JPH0212035B2 - - Google Patents
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- JPH0212035B2 JPH0212035B2 JP57037753A JP3775382A JPH0212035B2 JP H0212035 B2 JPH0212035 B2 JP H0212035B2 JP 57037753 A JP57037753 A JP 57037753A JP 3775382 A JP3775382 A JP 3775382A JP H0212035 B2 JPH0212035 B2 JP H0212035B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
- H01S3/09713—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited with auxiliary ionisation, e.g. double discharge excitation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S422/00—Chemical apparatus and process disinfecting, deodorizing, preserving, or sterilizing
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、主電極間にパルス状電圧を印加して
同電極間にグロー放電を行なわしめる装置に係わ
り、特にグロー放電からアーク放電への転移を抑
制してグロー放電を安定に行なわせるグロー放電
発生装置に関する。
同電極間にグロー放電を行なわしめる装置に係わ
り、特にグロー放電からアーク放電への転移を抑
制してグロー放電を安定に行なわせるグロー放電
発生装置に関する。
従来、グロー放電は、ガスレーザ発振器やオゾ
ン発生器等多くの分野で利用されている。しか
し、このグロー放電は、一般に陰極の局部的な熱
的不安定性やレーリ・テーラ不安定性、負イオン
不安定性、電極表面の不均一性などにより、いづ
れも初期電子の不均一分布とそれに続く気体の電
離作用による電子分布の局部集中とが原因となつ
て陰極に局部的な電流集中を生じ、これによりア
ーク放電に転移するとされている。このグロー放
電からアーク放電への転移が起きると、たとえば
ガスレーザ発振器ではレーザ出力が激減し、また
オゾン発生器の場合はオゾンの発生量の低下を招
く。
ン発生器等多くの分野で利用されている。しか
し、このグロー放電は、一般に陰極の局部的な熱
的不安定性やレーリ・テーラ不安定性、負イオン
不安定性、電極表面の不均一性などにより、いづ
れも初期電子の不均一分布とそれに続く気体の電
離作用による電子分布の局部集中とが原因となつ
て陰極に局部的な電流集中を生じ、これによりア
ーク放電に転移するとされている。このグロー放
電からアーク放電への転移が起きると、たとえば
ガスレーザ発振器ではレーザ出力が激減し、また
オゾン発生器の場合はオゾンの発生量の低下を招
く。
したがつて、これを防ぐため従来では、ガスレ
ーザ発振器においては、陽極および陰極間に気体
を高速に流通させたり、あるいは針状陰極電極に
バラスト抵抗を設けてアーク状放電への転移を抑
制するようにしている。しかしながらこの種の方
法は、気体の循環装置が必要となるため装置を小
形化する妨げになつたり、またバラスト抵抗によ
るエネルギ損失のためレーザの発振効率を高くで
きない欠点がある。
ーザ発振器においては、陽極および陰極間に気体
を高速に流通させたり、あるいは針状陰極電極に
バラスト抵抗を設けてアーク状放電への転移を抑
制するようにしている。しかしながらこの種の方
法は、気体の循環装置が必要となるため装置を小
形化する妨げになつたり、またバラスト抵抗によ
るエネルギ損失のためレーザの発振効率を高くで
きない欠点がある。
一方、オゾン発生器においては、従来より例え
ば主電極間に誘電体を挾んで電流集中を抑えるい
わゆる無声放電方式を用いることによりアーク状
放電への転移を抑制するようにしている。ところ
がこの種の手法にあつては、誘電体の絶縁耐圧に
限界があるため主放電印加電圧を高めることが難
かしく、これ故主電極相互間の間隔を大きく設定
できないことから単位体積当りのオゾン発生量を
増加させることができないという問題があつた。
ば主電極間に誘電体を挾んで電流集中を抑えるい
わゆる無声放電方式を用いることによりアーク状
放電への転移を抑制するようにしている。ところ
がこの種の手法にあつては、誘電体の絶縁耐圧に
限界があるため主放電印加電圧を高めることが難
かしく、これ故主電極相互間の間隔を大きく設定
できないことから単位体積当りのオゾン発生量を
増加させることができないという問題があつた。
本発明の目的は、装置の大型化および低能力化
を招くことなく高確率でアーク放電への転移を抑
制し得るようにし、しかも寿命が長く動作の安定
なグロー放電発生装置を提供することにある。
を招くことなく高確率でアーク放電への転移を抑
制し得るようにし、しかも寿命が長く動作の安定
なグロー放電発生装置を提供することにある。
本発明は、主放電電極間にパルス状電圧を印加
すると放電補助手段により陰極とこの陰極に近接
配置された補助電極との間にトリガ電流が流れて
陰極の表面に初期電子が供給されて主放電電極間
にグロー放電が発生し、このグロー放電発生中に
放電安定化手段により陰極と補助電極との間にお
ける電位差が増大してスイツチが閉じると陰極と
補助電極との間に減衰振動電流が流れてコロナ放
電が発生して陰極の表面に一様に電子が追加供給
され、この電子の追加供給により陰極における局
部的な電流の集中が抑制される。
すると放電補助手段により陰極とこの陰極に近接
配置された補助電極との間にトリガ電流が流れて
陰極の表面に初期電子が供給されて主放電電極間
にグロー放電が発生し、このグロー放電発生中に
放電安定化手段により陰極と補助電極との間にお
ける電位差が増大してスイツチが閉じると陰極と
補助電極との間に減衰振動電流が流れてコロナ放
電が発生して陰極の表面に一様に電子が追加供給
され、この電子の追加供給により陰極における局
部的な電流の集中が抑制される。
第１図は、本発明の一実施例におけるグロー放
電発生装置の概略構成図である。同図において、
主放電電極１は、それぞれ刃形状をなす陰極１１
および陽極１２を相互に対向配置したもので、こ
れらの陰極１１および陽極１２間には主電源２の
出力電圧が印加されるようになつている。この主
電源２は、パルス状電圧を高速度に繰り返し発生
し、これにより上記陰極１１および陽極１２間に
グロー放電を行なわしめるものである。また、上
記陰極１１の中央部には、第２図に示す如くそれ
だけ複数の台形状突起からなる２条の突起列１１
ａ，１１ｂが形成されており、これらの突起列１
１ａ，１１ｂ間にはガラス管３１内に挿入された
状態で線状の補助電極３２が近接して配設されて
いる。そしてこの補助電極３２と前記陽極１２と
の間にはコンデンサ３３が接続されている。これ
らの補助電極３２およびコンデンサ３３は、前記
陰極１１に主放電開始のトリガとなる電子を供給
して陰極１１および陽極１２管にグロー放電を開
始させるためのものである。
電発生装置の概略構成図である。同図において、
主放電電極１は、それぞれ刃形状をなす陰極１１
および陽極１２を相互に対向配置したもので、こ
れらの陰極１１および陽極１２間には主電源２の
出力電圧が印加されるようになつている。この主
電源２は、パルス状電圧を高速度に繰り返し発生
し、これにより上記陰極１１および陽極１２間に
グロー放電を行なわしめるものである。また、上
記陰極１１の中央部には、第２図に示す如くそれ
だけ複数の台形状突起からなる２条の突起列１１
ａ，１１ｂが形成されており、これらの突起列１
１ａ，１１ｂ間にはガラス管３１内に挿入された
状態で線状の補助電極３２が近接して配設されて
いる。そしてこの補助電極３２と前記陽極１２と
の間にはコンデンサ３３が接続されている。これ
らの補助電極３２およびコンデンサ３３は、前記
陰極１１に主放電開始のトリガとなる電子を供給
して陰極１１および陽極１２管にグロー放電を開
始させるためのものである。
さて、前記陰極１１および補助電極３２間には
放電安定化回路４が接続してある。この放電安定
化回路４は、補助電源４１を有し、この補助電源
４１の出力を波形整形コイル４２および充電抵抗
４３を介してコンデンサ４４に充電し、このコン
デンサ４４の放電出力をギヤツプスイツチ４５を
介して陰極１１と補助電極３２との間に供給する
ものである。
放電安定化回路４が接続してある。この放電安定
化回路４は、補助電源４１を有し、この補助電源
４１の出力を波形整形コイル４２および充電抵抗
４３を介してコンデンサ４４に充電し、このコン
デンサ４４の放電出力をギヤツプスイツチ４５を
介して陰極１１と補助電極３２との間に供給する
ものである。
次に、以上のように構成された装置の作用を説
明する。先ず主放電を開始させる前の状態では、
補助電源４１によりコンデンサ４４が充電されて
いる。
明する。先ず主放電を開始させる前の状態では、
補助電源４１によりコンデンサ４４が充電されて
いる。
この状態で、主電源２を駆動して例えば第５図
ａに示す如き立ち上がり特性の緩慢な負のパルス
状電圧５１を所定の繰り返し周波数で発生し陰極
１１および陽極１２間に印加すると、ガラス管３
１を介して補助電極３２と陰極１１との間に高電
界が生じ、これによりコンデンサ３３を通して陰
極１１に第５図Ｃに示す如くトリガ電流５３が流
れて陰極１１の表面に多量の電子およびイオンが
供給される。そして、この電子を初期電子として
陰極１１と陽極１２との間のガス中に電子なだれ
が発生し、陰極１１と陽極１２との間に第５図ｂ
に示すようなグロー放電電流５２が流れてグロー
主放電が開始される。
ａに示す如き立ち上がり特性の緩慢な負のパルス
状電圧５１を所定の繰り返し周波数で発生し陰極
１１および陽極１２間に印加すると、ガラス管３
１を介して補助電極３２と陰極１１との間に高電
界が生じ、これによりコンデンサ３３を通して陰
極１１に第５図Ｃに示す如くトリガ電流５３が流
れて陰極１１の表面に多量の電子およびイオンが
供給される。そして、この電子を初期電子として
陰極１１と陽極１２との間のガス中に電子なだれ
が発生し、陰極１１と陽極１２との間に第５図ｂ
に示すようなグロー放電電流５２が流れてグロー
主放電が開始される。
一方、前記主電源２から負のパルス状電圧が出
力されることにより、放電安定化回路４のギヤツ
プスイツチ４５間の電位差が増大してこのギヤツ
プスイツチ４５間でアーク放電が発生し、ギヤツ
プスイツチ４５は短絡状態となる。そうすると、
コンデンサ４４の充電電荷が上記ギヤツプスイツ
チ４５、陰極１１、補助電極３２および波形整形
コイル４２の経路で放電される。すなわち、陰極
１１と補助電極３２との間に第５図ｄに示す如き
放電安定化電流５４が流れる。これにより補助電
極３２と陰極１１との間にコロナ放電が発生して
陰極１１の表面に一様に電子が供給される。した
がつて、陰極１１表面における初期電子の供給は
グロー放電中においても継続的に行なわれ、この
結果陰極１１と陽極１２との間では電流の集中が
抑制されてグロー放電は安定に維持される。第３
図は、以上の放電安定化を行なつて電子を供給し
たときのグロー放電の状態の一例を示すもので、
アーク放電は生じていない。これに対し、放電安
定化を行なわない場合には、第４図に示すように
電流の集中が起きてアーク放電が発生する。
力されることにより、放電安定化回路４のギヤツ
プスイツチ４５間の電位差が増大してこのギヤツ
プスイツチ４５間でアーク放電が発生し、ギヤツ
プスイツチ４５は短絡状態となる。そうすると、
コンデンサ４４の充電電荷が上記ギヤツプスイツ
チ４５、陰極１１、補助電極３２および波形整形
コイル４２の経路で放電される。すなわち、陰極
１１と補助電極３２との間に第５図ｄに示す如き
放電安定化電流５４が流れる。これにより補助電
極３２と陰極１１との間にコロナ放電が発生して
陰極１１の表面に一様に電子が供給される。した
がつて、陰極１１表面における初期電子の供給は
グロー放電中においても継続的に行なわれ、この
結果陰極１１と陽極１２との間では電流の集中が
抑制されてグロー放電は安定に維持される。第３
図は、以上の放電安定化を行なつて電子を供給し
たときのグロー放電の状態の一例を示すもので、
アーク放電は生じていない。これに対し、放電安
定化を行なわない場合には、第４図に示すように
電流の集中が起きてアーク放電が発生する。
なお、第６図は放電安定化を行なわせるための
コンデンサ４４の充電電圧（放電安定化用充電電
圧）に対するアーク放電発生率の大きさの一測定
例を示したものである。ただし測定条件は次の如
くである。
コンデンサ４４の充電電圧（放電安定化用充電電
圧）に対するアーク放電発生率の大きさの一測定
例を示したものである。ただし測定条件は次の如
くである。
・ガスの成分比：
N2、CO2、He、O2＝１：１：10：0.4
・ガス圧力：約１気圧
・主電源２の出力電圧：17〜18KV（平均値）
・放電の繰り返し数：0.5pps
この測定結果からも明らかなように、放電安定
化を行なわない場合にはアーク放電が100％発生
しているが、補助放電を行なわせることによりア
ーク放電の発生率は低下する。そして、放電安定
化用充電電圧を25KV以上にすると、アーク放電
の発生を完全に抑制することができる。
化を行なわない場合にはアーク放電が100％発生
しているが、補助放電を行なわせることによりア
ーク放電の発生率は低下する。そして、放電安定
化用充電電圧を25KV以上にすると、アーク放電
の発生を完全に抑制することができる。
なお、上記アーク放電の発生を略零にするため
に要するエネルギは、主放電エネルギの10％以上
であればよい。
に要するエネルギは、主放電エネルギの10％以上
であればよい。
このように本実施例よれば、主放電中に、陰極
１１と補助電極３２との間に放電安定化を行なわ
せ、これにより陰極１１の表面に一様に電子を追
加供給するようにしたことより、放電電流の集中
を抑制してグロー放電からアーク放電への転移を
抑制することができる。したがつて、安定なグロ
ー放電を得ることができ、レーザ発振器に適用し
た場合には高出力で効率の良いレーザ発振を行な
うことができる。またオゾン発生器に適用した場
合には、従来のように絶縁耐圧によつて印加電圧
の制限を受けることがないので、主放電電極間の
間隔を増大し得て単位体積当りのオゾン発生量を
増加させることが可能となる。また、本実施例で
は初期電子供給用の電極構造をそのまま放電安定
化用として使用し、他に構成の簡単な放電安定化
回路４を設けるだけの、比較的簡単な構成にて実
施できる利点がある。さらに本実施例によれば、
放電安定化動作を主放電動作に同期して行なつて
いるので、必要なときのみ放電安定化出力を発生
させることができ、これにより電力消費量を低減
することができる。また、放電安定化を常時行な
うと混合ガスが加熱されて熱解離劣化し、これに
より例えばレーザ発振出力の低下を招くといつた
不都合を生じるが、本実施例であればこのような
不都合を低減することができる。さらに放電安定
化を常時行なうと、補助電極３２を支持するガラ
ス管３１が熱により劣化して寿命の低下を招くこ
とになるが、本実施例であればこのような不具合
は生じず、寿命を大幅に長期化することができ
る。また上記熱を排除するための冷却装置も不要
にできる。
１１と補助電極３２との間に放電安定化を行なわ
せ、これにより陰極１１の表面に一様に電子を追
加供給するようにしたことより、放電電流の集中
を抑制してグロー放電からアーク放電への転移を
抑制することができる。したがつて、安定なグロ
ー放電を得ることができ、レーザ発振器に適用し
た場合には高出力で効率の良いレーザ発振を行な
うことができる。またオゾン発生器に適用した場
合には、従来のように絶縁耐圧によつて印加電圧
の制限を受けることがないので、主放電電極間の
間隔を増大し得て単位体積当りのオゾン発生量を
増加させることが可能となる。また、本実施例で
は初期電子供給用の電極構造をそのまま放電安定
化用として使用し、他に構成の簡単な放電安定化
回路４を設けるだけの、比較的簡単な構成にて実
施できる利点がある。さらに本実施例によれば、
放電安定化動作を主放電動作に同期して行なつて
いるので、必要なときのみ放電安定化出力を発生
させることができ、これにより電力消費量を低減
することができる。また、放電安定化を常時行な
うと混合ガスが加熱されて熱解離劣化し、これに
より例えばレーザ発振出力の低下を招くといつた
不都合を生じるが、本実施例であればこのような
不都合を低減することができる。さらに放電安定
化を常時行なうと、補助電極３２を支持するガラ
ス管３１が熱により劣化して寿命の低下を招くこ
とになるが、本実施例であればこのような不具合
は生じず、寿命を大幅に長期化することができ
る。また上記熱を排除するための冷却装置も不要
にできる。
なお、本発明は上記実施例に限定されるもので
はない。例えば、放電安定化のための電圧は常時
印加せずに、任意の限定された一定時間にのみに
印加するようにしてもよい。このようにすれば、
消費電流を抑制することができる。また第１図で
は１個の補助電極３２を設けた場合を示したが、
陰極１１の長手方向に複数の補助電極を配設し、
これらの各電極をそれぞれ共通接続して放電安定
化を行なつてもよい。このようにすれば、電子を
より一層均一に供給することができる。また前記
実施例では、主電源２から発生するパルス状電圧
とコンデンサ４４の充電電圧との電位差を利用し
てギヤツプスイツチ４５を導通させ、放電安定化
を行なわせるようにしたが、主電源２のパルス状
電圧発生タイミングに同期してスイツチ制御信号
を発生させ、この信号によりスイツチ回路を導通
させて放電安定化を行なわせてもよい。
はない。例えば、放電安定化のための電圧は常時
印加せずに、任意の限定された一定時間にのみに
印加するようにしてもよい。このようにすれば、
消費電流を抑制することができる。また第１図で
は１個の補助電極３２を設けた場合を示したが、
陰極１１の長手方向に複数の補助電極を配設し、
これらの各電極をそれぞれ共通接続して放電安定
化を行なつてもよい。このようにすれば、電子を
より一層均一に供給することができる。また前記
実施例では、主電源２から発生するパルス状電圧
とコンデンサ４４の充電電圧との電位差を利用し
てギヤツプスイツチ４５を導通させ、放電安定化
を行なわせるようにしたが、主電源２のパルス状
電圧発生タイミングに同期してスイツチ制御信号
を発生させ、この信号によりスイツチ回路を導通
させて放電安定化を行なわせてもよい。
その他、主放電電極の構成や電子供給手段の構
成等についても、本発明の要旨を逸脱しない範囲
で種々変形して実施できる。
成等についても、本発明の要旨を逸脱しない範囲
で種々変形して実施できる。
〔発明の効果〕
本発明は、主放電電極間へのパルス状電圧印加
により陰極と補助電極との間にトリガ電流を流し
て陰極の表面に初期電子を供給して主放電電極間
にグロー放電を発生させ、このグロー放電発生中
に陰極と補助電極との間に減衰振動電流を流して
コロナ放電を発生させて陰極の表面に一様に電子
を追加供給して陰極における局部的な電流の集中
を抑制したものである。
により陰極と補助電極との間にトリガ電流を流し
て陰極の表面に初期電子を供給して主放電電極間
にグロー放電を発生させ、このグロー放電発生中
に陰極と補助電極との間に減衰振動電流を流して
コロナ放電を発生させて陰極の表面に一様に電子
を追加供給して陰極における局部的な電流の集中
を抑制したものである。
したがつて本発明によれば、装置の大形化およ
び低能力化を招くことなく高確率でアーク放電へ
の転移を抑制することができ、しかも寿命が長く
動作の安定なグロー放電発生装置を提供すること
ができる。
び低能力化を招くことなく高確率でアーク放電へ
の転移を抑制することができ、しかも寿命が長く
動作の安定なグロー放電発生装置を提供すること
ができる。
第１図は本発明の一実施例におけるグロー放電
発生装置の概略構成図、第２図は同装置の主放電
電極の構造を示す斜視図、第３図〜第６図は同装
置の作用説明に用いるためのもので、第３図およ
び第４図は第１図の−矢視断面における放電
状態を示す図、第５図ａ〜ｄは装置主要部におけ
る電圧および電流波形図、第６図は放電安定化用
の充電電圧に対するアーク放電発生率の関係を示
す特性図である。 １……主放電電極、２……主電源、４……放電
安定化回路、１１……陰極、１１ａ，１１ｂ……
突起列、１２……陽極、３１……ガラス管、３２
……補助電極、３３……コンデンサ、４１……補
助電源、４５……ギヤツプスイツチ。
発生装置の概略構成図、第２図は同装置の主放電
電極の構造を示す斜視図、第３図〜第６図は同装
置の作用説明に用いるためのもので、第３図およ
び第４図は第１図の−矢視断面における放電
状態を示す図、第５図ａ〜ｄは装置主要部におけ
る電圧および電流波形図、第６図は放電安定化用
の充電電圧に対するアーク放電発生率の関係を示
す特性図である。 １……主放電電極、２……主電源、４……放電
安定化回路、１１……陰極、１１ａ，１１ｂ……
突起列、１２……陽極、３１……ガラス管、３２
……補助電極、３３……コンデンサ、４１……補
助電源、４５……ギヤツプスイツチ。
Claims (1)
- １ 一対の主放電電極間に主電源よりパルス状電
圧を印加してグロー放電を行なわせるグロー放電
発生装置において、前記主放電電極の陰極に補助
電極を近接配置し、前記主放電電極間への前記主
電源からのパルス状電圧の印加により前記陰極と
前記補助電極との間にトリガ電流を流して前記陰
極の表面に初期電子を供給し、この初期電子の供
給により前記主放電電極間にグロー放電を発生さ
せる放電補助手段と、前記陰極と前記補助電極と
の間に接続され前記放電補助手段でのグロー放電
発生中に前記陰極と前記補助電極との間における
電位差の増大により閉じるスイツチを有し、この
スイツチが閉じることにより前記陰極と前記補助
電極との間に減衰振動電流を流してコロナ放電を
発生させて前記陰極の表面に一様に電子を追加供
給し、この電子の追加供給により前記陰極におけ
る局部的な電流の集中を抑制する放電安定化手段
とを具備したことを特徴とするグロー放電発生装
置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57037753A JPS58155643A (ja) | 1982-03-10 | 1982-03-10 | グロー放電発生装置 |
| CA000423222A CA1201156A (en) | 1982-03-10 | 1983-03-09 | Glow discharge generating apparatus |
| US06/473,635 US4507266A (en) | 1982-03-10 | 1983-03-09 | Glow discharge generating apparatus |
| DE3308587A DE3308587C2 (de) | 1982-03-10 | 1983-03-10 | Vorrichtung zur Erzeugung einer Glimmentladung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57037753A JPS58155643A (ja) | 1982-03-10 | 1982-03-10 | グロー放電発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58155643A JPS58155643A (ja) | 1983-09-16 |
| JPH0212035B2 true JPH0212035B2 (ja) | 1990-03-16 |
Family
ID=12506227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57037753A Granted JPS58155643A (ja) | 1982-03-10 | 1982-03-10 | グロー放電発生装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4507266A (ja) |
| JP (1) | JPS58155643A (ja) |
| CA (1) | CA1201156A (ja) |
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1982
- 1982-03-10 JP JP57037753A patent/JPS58155643A/ja active Granted
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1983
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- 1983-03-09 US US06/473,635 patent/US4507266A/en not_active Expired - Lifetime
- 1983-03-10 DE DE3308587A patent/DE3308587C2/de not_active Expired
Patent Citations (1)
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Also Published As
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| DE3308587A1 (de) | 1983-09-22 |
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