JPS6367345B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6367345B2 JPS6367345B2 JP56147154A JP14715481A JPS6367345B2 JP S6367345 B2 JPS6367345 B2 JP S6367345B2 JP 56147154 A JP56147154 A JP 56147154A JP 14715481 A JP14715481 A JP 14715481A JP S6367345 B2 JPS6367345 B2 JP S6367345B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silent discharge
- power source
- electrodes
- parallel
- laser device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は無声放電励起レーザー装置に関する
もので、電極の動作特性を改良することを目的と
する。
もので、電極の動作特性を改良することを目的と
する。
従来、この種の装置として第１図に示すものが
あつた。この装置において、電源１の出力は、表
面が誘電体に覆れた一対の電極２Ａ，２Ｂに接続
されている。この電極２Ａ，２Ｂはレーザー媒質
ガス３を満たしたレーザー発振器４内に配設さ
れ、この電極２Ａ，２Ｂ間に無声放電５を発生さ
せる。そして、全反射鏡６及び部分透過鏡７が上
記無声放電５を挾んで対向して配設されるとレー
ザー発振が起こり、レーザー光８が出力される。
あつた。この装置において、電源１の出力は、表
面が誘電体に覆れた一対の電極２Ａ，２Ｂに接続
されている。この電極２Ａ，２Ｂはレーザー媒質
ガス３を満たしたレーザー発振器４内に配設さ
れ、この電極２Ａ，２Ｂ間に無声放電５を発生さ
せる。そして、全反射鏡６及び部分透過鏡７が上
記無声放電５を挾んで対向して配設されるとレー
ザー発振が起こり、レーザー光８が出力される。
第２図は第１図の電極部分の断面を示したもの
で、電極２Ａ，２Ｂは導体９Ａ，９Ｂ及び誘電体
１０Ａ，１０Ｂによつて構成され、導体９Ａ，９
Ｂが電源１の出力に接続されている。そしてこの
電源１の出力電圧を上げると電極２Ａ，２Ｂ間に
無声放電５が生ずる。
で、電極２Ａ，２Ｂは導体９Ａ，９Ｂ及び誘電体
１０Ａ，１０Ｂによつて構成され、導体９Ａ，９
Ｂが電源１の出力に接続されている。そしてこの
電源１の出力電圧を上げると電極２Ａ，２Ｂ間に
無声放電５が生ずる。
また第３図は無声放電５を発生している電極２
Ａ，２Ｂの電気的な等価回路を示したもので、図
において、１１Ａ，１１Ｂは誘電体１０Ａ，１０
Ｂの静電容量、１２は電極２Ａ，２Ｂ間の空間の
静電容量、１３は無声放電５の等価インピーダン
スである。一般に、電源１の出力は10KHz以上の
交流であり、電源１の出力する電流1は無声放
電５の等価インピーダンス１３を流れる電流2
と電極２Ａ，２Ｂ間の静電容量１２を流れる電流
3に分かれている。
Ａ，２Ｂの電気的な等価回路を示したもので、図
において、１１Ａ，１１Ｂは誘電体１０Ａ，１０
Ｂの静電容量、１２は電極２Ａ，２Ｂ間の空間の
静電容量、１３は無声放電５の等価インピーダン
スである。一般に、電源１の出力は10KHz以上の
交流であり、電源１の出力する電流1は無声放
電５の等価インピーダンス１３を流れる電流2
と電極２Ａ，２Ｂ間の静電容量１２を流れる電流
3に分かれている。
そのため従来の無声放電励起レーザー装置は、
電源１の出力電流1が電極間静電容量１２に流
れてしまうので、それだけ無声放電電流2が減
少してしまう。またこれは電源１の周波数が高く
なればなるほど著しくなつて力率が下るため大き
な電流容量の電源１が必要になるという欠点があ
つた。
電源１の出力電流1が電極間静電容量１２に流
れてしまうので、それだけ無声放電電流2が減
少してしまう。またこれは電源１の周波数が高く
なればなるほど著しくなつて力率が下るため大き
な電流容量の電源１が必要になるという欠点があ
つた。
この発明は上記のような従来のものの欠点を除
去するためになされたもので、電極と並列にか
つ、電源に直接リアクトルを接続することによ
り、小さな電流容量の電源を使用することがで
き、効率の良い無声放電励起レーザー装置を提供
することを目的としている。
去するためになされたもので、電極と並列にか
つ、電源に直接リアクトルを接続することによ
り、小さな電流容量の電源を使用することがで
き、効率の良い無声放電励起レーザー装置を提供
することを目的としている。
以下、この発明の一実施例を図について説明す
る。第４図において、第１図と同一符号はそれぞ
れ同一または相当部分を示し、１４はリアクトル
で、このリアクトル１４は電極２Ａ，２Ｂと並列
にかつ、電源に直接接続されている。
る。第４図において、第１図と同一符号はそれぞ
れ同一または相当部分を示し、１４はリアクトル
で、このリアクトル１４は電極２Ａ，２Ｂと並列
にかつ、電源に直接接続されている。
第５図は第４図の電気的な等価回路である。こ
こで上記リアクトル１４と各静電容量１１Ａ，１
２，１１Ｂの並列回路で電源１の出力周波数に並
列共振するようにリアクトル１４の値を選ぶと、
このリアクトル１４と電極間静電容量１２のイン
ピーダンスは無限大となり第６図に示すように並
列共振時の誘電体の静電容量１１Ａ，１１Ｂのイ
ンピーダンス１５Ａ，１５Ｂと無声放電の等価イ
ンピーダンス１３との直列回路となつて電源１の
出力電流は全て無声放電電流として使用されるこ
とになる。
こで上記リアクトル１４と各静電容量１１Ａ，１
２，１１Ｂの並列回路で電源１の出力周波数に並
列共振するようにリアクトル１４の値を選ぶと、
このリアクトル１４と電極間静電容量１２のイン
ピーダンスは無限大となり第６図に示すように並
列共振時の誘電体の静電容量１１Ａ，１１Ｂのイ
ンピーダンス１５Ａ，１５Ｂと無声放電の等価イ
ンピーダンス１３との直列回路となつて電源１の
出力電流は全て無声放電電流として使用されるこ
とになる。
なお、無声放電は一般に高電圧が必要であるの
で、第７図に示すように昇圧トランス１６を使用
する場合が多いが、昇圧トランス１６の低圧側に
リアクトル１４を接続すれば、リアクトル１４の
インダクタンスは第４図に示した電極２Ａ，２Ｂ
に直接接続したものに比べてさらに小さな値で済
み、上記実施例と同様の効果を奏する。
で、第７図に示すように昇圧トランス１６を使用
する場合が多いが、昇圧トランス１６の低圧側に
リアクトル１４を接続すれば、リアクトル１４の
インダクタンスは第４図に示した電極２Ａ，２Ｂ
に直接接続したものに比べてさらに小さな値で済
み、上記実施例と同様の効果を奏する。
以上のようにこの発明によれば、リアクトルを
電極に並列にかつ、電源に直接接続して並列共振
させることにより、電源の出力電流を全て無声放
電電流として使用することができ、同一のレーザ
ー出力を得るための電源の出力電流は小さなもの
でよく、それだけ小さな電流容量の電源とするこ
とができる効果がある。
電極に並列にかつ、電源に直接接続して並列共振
させることにより、電源の出力電流を全て無声放
電電流として使用することができ、同一のレーザ
ー出力を得るための電源の出力電流は小さなもの
でよく、それだけ小さな電流容量の電源とするこ
とができる効果がある。
第１図〜第３図はそれぞれ従来のレーザー装置
を示したもので、第１図はその構成を説明する
図、第２図は断面図、第３図は電気的な等価回路
図、第４図〜第６図はそれぞれこの発明の一実施
例によるレーザー装置を示したもので、第４図は
その構成を説明する図、第５図は電気的な等価回
路図、第６図は等価回路の動作を説明する図、第
７図はこの発明の他の実施例を説明する図であ
る。 図において、１は電源、２Ａ，２Ｂは電極、３
はレーザー媒質ガス、４はレーザー発振器、５は
無声放電、６は全反射鏡、７は部分透過鏡、８は
レーザー光、９Ａ，９Ｂは導体、１０Ａ，１０Ｂ
は誘電体、１１Ａ，１１Ｂは誘電体の静電容量、
１２は電極間静電容量、１３は無声放電の等価イ
ンピーダンス、１４はリアクトル、１５Ａ，１５
Ｂは並列共振時の誘電体のインピーダンス、１６
は昇圧トランスである。なお、図中同一符号は同
一又は相当部分を示す。
を示したもので、第１図はその構成を説明する
図、第２図は断面図、第３図は電気的な等価回路
図、第４図〜第６図はそれぞれこの発明の一実施
例によるレーザー装置を示したもので、第４図は
その構成を説明する図、第５図は電気的な等価回
路図、第６図は等価回路の動作を説明する図、第
７図はこの発明の他の実施例を説明する図であ
る。 図において、１は電源、２Ａ，２Ｂは電極、３
はレーザー媒質ガス、４はレーザー発振器、５は
無声放電、６は全反射鏡、７は部分透過鏡、８は
レーザー光、９Ａ，９Ｂは導体、１０Ａ，１０Ｂ
は誘電体、１１Ａ，１１Ｂは誘電体の静電容量、
１２は電極間静電容量、１３は無声放電の等価イ
ンピーダンス、１４はリアクトル、１５Ａ，１５
Ｂは並列共振時の誘電体のインピーダンス、１６
は昇圧トランスである。なお、図中同一符号は同
一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ レーザ媒質ガス中に対向して配設され、その
表面が誘電体で覆われた電極間に電源から交流高
電圧を印加して無声放電を発生させることにより
上記ガスを励起してレーザー出力を得る無声放電
励起レーザー装置において、上記電極間の静電容
量と上記誘電体の静電容量が上記電源の出力周波
数に並列共振するリアクトルを電極と並列に、か
つ、上記電源に直接接続したことを特徴とする無
声放電励起レーザー装置。 ２ 電極は昇圧トランスを介して電源に接続され
ていることを特徴とする特許請求の範囲第１項に
記載の無声放電励起レーザー装置。 ３ リアクトルは昇圧トランスの低圧側に並列に
接続されていることを特徴とする特許請求の範囲
第２項に記載の無声放電励起レーザー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14715481A JPS5848980A (ja) | 1981-09-18 | 1981-09-18 | 無声放電励起レ−ザ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14715481A JPS5848980A (ja) | 1981-09-18 | 1981-09-18 | 無声放電励起レ−ザ−装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5848980A JPS5848980A (ja) | 1983-03-23 |
| JPS6367345B2 true JPS6367345B2 (ja) | 1988-12-26 |
Family
ID=15423801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14715481A Granted JPS5848980A (ja) | 1981-09-18 | 1981-09-18 | 無声放電励起レ−ザ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5848980A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59215783A (ja) * | 1983-05-24 | 1984-12-05 | Tomoo Fujioka | 誘電体電極横方向励起ｃｏ↓２レ−ザ装置 |
| DE3750578T2 (de) * | 1986-10-14 | 1995-02-09 | Fanuc Ltd | Hf-entladungsangeregte laservorrichtung. |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5422196A (en) * | 1977-07-19 | 1979-02-19 | Battelle Memorial Institute | Electric drive pulse laser |
| JPS5655085A (en) * | 1979-09-24 | 1981-05-15 | Dexter Katherine | Waveguide laser |
-
1981
- 1981-09-18 JP JP14715481A patent/JPS5848980A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5422196A (en) * | 1977-07-19 | 1979-02-19 | Battelle Memorial Institute | Electric drive pulse laser |
| JPS5655085A (en) * | 1979-09-24 | 1981-05-15 | Dexter Katherine | Waveguide laser |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5848980A (ja) | 1983-03-23 |
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