JPS6249682A - ガスレ−ザ発振器 - Google Patents
ガスレ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS6249682A JPS6249682A JP18865685A JP18865685A JPS6249682A JP S6249682 A JPS6249682 A JP S6249682A JP 18865685 A JP18865685 A JP 18865685A JP 18865685 A JP18865685 A JP 18865685A JP S6249682 A JPS6249682 A JP S6249682A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- sub
- gas laser
- laser medium
- anode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はガスレーザ発振器に関する。
ガスレーザ発振器として直交形のＣＯ□Ｖ−ザ発振器を
例に挙げて説明する。この種の発振器は気密容器内に一
方向に向って強制循環された炭酸ガ、スを主体としたレ
ーザ媒質ガスを陰極および陽極で構成された主放電電極
間、の放電で励起し、レーザ媒質ガスの流れを直交する
方向に対峙して設けられた一対の光共振器鏡で光ＮＩ＠
することによシレーザを出力する構成になっている。と
ころで。
例に挙げて説明する。この種の発振器は気密容器内に一
方向に向って強制循環された炭酸ガ、スを主体としたレ
ーザ媒質ガスを陰極および陽極で構成された主放電電極
間、の放電で励起し、レーザ媒質ガスの流れを直交する
方向に対峙して設けられた一対の光共振器鏡で光ＮＩ＠
することによシレーザを出力する構成になっている。と
ころで。
上記の構成では第３図に示すように光共振器鏡（１）。
（２）間の空間域には励起部分（３）とこの励起部分（
３）を間にして非励起部分（４ａ）、 （４ｂ）が形成
される。励起部分（３）は主放電電極で囲われる空間域
であシ。
３）を間にして非励起部分（４ａ）、 （４ｂ）が形成
される。励起部分（３）は主放電電極で囲われる空間域
であシ。
非放電部分（４ａ）、 （４ｂ）は主放電電極と光共振
器鏡（１）、（２）との間の空間域である。これら非放
電部分（４ｍ）、 （４ｂ）においてはいうまでもなく
レーザ増幅作用は行われないばかシでなく、励起されな
い炭酸ガス分子による光吸収作用がおこシ、レーザ発振
の効率低下の一因になっていた。
器鏡（１）、（２）との間の空間域である。これら非放
電部分（４ｍ）、 （４ｂ）においてはいうまでもなく
レーザ増幅作用は行われないばかシでなく、励起されな
い炭酸ガス分子による光吸収作用がおこシ、レーザ発振
の効率低下の一因になっていた。
本発明はレーザをより効率的に出力することのできるレ
ーザ発振器を提供することを目的とする。
ーザ発振器を提供することを目的とする。
ガスレーザ発振器において、レーザ光軸を含みかつ主放
電が行われない空間域を上記主放電と区別される放電を
行わしめる副放電域とすることによシ上記目的を達成す
るようにしたものである。
電が行われない空間域を上記主放電と区別される放電を
行わしめる副放電域とすることによシ上記目的を達成す
るようにしたものである。
以下１本発明を実施例を示す図面に基いて説明する。
第１図において、密閉容器ａυを有し、この容器内には
炭酸ガスを主成分とするガスレーザ媒質が所定の圧力で
封入されている。このガスレーザ媒質は、送風機（ｌの
によシ熱交換器（図示せず）で冷却されて循環するよう
になっている。また、密閉容器αυ内における上記ガス
レーザ媒質の循環通路には陰極ａ３および陽極Ｑ４）が
上記ガスレーザ媒質の流れに直交して放電するように対
向して設けられている。それぞれ板状の陰極（１３と陽
極ａ４との間には高圧電源住すが接続されている。陽極
（１４は密閉容°器（１）とともに、接地され、一方、
陰極ａ３には多数のパラスト抵抗ａｅが接続されている
。また、上記放電方向に直交して光共振作用を行う位ｆ
ＲＫ全反射鏡αηおよび発振によって出力されたレーザ
光（Ｌ）を通す出力鈍端からなる光共振器がそれぞれ調
節体（１９す、 （１９ｂ）を介し密閉容器住υに取シ
付けられている。ここで、陰極（Ｌ３．陽極α４のそれ
ぞれの両端側とそれらに対峙している全反射鏡側および
出力鏡αｌとの間には密閉容器（【υと部分的に隔絶し
かつ放電部と連通ずる副放電管（２０り、 （２０ｂ）
が設けられ、これら副放電管（２０１）、 （２０ｂ）
には上記循環しているガスレーザ媒質を供給するバイパ
ス路（２１ｊ）、 （２１ｂ）が形成されている。なお
、これら副放電管内におけるガスの流れを起とさせる方
法としては、独立に送風機を設けてもよい。また、副放
電管（２０Ｊｌ）、 （２０ｂ）にはパラスト抵抗（１
６す、（１６ｂ）を介した線状の陰極（２２す、 （２
２ｂ）と、同じく線状の陽極（２３５１）、 （２３ｂ
）とが陰極α階、陽極α養の主放電回路からそれぞれ分
岐して挿入されている。
炭酸ガスを主成分とするガスレーザ媒質が所定の圧力で
封入されている。このガスレーザ媒質は、送風機（ｌの
によシ熱交換器（図示せず）で冷却されて循環するよう
になっている。また、密閉容器αυ内における上記ガス
レーザ媒質の循環通路には陰極ａ３および陽極Ｑ４）が
上記ガスレーザ媒質の流れに直交して放電するように対
向して設けられている。それぞれ板状の陰極（１３と陽
極ａ４との間には高圧電源住すが接続されている。陽極
（１４は密閉容°器（１）とともに、接地され、一方、
陰極ａ３には多数のパラスト抵抗ａｅが接続されている
。また、上記放電方向に直交して光共振作用を行う位ｆ
ＲＫ全反射鏡αηおよび発振によって出力されたレーザ
光（Ｌ）を通す出力鈍端からなる光共振器がそれぞれ調
節体（１９す、 （１９ｂ）を介し密閉容器住υに取シ
付けられている。ここで、陰極（Ｌ３．陽極α４のそれ
ぞれの両端側とそれらに対峙している全反射鏡側および
出力鏡αｌとの間には密閉容器（【υと部分的に隔絶し
かつ放電部と連通ずる副放電管（２０り、 （２０ｂ）
が設けられ、これら副放電管（２０１）、 （２０ｂ）
には上記循環しているガスレーザ媒質を供給するバイパ
ス路（２１ｊ）、 （２１ｂ）が形成されている。なお
、これら副放電管内におけるガスの流れを起とさせる方
法としては、独立に送風機を設けてもよい。また、副放
電管（２０Ｊｌ）、 （２０ｂ）にはパラスト抵抗（１
６す、（１６ｂ）を介した線状の陰極（２２す、 （２
２ｂ）と、同じく線状の陽極（２３５１）、 （２３ｂ
）とが陰極α階、陽極α養の主放電回路からそれぞれ分
岐して挿入されている。
上記の構成により、第２図に示すように、陰極α冴と陽
極Ｉとが対向する空間で行われる主放電励起部分（ＭＣ
）と副放電管（２０す、 （２０ｂ）とにおける副放電
励起部分（ＳＣ）が発生し、励起部分が増加する。
極Ｉとが対向する空間で行われる主放電励起部分（ＭＣ
）と副放電管（２０す、 （２０ｂ）とにおける副放電
励起部分（ＳＣ）が発生し、励起部分が増加する。
レーザ光軸を含む空間域において、主放電部と同軸に連
通ずる非放電部を放電部にするととＫよシ、吸収作用の
減少と励起部分の増加との相乗作用で１発振効率を著し
く向上することができた。
通ずる非放電部を放電部にするととＫよシ、吸収作用の
減少と励起部分の増加との相乗作用で１発振効率を著し
く向上することができた。
たとえば、入力５０ＫＷ、効率１０％で５ＫＷ出力が限
界のレーザの場合、副放電管内でのガスレーザ媒質の流
速が低下し、そこでの入力は２０ｖ１１程度減少するが
、 ｔｉｌｌ放電管内での放電にょシ、入カで１．５Ｋ
Ｗ。
界のレーザの場合、副放電管内でのガスレーザ媒質の流
速が低下し、そこでの入力は２０ｖ１１程度減少するが
、 ｔｉｌｌ放電管内での放電にょシ、入カで１．５Ｋ
Ｗ。
出力で３００Ｗ程度増加した。この増加分は光吸収分の
減少分がなくなったことを加味していないので実際には
この数値以上の出力増加がある。また。
減少分がなくなったことを加味していないので実際には
この数値以上の出力増加がある。また。
絶縁破壊し易い部分を積極的に放電させる構造としたの
で、絶縁破壊は殆んど生じなくなシ、安定してレーザ発
振が行えるようになった。
で、絶縁破壊は殆んど生じなくなシ、安定してレーザ発
振が行えるようになった。
第１図は本発明の一実施例を示す概略構成図。
第２図は上記実施例における励起部分を示す模式図、ｆ
４３図は従来例における励起部分を示す模式図である。 （１１）−＊ 閉容ｕｓ 、 ０３． （２
２ａ）、（ｚ２ｂ）−＠極。 Ｑ４）、（２３ａ）、（２３ｂ）・・・陽極、 （
１７）・’？反射Ｎ。 （Ｉト・・出力鏡、 （２０り、（２０ｂ
）・・・副放電管。 代理人 弁理士 則 近 憲 体 間 竹 花 喜久男 第１図 第２図 第３図
４３図は従来例における励起部分を示す模式図である。 （１１）−＊ 閉容ｕｓ 、 ０３． （２
２ａ）、（ｚ２ｂ）−＠極。 Ｑ４）、（２３ａ）、（２３ｂ）・・・陽極、 （
１７）・’？反射Ｎ。 （Ｉト・・出力鏡、 （２０り、（２０ｂ
）・・・副放電管。 代理人 弁理士 則 近 憲 体 間 竹 花 喜久男 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- ガスレーザ発振器において、レーザ光軸を含みかつ主放
電が行われない空間域を上記主放電と区別される放電を
行わしめる副放電域としたことを特徴とするガスレーザ
発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18865685A JPS6249682A (ja) | 1985-08-29 | 1985-08-29 | ガスレ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18865685A JPS6249682A (ja) | 1985-08-29 | 1985-08-29 | ガスレ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6249682A true JPS6249682A (ja) | 1987-03-04 |
Family
ID=16227539
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18865685A Pending JPS6249682A (ja) | 1985-08-29 | 1985-08-29 | ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6249682A (ja) |
-
1985
- 1985-08-29 JP JP18865685A patent/JPS6249682A/ja active Pending
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