JPS62119990A - ガスレ−ザ発振装置 - Google Patents
ガスレ−ザ発振装置Info
- Publication number
- JPS62119990A JPS62119990A JP25869885A JP25869885A JPS62119990A JP S62119990 A JPS62119990 A JP S62119990A JP 25869885 A JP25869885 A JP 25869885A JP 25869885 A JP25869885 A JP 25869885A JP S62119990 A JPS62119990 A JP S62119990A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas laser
- discharge
- laser medium
- blower
- flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はガスレーザ発振装置に係り、特にいわゆる軸流
型と称する発振装竜に関する。
型と称する発振装竜に関する。
軸流型ガスレーザ発振装置はレーザ光軸、放電方向およ
び放電部におけるガスレーザ媒質の流れの方向の王者が
ほぼ同方向となるように構成されているもので、従来で
は概ね第２図に示すような構造となっている。すなわち
１両端部に全反射鏡（１ａ）および出力鏡（１ｂ）から
なる光共振器を配しかつガスレーザ媒質を所定の圧力で
封入したガラス製の放電管（２）と、この放電管（２）
内に設けられた二組の放電電極、すなわち、陰極（３ａ
）、 （３ｂ）および陽極（４ａ）、 （４ｂ）と、こ
れら放電電極に放電電流を供給する電源（５ａ）、 （
５ｂ）と、放電管（２）の両端部にガスレーザ媒質の供
給口（６ａ）、 （６ｂ）をつくって閉ループ状に接続
された供給管（力と、一方の放電電極側の陽極（４ａ）
とこれに距離をおいて隣り合う他方の放電電極側の陽極
（４ｂ）間になる放電管（２）の中央部に流出口（８）
をつくり、かつ上記供給管（７）Ｉこ接続された還流管
（９）と、この還流管（９）の中途部に設けられた送風
機（ＩＩおよびこの送風機（１（９を間にして設けられ
た二組の熱交換器（ｈａ）、 （１ｘｂ）とで構成され
ている。上記の装置ではガスレーザ媒質は矢印のように
環流し、容赦？Ｊ［極における放電によって励起され、
出力鏡（１ｂ）からレーザ光（Ｌ）が放出される。とこ
ろで、励起効率の点からガスレーザ媒質を放電管（２）
内で高速に流す必要があるため、従来では送風機α１は
放電電力と同程度の電力を消費していた。たとえば、出
力ＩＫＷのＣＯ，レーザの場合、放電電力は５ＫＷ程度
であるから送風機もｓｉｃｗｓｉのものを用意すること
になり、レーザの出力効率は１０％程度と比較的低レベ
ルにあった。
び放電部におけるガスレーザ媒質の流れの方向の王者が
ほぼ同方向となるように構成されているもので、従来で
は概ね第２図に示すような構造となっている。すなわち
１両端部に全反射鏡（１ａ）および出力鏡（１ｂ）から
なる光共振器を配しかつガスレーザ媒質を所定の圧力で
封入したガラス製の放電管（２）と、この放電管（２）
内に設けられた二組の放電電極、すなわち、陰極（３ａ
）、 （３ｂ）および陽極（４ａ）、 （４ｂ）と、こ
れら放電電極に放電電流を供給する電源（５ａ）、 （
５ｂ）と、放電管（２）の両端部にガスレーザ媒質の供
給口（６ａ）、 （６ｂ）をつくって閉ループ状に接続
された供給管（力と、一方の放電電極側の陽極（４ａ）
とこれに距離をおいて隣り合う他方の放電電極側の陽極
（４ｂ）間になる放電管（２）の中央部に流出口（８）
をつくり、かつ上記供給管（７）Ｉこ接続された還流管
（９）と、この還流管（９）の中途部に設けられた送風
機（ＩＩおよびこの送風機（１（９を間にして設けられ
た二組の熱交換器（ｈａ）、 （１ｘｂ）とで構成され
ている。上記の装置ではガスレーザ媒質は矢印のように
環流し、容赦？Ｊ［極における放電によって励起され、
出力鏡（１ｂ）からレーザ光（Ｌ）が放出される。とこ
ろで、励起効率の点からガスレーザ媒質を放電管（２）
内で高速に流す必要があるため、従来では送風機α１は
放電電力と同程度の電力を消費していた。たとえば、出
力ＩＫＷのＣＯ，レーザの場合、放電電力は５ＫＷ程度
であるから送風機もｓｉｃｗｓｉのものを用意すること
になり、レーザの出力効率は１０％程度と比較的低レベ
ルにあった。
本発明はガスレーザ媒質を環流させる送風機の負担を軽
減させレーザ出力の効率を向上させたレーザ発振器の提
供を目的とするものである。
減させレーザ出力の効率を向上させたレーザ発振器の提
供を目的とするものである。
ガスレーザ媒質の放電管への供給口を放電電極である陰
極と陽極間にするとともに送風機に戻る流出口を供給口
を間に両側に位置するようにして設けることにより放電
部におけるガスレーザ媒質の通過距離の短縮を図り上記
送風機の送風能力を軽減させることにより上記目的を達
成したものである。
極と陽極間にするとともに送風機に戻る流出口を供給口
を間に両側に位置するようにして設けることにより放電
部におけるガスレーザ媒質の通過距離の短縮を図り上記
送風機の送風能力を軽減させることにより上記目的を達
成したものである。
以下、実施例を示す第１図に基いて本発明を説明する。
なお、第２図と共通する部分には同一符号を付し詳細な
説明は省略する。すなわち１本実施例では係給管（力は
各放電部（１２ａ）、 （１２ｂ）のそれぞれの中間位
置、つまり一方の陰極（３ａ）と陽極（４ａ）間および
他方の陰極（３ｂ）と陽極（４ｂ）間においてガスレー
ザ媒質が放電部（１２ａ）、 （１２ｂ）同番こ流入す
る位置に供給口（１３ａ）、 （１３ｂ）を形成して放
電管（２）に接続されている。また、放電部に供給され
たガスレーザ媒質の送風機α〔へ戻るための入口となる
流出口は、放電管（２）の中央に接続された還流管（９
）に設けられた流出口（８）のほかに、放’！ ’＃
（２）の両端部分と還流管（９）とに閉ループ状に接続
された別の還流管α４による上記放電管（２）の接続部
分を流出口（８ａ）、 （８ｂ）として設けられている
。すなわち、流出口（８ａ）を共通にして三ツノ流出口
＋８） 、 （８ａ）、 （８ｂ）は放電部（ｔ２ａ）
、 （１２ｂ）の両側に設けられている。
説明は省略する。すなわち１本実施例では係給管（力は
各放電部（１２ａ）、 （１２ｂ）のそれぞれの中間位
置、つまり一方の陰極（３ａ）と陽極（４ａ）間および
他方の陰極（３ｂ）と陽極（４ｂ）間においてガスレー
ザ媒質が放電部（１２ａ）、 （１２ｂ）同番こ流入す
る位置に供給口（１３ａ）、 （１３ｂ）を形成して放
電管（２）に接続されている。また、放電部に供給され
たガスレーザ媒質の送風機α〔へ戻るための入口となる
流出口は、放電管（２）の中央に接続された還流管（９
）に設けられた流出口（８）のほかに、放’！ ’＃
（２）の両端部分と還流管（９）とに閉ループ状に接続
された別の還流管α４による上記放電管（２）の接続部
分を流出口（８ａ）、 （８ｂ）として設けられている
。すなわち、流出口（８ａ）を共通にして三ツノ流出口
＋８） 、 （８ａ）、 （８ｂ）は放電部（ｔ２ａ）
、 （１２ｂ）の両側に設けられている。
なｔ二つの還流管（９） 、 （１３の接続部分におい
て、各流出口（８）、 （８ａ）、 （８ｂ）からのガ
スレーザ媒質が合流し、一方の熱交換器（１１ａ）に流
入するようになっている。
て、各流出口（８）、 （８ａ）、 （８ｂ）からのガ
スレーザ媒質が合流し、一方の熱交換器（１１ａ）に流
入するようになっている。
本実施例では以上のよう屹構成されているので。
ガスレーザ媒質は供給口（１３ａ）、 （１３ｂ）から
流出口（８）、 （８りおよび流出口（８）、 ＜８ｂ
’）へそれぞれ二手に分れ、レーザ光軸に沿って放電部
（１２ａ）、 （１２ｂ）の上流および下流に向って進
むことになる。したがって、陰極（３ａ）と陽極（４ｍ
）または陰極（３ｂ）と陽極（４ｂ）との間において、
供給口（１３ａ）、 （１３ｂ）から各流出口＋８）、
（８ａ）、 （８ｂ）までの距離は放電間の長さが従
来と同一として考えた場合には半分程度となる。
流出口（８）、 （８りおよび流出口（８）、 ＜８ｂ
’）へそれぞれ二手に分れ、レーザ光軸に沿って放電部
（１２ａ）、 （１２ｂ）の上流および下流に向って進
むことになる。したがって、陰極（３ａ）と陽極（４ｍ
）または陰極（３ｂ）と陽極（４ｂ）との間において、
供給口（１３ａ）、 （１３ｂ）から各流出口＋８）、
（８ａ）、 （８ｂ）までの距離は放電間の長さが従
来と同一として考えた場合には半分程度となる。
したがって放電部におけるガスレーザ媒質の圧力損失は
半分近くζこ減り、送風機の消費電力も同様に減少する
。
半分近くζこ減り、送風機の消費電力も同様に減少する
。
放電部での圧力損失が減少したことでより消費電力の少
ない送風機とすることができるようになりた。たとえば
、出力ＩＫＷのＣＯｔレーザ発振装置の場合、従来では
５ＫＷの電力を送風機で消費していたが、放電部以外で
の他の流路での圧力損失があるものの４０％程消費電力
が減って３ＫＷの消費で済むようになった。そのため、
装置全体の総合効率も’ （Ｋｗ）／［５（ＫＷ）＋３
（ＫＷ）） Ｘ １００ ＝ １２．５（９４）トナリ
、従来１０％であったものが２．５％効率を向上させる
ことができた。また、それぞれの電極より下流にガスレ
ーザ媒質の流出口があるため、放電部より下流に流れる
ガスレーザ媒質にょるレーザ利得も有効化利用できるた
め１発振効率が低下することもない。
ない送風機とすることができるようになりた。たとえば
、出力ＩＫＷのＣＯｔレーザ発振装置の場合、従来では
５ＫＷの電力を送風機で消費していたが、放電部以外で
の他の流路での圧力損失があるものの４０％程消費電力
が減って３ＫＷの消費で済むようになった。そのため、
装置全体の総合効率も’ （Ｋｗ）／［５（ＫＷ）＋３
（ＫＷ）） Ｘ １００ ＝ １２．５（９４）トナリ
、従来１０％であったものが２．５％効率を向上させる
ことができた。また、それぞれの電極より下流にガスレ
ーザ媒質の流出口があるため、放電部より下流に流れる
ガスレーザ媒質にょるレーザ利得も有効化利用できるた
め１発振効率が低下することもない。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図は従来
例を示す構成図である。 （１ａ）・・・全反射鏡 （１ｂ）・・・出力鏡（２
） ・・・放電管 （８）、 （８ａ）、 （ｓ
ｂ）−ａ出口α〔・・・送風機 （１２ａ）、
（１２ｂ）・・・放電部（１３ａ）、 （１３ｂ） 、
、、供給口代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男
例を示す構成図である。 （１ａ）・・・全反射鏡 （１ｂ）・・・出力鏡（２
） ・・・放電管 （８）、 （８ａ）、 （ｓ
ｂ）−ａ出口α〔・・・送風機 （１２ａ）、
（１２ｂ）・・・放電部（１３ａ）、 （１３ｂ） 、
、、供給口代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男
Claims (1)
- 放電管内におけるレーザ光軸方向と放電方向およびガス
レーザ媒質の進行方向の三方向がほぼ同方向になり上記
放電管にガスレーザ媒質が環流するための供給口および
流出口が設けられたガスレーザ発振装置において、上記
供給口を放電部の中間位置に設けかつ流出口を放電部の
両側に設けたことを特徴とするガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25869885A JPS62119990A (ja) | 1985-11-20 | 1985-11-20 | ガスレ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25869885A JPS62119990A (ja) | 1985-11-20 | 1985-11-20 | ガスレ−ザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62119990A true JPS62119990A (ja) | 1987-06-01 |
Family
ID=17323854
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25869885A Pending JPS62119990A (ja) | 1985-11-20 | 1985-11-20 | ガスレ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62119990A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05102575A (ja) * | 1991-10-04 | 1993-04-23 | Fanuc Ltd | レーザ発振装置 |
-
1985
- 1985-11-20 JP JP25869885A patent/JPS62119990A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5742627A (en) * | 1991-04-10 | 1998-04-21 | Fanuc, Ltd. | Laser oscillator using a plate-type heat exchanger |
| JPH05102575A (ja) * | 1991-10-04 | 1993-04-23 | Fanuc Ltd | レーザ発振装置 |
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