JPS5848980A - 無声放電励起レ−ザ−装置 - Google Patents
無声放電励起レ−ザ−装置Info
- Publication number
- JPS5848980A JPS5848980A JP14715481A JP14715481A JPS5848980A JP S5848980 A JPS5848980 A JP S5848980A JP 14715481 A JP14715481 A JP 14715481A JP 14715481 A JP14715481 A JP 14715481A JP S5848980 A JPS5848980 A JP S5848980A
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- JP
- Japan
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- reactor
- electrodes
- parallel
- power supply
- silent
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- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
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- Optics & Photonics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は無声放電励起レーザー装置に関するもので、
電極の動作特性を改良することを目的とするＯ 従来、この種の装置として第１図に示すものかあった。
電極の動作特性を改良することを目的とするＯ 従来、この種の装置として第１図に示すものかあった。
この装置において、電源（１）の出力は１表面が誘電体
に覆れで−た一対の！ＦＭ（２Ａ）、 （２Ｂ）に接続
されてｈる。この電極（２Ａ）、（２Ｂ）はレーザー媒
質ガス（３）を満たしたレーザー発振器（４）内に配設
され、コノ電Ｗ（２Ａ）、（２Ｂ）ｆ［無声ｆｉ Ｗ
（５）を発生させる。そして、全反射鏡（６）及び部分
透過鏡（７）が上記無声放電（５）を挾んで対向して配
設されるとレーザー発振が起こり、レーザー光（８）が
出力される。 − 第２図は第１図の電極部分の断面を示したもので、電極
（２Ａ）、（２Ｂ）は導体（９Ａ）、（９Ｂ）及び誘電
体Ｃｌ０Ａ）、Ｃｌ０Ｂ）によって構成され、導体（９
Ａ）、（９Ｂ）が電源（１）の出力に接続されている。
に覆れで−た一対の！ＦＭ（２Ａ）、 （２Ｂ）に接続
されてｈる。この電極（２Ａ）、（２Ｂ）はレーザー媒
質ガス（３）を満たしたレーザー発振器（４）内に配設
され、コノ電Ｗ（２Ａ）、（２Ｂ）ｆ［無声ｆｉ Ｗ
（５）を発生させる。そして、全反射鏡（６）及び部分
透過鏡（７）が上記無声放電（５）を挾んで対向して配
設されるとレーザー発振が起こり、レーザー光（８）が
出力される。 − 第２図は第１図の電極部分の断面を示したもので、電極
（２Ａ）、（２Ｂ）は導体（９Ａ）、（９Ｂ）及び誘電
体Ｃｌ０Ａ）、Ｃｌ０Ｂ）によって構成され、導体（９
Ａ）、（９Ｂ）が電源（１）の出力に接続されている。
そしてこの電源（１）の出力電圧を上げると！４９Ｍ（
２Ａ）、（２Ｂ）間に無声放ｗ（５）が生ずる。
２Ａ）、（２Ｂ）間に無声放ｗ（５）が生ずる。
またＩＥ８図は無声放！（５）を発生していＺ・電極（
２Ａ）、（２Ｂ）の電気的な等他回路を示したもので、
図において、（ｌ ＩＡ）、ＣＩＩＢ）は誘電体（ＩＯ
Ａ）、Ｃｌ０Ｂ）の静電容量、（２）は電極（２Ａ）、
（２Ｂ）間の空間の静電容量、θ３は無声放電（５）の
等価インピーダンスである。一般に、電源（１）の出力
はｌ０ＫＩ−（ｚ以上の交流であり、市１Ｍ（１）の出
力するイ流工１は無声放［（５）の等価・ｆンビーダン
スａ３ｆ流れる￥ｔｒ流工２と電極（２Ａ）、（２Ｂ）
間の静市容ｔ（ｔのを流れる電流工３に分かれている◎ そのため従来の泄声放電励起し−イー装置は、電源（１
）の出力電流工！が電極間静電容量０のに流れてしまう
ので、それだけ無声放電電流工２が減少してしまう。ま
たこれは電源（１）の周波数が高くなればなるほど著し
くなって力率が下るため大きな電流容量の電源（１）が
必要になると（八つ欠点があった。
２Ａ）、（２Ｂ）の電気的な等他回路を示したもので、
図において、（ｌ ＩＡ）、ＣＩＩＢ）は誘電体（ＩＯ
Ａ）、Ｃｌ０Ｂ）の静電容量、（２）は電極（２Ａ）、
（２Ｂ）間の空間の静電容量、θ３は無声放電（５）の
等価インピーダンスである。一般に、電源（１）の出力
はｌ０ＫＩ−（ｚ以上の交流であり、市１Ｍ（１）の出
力するイ流工１は無声放［（５）の等価・ｆンビーダン
スａ３ｆ流れる￥ｔｒ流工２と電極（２Ａ）、（２Ｂ）
間の静市容ｔ（ｔのを流れる電流工３に分かれている◎ そのため従来の泄声放電励起し−イー装置は、電源（１
）の出力電流工！が電極間静電容量０のに流れてしまう
ので、それだけ無声放電電流工２が減少してしまう。ま
たこれは電源（１）の周波数が高くなればなるほど著し
くなって力率が下るため大きな電流容量の電源（１）が
必要になると（八つ欠点があった。
この発明は上記のような従来のものの欠点を除去するた
めになされたもので、電極と並列にリアクトＶを接続す
ることにより、小さな電流容量の！源を使用することが
でき、効率の良い無声放電励起レーザー装置を提供する
ことを目的としている。
めになされたもので、電極と並列にリアクトＶを接続す
ることにより、小さな電流容量の！源を使用することが
でき、効率の良い無声放電励起レーザー装置を提供する
ことを目的としている。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第４
図にお訊で、第１図と同一符号はそれぞれ同一またけ相
当部分を示し、α→はリアクトルで、このリアクトル０
４は電極（２Ａ）、（２Ｂ）と並列に接続されている。
図にお訊で、第１図と同一符号はそれぞれ同一またけ相
当部分を示し、α→はリアクトルで、このリアクトル０
４は電極（２Ａ）、（２Ｂ）と並列に接続されている。
第５図は第４図の電気的な等価Ｉ回路である。ここで上
記リアクトＡ／ａ４と各静電容量（１１Ａ）、ｔ１３、
（ＩＩＢ）の並列同格が電源（１）の出力周波数に並列
共振するよう（リアクトル０４の値を選ぶと、このリア
クト〃α→と電極間静電容量（２）のインピーダンスは
無限大となり７６図に示すように並列共振時の誘電体の
静電容量（ＩＩＡ）、 （ＩＩＢ）のインピーダンス（
１５Ａ）、（１５Ｂ）と無声放電の等価インピーダンス
＠との直列回路となって電源（１）の出力電流は全て無
声放電電流として使用されることにな；！１゜なお、無
声放電に一般に高電圧が必要であるので、％７図に示す
ように外圧トランスθＱを使用する場合が多いが、外圧
トランス０１の低圧側［＋１アクドル０４）を接続すれ
ば、リアクトルα尋のインダクタンスは第４図に示した
′Ｉｌ極（２Ａ）、（２Ｂ）に直接接続したものに比べ
てさらに小さな値で済み、上記実施例と同様の効果を奏
する。
記リアクトＡ／ａ４と各静電容量（１１Ａ）、ｔ１３、
（ＩＩＢ）の並列同格が電源（１）の出力周波数に並列
共振するよう（リアクトル０４の値を選ぶと、このリア
クト〃α→と電極間静電容量（２）のインピーダンスは
無限大となり７６図に示すように並列共振時の誘電体の
静電容量（ＩＩＡ）、 （ＩＩＢ）のインピーダンス（
１５Ａ）、（１５Ｂ）と無声放電の等価インピーダンス
＠との直列回路となって電源（１）の出力電流は全て無
声放電電流として使用されることにな；！１゜なお、無
声放電に一般に高電圧が必要であるので、％７図に示す
ように外圧トランスθＱを使用する場合が多いが、外圧
トランス０１の低圧側［＋１アクドル０４）を接続すれ
ば、リアクトルα尋のインダクタンスは第４図に示した
′Ｉｌ極（２Ａ）、（２Ｂ）に直接接続したものに比べ
てさらに小さな値で済み、上記実施例と同様の効果を奏
する。
以上のようにこの発明によれば、リアク）Ａ／ｆ電極に
並列に接続して並列共振させることにより、電源の出力
電流を全て無声数’Ｉｆ流として使用することができ、
同一のレーザー出力を得るための電源の出力電流は小さ
なものでよく、それだけ小さな電流容量の電源とするこ
とができる効果がある。
並列に接続して並列共振させることにより、電源の出力
電流を全て無声数’Ｉｆ流として使用することができ、
同一のレーザー出力を得るための電源の出力電流は小さ
なものでよく、それだけ小さな電流容量の電源とするこ
とができる効果がある。
第１図〜第３図はそれぞれ従来のレーザー装置を示した
もので、第１図はその構成を説明する図、第２図は断面
図、第３図は電気的な等価回路図、第４図〜第６図はそ
れぞれこの発明の一実施例によるレーザー装置を示した
もので、第４図はその構成を説明する図、第５図は電気
的な等価回路図、第６図は等他回路の動作を説明する図
、第７図はこの発明の他の実施例を説明する図である。 図において、（１）は電源、（２Ａ） （２Ｂ）は電極
、（３）はレーザー媒質ガヌ、（４）はレーザー発振器
、（５）は無声放！、（６）Ｉｄ全反射鏡、（７）上部
分透過鏡、（８）ハレーチー光、（９Ａ） （９Ｂ）は
導体、（ＩＯＡ） Ｃｌ０Ｂ）は誘電体、（１１Ａ）Ｃ
ＩＩＢ）は誘電体の静電容量、＠は電極間静電容量、Ｑ
３は無声放電の等価インピーダンス、Ｃ１４）［１７７
１）７Ｍ、（１５Ａ） （１５Ｂ） ｉｊ： 並列共振
時の誘電体のインピーダンス、σＱは外圧トランスであ
る。 なお、図中ロー符号は同−又は相当部分を示す。 代卵人 葛 野 信 − 第１図 第２図 第６図 第６図 第４図 第５図
もので、第１図はその構成を説明する図、第２図は断面
図、第３図は電気的な等価回路図、第４図〜第６図はそ
れぞれこの発明の一実施例によるレーザー装置を示した
もので、第４図はその構成を説明する図、第５図は電気
的な等価回路図、第６図は等他回路の動作を説明する図
、第７図はこの発明の他の実施例を説明する図である。 図において、（１）は電源、（２Ａ） （２Ｂ）は電極
、（３）はレーザー媒質ガヌ、（４）はレーザー発振器
、（５）は無声放！、（６）Ｉｄ全反射鏡、（７）上部
分透過鏡、（８）ハレーチー光、（９Ａ） （９Ｂ）は
導体、（ＩＯＡ） Ｃｌ０Ｂ）は誘電体、（１１Ａ）Ｃ
ＩＩＢ）は誘電体の静電容量、＠は電極間静電容量、Ｑ
３は無声放電の等価インピーダンス、Ｃ１４）［１７７
１）７Ｍ、（１５Ａ） （１５Ｂ） ｉｊ： 並列共振
時の誘電体のインピーダンス、σＱは外圧トランスであ
る。 なお、図中ロー符号は同−又は相当部分を示す。 代卵人 葛 野 信 − 第１図 第２図 第６図 第６図 第４図 第５図
Claims (4)
- （１） レーザー媒質が７．を、対向して配設された
電極間で無声放電させることにより励起してレーザー出
力を得る無声放電励起レーザー装置において、上記電極
と並列にリアクトルが接続されることを特徴とする無声
放電励起レーザー装置。 - （２） リアクトルの餉は、このリアクトＩしと電極
の静電容量とが並列共振する値であることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の無声放電励起レーザー装置
。 - （３） 電極は外圧トランスを介して電源に接続され
ていることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
無声放電励起レーザー装置。 - （４）リアクト）ＶＩｒＸ昇圧トランスの低圧側に並列
に接続されていることを特徴とする特許請求の範囲第８
項に記載の無声放電励起レーザー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14715481A JPS5848980A (ja) | 1981-09-18 | 1981-09-18 | 無声放電励起レ−ザ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14715481A JPS5848980A (ja) | 1981-09-18 | 1981-09-18 | 無声放電励起レ−ザ−装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5848980A true JPS5848980A (ja) | 1983-03-23 |
| JPS6367345B2 JPS6367345B2 (ja) | 1988-12-26 |
Family
ID=15423801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14715481A Granted JPS5848980A (ja) | 1981-09-18 | 1981-09-18 | 無声放電励起レ−ザ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5848980A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59215783A (ja) * | 1983-05-24 | 1984-12-05 | Tomoo Fujioka | 誘電体電極横方向励起ｃｏ↓２レ−ザ装置 |
| WO1988002936A1 (en) * | 1986-10-14 | 1988-04-21 | Fanuc Ltd | Laser device excited by rf discharge |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5422196A (en) * | 1977-07-19 | 1979-02-19 | Battelle Memorial Institute | Electric drive pulse laser |
| JPS5655085A (en) * | 1979-09-24 | 1981-05-15 | Dexter Katherine | Waveguide laser |
-
1981
- 1981-09-18 JP JP14715481A patent/JPS5848980A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5422196A (en) * | 1977-07-19 | 1979-02-19 | Battelle Memorial Institute | Electric drive pulse laser |
| JPS5655085A (en) * | 1979-09-24 | 1981-05-15 | Dexter Katherine | Waveguide laser |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59215783A (ja) * | 1983-05-24 | 1984-12-05 | Tomoo Fujioka | 誘電体電極横方向励起ｃｏ↓２レ−ザ装置 |
| WO1988002936A1 (en) * | 1986-10-14 | 1988-04-21 | Fanuc Ltd | Laser device excited by rf discharge |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6367345B2 (ja) | 1988-12-26 |
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