JP3034367B2 - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JP3034367B2 JP3034367B2 JP32752091A JP32752091A JP3034367B2 JP 3034367 B2 JP3034367 B2 JP 3034367B2 JP 32752091 A JP32752091 A JP 32752091A JP 32752091 A JP32752091 A JP 32752091A JP 3034367 B2 JP3034367 B2 JP 3034367B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge tube
- discharge
- pair
- capacitor
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は急峻な励起が必要な短
パルスのガスレ−ザ装置に関する。
パルスのガスレ−ザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】たとえば、窒素レ−ザなどのような封じ
切り型で、レ−ザ遷移にかかる上準位の寿命がきわめて
短いタイプのパルスガスレ−ザ装置においては、立上が
りがきわめて急峻な放電励起が必要となることがある。
このような急峻な放電を発生させるため、従来は、同軸
ケ−ブルや平行平板ブル−ムライン回路などの伝送路か
らなるパルス成形放電回路あるいはセラミックコンデン
サを用いて波形整形する容量移行型放電回路などが知ら
れている。
切り型で、レ−ザ遷移にかかる上準位の寿命がきわめて
短いタイプのパルスガスレ−ザ装置においては、立上が
りがきわめて急峻な放電励起が必要となることがある。
このような急峻な放電を発生させるため、従来は、同軸
ケ−ブルや平行平板ブル−ムライン回路などの伝送路か
らなるパルス成形放電回路あるいはセラミックコンデン
サを用いて波形整形する容量移行型放電回路などが知ら
れている。
【０００３】しかしながら、同軸ケ−ブルや平行平板ブ
ル−ムライン回路などのパルス成形放電回路を用いた場
合には、装置が大型化するということがあるばかりか、
信頼性が乏しいということがあった。
ル−ムライン回路などのパルス成形放電回路を用いた場
合には、装置が大型化するということがあるばかりか、
信頼性が乏しいということがあった。
【０００４】また、多数のセラミックコンデンサを用い
て波形成形する容量移行型放電回路も知られている。し
かしながら、容量移行型放電回路の場合には、各コンデ
ンサを放電管の外部に配設し、これらコンデンサに充電
された電荷を細い導電線を用いて電極に供給しなければ
ならないから、同軸ケ−ブルや平行平板ブル−ムライン
回路などに比べて残留インダクタンスが大きく、その結
果、放電の立上りがあまり速くないということがあっ
た。
て波形成形する容量移行型放電回路も知られている。し
かしながら、容量移行型放電回路の場合には、各コンデ
ンサを放電管の外部に配設し、これらコンデンサに充電
された電荷を細い導電線を用いて電極に供給しなければ
ならないから、同軸ケ−ブルや平行平板ブル−ムライン
回路などに比べて残留インダクタンスが大きく、その結
果、放電の立上りがあまり速くないということがあっ
た。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このように、急峻な放
電を発生させるために同軸ケ−ブルや平行平板ブル−ム
ライン回路を用いた場合には装置の大型化や信頼性の低
下を招くなどのことがあり、多数のセラミックコンデン
サを用いた場合には放電の立上りをあまり速くできない
ということがあった。
電を発生させるために同軸ケ−ブルや平行平板ブル−ム
ライン回路を用いた場合には装置の大型化や信頼性の低
下を招くなどのことがあり、多数のセラミックコンデン
サを用いた場合には放電の立上りをあまり速くできない
ということがあった。
【０００６】この発明は上記事情にもとづきなされたも
ので、その目的とするところは、装置の大型化や信頼性
の低下を招くことなく、立上りの速い放電を発生させる
ことができるようにしたガスレ−ザ装置を提供すること
にある。
ので、その目的とするところは、装置の大型化や信頼性
の低下を招くことなく、立上りの速い放電を発生させる
ことができるようにしたガスレ−ザ装置を提供すること
にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
にこの発明は、誘電体によって形成された放電管と、こ
の放電管の内周面に設けられた一対の内側導電体と、上
記放電管内に対向して設けられているとともにそれぞれ
上記内側導電体に電気的に接続された一対の電極と、上
記放電管の外周面に設けられ上記放電管と内側導電体と
でコンデンサを形成した外側導電体と、上記内側導電体
と外側導電体との間に設けられ上記コンデンサに充電さ
れた電荷によって上記一対の電極間に放電を発生させる
スイッチとを具備したことを特徴とする。
にこの発明は、誘電体によって形成された放電管と、こ
の放電管の内周面に設けられた一対の内側導電体と、上
記放電管内に対向して設けられているとともにそれぞれ
上記内側導電体に電気的に接続された一対の電極と、上
記放電管の外周面に設けられ上記放電管と内側導電体と
でコンデンサを形成した外側導電体と、上記内側導電体
と外側導電体との間に設けられ上記コンデンサに充電さ
れた電荷によって上記一対の電極間に放電を発生させる
スイッチとを具備したことを特徴とする。
【０００８】
【作用】上記構成によれば、誘電体によって形成された
放電管がコンデンサを構成するから、立上りの速い放電
を発生させるために同軸ケ−ブルや平行平板ブル−ムラ
インなどを設けずにすむ。
放電管がコンデンサを構成するから、立上りの速い放電
を発生させるために同軸ケ−ブルや平行平板ブル−ムラ
インなどを設けずにすむ。
【０００９】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図面を参照して
説明する。図１に示す封じ切り型のガスレ−ザ装置は窒
素ガスなどのガスレ−ザ媒質が封入された放電管１を備
えている。この放電管１はチタン酸バリウム、チタン酸
ストロンチウム、酸化アルミニウムなどの誘電体によっ
て円筒状に形成されている。この放電管１の軸方向両端
にはそれぞれブリュ−スタ角で傾斜した窓（図示せず）
が形成され、その窓から後述するごとく放電管１内で発
生したレ−ザ光が出射されるようになっている。
説明する。図１に示す封じ切り型のガスレ−ザ装置は窒
素ガスなどのガスレ−ザ媒質が封入された放電管１を備
えている。この放電管１はチタン酸バリウム、チタン酸
ストロンチウム、酸化アルミニウムなどの誘電体によっ
て円筒状に形成されている。この放電管１の軸方向両端
にはそれぞれブリュ−スタ角で傾斜した窓（図示せず）
が形成され、その窓から後述するごとく放電管１内で発
生したレ−ザ光が出射されるようになっている。
【００１０】上記放電管１の内周面には一対の突起２が
周方向に１８０度の間隔で突設されている。これら突起
２によって隔別された一対の内面の一方には内側導電体
としての金属製の第１の内面板３ａが接合され、他方に
は同じく内側導電体としての第２の内面板３ｂが接合さ
れている。
周方向に１８０度の間隔で突設されている。これら突起
２によって隔別された一対の内面の一方には内側導電体
としての金属製の第１の内面板３ａが接合され、他方に
は同じく内側導電体としての第２の内面板３ｂが接合さ
れている。
【００１１】上記第１の内面板３ａと第２の内面板３ｂ
との一端側はインダクタンス４によって接続されてい
る。また、各内面板３ａ、３ｂの中途部にはそれぞれ電
極４ａ、４ｂが接続されている。これら一対の電極４
ａ、４ｂは放電管１内において離間対向している。さら
に、第１の内面板３ａの他端は上記放電管１の周壁に設
けられた充電用端子５に電気的に接続されている。この
充電用端子５には高圧電源６が接続されている。
との一端側はインダクタンス４によって接続されてい
る。また、各内面板３ａ、３ｂの中途部にはそれぞれ電
極４ａ、４ｂが接続されている。これら一対の電極４
ａ、４ｂは放電管１内において離間対向している。さら
に、第１の内面板３ａの他端は上記放電管１の周壁に設
けられた充電用端子５に電気的に接続されている。この
充電用端子５には高圧電源６が接続されている。
【００１２】上記放電管１の外周面には外側導電体とし
ての金属製の筒状体７が被嵌されている。この筒状体７
は切欠８によって周方向に不連続に形成されている。こ
の筒状体５の周方向一端と上記充電用端子５との間には
スイッチ９が設けられている。また、上記筒状体７の周
方向他端はア−スされている。
ての金属製の筒状体７が被嵌されている。この筒状体７
は切欠８によって周方向に不連続に形成されている。こ
の筒状体５の周方向一端と上記充電用端子５との間には
スイッチ９が設けられている。また、上記筒状体７の周
方向他端はア−スされている。
【００１３】図２は、図１の構成の放電管１をトポロジ
カルに合同に展開した図を示し、図３はその等価回路１
１を示す。図２において、放電管１の周壁は第１、第２
の内面板３ａ、３ｂと筒状体７とによって挟持されてい
る。それによって、この放電管１は、図３に示すように
各電極４ａ、４ｂに対して直列に接続された第１のコン
デンサ１２ａと第２のコンデンサ１２ｂを形成し、さら
に各第１、第２の内面板３ａ、３ｂと筒状体７とによっ
て放電回路１３を形成している。
カルに合同に展開した図を示し、図３はその等価回路１
１を示す。図２において、放電管１の周壁は第１、第２
の内面板３ａ、３ｂと筒状体７とによって挟持されてい
る。それによって、この放電管１は、図３に示すように
各電極４ａ、４ｂに対して直列に接続された第１のコン
デンサ１２ａと第２のコンデンサ１２ｂを形成し、さら
に各第１、第２の内面板３ａ、３ｂと筒状体７とによっ
て放電回路１３を形成している。
【００１４】上記構成のガスレ−ザ装置によれば、放電
回路１３に高圧電源６からの高電圧が印加されると、一
対のコンデンサ１２ａ、１２ｂに電荷が充電される。コ
ンデンサ１２ａ、１２ｂに電荷が充電したのち、スイッ
チ９を閉じると、一対の電極４ａ、４ｂ間に各コンデン
サ１２ａ、１２ｂに充電された電荷が供給されるから、
これら電極４ａ、４ｂ間に放電が点弧される。
回路１３に高圧電源６からの高電圧が印加されると、一
対のコンデンサ１２ａ、１２ｂに電荷が充電される。コ
ンデンサ１２ａ、１２ｂに電荷が充電したのち、スイッ
チ９を閉じると、一対の電極４ａ、４ｂ間に各コンデン
サ１２ａ、１２ｂに充電された電荷が供給されるから、
これら電極４ａ、４ｂ間に放電が点弧される。
【００１５】電極４ａ、４ｂ間に放電が点弧すれば、放
電管１に封入されたガスレ−ザ媒質が励起されるから、
それによってレ−ザ光が発生し、そのレ−ザ光は放電管
１の両端に形成された窓から出射される。
電管１に封入されたガスレ−ザ媒質が励起されるから、
それによってレ−ザ光が発生し、そのレ−ザ光は放電管
１の両端に形成された窓から出射される。
【００１６】このように、放電管１によりコンデンサ１
２ａ、１２ｂを形成する構成によれば、多数のセラミッ
クコンデンサを用いた従来のように、放電管１の外部か
ら細い導電線を用いて上記セラミックコンデンサに充電
された電荷を放電管１内の電極４ａ、４ｂに移行させる
ということをせずにすむから、平行平板ブルームライン
回路とトポロジカルに同等の放電回路を得ることができ
る。つまり、立ち上りの速い放電を発生させることがで
きる。しかも、放電管１を利用してコンデンサ１２ａ、
１２ｂを形成しているため、部品点数が減少し、装置の
小型化が計れる。なお、この葉つめは上記一実施例に限
定されず、たとえば放電管はガラスやエポキシ樹脂等の
他の誘電体を用いるようにしてもよい。
２ａ、１２ｂを形成する構成によれば、多数のセラミッ
クコンデンサを用いた従来のように、放電管１の外部か
ら細い導電線を用いて上記セラミックコンデンサに充電
された電荷を放電管１内の電極４ａ、４ｂに移行させる
ということをせずにすむから、平行平板ブルームライン
回路とトポロジカルに同等の放電回路を得ることができ
る。つまり、立ち上りの速い放電を発生させることがで
きる。しかも、放電管１を利用してコンデンサ１２ａ、
１２ｂを形成しているため、部品点数が減少し、装置の
小型化が計れる。なお、この葉つめは上記一実施例に限
定されず、たとえば放電管はガラスやエポキシ樹脂等の
他の誘電体を用いるようにしてもよい。
【００１７】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明は、誘電体に
よって形成された放電管の内周面と外周面とにそれぞれ
内側誘電体と外側誘電体とを設けることでコンデンサを
形成し、このコンデンサを利用して上記放電管内に設け
られた一対の電極間に放電を点弧させることができる放
電回路を構成した。
よって形成された放電管の内周面と外周面とにそれぞれ
内側誘電体と外側誘電体とを設けることでコンデンサを
形成し、このコンデンサを利用して上記放電管内に設け
られた一対の電極間に放電を点弧させることができる放
電回路を構成した。
【００１８】そのため、従来の平行平板ブル−ムライン
回路とトポロジカルに同等の放電回路を得ることができ
るから、立上りの速い放電を発生させることができるば
かりか、装置の小形化を計ることができるなどのことが
ある。
回路とトポロジカルに同等の放電回路を得ることができ
るから、立上りの速い放電を発生させることができるば
かりか、装置の小形化を計ることができるなどのことが
ある。
【図１】この発明の一実施例を示す放電管の断面図。
【図２】同じく上記放電管のを展開図。
【図３】同じく上記放電管の等価回路図。
１…放電管、３ａ、３ｂ…第１、第２の内面板（内側導
電体）、４ａ、４ｂ…電極、７…筒状体（外側電極）、
９…スイッチ、１２ａ、１２ｂ…コンデンサ。
電体）、４ａ、４ｂ…電極、７…筒状体（外側電極）、
９…スイッチ、１２ａ、１２ｂ…コンデンサ。
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01S 3/097 - 3/0977 H01S 3/03 - 3/038
Claims (1)
- 【請求項１】 誘電体によって形成された放電管と、こ
の放電管の内周面に設けられた一対の内側導電体と、上
記放電管内に対向して設けられているとともにそれぞれ
上記内側導電体に電気的に接続された一対の電極と、上
記放電管の外周面に設けられ上記放電管と内側導電体と
でコンデンサを形成した外側導電体と、上記内側導電体
と外側導電体との間に設けられ上記コンデンサに充電さ
れた電荷によって上記一対の電極間に放電を発生させる
スイッチとを具備したことを特徴とするガスレ−ザ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32752091A JP3034367B2 (ja) | 1991-12-11 | 1991-12-11 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32752091A JP3034367B2 (ja) | 1991-12-11 | 1991-12-11 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05167157A JPH05167157A (ja) | 1993-07-02 |
| JP3034367B2 true JP3034367B2 (ja) | 2000-04-17 |
Family
ID=18200032
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32752091A Expired - Lifetime JP3034367B2 (ja) | 1991-12-11 | 1991-12-11 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3034367B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1272232A (zh) * | 1998-05-20 | 2000-11-01 | 东芝株式会社 | 脉冲气体激光发生装置 |
-
1991
- 1991-12-11 JP JP32752091A patent/JP3034367B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05167157A (ja) | 1993-07-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3828277A (en) | Integral capacitor lateral discharge laser | |
| US4367553A (en) | Pulse laser with an electrically excited gaseous active medium | |
| JPS61105883A (ja) | 横励超ガスレーザーとその駆動方法 | |
| US20120229026A1 (en) | High-pressure discharge lamp with improved ignitability and high-voltage pulse generator | |
| US4359777A (en) | High efficiency transversely excited electrodeless gas lasers | |
| JP3034367B2 (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| US4912368A (en) | Cold cathode discharge tube with series connected capacitor | |
| GB2119174A (en) | Generator for the production of high voltage rectangular pulses | |
| US3356888A (en) | Two-electrode spark gap with interposed insulator | |
| US4178563A (en) | System for generating a high-energy electrical signal through a brief time, and a laser comprising such a system | |
| GB2035674A (en) | TEA laser apparatus | |
| US4358701A (en) | Discharge lamps having internal starting aid capacitively coupled to one of the electrodes | |
| US4750182A (en) | Gas lasers | |
| JP2996706B2 (ja) | パルスレーザ発振装置 | |
| JPH10312876A (ja) | サージアブソーバ | |
| US2691120A (en) | Ionizing flash lamp | |
| JPS60192467U (ja) | パルスガスレ−ザ装置 | |
| JPS639675B2 (ja) | ||
| JPH0219955Y2 (ja) | ||
| JP3441218B2 (ja) | 半導体スイッチ装置とそれを用いた電気装置 | |
| JP2820978B2 (ja) | 波形成形線路 | |
| JPS63227078A (ja) | 高繰返しパルスレ−ザ発振装置 | |
| JP2820973B2 (ja) | 波形成形線路 | |
| RU2226031C2 (ru) | Генератор высоковольтных импульсов | |
| JPS6339892Y2 (ja) |