH0716045B2 JP H0716045 B2 JPH0716045 B2 JP H0716045B2 JP 31207688 A JP31207688 A JP 31207688A JP 31207688 A JP31207688 A JP 31207688A JP H0716045 B2 JPH0716045 B2 JP H0716045B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- corona
- laser
- preionizer
- gas
- dielectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、放電電極対間（以下放電空間）のレーザガス
を電離させるためにコロナ予備電離器を用いた高効率、
長寿命なパルスガスレーザに関するものである。
を電離させるためにコロナ予備電離器を用いた高効率、
長寿命なパルスガスレーザに関するものである。
（従来の技術） レーザガスの電離にコロナ予備電離器を用いた従来のパ
ルスガスレーザの一例を第５図に示す。このパルスガス
レーザについては、文献「昭和62年レーザ学会学術講演
会第７次大会講演予稿集」1987年、30pIV8に詳細に記載
されている。この従来のパルスガスレーザでは、励起回
路に容量移行型励起回路を用い、レーザガスの電離にコ
ロナ予備電離器を用いている。このパルスガスレーザで
用いているコロナ予備電離器は、放電面から背面に向か
って開かれた多数の貫通穴を持つ穴開き電極12と、この
穴開き電極12の背面に設置され、穴開き電極12と対向す
る面にコロナ電極11を持つコロナ誘電体10とから構成さ
れている。
ルスガスレーザの一例を第５図に示す。このパルスガス
レーザについては、文献「昭和62年レーザ学会学術講演
会第７次大会講演予稿集」1987年、30pIV8に詳細に記載
されている。この従来のパルスガスレーザでは、励起回
路に容量移行型励起回路を用い、レーザガスの電離にコ
ロナ予備電離器を用いている。このパルスガスレーザで
用いているコロナ予備電離器は、放電面から背面に向か
って開かれた多数の貫通穴を持つ穴開き電極12と、この
穴開き電極12の背面に設置され、穴開き電極12と対向す
る面にコロナ電極11を持つコロナ誘電体10とから構成さ
れている。
このパルスガスレーザにおいて、レーザ発振を行わせる
ためには、スパークギャップ14を導通させ充電用コンデ
ンサ15の充電エネルギーをピーキングコンデンサ16に移
行させる。この時、コロナ電極11と穴開き電極12との間
にピーキングコンデンサ16間の端子間電圧が印加され
る。このため、コロナ誘電体10の穴開き電極12側の面に
コロナ放電が生じ紫外線が発生する。この紫外線が穴開
き電極12に開けられた多数の穴を通してレーザ励起を行
う放電空間13に照射され、レーザガスが電離する。この
結果、放電空間13に安定なレーザ励起を行うグロー放電
が起き、効率よくレーザ出力を得ることができる。
ためには、スパークギャップ14を導通させ充電用コンデ
ンサ15の充電エネルギーをピーキングコンデンサ16に移
行させる。この時、コロナ電極11と穴開き電極12との間
にピーキングコンデンサ16間の端子間電圧が印加され
る。このため、コロナ誘電体10の穴開き電極12側の面に
コロナ放電が生じ紫外線が発生する。この紫外線が穴開
き電極12に開けられた多数の穴を通してレーザ励起を行
う放電空間13に照射され、レーザガスが電離する。この
結果、放電空間13に安定なレーザ励起を行うグロー放電
が起き、効率よくレーザ出力を得ることができる。
（発明が解決しようとする課題） ところで、コロナ予備電離器を用いた従来のパルスガス
レーザにおいては、コロナ予備電離器をレーザガス中に
設置しているためコロナ誘電体であるアルミナがレーザ
ガスに含まれるハロゲンガスと化学反応を生じ、不純物
の発生及びハロゲンガスの減少を起こす。このため、レ
ーザガス寿命が劣化し、短時間でレーザ出力が減少する
欠点があった。
レーザにおいては、コロナ予備電離器をレーザガス中に
設置しているためコロナ誘電体であるアルミナがレーザ
ガスに含まれるハロゲンガスと化学反応を生じ、不純物
の発生及びハロゲンガスの減少を起こす。このため、レ
ーザガス寿命が劣化し、短時間でレーザ出力が減少する
欠点があった。
本発明の目的は、レーザガスの寿命の劣化が少ないコロ
ナ予備電離器を提供することである。
ナ予備電離器を提供することである。
（課題を解決するための手段） 本発明によるコロナ予備電離器は、穴開き電極の裏面か
らコロナ予備電離を行うコロナ電極とそれを囲むコロナ
誘電体とからなるコロナ予備電離器において、コロナ誘
電体としてフッ化マグネシウムまたはフッ化カルシウ
ム、あるいはフッ化マグネシウムまたはフッ化カルシウ
ムを被覆した誘電体を用いることを特徴としている。
らコロナ予備電離を行うコロナ電極とそれを囲むコロナ
誘電体とからなるコロナ予備電離器において、コロナ誘
電体としてフッ化マグネシウムまたはフッ化カルシウ
ム、あるいはフッ化マグネシウムまたはフッ化カルシウ
ムを被覆した誘電体を用いることを特徴としている。
（作用） 本発明によるコロナ予備電離器に用いられるコロナ誘電
体として、フッ化マグネシウムやフッ化カルシウム、ま
たはフッ化マグネシウムやフッ化カルシウムを被覆した
誘電体を使用している。
体として、フッ化マグネシウムやフッ化カルシウム、ま
たはフッ化マグネシウムやフッ化カルシウムを被覆した
誘電体を使用している。
フッ化マグネシウムやフッ化カルシウムは、ハロゲンガ
スと化学反応を起こしにくい耐ハロゲン性の高い物質で
ある。このため、レーザガスに含まれるハロゲンガスと
の化学反応による不純物の発生やハロゲンガスの減少に
よるレーザガスの劣化が防げ、レーザガスの長寿命化が
図れる。
スと化学反応を起こしにくい耐ハロゲン性の高い物質で
ある。このため、レーザガスに含まれるハロゲンガスと
の化学反応による不純物の発生やハロゲンガスの減少に
よるレーザガスの劣化が防げ、レーザガスの長寿命化が
図れる。
（実施例） 次に、図面を用いて本発明の実施例を説明する。第１
図、第２図、第３図及び第４図は、本発明の一実施例の
断面図を各々示している。
図、第２図、第３図及び第４図は、本発明の一実施例の
断面図を各々示している。
第１図及び第２図に断面図を示した各々のコロナ予備電
離器のコロナ誘電体は、第５図に示した従来のコロナ誘
電体と異なり、フッ化マグネシウム１やフッ化カルシウ
ム４をコロナ誘電体として用いている。
離器のコロナ誘電体は、第５図に示した従来のコロナ誘
電体と異なり、フッ化マグネシウム１やフッ化カルシウ
ム４をコロナ誘電体として用いている。
さらに、第３図及び第４図に断面図を示した第３の発明
及び第４の発明を用いた各々のコロナ予備電離器のコロ
ナ誘電体は、第５図に示した従来のコロナ誘電体と異な
り、フッ化マグネシウム５やフッ化カルシウム８を被覆
した誘電体９用いている。このような被覆は蒸着により
容易に形成できる。
及び第４の発明を用いた各々のコロナ予備電離器のコロ
ナ誘電体は、第５図に示した従来のコロナ誘電体と異な
り、フッ化マグネシウム５やフッ化カルシウム８を被覆
した誘電体９用いている。このような被覆は蒸着により
容易に形成できる。
上記したように、フッ化マグネシウム１、５やフッ化カ
ルシウム４、８はハロゲンガスと化学反応を起こしにく
い耐ハロゲン性の高い物質であるため、不純物の発生や
ハロゲンナガスの減少が抑えられ、レーザガスが長寿命
になる。
ルシウム４、８はハロゲンガスと化学反応を起こしにく
い耐ハロゲン性の高い物質であるため、不純物の発生や
ハロゲンナガスの減少が抑えられ、レーザガスが長寿命
になる。
（発明の効果） 以上述べたように、本発明によるコロナ予備電離器では
レーザガスの劣化が少なくレーザガスが従来のものに比
べ数倍長寿命になる。
レーザガスの劣化が少なくレーザガスが従来のものに比
べ数倍長寿命になる。
第１図、第２図、第３図及び第４図は各々本発明の一実
施例であるコロナ誘電体の断面図、第５図は従来のコロ
ナ予備電離器を用いたパルスガスレーザの構成図を示し
ている。 1,5……フッ化マグネシウム、2,6,11……コロナ電極、
2,7,12……穴開き電極、4,8……フッ化カルシウム、9,1
0……誘電体、13……放電空間、14……スパークギャッ
プ、15……充電用コンデンサ、16……ピーキングコンデ
ンサ。
施例であるコロナ誘電体の断面図、第５図は従来のコロ
ナ予備電離器を用いたパルスガスレーザの構成図を示し
ている。 1,5……フッ化マグネシウム、2,6,11……コロナ電極、
2,7,12……穴開き電極、4,8……フッ化カルシウム、9,1
0……誘電体、13……放電空間、14……スパークギャッ
プ、15……充電用コンデンサ、16……ピーキングコンデ
ンサ。
Claims (2)
- 【請求項１】穴開き電極の裏面からコロナ予備電離を行
う、コロナ電極とそれを囲むコロナ誘電体とからなるコ
ロナ予備電離器において、前記コロナ誘電体としてフッ
化マグネシウムまたはフッ化カルシウムを用いたことを
特徴とするコロナ予備電離器。 - 【請求項２】穴開き電極の裏面からコロナ予備電離を行
うコロナ電極とそれを囲むコロナ誘電体とからなるコロ
ナ予備電離器において、前記コロナ誘電体としてフッ化
マグネシウムまたはフッ化カルシウムを被覆した誘電体
を用いることを特徴とするコロナ予備電離器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31207688A JPH0716045B2 (ja) | 1988-12-12 | 1988-12-12 | コロナ予備電離器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31207688A JPH0716045B2 (ja) | 1988-12-12 | 1988-12-12 | コロナ予備電離器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02158180A JPH02158180A (ja) | 1990-06-18 |
| JPH0716045B2 true JPH0716045B2 (ja) | 1995-02-22 |
Family
ID=18024946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31207688A Expired - Lifetime JPH0716045B2 (ja) | 1988-12-12 | 1988-12-12 | コロナ予備電離器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0716045B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7006546B2 (en) * | 2000-03-15 | 2006-02-28 | Komatsu Ltd. | Gas laser electrode, laser chamber employing the electrode, and gas laser device |
| WO2001097343A1 (en) * | 2000-06-09 | 2001-12-20 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser with blade-dielectric electrode |
| US6466602B1 (en) * | 2000-06-09 | 2002-10-15 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser long life electrodes |
-
1988
- 1988-12-12 JP JP31207688A patent/JPH0716045B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02158180A (ja) | 1990-06-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |