JPS613484A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS613484A JPS613484A JP12369384A JP12369384A JPS613484A JP S613484 A JPS613484 A JP S613484A JP 12369384 A JP12369384 A JP 12369384A JP 12369384 A JP12369384 A JP 12369384A JP S613484 A JPS613484 A JP S613484A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- discharge
- hollow cathode
- cathode
- gas
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
- H01S3/09713—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited with auxiliary ionisation, e.g. double discharge excitation
- H01S3/09716—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited with auxiliary ionisation, e.g. double discharge excitation by ionising radiation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
この発明は、放電形気体レーザ発振装置に関し、特に放
電々力密度を安定に増大するための電極構造を有するガ
スレーザ装置に関する。
電々力密度を安定に増大するための電極構造を有するガ
スレーザ装置に関する。
第４図は、従来のＣＯ２レーザ装置の発振部の構成を示
す概略図である。図において１はホローカソード、２は
平板アノード電極５３は冷却用パイプ、４はグロー放電
々源、５は放電制限抵抗、６はミラー１．７はホローカ
ソード支持板、８は励起ガスである。ビームの方向は紙
面に垂直な方向である。すなわち、ホローカソード１と
アノード２０間で放電が発生させていた。ホローカソー
ドはビームの方向に垂直である。またホローカソード１
は一般的にパイプ電極が使用されている。
す概略図である。図において１はホローカソード、２は
平板アノード電極５３は冷却用パイプ、４はグロー放電
々源、５は放電制限抵抗、６はミラー１．７はホローカ
ソード支持板、８は励起ガスである。ビームの方向は紙
面に垂直な方向である。すなわち、ホローカソード１と
アノード２０間で放電が発生させていた。ホローカソー
ドはビームの方向に垂直である。またホローカソード１
は一般的にパイプ電極が使用されている。
このような従来の構造であると、放電々流が増大し、あ
る電流以上に達するとホローカソード１は加熱され破壊
し寿命が極端に短かくなる恐れが生じた。またレーザ出
力を増すために放電々流を増大、すなわち放電々力を増
大させるにはガス圧力を増加すれば良いが、ガス圧力を
増加するとホローカソード１の内部でのホローカソード
効果が７４％さくなシ、電流の増大が余シ望めないので
、ホローカソード１の内径を圧力を増加するにつれて小
さくしなければならない。その結果ホローカソード内表
面積が小さくなるため全体の電力を増すためには結局ホ
ローカソード１の数を増す必要があり、構造も複雑にな
シ製作、保守２点検が容易でない。発振器全体の信頼性
も低下する。さらに、構造が複雑になればガスの抵抗係
数が増加しガス循環用のブロアーへの負担が太きくなり
、装置全体の大形化につながる。
る電流以上に達するとホローカソード１は加熱され破壊
し寿命が極端に短かくなる恐れが生じた。またレーザ出
力を増すために放電々流を増大、すなわち放電々力を増
大させるにはガス圧力を増加すれば良いが、ガス圧力を
増加するとホローカソード１の内部でのホローカソード
効果が７４％さくなシ、電流の増大が余シ望めないので
、ホローカソード１の内径を圧力を増加するにつれて小
さくしなければならない。その結果ホローカソード内表
面積が小さくなるため全体の電力を増すためには結局ホ
ローカソード１の数を増す必要があり、構造も複雑にな
シ製作、保守２点検が容易でない。発振器全体の信頼性
も低下する。さらに、構造が複雑になればガスの抵抗係
数が増加しガス循環用のブロアーへの負担が太きくなり
、装置全体の大形化につながる。
この発明は、前述した従来装置の欠点を改良したもので
、放電発振器の大出力化、長寿命化および小型化につな
がるホローカソード放電型連続発振ガスレーザ装置を提
供することを目的とする。
、放電発振器の大出力化、長寿命化および小型化につな
がるホローカソード放電型連続発振ガスレーザ装置を提
供することを目的とする。
この発明は、ホローカソードを用いたカソード〔発明の
効′果〕 この発明によれば、ホローカソードを使用して平面対平
面の正規グローの状態の電流密度（１０ｍＡ／ｄ程度）
より数倍から数十倍の電流密度を流すことが可能なホロ
ーカソード効果を起こすために外管電極の中心軸にほぼ
平行にスリットを設け、さらに外管電極の内部に内部電
極を設置し、放電空間を設けて構成することにより、ホ
ローカソード効果を空間で容易に発生することができる
。さらに断面扁平としているために電極面積は従来のパ
イプ状のカソードに比較し、大巾に増加する。
効′果〕 この発明によれば、ホローカソードを使用して平面対平
面の正規グローの状態の電流密度（１０ｍＡ／ｄ程度）
より数倍から数十倍の電流密度を流すことが可能なホロ
ーカソード効果を起こすために外管電極の中心軸にほぼ
平行にスリットを設け、さらに外管電極の内部に内部電
極を設置し、放電空間を設けて構成することにより、ホ
ローカソード効果を空間で容易に発生することができる
。さらに断面扁平としているために電極面積は従来のパ
イプ状のカソードに比較し、大巾に増加する。
また、内部電極９の直径を変化するだけで空間１０は変
化しホローカソード効果を調節可能となる。さらに、励
起ガスの流通が良いことから、安定に放電させることが
でき、レーザ出力を安定化できる。
化しホローカソード効果を調節可能となる。さらに、励
起ガスの流通が良いことから、安定に放電させることが
でき、レーザ出力を安定化できる。
第１図に本発明の実施例を示す。第１図において、９は
ピン状のアノード電極、１０はスリット、１１は外管電
極、１２は内部電極、１３は放電空間、１４は冷却用水
、１５はレーザビームを出力するミラー、１６はグロー
放電制限抵抗、１７はグロー放電々源である。ホローカ
ソード１８は。
ピン状のアノード電極、１０はスリット、１１は外管電
極、１２は内部電極、１３は放電空間、１４は冷却用水
、１５はレーザビームを出力するミラー、１６はグロー
放電制限抵抗、１７はグロー放電々源である。ホローカ
ソード１８は。
前述したように外管電極１１、内部電極１２から成り立
ち、同電位に保たれている。アノード９は制限抵抗１６
を介してグロー放電々源１７に接続されている。放電が
起動するとスリット１９とアノード９で放電が発生し、
スリット１９でプラズマ２０が生成されると放電空間１
０ヘプラズマ２０がまわシこみ、ホローカソード効果が
現われ通常のグロー放電々流密度の数倍以上の電流がホ
ローカソード１８から引き出され、アノード電極９とホ
ローカソード１８との間で電流密度の高いプラズマ２０
が生成される。すなわち電力密度が高くなるため、レー
ザ出力も増加する。
ち、同電位に保たれている。アノード９は制限抵抗１６
を介してグロー放電々源１７に接続されている。放電が
起動するとスリット１９とアノード９で放電が発生し、
スリット１９でプラズマ２０が生成されると放電空間１
０ヘプラズマ２０がまわシこみ、ホローカソード効果が
現われ通常のグロー放電々流密度の数倍以上の電流がホ
ローカソード１８から引き出され、アノード電極９とホ
ローカソード１８との間で電流密度の高いプラズマ２０
が生成される。すなわち電力密度が高くなるため、レー
ザ出力も増加する。
また外管１１．内管１２共にイオンによるボンバードで
加熱されるため内管内部に冷却水１４および第２図に示
すように外管１１の外側表面でしかもアノード９と反対
側に冷却水２１の流通できる冷却用パイプ２２が設置し
ても良い。このような構造罠よシホローカソード加熱に
よるガスの冷却やカソード材蒸発、スパッタリングの低
下に寄与しカソードの寿命、レーザ出力の向上につなが
る。またレーザ出力が同一放電体積で向上するためレー
ザ発振器の小屋化につながる。
加熱されるため内管内部に冷却水１４および第２図に示
すように外管１１の外側表面でしかもアノード９と反対
側に冷却水２１の流通できる冷却用パイプ２２が設置し
ても良い。このような構造罠よシホローカソード加熱に
よるガスの冷却やカソード材蒸発、スパッタリングの低
下に寄与しカソードの寿命、レーザ出力の向上につなが
る。またレーザ出力が同一放電体積で向上するためレー
ザ発振器の小屋化につながる。
さらにまた、第３図に示すように、ホローカソード１８
の断面形状を翼状に形成することによシ、さらに安定し
たレーザ出力を出すことができる。
の断面形状を翼状に形成することによシ、さらに安定し
たレーザ出力を出すことができる。
４、 簡単な図面の説明
第１図はこの発明のホローカソード放電型連続発振のガ
スレーザ装置を示す構成図、第２図はこの発明の他の実
施例のホローカソード構造を示す断面斜視図、第３図は
この発明の他の実施例のホローカソード構造を示す断面
斜視図、第４図は従来のガスレーザ装置を示す断面図で
ある。
スレーザ装置を示す構成図、第２図はこの発明の他の実
施例のホローカソード構造を示す断面斜視図、第３図は
この発明の他の実施例のホローカソード構造を示す断面
斜視図、第４図は従来のガスレーザ装置を示す断面図で
ある。
９・・・アノード電極、１１・・・外管電極、１２・・
・内管電極、１３・・・放電空間、１Ｂ・・・ホローカ
ソード、１９・・・スリン）、１４．２１・・・冷却水
。
・内管電極、１３・・・放電空間、１Ｂ・・・ホローカ
ソード、１９・・・スリン）、１４．２１・・・冷却水
。
代理人 弁理士 則 近 憲 佑（ほか１名）第１図
第４図
Claims (3)
- （１）カソード電極とアノード電極との間に励起ガスを
通して放電させてガス励起し、レーザ光を得るガスレー
ザ装置において、前記カソード電極が、筒状でかつ前記
アノード電極に対向する側を開口した外管電極と、との
外管電極の内部にこの外管電極とは離間して設けた内部
電極とから構成され、かつ前記励起ガスの流通をさ防げ
ない方向に断面扁平の外形を有してなることを特徴とす
るガスレーザ装置。 - （２）内部電極を内部冷却可能な管状電極としたことを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ装置
。 - （３）外管電極の外面に、アノード電極と反対側でかつ
外管電極の軸方向に管状冷却管を設置したことを特徴と
する特許請求の範囲第１項もしくは第２項記載のガスレ
ーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12369384A JPS613484A (ja) | 1984-06-18 | 1984-06-18 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12369384A JPS613484A (ja) | 1984-06-18 | 1984-06-18 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS613484A true JPS613484A (ja) | 1986-01-09 |
Family
ID=14866985
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12369384A Pending JPS613484A (ja) | 1984-06-18 | 1984-06-18 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS613484A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5630229A (en) * | 1995-10-17 | 1997-05-20 | Billy International, Ltd. | Zipperless wetsuit |
-
1984
- 1984-06-18 JP JP12369384A patent/JPS613484A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5630229A (en) * | 1995-10-17 | 1997-05-20 | Billy International, Ltd. | Zipperless wetsuit |
| US5768703A (en) * | 1995-10-17 | 1998-06-23 | Billy International, Ltd. | Zipperless wetsuit |
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