JPH0629600A - パルスガスレーザ装置 - Google Patents
パルスガスレーザ装置Info
- Publication number
- JPH0629600A JPH0629600A JP22633792A JP22633792A JPH0629600A JP H0629600 A JPH0629600 A JP H0629600A JP 22633792 A JP22633792 A JP 22633792A JP 22633792 A JP22633792 A JP 22633792A JP H0629600 A JPH0629600 A JP H0629600A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- electrodes
- discharge
- main electrodes
- flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 予備電離放電によって生じた粒子により、主
放電の安定性が阻害されないようにすることを目的とす
る。 【構成】 ガス上流側に、ガスの流れを主電極間に向け
てガイドするガイド板を設置し、このガイド板の複数個
所に、下部主電極の下方に向かって一部のガスをガイド
するスリットを設ける。下部主電極の内部に、スリット
に流入したガスがガス下流側に向かって通過する複数の
空洞を形成する。ガス上流側の予備電離ピンを、スリッ
トに向かうガスの流入経路上に設置する。
放電の安定性が阻害されないようにすることを目的とす
る。 【構成】 ガス上流側に、ガスの流れを主電極間に向け
てガイドするガイド板を設置し、このガイド板の複数個
所に、下部主電極の下方に向かって一部のガスをガイド
するスリットを設ける。下部主電極の内部に、スリット
に流入したガスがガス下流側に向かって通過する複数の
空洞を形成する。ガス上流側の予備電離ピンを、スリッ
トに向かうガスの流入経路上に設置する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はパルスガズレーザ装置、
特に紫外線予備電離形のパルスガスレーザ装置に関す
る。
特に紫外線予備電離形のパルスガスレーザ装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】周知のようにこの種パルスガスレーザ装
置におけるレーザ励起部は、一対の細長いレール状の主
電極と、その両側に設置された多数の予備電離ピンとに
よって構成されている。そして主電極間に均一なグロー
放電を発生させることによりレーザ励起を行ない、レー
ザ発振を行なう。
置におけるレーザ励起部は、一対の細長いレール状の主
電極と、その両側に設置された多数の予備電離ピンとに
よって構成されている。そして主電極間に均一なグロー
放電を発生させることによりレーザ励起を行ない、レー
ザ発振を行なう。
【０００３】図４はその従来構成を示し、１は上部主電
極、２は下部主電極、３はガス流の上流側に設置された
予備電離ピン、４は同じく下流側に設置された予備電離
ピンである。各予備電離ピン３、４でスパーク放電を発
生させ、そのとき放射される紫外線により主電極間を予
備電離する。そのあと主電極間で放電を発生させ、レー
ザ発振を行なう。５はガスの流れをガイドするガイド板
である。
極、２は下部主電極、３はガス流の上流側に設置された
予備電離ピン、４は同じく下流側に設置された予備電離
ピンである。各予備電離ピン３、４でスパーク放電を発
生させ、そのとき放射される紫外線により主電極間を予
備電離する。そのあと主電極間で放電を発生させ、レー
ザ発振を行なう。５はガスの流れをガイドするガイド板
である。
【０００４】ところでこの種装置において、１秒間に数
百回の高い繰り返し率で安定してレーザ発振を行なうた
めには、放電が行なわれたあと、次の放電が行なわれる
までに、その主電極間に新しいガスを供給して置換させ
ておく必要がある。そのためにレーザチャンバー内にガ
ス循環用のファンを設置し、主電極間に高速のガス流を
図中矢印６で示すように流している。
百回の高い繰り返し率で安定してレーザ発振を行なうた
めには、放電が行なわれたあと、次の放電が行なわれる
までに、その主電極間に新しいガスを供給して置換させ
ておく必要がある。そのためにレーザチャンバー内にガ
ス循環用のファンを設置し、主電極間に高速のガス流を
図中矢印６で示すように流している。
【０００５】しかしこのように高速のガスを主電極間に
流すようにした場合、ガス流の上流側にある予備電離ピ
ン３でのスパーク放電により生じた粒子（イオン、金属
粒子など）がガス流にのって主電極間に流れ込むように
なる。そのため主電極間における放電がこの粒子によっ
て不安定となり、高繰り返し運転が阻害されることがあ
る。
流すようにした場合、ガス流の上流側にある予備電離ピ
ン３でのスパーク放電により生じた粒子（イオン、金属
粒子など）がガス流にのって主電極間に流れ込むように
なる。そのため主電極間における放電がこの粒子によっ
て不安定となり、高繰り返し運転が阻害されることがあ
る。
【０００６】また予備電離ピンの放電によって発生した
粒子も、次の放電が行なわれるまでに主電極間から除去
するためには、主電極の幅に対して、主電極から予備電
離ピンまでの距離が数倍長いので、必要なガス流を高速
にする必要があり、そのために強力なファンを使用しな
ければならないことになる。
粒子も、次の放電が行なわれるまでに主電極間から除去
するためには、主電極の幅に対して、主電極から予備電
離ピンまでの距離が数倍長いので、必要なガス流を高速
にする必要があり、そのために強力なファンを使用しな
ければならないことになる。
【０００７】これらを解決する手段として、ガス流の上
流側の予備電離ピン３を省略し、下流側の予備電離ピン
４のみで予備電離を行なうことが考えられるが、しかし
このようにした場合は、予備電離の強度が低下するとと
もに、予備電離による電子の分布が不均一となり、その
ため出力が低下したり、ビームパターンが不均一となる
ことがある。
流側の予備電離ピン３を省略し、下流側の予備電離ピン
４のみで予備電離を行なうことが考えられるが、しかし
このようにした場合は、予備電離の強度が低下するとと
もに、予備電離による電子の分布が不均一となり、その
ため出力が低下したり、ビームパターンが不均一となる
ことがある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、予備電離放
電によって生じた粒子を主電極間に流入しないようにす
ることにより、主電極間における放電の、粒子による不
安定を回避することを目的とする。
電によって生じた粒子を主電極間に流入しないようにす
ることにより、主電極間における放電の、粒子による不
安定を回避することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、主電極に対す
るガス上流側に、ガスの流れを主電極間に向けてガイド
するガイド板を設置し、このガイド板の複数個所に、下
部主電極の下方に向かって一部のガスが流入するスリッ
トを設け、下部主電極の内部に、スリットに流入したガ
スがガス下流側に向かって通過する複数の空洞を形成す
るとともに、ガス上流側の予備電離ピンを、スリットに
向かうガスの流入経路上に設置したことを特徴とする。
るガス上流側に、ガスの流れを主電極間に向けてガイド
するガイド板を設置し、このガイド板の複数個所に、下
部主電極の下方に向かって一部のガスが流入するスリッ
トを設け、下部主電極の内部に、スリットに流入したガ
スがガス下流側に向かって通過する複数の空洞を形成す
るとともに、ガス上流側の予備電離ピンを、スリットに
向かうガスの流入経路上に設置したことを特徴とする。
【００１０】
【作用】ガス上流側にある予備電離ピンの放電によって
生じた粒子は、スリットに向かうガスの流れにのってス
リットを通過し、更に下部主電極に設けた空洞を通過し
てガス下流側に向かう。これによりほとんどの粒子は主
電極間には通過することがないので、主電極間での放電
の不安定は充分回避されるようになる。
生じた粒子は、スリットに向かうガスの流れにのってス
リットを通過し、更に下部主電極に設けた空洞を通過し
てガス下流側に向かう。これによりほとんどの粒子は主
電極間には通過することがないので、主電極間での放電
の不安定は充分回避されるようになる。
【００１１】
【実施例】本発明の実施例を図１〜図３によって説明す
る。なお図４と同じ符号を付した部分は同一または対応
する部分を示す。本発明にしたがい、ガス上流側にガイ
ド板７を設置する。ガイド板７は傾斜部８と、平坦部９
とを備え、その屈曲個所付近である予備電離ピンが設置
されている部分には、主電極の長手方向に沿って複数の
スリット１０が形成されてある。
る。なお図４と同じ符号を付した部分は同一または対応
する部分を示す。本発明にしたがい、ガス上流側にガイ
ド板７を設置する。ガイド板７は傾斜部８と、平坦部９
とを備え、その屈曲個所付近である予備電離ピンが設置
されている部分には、主電極の長手方向に沿って複数の
スリット１０が形成されてある。
【００１２】傾斜部８の傾斜角は、下部主電極２の下方
に向かう角度に設定されてある。また平坦部９は下部主
電極２の頂面と略同じ高さとされている。上流側の予備
電離ピン３はスリット１０のやや上方にあって、スリッ
ト１０に向かうガスの流入経路上に設置されてある。
に向かう角度に設定されてある。また平坦部９は下部主
電極２の頂面と略同じ高さとされている。上流側の予備
電離ピン３はスリット１０のやや上方にあって、スリッ
ト１０に向かうガスの流入経路上に設置されてある。
【００１３】下部主電極２の内部には、スリット１０に
流入したガスがガス下流側に向かって通過する複数の空
洞１１が形成されてある。１２はスリット１０を通過し
たガスを平坦部９とともに下部主電極２の下方にガイド
するガイド板、１３は主電極間を通過したガスをガス下
流側にガイドするガイド板、１４は空洞１１を通過した
ガスをガイド板１３とともにガス下流側にガイドするガ
イド板である。
流入したガスがガス下流側に向かって通過する複数の空
洞１１が形成されてある。１２はスリット１０を通過し
たガスを平坦部９とともに下部主電極２の下方にガイド
するガイド板、１３は主電極間を通過したガスをガス下
流側にガイドするガイド板、１４は空洞１１を通過した
ガスをガイド板１３とともにガス下流側にガイドするガ
イド板である。
【００１４】以上の構成において、ガスはその上流側よ
り下流側に向かって流れるとき、その大半はガイド板７
の傾斜部８および平坦部９によりガイドされて上部主電
極１と下部主電極２との間を通って下流側に流れる。し
かしスリット１０に向かうガスは、スリット１０を通過
してガイド板１２と平坦部９とによりガイドされて、下
部主電極２の内部の空洞部１１を通って下流側に流れる
ようになる。
り下流側に向かって流れるとき、その大半はガイド板７
の傾斜部８および平坦部９によりガイドされて上部主電
極１と下部主電極２との間を通って下流側に流れる。し
かしスリット１０に向かうガスは、スリット１０を通過
してガイド板１２と平坦部９とによりガイドされて、下
部主電極２の内部の空洞部１１を通って下流側に流れる
ようになる。
【００１５】ここで予備電離ピン３において予備電離の
ための放電が発生したことによって粒子が発生したと
き、予備電離ピン３がスリット１０に向かうガスの流入
経路上に設置されてあることにより、その粒子はスリッ
ト１０に向かうガスの流れにのって下部主電極２の空洞
に向かう。そのため主電極１、２間に粒子が流入するよ
うなことは極力阻止されるようになる。
ための放電が発生したことによって粒子が発生したと
き、予備電離ピン３がスリット１０に向かうガスの流入
経路上に設置されてあることにより、その粒子はスリッ
ト１０に向かうガスの流れにのって下部主電極２の空洞
に向かう。そのため主電極１、２間に粒子が流入するよ
うなことは極力阻止されるようになる。
【００１６】一方前記のようにスリット１０が形成され
ていない個所、すなわち予備電離ピン３が設置されてい
ない個所に向かうガスは、そのままガイド板７の平坦部
９によりガイドされて主電極１、２間に流れる。したが
って主電極１、２間のガスの流れは特に損なわれること
がなく、主電極１、２間の放電に対処する。
ていない個所、すなわち予備電離ピン３が設置されてい
ない個所に向かうガスは、そのままガイド板７の平坦部
９によりガイドされて主電極１、２間に流れる。したが
って主電極１、２間のガスの流れは特に損なわれること
がなく、主電極１、２間の放電に対処する。
【００１７】また予備電離ピン３はスリット１０の上方
にあり、予備電離ピン４とともに主電極の両側に多数設
置されているので、予備電離放電によって発生する紫外
線は従来構成と同様に特別な支障を生ずることなく主電
極間を照射する。
にあり、予備電離ピン４とともに主電極の両側に多数設
置されているので、予備電離放電によって発生する紫外
線は従来構成と同様に特別な支障を生ずることなく主電
極間を照射する。
【００１８】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、予
備電離放電によって生じた粒子を主電極間に流入するの
を阻止することができ、これによってこの粒子の流れに
よる主電極間の放電の不安定性を回避することができる
ようになり、もって高い繰り返し発振を可能とすること
ができる効果を奏する。
備電離放電によって生じた粒子を主電極間に流入するの
を阻止することができ、これによってこの粒子の流れに
よる主電極間の放電の不安定性を回避することができる
ようになり、もって高い繰り返し発振を可能とすること
ができる効果を奏する。
【図１】本発明の実施例を示す断面図である。
【図２】図１の部分平面図である。
【図３】図１の下部主電極の部分斜視図である。
【図４】従来例の断面図である。
１ 上部主電極 ２ 下部主電極 ３ 予備電離ピン ４ 予備電離ピン ７ ガイド板 ８ 傾斜部 ９ 平坦部 １０ スリット １１ 空洞部
Claims (1)
- 【請求項１】 一対の細長いレール状の上部主電極およ
び下部主電極とからなる主電極と、前記主電極の両側に
設置された多数の予備電離ピンとによりレーザ励起部が
構成されてあるパルスガスレーザ装置において、前記主
電極に対するガス上流側に、ガスの流れを前記主電極間
に向けてガイドするガイド板を設置するとともに、前記
ガイド板の複数個所に、前記下部主電極の下方に向かっ
て一部のガスが流入するスリットを設け、前記下部主電
極の内部に、前記スリットに流入したガスがガス下流側
に向かって通過する複数の空洞を形成し、ガス上流側に
ある前記予備電離ピンを、前記スリットに向かうガスの
流入経路上に設置してなるパルスガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22633792A JPH0629600A (ja) | 1992-07-10 | 1992-07-10 | パルスガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22633792A JPH0629600A (ja) | 1992-07-10 | 1992-07-10 | パルスガスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0629600A true JPH0629600A (ja) | 1994-02-04 |
Family
ID=16843590
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22633792A Pending JPH0629600A (ja) | 1992-07-10 | 1992-07-10 | パルスガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0629600A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004503946A (ja) * | 2000-06-09 | 2004-02-05 | サイマー， インコーポレイテッド | ガス放電レーザの長寿命電極 |
-
1992
- 1992-07-10 JP JP22633792A patent/JPH0629600A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004503946A (ja) * | 2000-06-09 | 2004-02-05 | サイマー， インコーポレイテッド | ガス放電レーザの長寿命電極 |
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