JPS6378587A - 気体レ−ザ装置 - Google Patents
気体レ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS6378587A JPS6378587A JP22192786A JP22192786A JPS6378587A JP S6378587 A JPS6378587 A JP S6378587A JP 22192786 A JP22192786 A JP 22192786A JP 22192786 A JP22192786 A JP 22192786A JP S6378587 A JPS6378587 A JP S6378587A
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- JP
- Japan
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- output
- gas pressure
- laser
- glow discharge
- glow
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- Pending
Links
- 230000005284 excitation Effects 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 abstract 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 239000010406 cathode material Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 230000001443 photoexcitation Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
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- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、大出力の気体レーザ装置ｔに関する。
（従来の技術）
従来の気体レーザ装置は一般に大出力ＣＯ□ レーザ装
置においては、そのグロー放電部分で、レーザガスが解
離することによりＣＯやＮＯｘ等の不純ガスが成牛され
、これらが放電の安定性に影響を及ぼすため、レーザガ
スの吹き流し運転を実施している。レーザガスはＣＯ，
レーザの場合、ＣＯ□、Ｎ２．ｌｉｅなどの混合ガスで
あり、約１／２０気圧で動作させる。
置においては、そのグロー放電部分で、レーザガスが解
離することによりＣＯやＮＯｘ等の不純ガスが成牛され
、これらが放電の安定性に影響を及ぼすため、レーザガ
スの吹き流し運転を実施している。レーザガスはＣＯ，
レーザの場合、ＣＯ□、Ｎ２．ｌｉｅなどの混合ガスで
あり、約１／２０気圧で動作させる。
レーザガス吹き流し量は、レーザ発振器本体の容積やレ
ーザ出力によって異なるが、ある一定の混合比のレーザ
ガスを一定量流し続ける。一方、発振器には圧力センサ
を設け、設定圧力の上限以上になった場合に真空ポンプ
を動作させ、設定圧力の下限以下になった場合に真空ポ
ンプを停止させることにより、発振器内のレーザガス圧
を一定に保っていた。
ーザ出力によって異なるが、ある一定の混合比のレーザ
ガスを一定量流し続ける。一方、発振器には圧力センサ
を設け、設定圧力の上限以上になった場合に真空ポンプ
を動作させ、設定圧力の下限以下になった場合に真空ポ
ンプを停止させることにより、発振器内のレーザガス圧
を一定に保っていた。
次に２軸直交り、Ｃグロー放電形Ｃ０２レーザ装置の放
電部の概略構造を第４図に基づき説明する。
電部の概略構造を第４図に基づき説明する。
レーザガス流の上流にバラス１〜抵抗３が接続された多
数の放＠電極ピン１．下流に棒状陽極２を配置し、その
間に電圧を加えて、ガス流に沿ってり。
数の放＠電極ピン１．下流に棒状陽極２を配置し、その
間に電圧を加えて、ガス流に沿ってり。
Ｃ，グロー放電を行わせ、ＣＯ□ガスを励起させる。
この放電空間をはさんで共振器ミラー４が設置さ九、光
共振を起こし、レーザ出力が得られる。
共振を起こし、レーザ出力が得られる。
（発明が解決しようとする問題点）
本発明が解決しようとする問題点を第２図、第３図を用
いて説明する。
いて説明する。
陰極の面積が十分に確保されている場合、陰極降下理論
から導かれる式として、陰極材料、雰囲気ガス組成が一
定であれば、 となることが知られている。（Ａ、ｖｏｎ ＥｎｇＣｌ
： ｆｆｔ離気体、コロナ社（１９５７） ） 第２図は、放電部の断面図であるが、一般に、レーザ運
転ガス圧Ｐは、定格出力時に、光励起範囲ａ２全域にか
けて、グロー放電がいきわたるように設定されている。
から導かれる式として、陰極材料、雰囲気ガス組成が一
定であれば、 となることが知られている。（Ａ、ｖｏｎ ＥｎｇＣｌ
： ｆｆｔ離気体、コロナ社（１９５７） ） 第２図は、放電部の断面図であるが、一般に、レーザ運
転ガス圧Ｐは、定格出力時に、光励起範囲ａ２全域にか
けて、グロー放電がいきわたるように設定されている。
したがって、低出力時には、ガス圧Ｐが一定ならば、ω
式において、電流ｉが小さくなるため、グロー而ＢＳも
それに比例して減少し、結果として第３図に示すように
、グロー長Ｑ１が短くなり、光励起範囲のうち、部分的
にグロー放電がいきわたらなくなる。（第３図斜線部）
そのため、定格出力時に比べ低出力時は、出力光の断面
形状（モード）が正規の形状（本実施例の場合は円形）
にならず、加工用に用いられる場合等には、加工性能が
低下することが）茫念されてぃた。なおｒは光軸、２．
はレーザビーム径を示す。
式において、電流ｉが小さくなるため、グロー而ＢＳも
それに比例して減少し、結果として第３図に示すように
、グロー長Ｑ１が短くなり、光励起範囲のうち、部分的
にグロー放電がいきわたらなくなる。（第３図斜線部）
そのため、定格出力時に比べ低出力時は、出力光の断面
形状（モード）が正規の形状（本実施例の場合は円形）
にならず、加工用に用いられる場合等には、加工性能が
低下することが）茫念されてぃた。なおｒは光軸、２．
はレーザビーム径を示す。
本発明は、上記の欠点に鑑みて、低出力時においても、
正常な形状（モード）の出力光が得られる気体レーザ装
置を得ることを目的とする。
正常な形状（モード）の出力光が得られる気体レーザ装
置を得ることを目的とする。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、レーザ出力の変化に伴い、レーザガス圧力を
調整し、常に一定のグロー放電長を確保し、光励起範囲
全域にグロー放電がいきわたることを特徴とする。
調整し、常に一定のグロー放電長を確保し、光励起範囲
全域にグロー放電がいきわたることを特徴とする。
（作用）
常に光励起範囲全域にわたりグロー放電がいきわたるた
め、定格出力から低出力全域にかけて、安定した形状（
モード）の出力光を取り出すことができる。
め、定格出力から低出力全域にかけて、安定した形状（
モード）の出力光を取り出すことができる。
（実施例）
本発明は、従来の装置に対し、真空ポンプの動作制御装
置を改善することにより実施するものである。第１図は
、本発明の実施例で、電流設定を変えて、出力を変化さ
せた場合の真空ポンプ動作制御フローチャート図である
。図中、Ｃは陰極材料、雰囲気ガス組成によって求まる
前記ω式中の定数であり、電流の変化に伴い、グロー面
積Ｓが変化しないようなガス圧Ｐを求め、これを基準ガ
ス圧とする。この基準ガス圧Ｐに対し、レーザガス圧ｐ
ｇが±０．５ Ｔｏｒｒの範囲におさまるように真空ポ
ンプを動作させる。
置を改善することにより実施するものである。第１図は
、本発明の実施例で、電流設定を変えて、出力を変化さ
せた場合の真空ポンプ動作制御フローチャート図である
。図中、Ｃは陰極材料、雰囲気ガス組成によって求まる
前記ω式中の定数であり、電流の変化に伴い、グロー面
積Ｓが変化しないようなガス圧Ｐを求め、これを基準ガ
ス圧とする。この基準ガス圧Ｐに対し、レーザガス圧ｐ
ｇが±０．５ Ｔｏｒｒの範囲におさまるように真空ポ
ンプを動作させる。
このことにより、定格出力から低出力全域にかけて第２
図に示したようなグロー長２□が得られ、その結果、出
力によらず光励起範囲Ｑ２全域にわたり、グロー放電が
行きわたる。
図に示したようなグロー長２□が得られ、その結果、出
力によらず光励起範囲Ｑ２全域にわたり、グロー放電が
行きわたる。
なお、本発明は、２軸直交り、 Ｃ，グロー放電形ＣＯ
□レーザ装置を例に説明したが、３軸直交り、 Ｃ。
□レーザ装置を例に説明したが、３軸直交り、 Ｃ。
グロー放電形ＣＯ□ レーザに適用できることは言うま
でもない。また、放ｆｔ１Ｌ［ピンの形状は、どんなも
のでも成り立つ議論である。
でもない。また、放ｆｔ１Ｌ［ピンの形状は、どんなも
のでも成り立つ議論である。
以上のように、本発明により、定格出力から低出力全域
にかけて、常に良好で安定した形状（モード）の出力光
が得られろ気体レーザ装置が実現できる。
にかけて、常に良好で安定した形状（モード）の出力光
が得られろ気体レーザ装置が実現できる。
第１図は本発明の制御フローチャート図、第２図は良好
なグロー放電時の放電部所面図、第３図はグロー放電が
良好でない場合の放電部所面図。 第４図は従来の装置の放電部概略図である。 １・・・放電′ｆＬ極ピン、 ２・・・棒状ｖＩ極
３・・・バラスト抵抗、 ４・・・共振器ミラー５
・・・電源 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 三俣弘文 第１図 第２図 第３図
なグロー放電時の放電部所面図、第３図はグロー放電が
良好でない場合の放電部所面図。 第４図は従来の装置の放電部概略図である。 １・・・放電′ｆＬ極ピン、 ２・・・棒状ｖＩ極
３・・・バラスト抵抗、 ４・・・共振器ミラー５
・・・電源 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 三俣弘文 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- レーザガスをグロー放電により励起するための放電電極
ピンを有する気体レーザ装置において、レーザ出力の変
化に伴い、レーザガス圧力を調整し、常に一定のグロー
放電長を達成することを特徴とする気体レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22192786A JPS6378587A (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 | 気体レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22192786A JPS6378587A (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 | 気体レ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6378587A true JPS6378587A (ja) | 1988-04-08 |
Family
ID=16774337
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22192786A Pending JPS6378587A (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 | 気体レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6378587A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0661567A (ja) * | 1992-08-10 | 1994-03-04 | Hitachi Ltd | ガス制御式出力安定化ガスレーザ装置 |
| WO1995034927A1 (fr) * | 1994-06-16 | 1995-12-21 | Komatsu Ltd. | Regulateur de gaz laser et dispositif de charge-decharge pour laser a decharge |
-
1986
- 1986-09-22 JP JP22192786A patent/JPS6378587A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0661567A (ja) * | 1992-08-10 | 1994-03-04 | Hitachi Ltd | ガス制御式出力安定化ガスレーザ装置 |
| WO1995034927A1 (fr) * | 1994-06-16 | 1995-12-21 | Komatsu Ltd. | Regulateur de gaz laser et dispositif de charge-decharge pour laser a decharge |
| US5754579A (en) * | 1994-06-16 | 1998-05-19 | Komatsu Ltd. | Laser gas controller and charging/discharging device for discharge-excited laser |
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