JPH01115178A - 高周波放電励起方式ガスレーザ装置 - Google Patents
高周波放電励起方式ガスレーザ装置Info
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- JPH01115178A JPH01115178A JP27174787A JP27174787A JPH01115178A JP H01115178 A JPH01115178 A JP H01115178A JP 27174787 A JP27174787 A JP 27174787A JP 27174787 A JP27174787 A JP 27174787A JP H01115178 A JPH01115178 A JP H01115178A
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- Japan
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- discharge
- metal electrodes
- excitation type
- type gas
- frequency discharge
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- 230000005284 excitation Effects 0.000 title claims description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 29
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 6
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は高周波放電励起方式ガスレーザ装置に係るもの
であり、特にその電極構造に関する。
であり、特にその電極構造に関する。
（従来の技術）
高周波放電励起方式ガスレーザ装置は、レーザ媒質ガス
を充填した放電管内に高周波電圧を印加して高周波放電
を発生させ、これによってレーザ媒質ガスを励起してレ
ーザ発振を行う装置である。
を充填した放電管内に高周波電圧を印加して高周波放電
を発生させ、これによってレーザ媒質ガスを励起してレ
ーザ発振を行う装置である。
このような高周波放電励起方式ガスレーザ装置の一例を
第５図に示す。
第５図に示す。
第５図において、誘電体より成る放電管１の外壁には、
これに密着する形で、一対の薄い帯状の金属電極２ａ、
２ｂが対向配置されている。この金属型ｔｉ２ａ、２
ｂには、放電電力を供給するための高周波電源３が接続
されている。また、放電管１の両端部には、ダクト４が
設けられ、両ダクト４の他端は、ブロア５と熱交換器６
ａ、’６ｂとを介して接続されており、全体として環状
の容器が構成されている。一方、放電管１の両側には、
共振器を構成する出力鏡７と全反射鏡８とが対向配置さ
れている。なあ、放電管１、ダクト４、ブロア５、及び
熱交換器６ａ、６ｂから成る環状容器内には、レーザ媒
質ガス９が充填されている。
これに密着する形で、一対の薄い帯状の金属電極２ａ、
２ｂが対向配置されている。この金属型ｔｉ２ａ、２
ｂには、放電電力を供給するための高周波電源３が接続
されている。また、放電管１の両端部には、ダクト４が
設けられ、両ダクト４の他端は、ブロア５と熱交換器６
ａ、’６ｂとを介して接続されており、全体として環状
の容器が構成されている。一方、放電管１の両側には、
共振器を構成する出力鏡７と全反射鏡８とが対向配置さ
れている。なあ、放電管１、ダクト４、ブロア５、及び
熱交換器６ａ、６ｂから成る環状容器内には、レーザ媒
質ガス９が充填されている。
以上の様な構成を有する第５図の装置の動作は次の通り
でおる。
でおる。
即ち、レーザ媒質ガス９が満たされた放電管１において
、高周波電源３よ゛す、電極２ａ、 ２ｂ間に高周波電
圧が印加されると、放電管１内に高周波放電１０が発生
する。そして、この高周波放電１０によってレーザ媒質
ガス９が励起され、出力鏡７と全反射鏡８とで構成され
た共振器内でレーず発振を生じ、出力鏡７を通してレー
ザビーム１１が出力される。また、高周波放電１０によ
り加熱されたレーザ媒質ガスは、熱交換器６ａ、５ｂに
より冷却されると共に、ブロア５により、高速で環状容
器内を循環するようになっている。
、高周波電源３よ゛す、電極２ａ、 ２ｂ間に高周波電
圧が印加されると、放電管１内に高周波放電１０が発生
する。そして、この高周波放電１０によってレーザ媒質
ガス９が励起され、出力鏡７と全反射鏡８とで構成され
た共振器内でレーず発振を生じ、出力鏡７を通してレー
ザビーム１１が出力される。また、高周波放電１０によ
り加熱されたレーザ媒質ガスは、熱交換器６ａ、５ｂに
より冷却されると共に、ブロア５により、高速で環状容
器内を循環するようになっている。
ところで、第５図の装置に使用される薄い帯状の金属電
極２ａ、 ２ｂは、製造の際の切断加工によりその端部
が角部となっているため、電圧印加の際には、この角部
に極めて高い電界集中が生じる。このように金属電極２
ａ、 ２ｂの角部に高い電界集中を生じると、第６図に
示すように、金属電極２ａ、 ２ｂ間に発生する高周波
放電１０においても、金属電極２ａ、２ｂの角部に対応
する部分に放電の集中１０８を生じる。その結果、高周
波放電１０に不均一を生じ、出力されるレーザビーム１
１に、横モードの崩れなどの性能の低下を生じる問題が
ある。
極２ａ、 ２ｂは、製造の際の切断加工によりその端部
が角部となっているため、電圧印加の際には、この角部
に極めて高い電界集中が生じる。このように金属電極２
ａ、 ２ｂの角部に高い電界集中を生じると、第６図に
示すように、金属電極２ａ、 ２ｂ間に発生する高周波
放電１０においても、金属電極２ａ、２ｂの角部に対応
する部分に放電の集中１０８を生じる。その結果、高周
波放電１０に不均一を生じ、出力されるレーザビーム１
１に、横モードの崩れなどの性能の低下を生じる問題が
ある。
（発明が解決しようとする問題点）
上記のように、従来の高周波放電励起方式ガスレーザ装
置においては、電極の角部に対応する部分で放電の集中
を生じ、レーザビームの性能が低下してしまう問題があ
った。
置においては、電極の角部に対応する部分で放電の集中
を生じ、レーザビームの性能が低下してしまう問題があ
った。
本発明は、このような従来技術の問題点を解決するため
に提案されたものであり、その目的は、放電の集中を防
止可能とすることにより、放電の均一化を計り、対称性
の良い、安定したモードを持った高性能のレーザビーム
を得ることができるような、優れた高周波放電励起方式
ガスレーザ装置を提供することでおる。
に提案されたものであり、その目的は、放電の集中を防
止可能とすることにより、放電の均一化を計り、対称性
の良い、安定したモードを持った高性能のレーザビーム
を得ることができるような、優れた高周波放電励起方式
ガスレーザ装置を提供することでおる。
［発明の構成］
（問題点を解決するための手段）
本発明の高周波放電励起方式ガスレーザ装置は、金属電
極の幅を厚くし、この金属電極の放電管に接する面の端
部を緩かな曲面とすることを構成の特徴としている。
極の幅を厚くし、この金属電極の放電管に接する面の端
部を緩かな曲面とすることを構成の特徴としている。
（作用）
以上のような構成を有する本発明においては、放電管に
接する面の金属電極端部が緩かな曲面とされているため
、回部の電界強度が弱められ、この電極端部に対応する
部分に放電集中を生ずることがなくなる。従って、放電
を均一化でき、対称性の良い、安定したモードを有する
レーザビームを得られる。
接する面の金属電極端部が緩かな曲面とされているため
、回部の電界強度が弱められ、この電極端部に対応する
部分に放電集中を生ずることがなくなる。従って、放電
を均一化でき、対称性の良い、安定したモードを有する
レーザビームを得られる。
（実施例）
以下に、本発明による高周波放電励起方式ガスレーザ装
置の一実施例を図面を参照して具体的に説明する。なお
、第５図及び第６図に示した従来技術と同一部分には同
一符号を付し、説明を省略する。
置の一実施例を図面を参照して具体的に説明する。なお
、第５図及び第６図に示した従来技術と同一部分には同
一符号を付し、説明を省略する。
＊実施例の構成＊
第１図に示す実施例の基本的な構成は、第５図に示した
従来技術と同様である。
従来技術と同様である。
即ち、第１図の実施例において、誘電体より成る放電管
１には、その外壁２ａ、２ｂに密着する形で一対の金属
電極２ａ、２ｂが対向配置され、この金属電極２ａ、２
ｂに高周波電源３が接続されている。そして、放電管１
と、その両端部に接続されたダクト４と、このダクト４
間に配設されたブロア５、及び熱交換器５ａ、５ｂとに
より環状容器が形成され、この環状容器内部にレーザ媒
質ガス９が充填されている。また、放電管１の両側には
、出力鏡７と全反射鏡８とが対向配置され、共］辰器を
構成している。
１には、その外壁２ａ、２ｂに密着する形で一対の金属
電極２ａ、２ｂが対向配置され、この金属電極２ａ、２
ｂに高周波電源３が接続されている。そして、放電管１
と、その両端部に接続されたダクト４と、このダクト４
間に配設されたブロア５、及び熱交換器５ａ、５ｂとに
より環状容器が形成され、この環状容器内部にレーザ媒
質ガス９が充填されている。また、放電管１の両側には
、出力鏡７と全反射鏡８とが対向配置され、共］辰器を
構成している。
そして、金属電極２ａ、２ｂは、第１図に示すように、
放電管１の軸方向におけるその端部に緩かな曲面部１２
ａ〜１２ｄを加工形成されている。
放電管１の軸方向におけるその端部に緩かな曲面部１２
ａ〜１２ｄを加工形成されている。
また、金属電極２ａ、２ｂは、第２図に示すように、放
電管１の周方向における端部にも緩かな曲面部１３８〜
１３ｄを加工形成されている。ここで、金属電極２ａ、
２ｂは、従来よりも大幅に厚くされ、その端部に前記
の緩かな曲面部１２ａ〜１２ｄ、１３ａ〜１３ｄを形成
できるような、充分な厚みを有している。
電管１の周方向における端部にも緩かな曲面部１３８〜
１３ｄを加工形成されている。ここで、金属電極２ａ、
２ｂは、従来よりも大幅に厚くされ、その端部に前記
の緩かな曲面部１２ａ〜１２ｄ、１３ａ〜１３ｄを形成
できるような、充分な厚みを有している。
本実施例の作用＊
以上のような構成を有する本実施例の作用は次の通りで
ある。
ある。
即ら、従来の金属電極は、その端部に角部を有していた
ため、同部に極めて高い電界集中を生じていたが、本実
施例の金属電極２ａ、２ｂは、その端部に緩かな曲面部
１２ａ〜１２ｄ、１３ａ〜１３ｄを形成されているため
、同部の電界強度が充分に緩和され、その結果、放電の
集中を生じることなく、均一な高周波放電１０を得られ
る。従って、発振軸について対称で、良好な横モードを
有するような高性能のレーザビーム１１を得られる。
ため、同部に極めて高い電界集中を生じていたが、本実
施例の金属電極２ａ、２ｂは、その端部に緩かな曲面部
１２ａ〜１２ｄ、１３ａ〜１３ｄを形成されているため
、同部の電界強度が充分に緩和され、その結果、放電の
集中を生じることなく、均一な高周波放電１０を得られ
る。従って、発振軸について対称で、良好な横モードを
有するような高性能のレーザビーム１１を得られる。
＊他の実施例＊
なお、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、
金属電極２ａ、２ｂ端部のうち、放電管１に接する側の
みを緩かな曲面とすれば充分であるため、第３図、第４
図に示すように、金属電極２ａ、 ２ｂ端部の放電管１
と反対側に角部を有する形状とすることも可能である。
金属電極２ａ、２ｂ端部のうち、放電管１に接する側の
みを緩かな曲面とすれば充分であるため、第３図、第４
図に示すように、金属電極２ａ、 ２ｂ端部の放電管１
と反対側に角部を有する形状とすることも可能である。
即ち、第３図に示すように、放電管１の軸方向における
金属電（へ２ａ、２ｂの端部、及び放電管１の周方向に
おける金属電極２ａ、２ｂの端部には、共に放電管１に
接する面のみに緩かな曲面部１４ａ〜１４ｄ。
金属電（へ２ａ、２ｂの端部、及び放電管１の周方向に
おける金属電極２ａ、２ｂの端部には、共に放電管１に
接する面のみに緩かな曲面部１４ａ〜１４ｄ。
１５ａ〜１５ｄが加工形成されている。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明の高周波放電励起方式ガス
レーザ装置においては、金属電極を従来よりも厚くし、
その端部に緩かな曲面を形成するという簡単な構成によ
り、従来問題となっていた電極端部の電界集中を緩和で
き、その結果放電の集中を阻止して放電を均一化でき、
レーザ発振軸に対称で良好な横モードを有するレーザビ
ームを得られる。このように、本発明の高周波放電励起
方式ガスレーＩｆ装置においては、加工特性に方向性を
生じない、高性能のレーザビームを得られるため、産業
上の利用価値は極めて高い。
レーザ装置においては、金属電極を従来よりも厚くし、
その端部に緩かな曲面を形成するという簡単な構成によ
り、従来問題となっていた電極端部の電界集中を緩和で
き、その結果放電の集中を阻止して放電を均一化でき、
レーザ発振軸に対称で良好な横モードを有するレーザビ
ームを得られる。このように、本発明の高周波放電励起
方式ガスレーＩｆ装置においては、加工特性に方向性を
生じない、高性能のレーザビームを得られるため、産業
上の利用価値は極めて高い。
第１図は本発明の一実施例でおる高周波放電励起方式ガ
スレーザ装置を示すレーザ軸方向の断面図、第２図は同
じくレーザ軸と直交方向の断面図、第３図は本発明の他
の実施例を示すレーザ軸方向の断面図、第４図は同じく
レーザ軸と直交方向の断面図、第５図は従来の高周波放
電励起方式ガスレーザ装置を示すレーザ軸方向の断面図
、第６図は同じくレーザ軸と直交方向の断面図である。 １・・・放電管、２ａ、２ｂ・・・金属電極、３・・・
高周波電源、４・・・ダクト、５・・・ブロワ、５ａ、
５ｂ・・・熱交換器、７・・・出力鏡、８・・・全反射
鏡、９・・・レーザ媒質ガス、１０・・・高周波放電、
１１・・・レーザビーム。 １２ａ〜１２ｄ、１３ａ〜１３ｄ、１４ａ〜１４ｄ、１
５ａ〜１５ｄ・・・金属電極の曲面部。
スレーザ装置を示すレーザ軸方向の断面図、第２図は同
じくレーザ軸と直交方向の断面図、第３図は本発明の他
の実施例を示すレーザ軸方向の断面図、第４図は同じく
レーザ軸と直交方向の断面図、第５図は従来の高周波放
電励起方式ガスレーザ装置を示すレーザ軸方向の断面図
、第６図は同じくレーザ軸と直交方向の断面図である。 １・・・放電管、２ａ、２ｂ・・・金属電極、３・・・
高周波電源、４・・・ダクト、５・・・ブロワ、５ａ、
５ｂ・・・熱交換器、７・・・出力鏡、８・・・全反射
鏡、９・・・レーザ媒質ガス、１０・・・高周波放電、
１１・・・レーザビーム。 １２ａ〜１２ｄ、１３ａ〜１３ｄ、１４ａ〜１４ｄ、１
５ａ〜１５ｄ・・・金属電極の曲面部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 誘電体より成る放電管の外壁に密着する形で対向配置さ
れた一対の帯状の金属電極間に、高周波電圧を印加して
高周波放電を発生させることにより、放電管内に充填し
たレーザ媒質ガスを励起させてレーザ発振を行う高周波
放電励起方式ガスレーザ装置において、 前記金属電極がその幅を厚くされ、且つ、その放電管に
接する面の端部を緩かな曲面とされたことを特徴とする
高周波放電励起方式ガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27174787A JPH01115178A (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 | 高周波放電励起方式ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27174787A JPH01115178A (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 | 高周波放電励起方式ガスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01115178A true JPH01115178A (ja) | 1989-05-08 |
Family
ID=17504270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27174787A Pending JPH01115178A (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 | 高周波放電励起方式ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01115178A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008108524A (ja) * | 2006-10-25 | 2008-05-08 | Jst Mfg Co Ltd | ソケットコンタクト |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61292386A (ja) * | 1985-06-20 | 1986-12-23 | Mitsubishi Electric Corp | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
| JPS6324689A (ja) * | 1986-07-17 | 1988-02-02 | Komatsu Ltd | ガスレ−ザ装置 |
-
1987
- 1987-10-29 JP JP27174787A patent/JPH01115178A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61292386A (ja) * | 1985-06-20 | 1986-12-23 | Mitsubishi Electric Corp | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
| JPS6324689A (ja) * | 1986-07-17 | 1988-02-02 | Komatsu Ltd | ガスレ−ザ装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008108524A (ja) * | 2006-10-25 | 2008-05-08 | Jst Mfg Co Ltd | ソケットコンタクト |
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