JPH01286473A - ガスレーザ発振器 - Google Patents
ガスレーザ発振器Info
- Publication number
- JPH01286473A JPH01286473A JP11495288A JP11495288A JPH01286473A JP H01286473 A JPH01286473 A JP H01286473A JP 11495288 A JP11495288 A JP 11495288A JP 11495288 A JP11495288 A JP 11495288A JP H01286473 A JPH01286473 A JP H01286473A
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- JP
- Japan
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- laser
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- cathode
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- Pending
Links
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- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 abstract description 6
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 abstract description 6
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 230000006798 recombination Effects 0.000 abstract description 4
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
この発明は、ガスレーザ発振器に係り、更に詳細にはガ
スレーザ発振器における電極の改良に関する。
スレーザ発振器における電極の改良に関する。
（従来の技術）
ガスレーザ発振器例えばＣＯ２レーザ発振器では、高出
力を得るために高圧下で動作させる必要がある。この際
、通常、放電電流は大きくなる。
力を得るために高圧下で動作させる必要がある。この際
、通常、放電電流は大きくなる。
その放電電流が大きくなると、ガス媒質の温度が上り利
得の低下を引き起す。その結果、レーザガスの圧を高圧
にしても出力は低下してしまうのである。
得の低下を引き起す。その結果、レーザガスの圧を高圧
にしても出力は低下してしまうのである。
（発明が解決しようとする課題）
ところで、上述した従来のレーザガスの圧を高圧にした
場合におけるレーザ出力が低下しない改善策として、ガ
ス流の高速循環化がなされているが、この場合でもレー
ザ出力は過渡的に低下する傾向にある。つまり、高温に
よるＣ０２の解離は完全に避けられていないのが現状で
ある。
場合におけるレーザ出力が低下しない改善策として、ガ
ス流の高速循環化がなされているが、この場合でもレー
ザ出力は過渡的に低下する傾向にある。つまり、高温に
よるＣ０２の解離は完全に避けられていないのが現状で
ある。
この発明の目的は、上記問題点を改善するため、レーザ
ガスの圧を高圧にしてもレーザ出力を低下しないように
図ったガスレーザ発振器を提供することにある。
ガスの圧を高圧にしてもレーザ出力を低下しないように
図ったガスレーザ発振器を提供することにある。
（課題を解決するための手段）
上記目的を達成するために、この発明は、ガスレーザ発
振器におけるガスレーザの循環通路に放電を行なわしめ
る電極を設け、その電極が触媒で形成されているもので
ある。
振器におけるガスレーザの循環通路に放電を行なわしめ
る電極を設け、その電極が触媒で形成されているもので
ある。
（作用）
この発明のガスレーザ発振器を採用することにより、電
極を触媒としたことから、レーザカスの例えばＣＯ２の
解離により生ずるＣＯおよび０２の再結合を促進させる
。その結果、レーザ出力は低下せずに高出力として維持
される。
極を触媒としたことから、レーザカスの例えばＣＯ２の
解離により生ずるＣＯおよび０２の再結合を促進させる
。その結果、レーザ出力は低下せずに高出力として維持
される。
（実施例）
以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。
る。
第７図を参照するに、ガスレーザ発振器としての高速軸
流形ＣＯ２レーザ発振器１は、励起光の共振増幅を行な
うためのレーザ管３と、Ｈｅ。
流形ＣＯ２レーザ発振器１は、励起光の共振増幅を行な
うためのレーザ管３と、Ｈｅ。
Ｎ２ 、ＣＯ２を適宜の比率で混合したレーザガスをレ
ーザ管３内へ供給、循環するレーザガス循環装置５など
により構成されている。レーザ管３には放電を行なうた
めの電極である陽極７と陰＠！９とが適宜に配置されて
おり、かつ端部には全反射ミラー１１と出力ミラー１３
が装着されている。
ーザ管３内へ供給、循環するレーザガス循環装置５など
により構成されている。レーザ管３には放電を行なうた
めの電極である陽極７と陰＠！９とが適宜に配置されて
おり、かつ端部には全反射ミラー１１と出力ミラー１３
が装着されている。
上記陽極７と陰極りとの間において放電を生じせしめる
なめに、陽極７と陰極９は電源１５を備えた高圧電源回
路に接続されている。前記レーザガス循環装置５は、レ
ーザ管３からのレーザガスを冷却する熱交換器１７とレ
ーザガスをレーザ管３へ送給するブロワ１９とを備えて
おり、レーザ管３とはガス帰還Ｆ！！１２１およびガス
送給路２３を介して接続されている。
なめに、陽極７と陰極９は電源１５を備えた高圧電源回
路に接続されている。前記レーザガス循環装置５は、レ
ーザ管３からのレーザガスを冷却する熱交換器１７とレ
ーザガスをレーザ管３へ送給するブロワ１９とを備えて
おり、レーザ管３とはガス帰還Ｆ！！１２１およびガス
送給路２３を介して接続されている。
上記構成により、ブロワ１９を駆動してレーザガスを循
環せしめ、かつ電源１５を備えた高圧電源回路により陽
極７と陰極りとの間に高電圧を印加して、陽＠１７と陰
極９との間において放電を行なうことにより、出力ミラ
ー１３側からレーザビームＬＢが出力されることになる
。
環せしめ、かつ電源１５を備えた高圧電源回路により陽
極７と陰極りとの間に高電圧を印加して、陽＠１７と陰
極９との間において放電を行なうことにより、出力ミラ
ー１３側からレーザビームＬＢが出力されることになる
。
前記陽極７と陰極りとの間において放電が行なわれるこ
とによって劣化したレーザガスの一部を排出するために
、ガス帰還路２１の適宜位置には排気装ｒ！！２５が接
続されている。一方、ガス送給路２３の適宜位置には、
新鮮なレーザガスを補給するためのガス混合タンク２７
が接続されており、このガス混合タンク２７にはＨｅ
、Ｎ２ 、ＣＯ２の各種ガスを適宜比率で混合するため
のガス混合装置２９が接続されている。このガス混合装
置２９には、各種のガスを収容した複数のガスボンベ３
１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃが適宜に接続されている。
とによって劣化したレーザガスの一部を排出するために
、ガス帰還路２１の適宜位置には排気装ｒ！！２５が接
続されている。一方、ガス送給路２３の適宜位置には、
新鮮なレーザガスを補給するためのガス混合タンク２７
が接続されており、このガス混合タンク２７にはＨｅ
、Ｎ２ 、ＣＯ２の各種ガスを適宜比率で混合するため
のガス混合装置２９が接続されている。このガス混合装
置２９には、各種のガスを収容した複数のガスボンベ３
１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃが適宜に接続されている。
したがって、レーザ管３内の放電によって劣化したレー
ザガスの一部は排気装置２５から排出され、かつ新鮮な
レーザガスはガス混合タンク２７から補給されることと
なる。
ザガスの一部は排気装置２５から排出され、かつ新鮮な
レーザガスはガス混合タンク２７から補給されることと
なる。
前記陽極７および陰極９の電極は、ニラゲル。
白金、ロジウムなどの触媒で形成されている０例えば、
第１図の（Ａ）および（Ｂ）に示されているように、電
極７．９は中空円筒形状のリングで形成されている。而
して、レーザガスはその中空円筒形状の陽極７と陰［！
９との間で放電を行なって、レーザビームが出力を低下
せずに高出力で出゛ 力される。その際、電極が触媒で
あることから、そのレーザガス中におけるＣ０２の解離
により生ずるＣＯおよび０２の再結合が促進される。し
たがって、レーザ管３中におけるＣＯ２の解離はなくな
るから、レーザガスの出力は低下することなく、元の状
態に維持することができ安定した高出力を得ることがで
きる。
第１図の（Ａ）および（Ｂ）に示されているように、電
極７．９は中空円筒形状のリングで形成されている。而
して、レーザガスはその中空円筒形状の陽極７と陰［！
９との間で放電を行なって、レーザビームが出力を低下
せずに高出力で出゛ 力される。その際、電極が触媒で
あることから、そのレーザガス中におけるＣ０２の解離
により生ずるＣＯおよび０２の再結合が促進される。し
たがって、レーザ管３中におけるＣＯ２の解離はなくな
るから、レーザガスの出力は低下することなく、元の状
態に維持することができ安定した高出力を得ることがで
きる。
電極の形状は、第１図の（Ａ）および（Ｂ）に示された
リングだけでなく、第２図の（Ａ）およびＣＢ）に示し
たハニカム構造や、第３図の（Ａ）おび（Ｂ）に示した
スバイライラル構造、第４図の＜Ａ）および（Ｂ）に示
したフィン状構造、第５図の（Ａ）および（Ｂ）に示し
たコニカル構造、第６図の（Ａ）および（Ｂ）に示した
多孔性の円筒構造なとであってもよい。
リングだけでなく、第２図の（Ａ）およびＣＢ）に示し
たハニカム構造や、第３図の（Ａ）おび（Ｂ）に示した
スバイライラル構造、第４図の＜Ａ）および（Ｂ）に示
したフィン状構造、第５図の（Ａ）および（Ｂ）に示し
たコニカル構造、第６図の（Ａ）および（Ｂ）に示した
多孔性の円筒構造なとであってもよい。
この際、ガスの高速流による冷却効果を長所として保持
しなければならないため、ガス流方向に垂直な面上にお
ける電極の占める面積は極力小さい方がよい。
しなければならないため、ガス流方向に垂直な面上にお
ける電極の占める面積は極力小さい方がよい。
なお、この発明は前述した実施例に限定されることなく
、適宜の変更を行なうことにより、その他の態様で実施
し得るものである。
、適宜の変更を行なうことにより、その他の態様で実施
し得るものである。
以上のごとき実施例の説明より理解されるように、この
発明によれば、ガスレーザ発振器におけるレーザガスの
循環通路に放電を行なわしめる電極を設け、その電極が
触媒で形成されているから、レーザ管中における例えば
ＣＯ２の解離により生ずるＣＯおよび０２の再結合の促
進が行なわれる。
発明によれば、ガスレーザ発振器におけるレーザガスの
循環通路に放電を行なわしめる電極を設け、その電極が
触媒で形成されているから、レーザ管中における例えば
ＣＯ２の解離により生ずるＣＯおよび０２の再結合の促
進が行なわれる。
而して、レーザビームは高圧下でも出力の低下がなく、
安定した高出力を得ることができる。
安定した高出力を得ることができる。
第１図の（Ａ）はこの発明の主要部である電極の一実施
例の正面図、第１図の（Ｂ）は第１図の（Ａ）の側面図
である。 第２図〜第６図は第１図に代る電極の他の実施例を示し
、第２図の（Ａンは正面図、第２図の（Ｂ）は第２図の
（Ａ＞の１■面図、第３図の（Ａ）は正面図、第３図の
（Ｂ）は第３図の（Ａ）の側面図、第４図の（Ａ）は正
面図、第４図の（Ｂ）は第４図の（Ａ）の側面図、第５
図の（Ａ）は正面図、第５図の（Ｂ）は側面図、第６図
の（Ａ）は正面図、第６図の（Ｂ）は第６図の（Ａ＞の
側面図である。 第７図はこの発明を実施した一実施例の概略正面図であ
る。 １・・・高遠軸流形Ｃ０２レーザ発振器３・・・レーザ
管 ５・・・レーザガス＠填装置７・・・陽ｆ！
９・・・陰極 代理人 弁理士 三 好 保 男 １・・・高速軸概形ＧＯ２レーザＲ振器３・・・レーザ
管 ５・・・レーザガス循環装置 ７・・・陽極 ９・・・陰極 第１図（Ａ） 第１図（Ｂ）第２図（Ａ）
第２図（Ｂ） 第３図（Ａ） 第３図（Ｂ） 第４図（Ａ） 第４図（Ｂ）第５図（Ａ）
第５図（Ｂ） 第６図（Ａ） 第６図（Ｂ）
例の正面図、第１図の（Ｂ）は第１図の（Ａ）の側面図
である。 第２図〜第６図は第１図に代る電極の他の実施例を示し
、第２図の（Ａンは正面図、第２図の（Ｂ）は第２図の
（Ａ＞の１■面図、第３図の（Ａ）は正面図、第３図の
（Ｂ）は第３図の（Ａ）の側面図、第４図の（Ａ）は正
面図、第４図の（Ｂ）は第４図の（Ａ）の側面図、第５
図の（Ａ）は正面図、第５図の（Ｂ）は側面図、第６図
の（Ａ）は正面図、第６図の（Ｂ）は第６図の（Ａ＞の
側面図である。 第７図はこの発明を実施した一実施例の概略正面図であ
る。 １・・・高遠軸流形Ｃ０２レーザ発振器３・・・レーザ
管 ５・・・レーザガス＠填装置７・・・陽ｆ！
９・・・陰極 代理人 弁理士 三 好 保 男 １・・・高速軸概形ＧＯ２レーザＲ振器３・・・レーザ
管 ５・・・レーザガス循環装置 ７・・・陽極 ９・・・陰極 第１図（Ａ） 第１図（Ｂ）第２図（Ａ）
第２図（Ｂ） 第３図（Ａ） 第３図（Ｂ） 第４図（Ａ） 第４図（Ｂ）第５図（Ａ）
第５図（Ｂ） 第６図（Ａ） 第６図（Ｂ）
Claims (1)
- ガスレーザ発振器におけるレーザガスの循環通路に放電
を行なわしめる電極を設け、その電極が触媒で形成され
ていることを特徴とするガスレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11495288A JPH01286473A (ja) | 1988-05-13 | 1988-05-13 | ガスレーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11495288A JPH01286473A (ja) | 1988-05-13 | 1988-05-13 | ガスレーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01286473A true JPH01286473A (ja) | 1989-11-17 |
Family
ID=14650712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11495288A Pending JPH01286473A (ja) | 1988-05-13 | 1988-05-13 | ガスレーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01286473A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0381657U (ja) * | 1989-12-08 | 1991-08-21 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56131981A (en) * | 1980-03-19 | 1981-10-15 | Hitachi Ltd | Co2 gas laser device |
| JPS5848484A (ja) * | 1981-09-17 | 1983-03-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 封入型炭酸ガスレ−ザ管 |
| JPS58178577A (ja) * | 1982-04-14 | 1983-10-19 | Amada Co Ltd | レ−ザ発振装置 |
| JPS5992022A (ja) * | 1982-10-18 | 1984-05-28 | ユニバ−サル−マシ−・プロダクツ・リミテイド | 酸化触媒 |
| JPS61226984A (ja) * | 1985-03-30 | 1986-10-08 | Japan Radio Co Ltd | 封じ切り型炭酸ガスレ−ザ発振管 |
-
1988
- 1988-05-13 JP JP11495288A patent/JPH01286473A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56131981A (en) * | 1980-03-19 | 1981-10-15 | Hitachi Ltd | Co2 gas laser device |
| JPS5848484A (ja) * | 1981-09-17 | 1983-03-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 封入型炭酸ガスレ−ザ管 |
| JPS58178577A (ja) * | 1982-04-14 | 1983-10-19 | Amada Co Ltd | レ−ザ発振装置 |
| JPS5992022A (ja) * | 1982-10-18 | 1984-05-28 | ユニバ−サル−マシ−・プロダクツ・リミテイド | 酸化触媒 |
| JPS61226984A (ja) * | 1985-03-30 | 1986-10-08 | Japan Radio Co Ltd | 封じ切り型炭酸ガスレ−ザ発振管 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0381657U (ja) * | 1989-12-08 | 1991-08-21 |
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