JPS60147186A - 軸流型無声放電励起ガスレ−ザ装置 - Google Patents
軸流型無声放電励起ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS60147186A JPS60147186A JP184384A JP184384A JPS60147186A JP S60147186 A JPS60147186 A JP S60147186A JP 184384 A JP184384 A JP 184384A JP 184384 A JP184384 A JP 184384A JP S60147186 A JPS60147186 A JP S60147186A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- permittivity
- discharge
- electrodes
- discharge tube
- silent discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、軸流−型無声放電励起ガスレーザの放電管
の改良に関するものである。
の改良に関するものである。
従来、この種の技術としては第１図および第２図に示す
ものがあった。第１図は横断面図、第２図は第１図の縦
断面図を示す。図において、（１）は誘電体で構成され
た放電管、（２）はレーザ媒質ガスで、図よυみて放電
管（１）の右側より流入し左側へ゛流出している。（３
Ａ） 、（３Ｂ）は放電管（１）の外側に設けた電極、
（４）は交流電源で電極（３Ａ）、 （３Ｂ）に接続し
ている。（５）は交流電源（４）よシミ極（３Ａ）。
ものがあった。第１図は横断面図、第２図は第１図の縦
断面図を示す。図において、（１）は誘電体で構成され
た放電管、（２）はレーザ媒質ガスで、図よυみて放電
管（１）の右側より流入し左側へ゛流出している。（３
Ａ） 、（３Ｂ）は放電管（１）の外側に設けた電極、
（４）は交流電源で電極（３Ａ）、 （３Ｂ）に接続し
ている。（５）は交流電源（４）よシミ極（３Ａ）。
（３Ｂ）へ電圧を印加することによって発生する無声放
電、（６）は全反射鏡、（７）は部分透過鏡で、レーザ
媒質ガス（２）と無声放電（５）との作用によって全反
射鏡（６）とこの部分透過鏡（７）との間でレーザ発振
をして、レーザ光（８）が部分透過鏡（７）側よシ出力
されるようになっている。
電、（６）は全反射鏡、（７）は部分透過鏡で、レーザ
媒質ガス（２）と無声放電（５）との作用によって全反
射鏡（６）とこの部分透過鏡（７）との間でレーザ発振
をして、レーザ光（８）が部分透過鏡（７）側よシ出力
されるようになっている。
次に動作について説明する。第１図および第２図におい
て、交流電源（４）によって電極（３Ａ）、（３Ｂ）に
電圧が印加されると、放電管向で電極（３Ａ）。
て、交流電源（４）によって電極（３Ａ）、（３Ｂ）に
電圧が印加されると、放電管向で電極（３Ａ）。
（５Ｂ）間に無声放電（５）が発生し、この無声放電（
５）、レーザ媒質ガス（２）、全反射鏡（６）および部
分透過鏡（７）の作用によってレーザ光（８）が発生す
る。この場合、第２図で無声放電（５）の強度を濃淡差
をつけて示したよ０、うに、電極（５Ａ） 、（３Ｂ）
間の距離が短い端部（９）は無声放電（５）の強度が大
で、中心へ近づく程、電極（５ｈ＞、（５Ｂ）間の距離
が長くなるので無声放電（５）の強度が小さく、放電電
流が均一に流れない。
５）、レーザ媒質ガス（２）、全反射鏡（６）および部
分透過鏡（７）の作用によってレーザ光（８）が発生す
る。この場合、第２図で無声放電（５）の強度を濃淡差
をつけて示したよ０、うに、電極（５Ａ） 、（３Ｂ）
間の距離が短い端部（９）は無声放電（５）の強度が大
で、中心へ近づく程、電極（５ｈ＞、（５Ｂ）間の距離
が長くなるので無声放電（５）の強度が小さく、放電電
流が均一に流れない。
従来の軸流型無声放電励起ガスレーザ装置は以上のよう
に構成されているので、無声放電の強度が均一でないの
で放電管の電極の端部に電界が集中するため、放電管を
絶縁破壊したシ、レーザ発振が均一に起らガいためにレ
ーザ光の質が悪く、また、特に第２図のαＱで示した無
放電部分があるので、レーザ発振め強度が弱くなシ、レ
ーザ発振の良質なモードと゛されるシングルモードを得
ることが難かしいなどの欠点があった。
に構成されているので、無声放電の強度が均一でないの
で放電管の電極の端部に電界が集中するため、放電管を
絶縁破壊したシ、レーザ発振が均一に起らガいためにレ
ーザ光の質が悪く、また、特に第２図のαＱで示した無
放電部分があるので、レーザ発振め強度が弱くなシ、レ
ーザ発振の良質なモードと゛されるシングルモードを得
ることが難かしいなどの欠点があった。
この発明は、上記のような従来のものの欠点を 、≠
除去するためになされたもので、放電管のガス流方向に
見た断面を６分割以上にし、高誘電率誘電体と低誘電率
誘電体とを交互に隣シ合せに配置した構成にして、高誘
電率誘電体の外側に電極を設け、この電極間に交流電圧
を印加することによって均一な放電空間を得ることにょ
シ、良質なレーザ光が得られる軸流型無声放電励起ガス
レーザ装置を提供するものである。
見た断面を６分割以上にし、高誘電率誘電体と低誘電率
誘電体とを交互に隣シ合せに配置した構成にして、高誘
電率誘電体の外側に電極を設け、この電極間に交流電圧
を印加することによって均一な放電空間を得ることにょ
シ、良質なレーザ光が得られる軸流型無声放電励起ガス
レーザ装置を提供するものである。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第５
図は放電ｐ （１）のガス流方向に見た断面を６分割し
た例を示す。図において、（１１Ａ） 、 （１１Ｂ）
および（１１Ｃ）は高誘電率誘電体で、外壁にそれぞれ
電極（１，２Ａ）、（１２Ｂ）および（１２Ｃ）を設け
−ｃ−イル。
図は放電ｐ （１）のガス流方向に見た断面を６分割し
た例を示す。図において、（１１Ａ） 、 （１１Ｂ）
および（１１Ｃ）は高誘電率誘電体で、外壁にそれぞれ
電極（１，２Ａ）、（１２Ｂ）および（１２Ｃ）を設け
−ｃ−イル。
（１３Ａ）、（１３Ｂ）および（，１３Ｃ）は低誘電率
誘電体で、高誘電率誘電体（１１Ａ）、（１１Ｂ）、（
１１Ｃ）と交互に隣接し、境界αηは低融点ガラス等で
接着することにより、真空に耐える気密性を保持してい
る。また、高誘電率誘電体（１１Ａ） 、（１１Ｂ）
、（１１Ｃ） （７）材料としては、酸化チタン、チタ
ン酸バリウムまたはそれらとガラスとの混合物が使用さ
れ、低誘電率誘電体（１３Ａ）、（１３Ｂ）、（１３Ｃ
）（７）材料としては、ガラスが一般的であるがセラミ
ック等も使用される。α優は５相交流電源で、図示のよ
うに電極（１２Ａ）。
誘電体で、高誘電率誘電体（１１Ａ）、（１１Ｂ）、（
１１Ｃ）と交互に隣接し、境界αηは低融点ガラス等で
接着することにより、真空に耐える気密性を保持してい
る。また、高誘電率誘電体（１１Ａ） 、（１１Ｂ）
、（１１Ｃ） （７）材料としては、酸化チタン、チタ
ン酸バリウムまたはそれらとガラスとの混合物が使用さ
れ、低誘電率誘電体（１３Ａ）、（１３Ｂ）、（１３Ｃ
）（７）材料としては、ガラスが一般的であるがセラミ
ック等も使用される。α優は５相交流電源で、図示のよ
うに電極（１２Ａ）。
（１２Ｂ）、電極（４２ａ） 、（１２ｃ） オよび電
極（１２Ａ） 。
極（１２Ａ） 。
（１２Ｃ）間に各相の電圧を印加するよう釦なっている
。
。
次に動作について説明する。第３図において、３相交流
電源α４の各相よシミ圧が印加されると、電極（１２Ａ
）、（１２Ｂ）、電極（１２Ｂ） 、（１２ｃ） オヨ
び電極（１２Ａ）、（１２Ｃ）間に無声放電（５）が行
なわれ、この無声放電（５）と第１図で説明したレーザ
媒質ガス（２）、全反射鏡（６）および部分透過鏡（７
）との作用によってレーザ光（８）が発射される。この
場合、位相差１２０°の交流電圧が交互に対向する電極
に印加されるので、従来の装置よシも単位時間当シの放
電回数が５倍となシ、また、第２図で説明した放電管（
１）内での無放電部分ｏ１がほとんどなくなるため、無
声放電（５）の分布が均一化される。この結果、発振強
度が高く、良質なレーザ光（８）が得られる。
電源α４の各相よシミ圧が印加されると、電極（１２Ａ
）、（１２Ｂ）、電極（１２Ｂ） 、（１２ｃ） オヨ
び電極（１２Ａ）、（１２Ｃ）間に無声放電（５）が行
なわれ、この無声放電（５）と第１図で説明したレーザ
媒質ガス（２）、全反射鏡（６）および部分透過鏡（７
）との作用によってレーザ光（８）が発射される。この
場合、位相差１２０°の交流電圧が交互に対向する電極
に印加されるので、従来の装置よシも単位時間当シの放
電回数が５倍となシ、また、第２図で説明した放電管（
１）内での無放電部分ｏ１がほとんどなくなるため、無
声放電（５）の分布が均一化される。この結果、発振強
度が高く、良質なレーザ光（８）が得られる。
また、上記実施例では放電管を６分割した場合を示した
が、第４図に示すように放電管を８分割して、実施例と
同様に４個の高誘電率電体ａυの外壁に電極ａａを設け
、４個の低誘電率銹電体０と交互に隣接した構成とし、
位相差９０°の２相交流電源αＱとαｅとによって対向
する２組の電極へ電圧を印加する場合、さらには、電極
数を多くして５組以上の多相交流電圧を印加した場合で
も上記実施例と同様の効果を奏する。
が、第４図に示すように放電管を８分割して、実施例と
同様に４個の高誘電率電体ａυの外壁に電極ａａを設け
、４個の低誘電率銹電体０と交互に隣接した構成とし、
位相差９０°の２相交流電源αＱとαｅとによって対向
する２組の電極へ電圧を印加する場合、さらには、電極
数を多くして５組以上の多相交流電圧を印加した場合で
も上記実施例と同様の効果を奏する。
第５図および第６図は高誘電率誘電体ａυ、低誘電率誘
電体ａ騰および電極（１２を平面状の部材を使用し、前
記実施例と同様に境界ａηで接着した放電管を８分割お
よび６分割した例を示す。この構成によれば、平面状の
部材を使用するので円弧状のものよシ容易に得られるの
で低価格となるのが特徴で、また境界αηを図示のよう
に盛シあげると、隣り合う電極ａａ間、すなわち低誘電
率誘電体０階の表面での絶縁破壊を防止できる効果を奏
する。
電体ａ騰および電極（１２を平面状の部材を使用し、前
記実施例と同様に境界ａηで接着した放電管を８分割お
よび６分割した例を示す。この構成によれば、平面状の
部材を使用するので円弧状のものよシ容易に得られるの
で低価格となるのが特徴で、また境界αηを図示のよう
に盛シあげると、隣り合う電極ａａ間、すなわち低誘電
率誘電体０階の表面での絶縁破壊を防止できる効果を奏
する。
第７図はべＩＪ １７ア等の熱電導の良い誘電体の板α
枠を境界にはさみ、放電管の内側または外側に突出させ
ることによって、放電管（１）の誘電体（１１）、Ｑｌ
やレーザ媒質ガス（２）の熱を外部へ効果的に放出する
こと瀘できる例を示す。
枠を境界にはさみ、放電管の内側または外側に突出させ
ることによって、放電管（１）の誘電体（１１）、Ｑｌ
やレーザ媒質ガス（２）の熱を外部へ効果的に放出する
こと瀘できる例を示す。
以上のように、との゛発明によれば放電管を複数組の高
誘電率と低誘電率の誘電体を隣接させて形成し、交流電
圧を電極へ印加して放電させることによって、均質で強
力なレーザ光が得られる効果がある。
誘電率と低誘電率の誘電体を隣接させて形成し、交流電
圧を電極へ印加して放電させることによって、均質で強
力なレーザ光が得られる効果がある。
第１図は従来の軸流減無声放電励起ガスレーザ装置を示
す横断面図、第２図は第１図の縦断面図、第６図はこの
発明の一実施例を示す縦断面図、第４図〜第７図は他の
実施例を示す縦断面図である。 図において、（１）は放電管、（２）はレーザ媒質ガス
、（３Ａ） 、 （３Ｂ） 、 （１２Ａ）、 （１２
Ｂ）、 （１２Ｇ）およびａａは電極、（４）は交流電
源、（５）は無声放電、（６）は全反射鏡、（７）は部
分透過鏡、（８）はレーザ光、（ｌ汎（１１Ａ）。 （１１Ｂ）および（１１Ｃ）は高誘電率誘電体、α騰、
（１３Ａ）。 （１３Ｂ）および（１５Ｃ）は低銹電率誘電体、ａａは
３相 １交流電源、Ｑ騰、Ｈは２相交流電源、（１？）
は低融点ガラス、θのは熱伝導の良い誘電体の板である
。 なお、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第 １１ ［５図 焦６図 第 ７ 凶
す横断面図、第２図は第１図の縦断面図、第６図はこの
発明の一実施例を示す縦断面図、第４図〜第７図は他の
実施例を示す縦断面図である。 図において、（１）は放電管、（２）はレーザ媒質ガス
、（３Ａ） 、 （３Ｂ） 、 （１２Ａ）、 （１２
Ｂ）、 （１２Ｇ）およびａａは電極、（４）は交流電
源、（５）は無声放電、（６）は全反射鏡、（７）は部
分透過鏡、（８）はレーザ光、（ｌ汎（１１Ａ）。 （１１Ｂ）および（１１Ｃ）は高誘電率誘電体、α騰、
（１３Ａ）。 （１３Ｂ）および（１５Ｃ）は低銹電率誘電体、ａａは
３相 １交流電源、Ｑ騰、Ｈは２相交流電源、（１？）
は低融点ガラス、θのは熱伝導の良い誘電体の板である
。 なお、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第 １１ ［５図 焦６図 第 ７ 凶
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）誘電体で形成された放電管、この放電管の外側に
設けた電極、この電極と接続された交流電源と゛を備え
てレーザ光を発生する装置において、ガス流方向へ見た
放電管の断面部材を、交互に隣接した高誘電率誘電体と
低誘電率誘電体とで６個以上に分割して形成し、前記高
誘電率誘電体の外側に設けた電極に交゛流電圧を印加す
ることを特徴とする軸流型無声放電励起ガスレーザ装置
。 ・ （２）放電管を６分割し、対向する６個の高誘電率
誘電体の外側に設けた電極に６相交流電圧を印加するこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の軸流型無声
放電励起ガスレーザ装置。 （３）放電管を８分割し、対向する２組の高誘電率誘電
体の外側に設けた電極に２相交流電圧を印加することを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の軸流型無声放電
励起ガスレーザ装置。 （４）高誘電率誘電体と低誘電率誘電体とを平面状（５
）高誘電率誘電体を酸化チタン、低誘電率誘電体をガラ
スで形成し、境界を低融点ガラスによシ接着したことを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の軸流型無声放電
励起ガスレーザ装置。 （６）境界の低融点ガラスを外側に盛シあげたこと（７
）高誘電率誘電体と低誘電率誘電体との境界に熱伝導の
良い誘電体で形成された板をはさみ、放電管の内側また
は外側に突出させたことを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の軸流型無声放電励起ガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP184384A JPS60147186A (ja) | 1984-01-11 | 1984-01-11 | 軸流型無声放電励起ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP184384A JPS60147186A (ja) | 1984-01-11 | 1984-01-11 | 軸流型無声放電励起ガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60147186A true JPS60147186A (ja) | 1985-08-03 |
| JPS647512B2 JPS647512B2 (ja) | 1989-02-09 |
Family
ID=11512825
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP184384A Granted JPS60147186A (ja) | 1984-01-11 | 1984-01-11 | 軸流型無声放電励起ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60147186A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2652956A1 (fr) * | 1989-09-18 | 1991-04-12 | Tzn Forschung & Entwicklung | Laser a gaz. |
| EP0986147A2 (en) * | 1998-09-04 | 2000-03-15 | Excitation Inc. | Excitation of gas slab lasers |
| JP2020526910A (ja) * | 2017-07-13 | 2020-08-31 | オーロマ テクノロジーズ カンパニー エルエルシー ディー／ビー／エー アクセス レーザー カンパニー | 多層電極アセンブリ |
-
1984
- 1984-01-11 JP JP184384A patent/JPS60147186A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2652956A1 (fr) * | 1989-09-18 | 1991-04-12 | Tzn Forschung & Entwicklung | Laser a gaz. |
| EP0986147A2 (en) * | 1998-09-04 | 2000-03-15 | Excitation Inc. | Excitation of gas slab lasers |
| EP0986147A3 (en) * | 1998-09-04 | 2000-04-19 | Excitation Inc. | Excitation of gas slab lasers |
| US6137818A (en) * | 1998-09-04 | 2000-10-24 | Excitation Llc | Excitation of gas slab lasers |
| JP2020526910A (ja) * | 2017-07-13 | 2020-08-31 | オーロマ テクノロジーズ カンパニー エルエルシー ディー／ビー／エー アクセス レーザー カンパニー | 多層電極アセンブリ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS647512B2 (ja) | 1989-02-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5953360A (en) | All metal electrode sealed gas laser | |
| CA2087562C (en) | Laser apparatus | |
| US4169251A (en) | Waveguide gas laser with high frequency transverse discharge excitation | |
| US4375690A (en) | Multi-phase silent discharge gas laser apparatus | |
| US4613971A (en) | Transversely excited gas laser | |
| US4597086A (en) | Coaxial type laser oscillator for excitation by silent discharge | |
| JPS60147186A (ja) | 軸流型無声放電励起ガスレ−ザ装置 | |
| US4677637A (en) | TE laser amplifier | |
| JPS59502048A (ja) | レ−ザ放射の発生装置 | |
| JP2005505112A (ja) | 仮想陰極マイクロ波発生器 | |
| JPS6398171A (ja) | 高周波放電励起レ−ザ装置 | |
| US4024465A (en) | Generation of corona for laser excitation | |
| JP3088579B2 (ja) | レーザ装置 | |
| JP2636478B2 (ja) | レーザ装置 | |
| JPS63272084A (ja) | 圧電トランス | |
| JPH0239870B2 (ja) | ||
| DK160384B (da) | Gaslaser exciteret ved kondensatorafladning | |
| JP2975788B2 (ja) | スラブ型ガスレーザ装置 | |
| JPH0337318B2 (ja) | ||
| JPH038381A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| CA1040736A (en) | Independent initiation technique of glow discharge production in high-pressure gas laser cavities | |
| JPS62273786A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPS622678A (ja) | ガスレ−ザ発振装置 | |
| US5426660A (en) | Stripline laser having HF voltage distribution optimized by grounding springs | |
| JP2566585B2 (ja) | 光導波路型気体レーザ装置 |