JPH05190937A - パルスレーザ装置 - Google Patents
パルスレーザ装置Info
- Publication number
- JPH05190937A JPH05190937A JP159492A JP159492A JPH05190937A JP H05190937 A JPH05190937 A JP H05190937A JP 159492 A JP159492 A JP 159492A JP 159492 A JP159492 A JP 159492A JP H05190937 A JPH05190937 A JP H05190937A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- main
- ultraviolet light
- pulse laser
- main discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 パルスレーザ装置の予備電離において、スパ
ーク放電により発生した破片や荷電粒子が主放電空間に
到達することを防止する。 【構成】 対向配置された予備電離電極３，３の先端部
の周囲に、紫外光透過部材である紫外光透過窓１０が配
設されている。この紫外光透過窓１０は、スパーク放電
により得られる紫外光を従来と同様に主放電空間に照射
することができる一方、対向配置された予備電離電極
３，３の先端部近傍を主放電空間から隔離することがで
きるように構成されている。
ーク放電により発生した破片や荷電粒子が主放電空間に
到達することを防止する。 【構成】 対向配置された予備電離電極３，３の先端部
の周囲に、紫外光透過部材である紫外光透過窓１０が配
設されている。この紫外光透過窓１０は、スパーク放電
により得られる紫外光を従来と同様に主放電空間に照射
することができる一方、対向配置された予備電離電極
３，３の先端部近傍を主放電空間から隔離することがで
きるように構成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、放電部に配設される予
備電離電極に改良を施したパルスレーザ装置に関するも
のである。
備電離電極に改良を施したパルスレーザ装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】ガスを媒介としたレーザにおいて、良好
なレーザ発振を得るためには、レーザガス中で空間的に
均一な放電の生成を必要とするが、ＴＥＭＡ−ＣＯ2 レ
ーザやエキシマレーザなどの短パルスレーザ光を発生さ
せるパルスレーザ装置においては、上記の放電が集束
し、アーク放電になりやすい。これを防止するために、
主放電に先立って予備電離を行うのが一般的である。
なレーザ発振を得るためには、レーザガス中で空間的に
均一な放電の生成を必要とするが、ＴＥＭＡ−ＣＯ2 レ
ーザやエキシマレーザなどの短パルスレーザ光を発生さ
せるパルスレーザ装置においては、上記の放電が集束
し、アーク放電になりやすい。これを防止するために、
主放電に先立って予備電離を行うのが一般的である。
【０００３】図２は、従来のパルスレーザ装置の一例を
示したものである。即ち、第１の主電極１と第２の主電
極２とがレーザガス中に対向して配設されている。ま
た、これらの主電極１，２の両側部には、スパーク放電
による紫外光を主放電部の側面から照射して、主放電部
を予備電離するための予備電離電極３が複数個配設され
ている。さらに、この予備電離電極３には、予備電離電
極３に急激なパルス電圧を供給するためのピーキングコ
ンデンサ４が接続されている。また、前記主電極１，２
にはパルス電源５が接続されている。
示したものである。即ち、第１の主電極１と第２の主電
極２とがレーザガス中に対向して配設されている。ま
た、これらの主電極１，２の両側部には、スパーク放電
による紫外光を主放電部の側面から照射して、主放電部
を予備電離するための予備電離電極３が複数個配設され
ている。さらに、この予備電離電極３には、予備電離電
極３に急激なパルス電圧を供給するためのピーキングコ
ンデンサ４が接続されている。また、前記主電極１，２
にはパルス電源５が接続されている。
【０００４】この様に構成された従来のパルスレーザ装
置は、以下に述べるように動作する。即ち、主放電空間
の放電に先立ち、ピーキングコンデンサ４から急激なパ
ルス電圧が予備電離電極３に印加されると、この急激な
電圧により上下一対の予備電離電極３，３間に設けられ
たギャップにスパーク放電が発生する。そして、スパー
ク放電による紫外光が主放電空間に側面から照射され、
パルス電圧が印加されたとき、主放電空間にグロー状の
放電がつき、レーザガスが励起され、所望のレーザ光出
力を得ることができる。
置は、以下に述べるように動作する。即ち、主放電空間
の放電に先立ち、ピーキングコンデンサ４から急激なパ
ルス電圧が予備電離電極３に印加されると、この急激な
電圧により上下一対の予備電離電極３，３間に設けられ
たギャップにスパーク放電が発生する。そして、スパー
ク放電による紫外光が主放電空間に側面から照射され、
パルス電圧が印加されたとき、主放電空間にグロー状の
放電がつき、レーザガスが励起され、所望のレーザ光出
力を得ることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た様な従来のパルスレーザ装置には、以下に述べるよう
な解決すべき課題があった。即ち、紫外光を照射するた
めに予備電離スパーク放電を行うと、スパーク放電によ
り予備電離電極の破片が飛び散り、主放電空間に流れ込
み、主放電を不安定なものにするといった欠点があっ
た。また、スパーク放電により発生した正イオンや負イ
オンなどの荷電粒子が主放電空間に達し、電界を乱し、
主放電を不安定にするといった欠点もあった。
た様な従来のパルスレーザ装置には、以下に述べるよう
な解決すべき課題があった。即ち、紫外光を照射するた
めに予備電離スパーク放電を行うと、スパーク放電によ
り予備電離電極の破片が飛び散り、主放電空間に流れ込
み、主放電を不安定なものにするといった欠点があっ
た。また、スパーク放電により発生した正イオンや負イ
オンなどの荷電粒子が主放電空間に達し、電界を乱し、
主放電を不安定にするといった欠点もあった。
【０００６】本発明は、上述した様な従来技術の欠点を
解消するために提案されたもので、その目的は、スパー
ク放電により発生した破片や荷電粒子が主放電空間に到
達することを防止でき、安定したグロー放電を得ること
のできるパルスレーザ装置を提供することにある。
解消するために提案されたもので、その目的は、スパー
ク放電により発生した破片や荷電粒子が主放電空間に到
達することを防止でき、安定したグロー放電を得ること
のできるパルスレーザ装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、レーザ媒質中
に２つの主電極を対向して配設し、その側方に予備電離
電極及び主電極に電力を供給するためのピーキングコン
デンサを備え、前記予備電離電極の放電により発生する
紫外光を用いて、前記主電極間を予備電離するパルスレ
ーザ装置において、前記予備電離電極の放電部を、紫外
光透過部材で被覆したことを特徴とするものである。
に２つの主電極を対向して配設し、その側方に予備電離
電極及び主電極に電力を供給するためのピーキングコン
デンサを備え、前記予備電離電極の放電により発生する
紫外光を用いて、前記主電極間を予備電離するパルスレ
ーザ装置において、前記予備電離電極の放電部を、紫外
光透過部材で被覆したことを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】本発明のパルスレーザ装置においては、予備電
離電極の放電部が紫外光透過部材で被覆されているた
め、予備電離放電により発生した破片や荷電粒子が主放
電空間に到達することを防止することができる。また、
スパーク放電により発生した紫外光を透過することがで
きるので、主放電部への紫外光の照射に影響を与えるこ
とはない。
離電極の放電部が紫外光透過部材で被覆されているた
め、予備電離放電により発生した破片や荷電粒子が主放
電空間に到達することを防止することができる。また、
スパーク放電により発生した紫外光を透過することがで
きるので、主放電部への紫外光の照射に影響を与えるこ
とはない。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１に基づいて具
体的に説明する。なお、図２に示した従来型と同一の部
材には同一の符号を付して、説明は省略する。
体的に説明する。なお、図２に示した従来型と同一の部
材には同一の符号を付して、説明は省略する。
【００１０】本実施例においては、図１に示した様に、
対向配置された予備電離電極３，３の先端部の周囲に、
紫外光透過部材である紫外光透過窓１０が配設されてい
る。この紫外光透過窓１０は、スパーク放電により得ら
れる紫外光を従来と同様に主放電空間に照射することが
できる一方、対向配置された予備電離電極３，３の先端
部近傍を主放電空間から隔離することができるように構
成されている。
対向配置された予備電離電極３，３の先端部の周囲に、
紫外光透過部材である紫外光透過窓１０が配設されてい
る。この紫外光透過窓１０は、スパーク放電により得ら
れる紫外光を従来と同様に主放電空間に照射することが
できる一方、対向配置された予備電離電極３，３の先端
部近傍を主放電空間から隔離することができるように構
成されている。
【００１１】この様な構成を有する本実施例のパルスレ
ーザ装置は、以下に述べる様に作用する。即ち、予備電
離放電が発生する領域を紫外光透過窓１０で覆い、周囲
のレーザガスと遮断したことにより、予備電離放電で生
じる破片あるいはイオンなどが主放電部に到達すること
を防止することができるので、主放電を安定した状態で
点弧することができる。
ーザ装置は、以下に述べる様に作用する。即ち、予備電
離放電が発生する領域を紫外光透過窓１０で覆い、周囲
のレーザガスと遮断したことにより、予備電離放電で生
じる破片あるいはイオンなどが主放電部に到達すること
を防止することができるので、主放電を安定した状態で
点弧することができる。
【００１２】一方、紫外光を透過できる部材を用いてい
るため、予備電離放電により発生した紫外光は従来と同
様に主放電部に供給されるので、主放電が低減されるこ
ともなく、安定したグロー放電を得ることができる。
るため、予備電離放電により発生した紫外光は従来と同
様に主放電部に供給されるので、主放電が低減されるこ
ともなく、安定したグロー放電を得ることができる。
【００１３】
【発明の効果】以上述べた様に、本発明によれば、予備
電離電極の放電部を紫外光透過部材で被覆するという簡
単な構成で、スパーク放電により発生した破片や荷電粒
子が主放電空間に到達することを防止でき、安定したグ
ロー放電を得ることのできるパルスレーザ装置を提供す
ることができる。
電離電極の放電部を紫外光透過部材で被覆するという簡
単な構成で、スパーク放電により発生した破片や荷電粒
子が主放電空間に到達することを防止でき、安定したグ
ロー放電を得ることのできるパルスレーザ装置を提供す
ることができる。
【図１】本発明のパルスレーザ装置の放電部の一実施例
を示す概略図
を示す概略図
【図２】従来のパルスレーザ装置の放電部の構成を示す
概略図
概略図
１…第１の主電極 ２…第２の主電極 ３…予備電離電極 ４…ピーキングコンデンサ ５…パルス電源 １０…紫外光透過窓
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザ媒質中に２つの主電極を対向して
配設し、その側方に予備電離電極及び主電極に電力を供
給するためのピーキングコンデンサを備え、前記予備電
離電極の放電により発生する紫外光を用いて、前記主電
極間を予備電離するパルスレーザ装置において、 前記予備電離電極の放電部を、紫外光透過部材で被覆し
たことを特徴とするパルスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP159492A JPH05190937A (ja) | 1992-01-08 | 1992-01-08 | パルスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP159492A JPH05190937A (ja) | 1992-01-08 | 1992-01-08 | パルスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05190937A true JPH05190937A (ja) | 1993-07-30 |
Family
ID=11505837
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP159492A Pending JPH05190937A (ja) | 1992-01-08 | 1992-01-08 | パルスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05190937A (ja) |
-
1992
- 1992-01-08 JP JP159492A patent/JPH05190937A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5434881A (en) | Diffusion-cooled CO2 stripline laser having reduced ignition voltage | |
| JPH05190937A (ja) | パルスレーザ装置 | |
| US4250468A (en) | Technique for CW or quasi CW operation of planar electrode laser apparatus | |
| JP2772147B2 (ja) | パルスレーザ電極 | |
| JPH07183601A (ja) | レーザー装置 | |
| JP2685929B2 (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPH01151276A (ja) | パルスレーザ電極 | |
| JP3819181B2 (ja) | レーザ装置 | |
| JPH01151277A (ja) | パルスレーザ電極 | |
| JPH05121812A (ja) | 高繰返しパルスレーザ電極 | |
| JPS63217684A (ja) | パルスガスレ−ザ装置 | |
| JPH05206553A (ja) | パルスレーザ電極 | |
| JPH03147383A (ja) | パルスレーザ装置 | |
| JPH03255682A (ja) | パルスレーザ装置 | |
| JP3385856B2 (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPS63229772A (ja) | 高繰返しパルスレ−ザ発振装置 | |
| JPS63229775A (ja) | 高繰返しパルスレ−ザ電極 | |
| JPH03190177A (ja) | パルスガスレーザ装置 | |
| JPS63227072A (ja) | 高繰返しパルスレ−ザ電極 | |
| JPH05259555A (ja) | 高繰返しパルスレーザ電極 | |
| JPH05259554A (ja) | 高繰返しパルスレーザ電極 | |
| JPS63227073A (ja) | 高繰返しパルスレ−ザ電極 | |
| JPH0263176A (ja) | パルスレーザ発振装置 | |
| JPS63228786A (ja) | 高繰返しパルスレ−ザ発振装置 | |
| JPS61188983A (ja) | 放電励起型短パルスレ−ザ装置 |