JPH0448789A - パルスレーザ装置 - Google Patents
パルスレーザ装置Info
- Publication number
- JPH0448789A JPH0448789A JP15529290A JP15529290A JPH0448789A JP H0448789 A JPH0448789 A JP H0448789A JP 15529290 A JP15529290 A JP 15529290A JP 15529290 A JP15529290 A JP 15529290A JP H0448789 A JPH0448789 A JP H0448789A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- main electrodes
- laser gas
- main
- laser
- downstream side
- Prior art date
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- Pending
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 5
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 230000001404 mediated effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、パルスレーザ装置に係り、特に、主放電部に
おいてレーザガス流の停留が生じないように改良を施し
たパルスレーザ装置に関するものである。
おいてレーザガス流の停留が生じないように改良を施し
たパルスレーザ装置に関するものである。
（従来の技術）
従来、ガスを媒介としたレーザにおいて、良好なレーザ
発振を得るためには、レーザガス中で空間的に均一な放
電を必要とするが、ＴＥＭＡ−Ｃ０２レーザやエキシマ
レーザなどの様に短パルスレーザ光を発生させるパルス
レーザ装置においては、その動作ガス圧力が散気圧もの
高気圧であるため、上記の放電が集束し、アーク放電に
なりやすい。これを防止するため、主放電に先立って予
備電離を行うのが一般的である。また、連続したレーザ
発振を行う際に、放電部に常に新しいレーザガスを供給
するため、送風機を用いてレーザガスを循環させるのが
一般的である。
発振を得るためには、レーザガス中で空間的に均一な放
電を必要とするが、ＴＥＭＡ−Ｃ０２レーザやエキシマ
レーザなどの様に短パルスレーザ光を発生させるパルス
レーザ装置においては、その動作ガス圧力が散気圧もの
高気圧であるため、上記の放電が集束し、アーク放電に
なりやすい。これを防止するため、主放電に先立って予
備電離を行うのが一般的である。また、連続したレーザ
発振を行う際に、放電部に常に新しいレーザガスを供給
するため、送風機を用いてレーザガスを循環させるのが
一般的である。
第２図は、従来のパルスレーザ装置の放電部構成の一例
を示す図である。即ち、第１の主電極１と第２の主電極
２が対向して配設されて主放電部が構成されている。ま
た、前記主電極１．２間にはレーザガス循環用送風機（
図示せず）からレーザガスが循環され、レーザガス流３
が形成されている。さらに、前記主電極１，２の両側部
には、紙面垂直方向に複数個の予備電離電極４が対向配
置されている。そして、これらの予備電離電極４によっ
てスパーク放電を起こし、それによって得られる紫外光
を主放電部の側面から照射して主放電部を予備電離する
ことにより、主電極１．２間に均一なグロー放電を発生
することができるように構成されている。また、この予
備電離電極４にはピーキングコンデンサ６が接続されて
いる。
を示す図である。即ち、第１の主電極１と第２の主電極
２が対向して配設されて主放電部が構成されている。ま
た、前記主電極１．２間にはレーザガス循環用送風機（
図示せず）からレーザガスが循環され、レーザガス流３
が形成されている。さらに、前記主電極１，２の両側部
には、紙面垂直方向に複数個の予備電離電極４が対向配
置されている。そして、これらの予備電離電極４によっ
てスパーク放電を起こし、それによって得られる紫外光
を主放電部の側面から照射して主放電部を予備電離する
ことにより、主電極１．２間に均一なグロー放電を発生
することができるように構成されている。また、この予
備電離電極４にはピーキングコンデンサ６が接続されて
いる。
この様に構成された従来のパルスレーザ装置は、以下に
述べる様に動作する。即ち、主放電空間の放電に先立ち
、予備電離電極４によりスパーク放電を行ない、第１の
生電極１及び第２の主電極２の間の放電空間に紫外光を
照射し、電子を発生させる。その後、第１の主電極１及
び第２の主電極２の間にパルス電圧を印加すると、主放
電空間にグロー状の放電が点弧し、レーザガスが励起さ
れ、所望のレーザ出力を得ることができる。
述べる様に動作する。即ち、主放電空間の放電に先立ち
、予備電離電極４によりスパーク放電を行ない、第１の
生電極１及び第２の主電極２の間の放電空間に紫外光を
照射し、電子を発生させる。その後、第１の主電極１及
び第２の主電極２の間にパルス電圧を印加すると、主放
電空間にグロー状の放電が点弧し、レーザガスが励起さ
れ、所望のレーザ出力を得ることができる。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、上記の様な構成を有する従来のパルスレ
ーザ装置には、以下に述べる様な解決すべき課題があっ
た。即ち、主電極１．２の長手方向とレーザガス流との
成す角度は、第３図に示した様にほぼ９０°となってい
る。そのため、第２図に示した様に、主電極１． ２間
を通過したレーザガスが、主電極１，２の表面に沿って
主電極の基部側に入り込み、主電極の下流側で渦流５を
発生する可能性が大きかった。その結果、主電極の下流
側に劣化したレーザガスが停留することになり、連続放
電を行なった際に、主電極の下流側で部分放電が点弧す
る危険性が高いといった欠点があった。また、部分放電
が発生することにより安定したグロー放電を得ることが
できないといった欠点があった。
ーザ装置には、以下に述べる様な解決すべき課題があっ
た。即ち、主電極１．２の長手方向とレーザガス流との
成す角度は、第３図に示した様にほぼ９０°となってい
る。そのため、第２図に示した様に、主電極１． ２間
を通過したレーザガスが、主電極１，２の表面に沿って
主電極の基部側に入り込み、主電極の下流側で渦流５を
発生する可能性が大きかった。その結果、主電極の下流
側に劣化したレーザガスが停留することになり、連続放
電を行なった際に、主電極の下流側で部分放電が点弧す
る危険性が高いといった欠点があった。また、部分放電
が発生することにより安定したグロー放電を得ることが
できないといった欠点があった。
本発明は、以上の欠点を解消するために提案されたもの
で、その目的は、主電極の下流側に発生する渦流をなく
して部分放電の発生を防止し、常に安定したレーザ出力
を得ることのできる高効率のパルスレーザ装置を提供す
ることにある。
で、その目的は、主電極の下流側に発生する渦流をなく
して部分放電の発生を防止し、常に安定したレーザ出力
を得ることのできる高効率のパルスレーザ装置を提供す
ることにある。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
本発明は、対向配置した一対の主電極と、その両側部に
対向配置した複数対の予備電離電極とから放電部を構成
し、前記放電部にレーザガスを循環し、予備電離電極に
よる予備電離の後、主電極間に高電圧を印加し、両電極
間に生じるグロー放電により放電部に供給されたレーザ
ガスを励起してレーザを出力するパルスレーザ装置にお
イテ、主電極の長手方向とレーザガス流との成す角度が
９０″未満となるように構成したことを特徴とするもの
である。
対向配置した複数対の予備電離電極とから放電部を構成
し、前記放電部にレーザガスを循環し、予備電離電極に
よる予備電離の後、主電極間に高電圧を印加し、両電極
間に生じるグロー放電により放電部に供給されたレーザ
ガスを励起してレーザを出力するパルスレーザ装置にお
イテ、主電極の長手方向とレーザガス流との成す角度が
９０″未満となるように構成したことを特徴とするもの
である。
（作用）
本発明のパルスレーザ装置においては、主電極表面を通
過したレーザガスが、主電極の下流側で主電極の側面に
流れ込んでも、その側面に沿って主電極の長手方向（光
軸方向）に流れ出るため、渦流を発生することがなく、
主電極下流側に分解したレーザガスが停留することを防
止できる。
過したレーザガスが、主電極の下流側で主電極の側面に
流れ込んでも、その側面に沿って主電極の長手方向（光
軸方向）に流れ出るため、渦流を発生することがなく、
主電極下流側に分解したレーザガスが停留することを防
止できる。
（実施例）
以下、本発明の一実施例を第１図に基づいて具体的に説
明する。なお、第２図及び第３図に示した従来型と同一
の部材には同一の符号を付して、説明は省略する。
明する。なお、第２図及び第３図に示した従来型と同一
の部材には同一の符号を付して、説明は省略する。
本実施例においては、第１図に示した様に、主電極１，
２の長手方向とレーザガス流との成す角度αが、９０″
未満となるように構成されている。
２の長手方向とレーザガス流との成す角度αが、９０″
未満となるように構成されている。
この様な構成を有する本実施例のパルスレーザ装置にお
いては、以下に述べる様にして安定したレーザ出力を得
ることができる。即ち、主電極１゜２間を通過したレー
ザガス３が、主電極１．２の下流側で主電極の側面に流
れ込んでも、レーザガス３が主電極１，２と所定の角度
をもって送り込まれているため、レーザガス３は主電極
１，２の表面に沿って光軸７の方向に流れ、主電極１．
２の下流側側部に渦流を形成することはない。その結果
、主電極の下流側に劣化したレーザガスが停留すること
を防止できるので、連続放電を行なった場合でも、主電
極の下流側で部分放電が点弧することもなく、安定した
グロー放電を得ることができる。
いては、以下に述べる様にして安定したレーザ出力を得
ることができる。即ち、主電極１゜２間を通過したレー
ザガス３が、主電極１．２の下流側で主電極の側面に流
れ込んでも、レーザガス３が主電極１，２と所定の角度
をもって送り込まれているため、レーザガス３は主電極
１，２の表面に沿って光軸７の方向に流れ、主電極１．
２の下流側側部に渦流を形成することはない。その結果
、主電極の下流側に劣化したレーザガスが停留すること
を防止できるので、連続放電を行なった場合でも、主電
極の下流側で部分放電が点弧することもなく、安定した
グロー放電を得ることができる。
［発明の効果］
以上述べた様に、本発明によれば、主電極の長手方向と
レーザガス流との成す角度を９０″未満とすることによ
って、主電極の下流側に発生する渦流をなくして部分放
電の発生を防止し、常に安定したレーザ出力を得ること
のできる高効率のパルスレーザ装置を提供することがで
きる。
レーザガス流との成す角度を９０″未満とすることによ
って、主電極の下流側に発生する渦流をなくして部分放
電の発生を防止し、常に安定したレーザ出力を得ること
のできる高効率のパルスレーザ装置を提供することがで
きる。
第１図は本発明のパルスレーザ装置の一実施例の要部を
示す概略図、第２図は従来のパルスレーザ装置の一例を
示す断面図、第３図は従来のパルスレーザ装置の要部を
示す概略図である。 １・・・第１の主電極、２・・・第２の主電極、３・・
・レーザガス流、４・・・予備電離電極、５・・・渦流
、６・・・ピーキングコンデンサ、７・・・光軸。
示す概略図、第２図は従来のパルスレーザ装置の一例を
示す断面図、第３図は従来のパルスレーザ装置の要部を
示す概略図である。 １・・・第１の主電極、２・・・第２の主電極、３・・
・レーザガス流、４・・・予備電離電極、５・・・渦流
、６・・・ピーキングコンデンサ、７・・・光軸。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 対向配置した一対の主電極と、その両側部に対向配置し
た複数対の予備電離電極とから放電部を構成し、前記放
電部にレーザガスを循環し、予備電離電極による予備電
離の後、主電極間に高電圧を印加し、両電極間に生じる
グロー放電により放電部に供給されたレーザガスを励起
してレーザを出力するパルスレーザ装置において、 前記主電極の長手方向とレーザガス流との成す角度が９
０゜未満となるように構成したことを特徴とするパルス
レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15529290A JPH0448789A (ja) | 1990-06-15 | 1990-06-15 | パルスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15529290A JPH0448789A (ja) | 1990-06-15 | 1990-06-15 | パルスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0448789A true JPH0448789A (ja) | 1992-02-18 |
Family
ID=15602708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15529290A Pending JPH0448789A (ja) | 1990-06-15 | 1990-06-15 | パルスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0448789A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011155193A (ja) * | 2010-01-28 | 2011-08-11 | Mitsubishi Electric Corp | Ｃｏ２ガスレーザ装置 |
-
1990
- 1990-06-15 JP JP15529290A patent/JPH0448789A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011155193A (ja) * | 2010-01-28 | 2011-08-11 | Mitsubishi Electric Corp | Ｃｏ２ガスレーザ装置 |
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