JPS6324689A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
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- JPS6324689A JPS6324689A JP16676986A JP16676986A JPS6324689A JP S6324689 A JPS6324689 A JP S6324689A JP 16676986 A JP16676986 A JP 16676986A JP 16676986 A JP16676986 A JP 16676986A JP S6324689 A JPS6324689 A JP S6324689A
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- JP
- Japan
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- electrodes
- discharge tube
- discharge
- duct
- warm
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- Pending
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
- H01S3/0385—Shape
- H01S3/0387—Helical shape
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、又池数電型のガスレーザ装置で、詳しくは、
放電管の外表面に取付けた放電電極まわりの結露をなく
すことができるようにしたガスレーザ装置に関するもの
である。
放電管の外表面に取付けた放電電極まわりの結露をなく
すことができるようにしたガスレーザ装置に関するもの
である。
従来の技術
従来一般的な交流放電型のガスレーザ装置の放電管の表
面側では、特に始動時など作業環境条件によって第３図
に示すように１放電管ａ及び放電電極す、ｃの表面に水
滴ｄが膜状に連結して液体層を形成することがある。
面側では、特に始動時など作業環境条件によって第３図
に示すように１放電管ａ及び放電電極す、ｃの表面に水
滴ｄが膜状に連結して液体層を形成することがある。
発明が解決しようとする問題点
上記放電管ａの誘電率ｉｚ は、上記水膜が存在しない
通常の場合で、かつ絶縁材などで形成されている場合、
’ｚ”５〜２０である。空気などの乾燥ガスのそれは
ｃ、＝１であることＫより、ＩＩＥ４図において、放電
管ａの円周方向の電極間の抵抗値Ｒ１は、直径方向の電
極間の抵抗値鳥よりはるかに大となる。従って両電極す
。
通常の場合で、かつ絶縁材などで形成されている場合、
’ｚ”５〜２０である。空気などの乾燥ガスのそれは
ｃ、＝１であることＫより、ＩＩＥ４図において、放電
管ａの円周方向の電極間の抵抗値Ｒ１は、直径方向の電
極間の抵抗値鳥よりはるかに大となる。従って両電極す
。
Ｃに電圧が印加された場合、放電管ａ内で正常な放電現
象が得られることＫなる。
象が得られることＫなる。
ところが、両電極す、ｃ間に第３図に示すように放電管
ｑの表面に水滴ｄが膜状に付着すると、水の比誘導率Ｃ
５は リ）８０につき（なお純水はり−８０）、Ｒ＋
＜ Ｒ＊となり、放電管ａの外表面に沿って異常放電（
ミスファイヤ）が生じ、正常なレーザ発振が妨げられる
ばかりでなく、ときとしては故障の原因となる。
ｑの表面に水滴ｄが膜状に付着すると、水の比誘導率Ｃ
５は リ）８０につき（なお純水はり−８０）、Ｒ＋
＜ Ｒ＊となり、放電管ａの外表面に沿って異常放電（
ミスファイヤ）が生じ、正常なレーザ発振が妨げられる
ばかりでなく、ときとしては故障の原因となる。
１’）１題点を解決する念めの手段及び作用本発明は上
記のことＫかんがみなされたもので、放電管の外表面に
取付けられた放電電極まわりの結露などによる水膜に帰
因する異常放電を防止できるようにしたガスレーザ装置
を提供しようとするもので、その構成は、放電管の外側
にヒータ等の外部加熱装置を設けた構成となっており、
この外部加熱装置にて放電管の外周面、特に放電管の外
周面に取りつけた電極をあたためて、この部分での結露
を防止するようになっている。
記のことＫかんがみなされたもので、放電管の外表面に
取付けられた放電電極まわりの結露などによる水膜に帰
因する異常放電を防止できるようにしたガスレーザ装置
を提供しようとするもので、その構成は、放電管の外側
にヒータ等の外部加熱装置を設けた構成となっており、
この外部加熱装置にて放電管の外周面、特に放電管の外
周面に取りつけた電極をあたためて、この部分での結露
を防止するようになっている。
実施例
本発明の実施例を第１図に基づいて説明する。
図中１は誘電体からなる放電管、２，３はこの放電管１
の外表面に設けられた一対の放電電極、４はこの放電電
極２．３に高周波交流電圧を印加する高周波電源、５は
上記放電管１の一端面に設けられた全反射鏡、６は上記
放電管１の他端面に設けられた部分透過鏡、７は上記放
電管１の両端を接続する送気管、８はこの送気管７に介
装されて上記放電管１内に充填されたレーザ媒質ガスを
循環するレーザ媒質ガスを冷却するための熱交換器であ
る。
の外表面に設けられた一対の放電電極、４はこの放電電
極２．３に高周波交流電圧を印加する高周波電源、５は
上記放電管１の一端面に設けられた全反射鏡、６は上記
放電管１の他端面に設けられた部分透過鏡、７は上記放
電管１の両端を接続する送気管、８はこの送気管７に介
装されて上記放電管１内に充填されたレーザ媒質ガスを
循環するレーザ媒質ガスを冷却するための熱交換器であ
る。
上記放電管１の外側で、特に放電電極２，３の外側はダ
ク）１０にてカバーされている。そしてとのダク）１０
の入口側には温風機ＩＩが設けられている。１２はダク
ト１０の出口であるＯ 上記構成において、温風機１１を駆動することＫより、
放電管１の周囲、特に電極２．３の周囲に温風が供給さ
れ、放電管１の外周面、特に電極２，３の外周部が暖め
られ、ガスレーザ装置の始動前に、仮に放電管１の外周
面に結露していたとしても直ちに乾燥状態になる。
ク）１０にてカバーされている。そしてとのダク）１０
の入口側には温風機ＩＩが設けられている。１２はダク
ト１０の出口であるＯ 上記構成において、温風機１１を駆動することＫより、
放電管１の周囲、特に電極２．３の周囲に温風が供給さ
れ、放電管１の外周面、特に電極２，３の外周部が暖め
られ、ガスレーザ装置の始動前に、仮に放電管１の外周
面に結露していたとしても直ちに乾燥状態になる。
なお上記実施例ではダクトＩＱの入口部に温風機１１を
設けた例を示したが、この温風機１１をモータに替え、
吸入口に温風源、例えば、他の空冷モータなどの暖めら
れた吐出空気などを供給するようにしてもよい。
設けた例を示したが、この温風機１１をモータに替え、
吸入口に温風源、例えば、他の空冷モータなどの暖めら
れた吐出空気などを供給するようにしてもよい。
また第２図は他の実施例を示すもので、放電管１の外側
に、赤外線ヒータ１３を設け、このヒータＩ３にて放電
管１の周囲を暖めるようになっている。
に、赤外線ヒータ１３を設け、このヒータＩ３にて放電
管１の周囲を暖めるようになっている。
また本発明に用いられる電極２，３は図に示す螺旋帯状
以外に、放電管１の長手方向に長い直線状にしてもよい
。さらにこの各放電電極２゜３の周囲を絶縁材にて被覆
してもよい。
以外に、放電管１の長手方向に長い直線状にしてもよい
。さらにこの各放電電極２゜３の周囲を絶縁材にて被覆
してもよい。
発明の効果
本発明によれば、従来生じていた始動時の異常放電が防
止でき、異常放電に起因するガスレーザ装置の損傷を防
ぐことができ、安定運転、安全操作が可能となった。特
に、外部加熱機構、乾燥機構としてレーザ装置の付属補
機である空冷モータ排熱を利用した場合、新設装置とし
ては導入ダクトのみで安価で、かつ簡単な装置でもって
不具合対策を行なうことができた。
止でき、異常放電に起因するガスレーザ装置の損傷を防
ぐことができ、安定運転、安全操作が可能となった。特
に、外部加熱機構、乾燥機構としてレーザ装置の付属補
機である空冷モータ排熱を利用した場合、新設装置とし
ては導入ダクトのみで安価で、かつ簡単な装置でもって
不具合対策を行なうことができた。
第１図、第２図は本発明のそれぞれ異なる実施例を示す
一部破断正面図、第３図は従来の放電管の結露状態を示
す断面図、第４図は高周波抵抗の模式図である。
一部破断正面図、第３図は従来の放電管の結露状態を示
す断面図、第４図は高周波抵抗の模式図である。
Claims (1)
- レーザ媒質ガスの励起手段として放電管１の外表面に密
着して設けた放電電極２、３に交流電圧を印加する方式
を適用したガスレーザ装置において、放電管１の外側に
、この放電管１の外周面を暖める外部加熱装置を設けた
ことを特徴とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16676986A JPS6324689A (ja) | 1986-07-17 | 1986-07-17 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16676986A JPS6324689A (ja) | 1986-07-17 | 1986-07-17 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6324689A true JPS6324689A (ja) | 1988-02-02 |
Family
ID=15837353
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16676986A Pending JPS6324689A (ja) | 1986-07-17 | 1986-07-17 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6324689A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01115178A (ja) * | 1987-10-29 | 1989-05-08 | Toshiba Corp | 高周波放電励起方式ガスレーザ装置 |
-
1986
- 1986-07-17 JP JP16676986A patent/JPS6324689A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01115178A (ja) * | 1987-10-29 | 1989-05-08 | Toshiba Corp | 高周波放電励起方式ガスレーザ装置 |
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