JPH11112300A - パルスレーザの放電回路 - Google Patents
パルスレーザの放電回路Info
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- JPH11112300A JPH11112300A JP27120797A JP27120797A JPH11112300A JP H11112300 A JPH11112300 A JP H11112300A JP 27120797 A JP27120797 A JP 27120797A JP 27120797 A JP27120797 A JP 27120797A JP H11112300 A JPH11112300 A JP H11112300A
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- discharge
- capacitor
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Abstract
(57)【要約】
【課題】放電直後のオーバーシュート電圧に起因する悪
影響をなくし、安定なレーザ出力を得ることができるよ
うする。 【解決手段】電源ＨＶと、レーザを発生させるための主
放電電極１，２と、主放電電極間に放電を発生させるた
めの電荷を充電する主放電用コンデンサＣaと、主放電
用コンデンサに対し所定の繰り返し周期で前記電源の電
荷を充電するためのスイッチング動作を行うスイッチン
グ回路５とを具えたパルスレーザの放電回路において、
前記主放電の直後に発生するオーバーシュートに起因す
る前記電源からの逆流電流をアースへ逃がすかあるいは
消費させる回路素子Ｄaを前記主放電用コンデンサと並
列に設けるようにしている。
影響をなくし、安定なレーザ出力を得ることができるよ
うする。 【解決手段】電源ＨＶと、レーザを発生させるための主
放電電極１，２と、主放電電極間に放電を発生させるた
めの電荷を充電する主放電用コンデンサＣaと、主放電
用コンデンサに対し所定の繰り返し周期で前記電源の電
荷を充電するためのスイッチング動作を行うスイッチン
グ回路５とを具えたパルスレーザの放電回路において、
前記主放電の直後に発生するオーバーシュートに起因す
る前記電源からの逆流電流をアースへ逃がすかあるいは
消費させる回路素子Ｄaを前記主放電用コンデンサと並
列に設けるようにしている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、所定の繰り返し
周波数でパルス放電を行うことでレーザ媒質を励起して
パルスレーザ発振を行うパルスレーザ放電回路の放電の
際のオーバーシュート電流に起因するレーザ出力の変動
を解消するための改良に関する。
周波数でパルス放電を行うことでレーザ媒質を励起して
パルスレーザ発振を行うパルスレーザ放電回路の放電の
際のオーバーシュート電流に起因するレーザ出力の変動
を解消するための改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】１気圧以上の気体を放電させてレーザ発
振させる方式をＴＥＡレーザと呼び、１対の対向する主
放電電極間に均一なグロー放電を発生させて、レーザ発
振に必要な反転分布領域を形成するようにしている。こ
のＴＥＡレーザにおいて、放電空間全体に広がったグロ
ー放電を得るためには、主放電を開始する前に予備電離
を行い、予め主放電空間全体を電離しておく必要があ
る。特に、エキシマレーザの場合は、負正ガス中での電
子の寿命が短いため、主放電の直前にできるだけ多く電
離させておく必要がある。
振させる方式をＴＥＡレーザと呼び、１対の対向する主
放電電極間に均一なグロー放電を発生させて、レーザ発
振に必要な反転分布領域を形成するようにしている。こ
のＴＥＡレーザにおいて、放電空間全体に広がったグロ
ー放電を得るためには、主放電を開始する前に予備電離
を行い、予め主放電空間全体を電離しておく必要があ
る。特に、エキシマレーザの場合は、負正ガス中での電
子の寿命が短いため、主放電の直前にできるだけ多く電
離させておく必要がある。
【０００３】現在、予備電離方式としては、Ｘ線、スパ
ーク放電、コロナ放電などを使った様々な方式が使用さ
れているが、中でもコロナ放電を使った方式は、比較的
簡便でレーザガスへの汚染が少ない事から広く使用され
ている。
ーク放電、コロナ放電などを使った様々な方式が使用さ
れているが、中でもコロナ放電を使った方式は、比較的
簡便でレーザガスへの汚染が少ない事から広く使用され
ている。
【０００４】図６はコロナ放電を使って予備電離を行う
従来の容量移行型の磁気パルス圧縮放電装置の等価回路
を示している。
従来の容量移行型の磁気パルス圧縮放電装置の等価回路
を示している。
【０００５】この図６の放電回路においては、１対の主
電極間１，２によって形成される主放電空間３の側方に
コロナ予備電離電極４を配置するようにしており、コロ
ナ予備電離電極４のコロナ放電によって発生させたＵＶ
光によって主電極１、２間の主放電空間のレーザ媒体を
予備電離する。
電極間１，２によって形成される主放電空間３の側方に
コロナ予備電離電極４を配置するようにしており、コロ
ナ予備電離電極４のコロナ放電によって発生させたＵＶ
光によって主電極１、２間の主放電空間のレーザ媒体を
予備電離する。
【０００６】この構成においては、まず高電圧電源ＨＶ
に接続されたコンデンサＣ0に電源ＨＶからの電荷を充
電する。
に接続されたコンデンサＣ0に電源ＨＶからの電荷を充
電する。
【０００７】つぎに、サイラトロン、ＧＴＯなどで構成
されるスイッチング回路５がオンになると、コンデンサ
Ｃ0、スイッチング回路５、コンデンサＣ1、可飽和リア
クトルから成る磁気スイッチ６に電流Ｉ0が流れ、その
後コンデンサＣ1の電圧が所定の電圧まで上昇すると、
磁気スイッチ７は飽和し、低インピーダンスとなる。
されるスイッチング回路５がオンになると、コンデンサ
Ｃ0、スイッチング回路５、コンデンサＣ1、可飽和リア
クトルから成る磁気スイッチ６に電流Ｉ0が流れ、その
後コンデンサＣ1の電圧が所定の電圧まで上昇すると、
磁気スイッチ７は飽和し、低インピーダンスとなる。
【０００８】これにより、コンデンサＣ1、主放電コン
デンサＣa、磁気スイッチ７のループに電流Ｉ1が流れ、
コンデンサＣa、Ｃbの電圧が上昇していく。
デンサＣa、磁気スイッチ７のループに電流Ｉ1が流れ、
コンデンサＣa、Ｃbの電圧が上昇していく。
【０００９】この後、予備電離コンデンサＣbを介して
コロナ電極４の電圧が所定の予備電離開始電圧まで上昇
すると、コロナ電極４にコロナ放電が発生して電流Ｉ2
が流れ、主放電空間３が予備電離される。
コロナ電極４の電圧が所定の予備電離開始電圧まで上昇
すると、コロナ電極４にコロナ放電が発生して電流Ｉ2
が流れ、主放電空間３が予備電離される。
【００１０】さらに、この後主放電コンデンサＣaの電
圧が充電の進展とともに上昇し、この電圧が所定の主放
電開始電圧に達すると、主電極１，２間に主放電が開始
されて電流Ｉ3が流れる。そして、主電極１，２間に発
生した主放電によってレーザ媒質が励起され、レーザ光
が発生される。
圧が充電の進展とともに上昇し、この電圧が所定の主放
電開始電圧に達すると、主電極１，２間に主放電が開始
されて電流Ｉ3が流れる。そして、主電極１，２間に発
生した主放電によってレーザ媒質が励起され、レーザ光
が発生される。
【００１１】その後、主放電によってコンデンサＣa，
Ｃbの電圧は急速に低下し、所定時間経過後に充電開始
前の状態に戻る。
Ｃbの電圧は急速に低下し、所定時間経過後に充電開始
前の状態に戻る。
【００１２】このような放電動作がスイッチング回路５
に設定された所定の繰り返し周波数（パルス発振周波
数）で繰り返し行われることにより、パルスレーザ発振
が行われる。
に設定された所定の繰り返し周波数（パルス発振周波
数）で繰り返し行われることにより、パルスレーザ発振
が行われる。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】図７に主電極１、２間
にかかる電圧ＶDの波形を１パルス周期分示す。
にかかる電圧ＶDの波形を１パルス周期分示す。
【００１４】前述したように、電圧ＶDは主放電コンデ
ンサＣaの充電の進展に伴って上昇（この場合は負に下
降）し、この電圧ＶDが所定の主放電開始電圧になる
と、主放電が発生する。電圧ＶDは主放電発生後、急速
に低下するが、この際、過渡現象によって放電電圧とは
逆極性のオーバーシュート電圧が発生し、さらにその
後、定常状態に戻る直前に、前記オーバーシュート電圧
の電源ＨＶからの反射電圧と考えられる電圧Ｖd（ハッ
チング部分）が発生する。すなわち、放電後は、磁気ス
イッチ６，７は、低インピーダンス状態であるため、放
電直後に発生したオーバーシュート電流が磁気スイッチ
６，７を通って電源ＨＶまで流れ、そこで反射された逆
流電流Ｉd（破線）が主放電コンデンサＣaに流入するこ
とを原因として反射電圧Ｖdが発生し、この反射電圧Ｖd
により主放電が不安定になり、レーザ出力を変動させ
る。
ンサＣaの充電の進展に伴って上昇（この場合は負に下
降）し、この電圧ＶDが所定の主放電開始電圧になる
と、主放電が発生する。電圧ＶDは主放電発生後、急速
に低下するが、この際、過渡現象によって放電電圧とは
逆極性のオーバーシュート電圧が発生し、さらにその
後、定常状態に戻る直前に、前記オーバーシュート電圧
の電源ＨＶからの反射電圧と考えられる電圧Ｖd（ハッ
チング部分）が発生する。すなわち、放電後は、磁気ス
イッチ６，７は、低インピーダンス状態であるため、放
電直後に発生したオーバーシュート電流が磁気スイッチ
６，７を通って電源ＨＶまで流れ、そこで反射された逆
流電流Ｉd（破線）が主放電コンデンサＣaに流入するこ
とを原因として反射電圧Ｖdが発生し、この反射電圧Ｖd
により主放電が不安定になり、レーザ出力を変動させ
る。
【００１５】また、逆流電流Ｉdの一部Ｉd´は、予備電
離用コンデンサＣbにも流入し、これにより予備電離放
電が不安定になることにより、予備電離が不安定にな
り、レーザ出力を変動させる。
離用コンデンサＣbにも流入し、これにより予備電離放
電が不安定になることにより、予備電離が不安定にな
り、レーザ出力を変動させる。
【００１６】この発明はこのような実情に鑑みてなされ
たもので、放電直後のオーバーシュート電圧に起因する
悪影響をなくし、安定なレーザ出力を得ることができる
ようにしたパルスレーザの放電回路を提供することを目
的とする。
たもので、放電直後のオーバーシュート電圧に起因する
悪影響をなくし、安定なレーザ出力を得ることができる
ようにしたパルスレーザの放電回路を提供することを目
的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段及び作用効果】この発明で
は、電源と、レーザを発生させる為の主放電電極と、主
放電電極間に主放電を発生させるための電荷を充電する
主放電用コンデンサと、主放電用コンデンサに対し所定
の繰り返し周期で前記電源の電荷を充電するためのスイ
ッチング動作を行うスイッチング回路とを具えたパルス
レーザの放電回路において、前記主放電の直後に発生す
るオーバーシュートに起因する前記電源からの逆流電流
をアースへ逃がすかあるいは消費させる回路素子を前記
主放電用コンデンサと並列に設けるようにしている。
は、電源と、レーザを発生させる為の主放電電極と、主
放電電極間に主放電を発生させるための電荷を充電する
主放電用コンデンサと、主放電用コンデンサに対し所定
の繰り返し周期で前記電源の電荷を充電するためのスイ
ッチング動作を行うスイッチング回路とを具えたパルス
レーザの放電回路において、前記主放電の直後に発生す
るオーバーシュートに起因する前記電源からの逆流電流
をアースへ逃がすかあるいは消費させる回路素子を前記
主放電用コンデンサと並列に設けるようにしている。
【００１８】かかる発明によれば、主放電コンデンサと
並列にダイオードなどの一方向性回路素子あるいは抵抗
を接続し、このダイオードあるいは抵抗などによって放
電の直後に発生するオーバーシュートに起因する前記電
源からの逆流電流をアースへ逃がすかあるいは熱として
消費させるようにしているので、オーバーシュート電圧
の電源からの反射電圧をなくすことができ、これにより
安定な出力のレーザ出力を得ることができるようにな
る。
並列にダイオードなどの一方向性回路素子あるいは抵抗
を接続し、このダイオードあるいは抵抗などによって放
電の直後に発生するオーバーシュートに起因する前記電
源からの逆流電流をアースへ逃がすかあるいは熱として
消費させるようにしているので、オーバーシュート電圧
の電源からの反射電圧をなくすことができ、これにより
安定な出力のレーザ出力を得ることができるようにな
る。
【００１９】また、この発明では、電源と、レーザを発
生させるための主放電電極と、主放電電極間に放電を発
生させるための電荷を充電する主放電用コンデンサと、
前記主放電電極間を予備電離するための予備電離電極
と、この予備電離電極に予備放電を発生させるための電
荷を充電する予備放電用コンデンサと、前記主放電用コ
ンデンサおよび予備電離用コンデンサに対し所定の繰り
返し周期で前記電源の電荷を充電するためのスイッチン
グ動作を行うスイッチング回路とを具えたパルスレーザ
の放電回路において、前記主放電の直後に発生するオー
バーシュートに起因する前記電源からの逆流電流に対し
逆方向の一方向性回路素子を前記予備電離電極に直列に
設けるようにしている。
生させるための主放電電極と、主放電電極間に放電を発
生させるための電荷を充電する主放電用コンデンサと、
前記主放電電極間を予備電離するための予備電離電極
と、この予備電離電極に予備放電を発生させるための電
荷を充電する予備放電用コンデンサと、前記主放電用コ
ンデンサおよび予備電離用コンデンサに対し所定の繰り
返し周期で前記電源の電荷を充電するためのスイッチン
グ動作を行うスイッチング回路とを具えたパルスレーザ
の放電回路において、前記主放電の直後に発生するオー
バーシュートに起因する前記電源からの逆流電流に対し
逆方向の一方向性回路素子を前記予備電離電極に直列に
設けるようにしている。
【００２０】かかる発明では、逆流電流に対し逆方向に
なるようダイオードなどの一方向性回路素子を予備電離
電極に直列に設けるようにしているので、逆流電流が予
備電離電極に流れるのを阻止できるようになり、これに
より予備放電を安定にし、均一な予備電離を得ることが
できるようになる。
なるようダイオードなどの一方向性回路素子を予備電離
電極に直列に設けるようにしているので、逆流電流が予
備電離電極に流れるのを阻止できるようになり、これに
より予備放電を安定にし、均一な予備電離を得ることが
できるようになる。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下この発明の実施例を添付図面
に従って詳細に説明する。
に従って詳細に説明する。
【００２２】図１はこの発明を容量移行型の磁気圧縮放
電装置に適用した実施例を示す等価回路である。
電装置に適用した実施例を示す等価回路である。
【００２３】この図１に示す実施例においては、先の図
６に示した従来装置に対しダイオードＤaを追加するよ
うにしており、その他の構成は先の図６の従来装置と同
じである。
６に示した従来装置に対しダイオードＤaを追加するよ
うにしており、その他の構成は先の図６の従来装置と同
じである。
【００２４】すなわち、この実施例においては、主放電
コンデンサＣaに並列にアース接続されたダイオードＤa
を電源ＨＶからの逆流電流Ｉdに対して順方向に設け、
逆流電流Ｉdをアースに急速に逃がすことで、反射電圧
Ｖdを発生させないようにしている。
コンデンサＣaに並列にアース接続されたダイオードＤa
を電源ＨＶからの逆流電流Ｉdに対して順方向に設け、
逆流電流Ｉdをアースに急速に逃がすことで、反射電圧
Ｖdを発生させないようにしている。
【００２５】図２は、図１の実施例を用いた場合の主電
極１、２間にかかる電圧ＶDの波形を示すものであり、
この図からも明らかなように、この実施例では、従来技
術で発生していた反射電圧Ｖdはほぼなくなり、これに
よりレーザ出力の変動を劇的に改善することができた。
極１、２間にかかる電圧ＶDの波形を示すものであり、
この図からも明らかなように、この実施例では、従来技
術で発生していた反射電圧Ｖdはほぼなくなり、これに
よりレーザ出力の変動を劇的に改善することができた。
【００２６】図３および図４はこの発明の他の実施例を
示すもので、これらの実施例では先の実施例のダイオー
ドＤaに直列に抵抗Ｒ1またはコイルＬ1を接続するよう
にしており、これらの実施例においても先の実施例とほ
ぼ同様の効果を得ることができる。抵抗Ｒ1は、逆流電
流Ｉdをアースに導くとともに、熱として消費させる役
目も有している。
示すもので、これらの実施例では先の実施例のダイオー
ドＤaに直列に抵抗Ｒ1またはコイルＬ1を接続するよう
にしており、これらの実施例においても先の実施例とほ
ぼ同様の効果を得ることができる。抵抗Ｒ1は、逆流電
流Ｉdをアースに導くとともに、熱として消費させる役
目も有している。
【００２７】なお、図１の実施例のダイオードＤaに代
えて、抵抗のみあるいはコイルのみを接続するようにし
てもよい。
えて、抵抗のみあるいはコイルのみを接続するようにし
てもよい。
【００２８】図５(a)〜(j)はこの発明の他の実施例を示
すもので、これらの実施例においては、予備電離電極４
側に前述の逆流電流Ｉdの一部Ｉd´が流れ込むのを阻止
するために、ダイオードＤbを逆流電流Ｉd´に対して逆
方向に設けるようにしている。
すもので、これらの実施例においては、予備電離電極４
側に前述の逆流電流Ｉdの一部Ｉd´が流れ込むのを阻止
するために、ダイオードＤbを逆流電流Ｉd´に対して逆
方向に設けるようにしている。
【００２９】すなわち、逆流電流Ｉd´は予備電離コン
デンサＣb側に流入し、この逆流電流Ｉd´が、予備放電
を不安定にする悪影響を与えるが、図５(a)〜(j)の各実
施例では、この逆流電流Ｉd´に対してダイオードＤbを
逆方向に設けることで、予備電離電極４に逆流電流Ｉd
´を流さないようにしている。
デンサＣb側に流入し、この逆流電流Ｉd´が、予備放電
を不安定にする悪影響を与えるが、図５(a)〜(j)の各実
施例では、この逆流電流Ｉd´に対してダイオードＤbを
逆方向に設けることで、予備電離電極４に逆流電流Ｉd
´を流さないようにしている。
【００３０】また、図５(a)〜(j)の各実施例において設
けられたダイオードＤc、Ｄdおよび抵抗ｒ1、ｒ2は、予
備放電コンデンサＣbに残留した電荷を急速になくすた
めに設けられており、予備放電コンデンサＣbの残留電
荷はダイオードＤc、Ｄd、抵抗ｒ1、ｒ2を介してアース
へ逃げるか、あるいは抵抗ｒ1またはｒ2によって熱とし
て消費される。
けられたダイオードＤc、Ｄdおよび抵抗ｒ1、ｒ2は、予
備放電コンデンサＣbに残留した電荷を急速になくすた
めに設けられており、予備放電コンデンサＣbの残留電
荷はダイオードＤc、Ｄd、抵抗ｒ1、ｒ2を介してアース
へ逃げるか、あるいは抵抗ｒ1またはｒ2によって熱とし
て消費される。
【００３１】このように、これら図５(a)〜(j)に示す各
実施例においては、ダイオードＤbによってオーバーシ
ュートに起因する電源からの逆流電流Ｉd´を阻止する
とともに、ダイオードＤc、Ｄd、抵抗ｒ1、ｒ2によって
予備放電コンデンサＣbに残留する電荷を放電するよう
にしたので、予備電離電極で電荷が残留することが防止
され、これにより予備電離放電が不安定になることによ
る予備電離の不安定性が抑制され、レーザ出力の変動を
防止することができる。
実施例においては、ダイオードＤbによってオーバーシ
ュートに起因する電源からの逆流電流Ｉd´を阻止する
とともに、ダイオードＤc、Ｄd、抵抗ｒ1、ｒ2によって
予備放電コンデンサＣbに残留する電荷を放電するよう
にしたので、予備電離電極で電荷が残留することが防止
され、これにより予備電離放電が不安定になることによ
る予備電離の不安定性が抑制され、レーザ出力の変動を
防止することができる。
【００３２】なお、上記実施例では本発明を容量移行型
の放電回路に適用するようにしたが、本発明を他のＬＣ
反転回路型、パルスフォーミングライン回路型あるいは
ブルムライン回路型等の放電回路に適用するようにして
もよい。
の放電回路に適用するようにしたが、本発明を他のＬＣ
反転回路型、パルスフォーミングライン回路型あるいは
ブルムライン回路型等の放電回路に適用するようにして
もよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施例を示す回路ブロック図。
【図２】図１の実施例を作用を説明するタイムチャー
ト。
ト。
【図３】この発明の他の実施例を示す回路ブロック図。
【図４】この発明の他の実施例を示す回路ブロック図。
【図５】この発明の他の実施例を示す回路ブロック図。
【図６】従来技術を示す回路ブロック図。
【図７】従来技術の作用を説明するためのタイムチャー
ト。
ト。
１、２…主電極 ３…主放電空間 ４…予備電離電
極 ５…スイッチング回路 ６，７…磁気スイッチ Ｃa…主放電コンデンサ Ｃb…予備電離コンデンサ
極 ５…スイッチング回路 ６，７…磁気スイッチ Ｃa…主放電コンデンサ Ｃb…予備電離コンデンサ
Claims (2)
- 【請求項１】電源と、レーザを発生させる為の主放電電
極と、主放電電極間に主放電を発生させるための電荷を
充電する主放電用コンデンサと、主放電用コンデンサに
対し所定の繰り返し周期で前記電源の電荷を充電するた
めのスイッチング動作を行うスイッチング回路とを具え
たパルスレーザの放電回路において、 前記主放電の直後に発生するオーバーシュートに起因す
る前記電源からの逆流電流をアースへ逃がすかあるいは
消費させる回路素子を前記主放電用コンデンサと並列に
設けるようにしたことを特徴とするパルスレーザの放電
回路。 - 【請求項２】電源と、レーザを発生させるための主放電
電極と、主放電電極間に放電を発生させるための電荷を
充電する主放電用コンデンサと、前記主放電電極間を予
備電離するための予備電離電極と、この予備電離電極に
予備放電を発生させるための電荷を充電する予備放電用
コンデンサと、前記主放電用コンデンサおよび予備電離
用コンデンサに対し所定の繰り返し周期で前記電源の電
荷を充電するためのスイッチング動作を行うスイッチン
グ回路とを具えたパルスレーザの放電回路において、 前記主放電の直後に発生するオーバーシュートに起因す
る前記電源からの逆流電流に対し逆方向に一方向性回路
素子を前記予備電離電極に直列に設けるようにしたこと
を特徴とするパルスレーザの放電回路。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27120797A JP3771690B2 (ja) | 1997-10-03 | 1997-10-03 | パルスレーザの放電回路 |
| DE19845586A DE19845586B4 (de) | 1997-10-03 | 1998-10-03 | Entladungsschaltung für einen Impulslaser mit einer Impulsleistungsquelle |
| US09/166,681 US6389049B2 (en) | 1997-10-03 | 1998-10-05 | Discharge circuit for pulsed laser and pulsed power source |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27120797A JP3771690B2 (ja) | 1997-10-03 | 1997-10-03 | パルスレーザの放電回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11112300A true JPH11112300A (ja) | 1999-04-23 |
| JP3771690B2 JP3771690B2 (ja) | 2006-04-26 |
Family
ID=17496849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27120797A Expired - Lifetime JP3771690B2 (ja) | 1997-10-03 | 1997-10-03 | パルスレーザの放電回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3771690B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102480100A (zh) * | 2010-11-29 | 2012-05-30 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种用于脉冲氧碘化学激光器的脉冲放电装置 |
| WO2023166570A1 (ja) * | 2022-03-01 | 2023-09-07 | ギガフォトン株式会社 | ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 |
-
1997
- 1997-10-03 JP JP27120797A patent/JP3771690B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102480100A (zh) * | 2010-11-29 | 2012-05-30 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种用于脉冲氧碘化学激光器的脉冲放电装置 |
| WO2023166570A1 (ja) * | 2022-03-01 | 2023-09-07 | ギガフォトン株式会社 | ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3771690B2 (ja) | 2006-04-26 |
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