JPS63217684A - パルスガスレ−ザ装置 - Google Patents

パルスガスレ−ザ装置

Info

Publication number
JPS63217684A
JPS63217684A JP5018187A JP5018187A JPS63217684A JP S63217684 A JPS63217684 A JP S63217684A JP 5018187 A JP5018187 A JP 5018187A JP 5018187 A JP5018187 A JP 5018187A JP S63217684 A JPS63217684 A JP S63217684A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
main
discharge
electrode
dielectric
electrodes
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5018187A
Other languages
English (en)
Inventor
Osamu Morimiya
森宮　脩
Setsuo Suzuki
鈴木　節雄
Etsuo Noda
悦夫 野田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP5018187A priority Critical patent/JPS63217684A/ja
Publication of JPS63217684A publication Critical patent/JPS63217684A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） この発明はガスレーザ、特にパルスガスレーザ装置に関
する。
（従来の技術） ガスレーザ、特にパルスガスレーザを安定に動作させる
ためには、主放電電極間に均一性の高いグロー放電を発
生維持することである。このための有効な手段の一つは
一対の主放電電極の少なくとも一方の表面近傍で多数の
無声放電を行い、プラズマの発生とその光の入射を行う
ことである。
従来のこの種の方法は、例えば特開昭６１−２４５５８
８号に示されている。この無声放電発生部は第６図に示
すように、無声放電の発生する部分７が主放電に有効な
部分と、はとんど利用されない陰れた部分にも生じ、補
助励起の効率が低い。
（発明が解決しようとする問題点） 以上のように従来技術にあっては補助励起の効率が悪か
った。
本発明の目的は補助励起の効率向上をはかったパルスガ
スレーザ装置を提供することにある。
〔発明の構成〕
（問題点を解決するための手段） 本発明では誘電体を介した無声放電の発生領域を、主電
極との対向面でのみ発生するように誘電体を配置した。
（作用） 誘電体を介した放電を有効に起すために、予備励起に無
効な部分での放電を防ぐため、ここに誘電体を充填した
。さらに強力な無声放電を起すように、この誘電体に主
放電部に対向する部分に凹面の部分を設けた。二つの電
極間に挟まれ領域に誘電体とガスの領域が存在すると、
二つの電極に電圧を印加すると、ガスの領域に強電界が
生じガスの絶縁破壊が生じる。このとき生じるプラズマ
および光を主放電部に入射し主放電のグローの均一性を
向上させる。
（実施例） 第１図は本発明の一実施例を示す構成図である。
主電極１　、１’間にレーザガス２を導入し、主放電電
源３で放電励起する。
このとき主間隙４に一様なグロー放電を発生させるため
、主電極１′に溝あるいは孔を設け、補助電極５を設け
、主電極１′と補助電極５との間に誘電体６を充填し、
主電極１１と補助電極５との間に電圧を印加し、誘電体
の溝７で無声放電を起し、プラズマおよび光を主電極間
隙４に入射する。
第２図〜第１図はいずれも本発明による予備放電部の構
造の変形例で、動作原理は第１図の説明と同じである。
予備放電を起すための電源は主放電電源３を利用しても
良い。
〔発明の効果〕
本発明によシ誘電体を介した無声放電による予備電離の
効率が向上した。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明によるガスレーザの構成図、第ら ２図乃至第も図は本発明の予備放電部の変形例を示す概
略図である。 １．１１・・主放電電極、３・・・励起用主放電電源、
５・・・補助放電電極、６・・・誘電体、７・・・誘電
体の間隙（予備放電部）。 代理人　弁理士　則　近　憲　佑 同　　　　竹　花　喜久男 第　１　図 第　　２　　区　　　　　　　　　　　　　第　　３　
　図第　　４　　図　　　　　　　　　　　　第　５　
　図第６図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）誘電体を介した放電によって予備励起するガスレ
    ーザ装置において、予備放電が主電極間隙の開口部方向
    でのみ発生するように誘電体を配置したことを特徴とす
    るパルスガスレーザ装置。
  2. （２）誘電体が主電極の開口部に対し凹面の部分を有す
    ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のパルス
    ガスレーザ装置。
JP5018187A 1987-03-06 1987-03-06 パルスガスレ−ザ装置 Pending JPS63217684A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5018187A JPS63217684A (ja) 1987-03-06 1987-03-06 パルスガスレ−ザ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5018187A JPS63217684A (ja) 1987-03-06 1987-03-06 パルスガスレ−ザ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63217684A true JPS63217684A (ja) 1988-09-09

Family

ID=12852021

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5018187A Pending JPS63217684A (ja) 1987-03-06 1987-03-06 パルスガスレ−ザ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS63217684A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5313486A (en) * 1991-04-25 1994-05-17 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Discharge excitation pulsed laser oscillation device
EP1297594A1 (en) * 2000-06-09 2003-04-02 Cymer, Inc. Gas discharge laser long life electrodes

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5313486A (en) * 1991-04-25 1994-05-17 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Discharge excitation pulsed laser oscillation device
EP1297594A1 (en) * 2000-06-09 2003-04-02 Cymer, Inc. Gas discharge laser long life electrodes
EP1297594A4 (en) * 2000-06-09 2006-03-08 Cymer Inc LONG-LASTING ELECTRODES FOR GAS DISCHARGE LASER

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5434881A (en) Diffusion-cooled CO2 stripline laser having reduced ignition voltage
US4064465A (en) Laser cavities with gas flow through the electrodes
US4085386A (en) Independent initiation technique of glow discharge production in high-pressure gas laser cavities
US4114113A (en) Laser and its method of operation
JPS63217684A (ja) パルスガスレ−ザ装置
RU2022430C1 (ru) Импульсно-периодический проточный газоразрядный co2-лазер
JP2734191B2 (ja) レーザ装置
JPS61201489A (ja) ガスレ−ザ発振装置
JPH0371682A (ja) エキシマレーザ装置用予備電離電極
JPH0337318B2 (ja)
JPH02103979A (ja) パルスレーザ発振装置
JPS63229772A (ja) 高繰返しパルスレ−ザ発振装置
JPH03255681A (ja) パルスレーザ装置
JPH02252278A (ja) パルスレーザ発振装置
JPS63227073A (ja) 高繰返しパルスレ−ザ電極
JPH0465174A (ja) ガスレーザ装置
JPS61188983A (ja) 放電励起型短パルスレ−ザ装置
JPS63229775A (ja) 高繰返しパルスレ−ザ電極
JPH01151276A (ja) パルスレーザ電極
JPH05190937A (ja) パルスレーザ装置
JPH01214184A (ja) パルスレーザ発振装置
JPH03255682A (ja) パルスレーザ装置
JPH06275897A (ja) 放電励起ガスレーザ装置
JPS6231185A (ja) レ−ザ発振器
JPH0254976A (ja) パルスレーザ発振装置