JPH09199772A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
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- JPH09199772A JPH09199772A JP8025806A JP2580696A JPH09199772A JP H09199772 A JPH09199772 A JP H09199772A JP 8025806 A JP8025806 A JP 8025806A JP 2580696 A JP2580696 A JP 2580696A JP H09199772 A JPH09199772 A JP H09199772A
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 マイクロ波励起ガスレーザ発振装置におい
て、放電の安定化、レーザビームの高出力化を図ること
を目的とする。 【解決手段】 放電管１へのレーザガス導入部に角度の
ついた穴５ａを設けた円筒体５を備える構成とする。レ
ーザガスは放電管１に流入する際、円筒体５に設けられ
た穴５ａを通るため放電管１内のレーザガス流を旋回流
にすることができ、放電を安定化し、レーザビームの高
出力化が図れる。
て、放電の安定化、レーザビームの高出力化を図ること
を目的とする。 【解決手段】 放電管１へのレーザガス導入部に角度の
ついた穴５ａを設けた円筒体５を備える構成とする。レ
ーザガスは放電管１に流入する際、円筒体５に設けられ
た穴５ａを通るため放電管１内のレーザガス流を旋回流
にすることができ、放電を安定化し、レーザビームの高
出力化が図れる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は放電管の軸方向と光
軸方向が一致したガスレーザ発振装置に関するものであ
り、特にマイクロ波を用いる励起方法によるガスレーザ
発振装置に関するものである。
軸方向が一致したガスレーザ発振装置に関するものであ
り、特にマイクロ波を用いる励起方法によるガスレーザ
発振装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のガスレーザ発振装置には、図１３
に示すものがあった。この図において、２０はガラス等
の誘電体よりなる放電管、２１は前記放電管２０の外部
に設けられたマイクロ波空胴共振器、２２は前記マイク
ロ波空胴共振器２１にマイクロ波を出射するマグネトロ
ン、２３は前記マイクロ波空胴共振器２１で覆われた放
電管２０内の放電空間、２４は全反射鏡、２５は部分反
射鏡、この全反射鏡２４と部分反射鏡２５は前記放電空
間２３の両端に固定配置され、光共振器を形成してい
る。２６は前記部分反射鏡２５より出力されるレーザビ
ームである。矢印Ａはレーザガスの流れる方向を示して
おり、軸流形レーザ装置の中を循環している。２７は送
気管、２８，２９はそれぞれ前記放電空間２３にて温度
上昇したレーザガスの温度を下げるためのレーザガス冷
却用熱交換器、３０はレーザガス循環用送風機である。
に示すものがあった。この図において、２０はガラス等
の誘電体よりなる放電管、２１は前記放電管２０の外部
に設けられたマイクロ波空胴共振器、２２は前記マイク
ロ波空胴共振器２１にマイクロ波を出射するマグネトロ
ン、２３は前記マイクロ波空胴共振器２１で覆われた放
電管２０内の放電空間、２４は全反射鏡、２５は部分反
射鏡、この全反射鏡２４と部分反射鏡２５は前記放電空
間２３の両端に固定配置され、光共振器を形成してい
る。２６は前記部分反射鏡２５より出力されるレーザビ
ームである。矢印Ａはレーザガスの流れる方向を示して
おり、軸流形レーザ装置の中を循環している。２７は送
気管、２８，２９はそれぞれ前記放電空間２３にて温度
上昇したレーザガスの温度を下げるためのレーザガス冷
却用熱交換器、３０はレーザガス循環用送風機である。
【０００３】以上が従来例の軸流形レーザ装置の構成で
あり、次にその動作について説明する。
あり、次にその動作について説明する。
【０００４】まず、マグネトロン２２から出射したマイ
クロ波がマイクロ波空胴共振器２１内で定在波を形成
し、放電空間２３にグロー状の放電を発生させる。放電
空間２３を通過するレーザガスは、この放電エネルギー
を得て励起され、その励起されたレーザガスは全反射鏡
２４および部分反射鏡２５により形成された光共振器で
共振状態となり、部分反射鏡２５からレーザビーム２６
が出力される。このレーザビーム２６がレーザ加工等の
用途に用いられる。
クロ波がマイクロ波空胴共振器２１内で定在波を形成
し、放電空間２３にグロー状の放電を発生させる。放電
空間２３を通過するレーザガスは、この放電エネルギー
を得て励起され、その励起されたレーザガスは全反射鏡
２４および部分反射鏡２５により形成された光共振器で
共振状態となり、部分反射鏡２５からレーザビーム２６
が出力される。このレーザビーム２６がレーザ加工等の
用途に用いられる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記の構成では、放電
管２０内のレーザガス流が乱れないため励起された分子
が撹拌されず、安定した放電が得られないという問題点
を有していた。このため電界方向の異なる複数のマイク
ロ波を印加することにより、放電の安定化を向上させた
が、十分な安定性を得られない。
管２０内のレーザガス流が乱れないため励起された分子
が撹拌されず、安定した放電が得られないという問題点
を有していた。このため電界方向の異なる複数のマイク
ロ波を印加することにより、放電の安定化を向上させた
が、十分な安定性を得られない。
【０００６】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、放電を安定化し、レーザビームの高出力化を図るこ
とを目的とする。
で、放電を安定化し、レーザビームの高出力化を図るこ
とを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明におけるガスレー
ザ発振装置においては、放電管内のレーザガス流を旋回
流にする手段を有したものである。
ザ発振装置においては、放電管内のレーザガス流を旋回
流にする手段を有したものである。
【０００８】この本発明によれば、放電を安定化し、レ
ーザビームを高出力化できる。
ーザビームを高出力化できる。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、電界の振動方向が異なるマイクロ波を印加する放電
管のレーザガス導入部に角度のついた穴を設けた円筒体
を備えたものであり、放電管内のレーザガス流は旋回流
になるため、放電が安定化し、レーザ出力を向上させる
作用を有する。
は、電界の振動方向が異なるマイクロ波を印加する放電
管のレーザガス導入部に角度のついた穴を設けた円筒体
を備えたものであり、放電管内のレーザガス流は旋回流
になるため、放電が安定化し、レーザ出力を向上させる
作用を有する。
【００１０】請求項２に記載の発明は、請求項１記載の
円筒体に設けられた角度のついた穴をテーパ状にしたガ
スレーザ発振装置であり、放電管内のレーザガス流が旋
回流になるとともに圧力損失が低減するという作用を有
する。
円筒体に設けられた角度のついた穴をテーパ状にしたガ
スレーザ発振装置であり、放電管内のレーザガス流が旋
回流になるとともに圧力損失が低減するという作用を有
する。
【００１１】請求項３に記載の発明は、電界の振動方向
が異なるマイクロ波を印加する放電管のレーザガス導入
部に螺旋状の羽を有するテーパを備えたガスレーザ発振
装置であり、放電管内のレーザガス流は旋回流になるた
め、放電が安定化し、レーザ出力を向上させる作用を有
する。
が異なるマイクロ波を印加する放電管のレーザガス導入
部に螺旋状の羽を有するテーパを備えたガスレーザ発振
装置であり、放電管内のレーザガス流は旋回流になるた
め、放電が安定化し、レーザ出力を向上させる作用を有
する。
【００１２】請求項４に記載の発明は、電界の振動方向
が異なるマイクロ波を印加する放電管のレーザガス導入
部にテーパ状の溝を備えたガスレーザ発振装置であり、
放電管内のレーザガス流は旋回流になるため、放電が安
定化し、レーザ出力を向上させる作用を有する。
が異なるマイクロ波を印加する放電管のレーザガス導入
部にテーパ状の溝を備えたガスレーザ発振装置であり、
放電管内のレーザガス流は旋回流になるため、放電が安
定化し、レーザ出力を向上させる作用を有する。
【００１３】請求項５に記載の発明は、請求項３または
請求項４記載のガスレーザ発振装置の電界の振動方向が
異なるマイクロ波を印加する放電管のレーザガス導入部
に円筒体を備えたガスレーザ発振装置であり、放電管内
のレーザガス流は旋回流になるため、放電が安定化し、
レーザ出力を向上させる作用を有する。
請求項４記載のガスレーザ発振装置の電界の振動方向が
異なるマイクロ波を印加する放電管のレーザガス導入部
に円筒体を備えたガスレーザ発振装置であり、放電管内
のレーザガス流は旋回流になるため、放電が安定化し、
レーザ出力を向上させる作用を有する。
【００１４】請求項６に記載の発明は、電界の振動方向
が異なるマイクロ波を印加する放電管のレーザガス導入
部に外周に螺旋羽を有する円筒体を備えたガスレーザ発
振装置であり、放電管内のレーザガス流は旋回流になる
ため、放電が安定化し、レーザ出力を向上させる作用を
有する。
が異なるマイクロ波を印加する放電管のレーザガス導入
部に外周に螺旋羽を有する円筒体を備えたガスレーザ発
振装置であり、放電管内のレーザガス流は旋回流になる
ため、放電が安定化し、レーザ出力を向上させる作用を
有する。
【００１５】請求項７に記載の発明は、電界の振動方向
が異なるマイクロ波を印加する放電管のレーザガス導入
部に外周に螺旋溝を設けた円筒体を備えたガスレーザ発
振装置であり、放電管内のレーザガス流は旋回流になる
ため、放電が安定化し、レーザ出力を向上させる作用を
有する。
が異なるマイクロ波を印加する放電管のレーザガス導入
部に外周に螺旋溝を設けた円筒体を備えたガスレーザ発
振装置であり、放電管内のレーザガス流は旋回流になる
ため、放電が安定化し、レーザ出力を向上させる作用を
有する。
【００１６】請求項８に記載の発明は、電界の振動方向
が異なるマイクロ波を印加する放電管導入部の中心軸と
送気管の中心軸をオフセットしたガスレーザ発振装置で
あり、放電管内のレーザガス流は旋回流になるため、放
電が安定化し、レーザ出力を向上させる作用を有する。
が異なるマイクロ波を印加する放電管導入部の中心軸と
送気管の中心軸をオフセットしたガスレーザ発振装置で
あり、放電管内のレーザガス流は旋回流になるため、放
電が安定化し、レーザ出力を向上させる作用を有する。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の実施例について、図１から図
１２を用いて説明する。
１２を用いて説明する。
【００１８】（実施例１）図１はガスレーザ発振装置の
放電管導入部を示し、１はガラス等の誘電体よりなる放
電管であり、２は反射鏡であり、３はレーザガス流でレ
ーザガスの流れる方向を示しており、４は送気管であ
り、５は放電管導入部に設けられた角度のついた穴５ａ
を設けた円筒体であり、放電管内のレーザガス流を旋回
流にする作用がある。
放電管導入部を示し、１はガラス等の誘電体よりなる放
電管であり、２は反射鏡であり、３はレーザガス流でレ
ーザガスの流れる方向を示しており、４は送気管であ
り、５は放電管導入部に設けられた角度のついた穴５ａ
を設けた円筒体であり、放電管内のレーザガス流を旋回
流にする作用がある。
【００１９】図２は前記角度のついた穴を設けた円筒体
５を示し、角度のついた穴５ａの角度θおよびψを変化
させることによりレーザガス流を制御できる。
５を示し、角度のついた穴５ａの角度θおよびψを変化
させることによりレーザガス流を制御できる。
【００２０】なお、角度のついた穴５ａにテーパを設け
ることにより圧力損失を低減できる。
ることにより圧力損失を低減できる。
【００２１】（実施例２）図３はガスレーザ発振装置の
放電管導入部を示し、１はガラス等の誘電体よりなる放
電管であり、２は反射鏡であり、３はレーザガス流でレ
ーザガスの流れる方向を示しており、４は送気管であ
り、６は放電管導入部に設けられた螺旋状の羽を有する
テーパであり、放電管内のレーザガス流を旋回流にする
作用がある。
放電管導入部を示し、１はガラス等の誘電体よりなる放
電管であり、２は反射鏡であり、３はレーザガス流でレ
ーザガスの流れる方向を示しており、４は送気管であ
り、６は放電管導入部に設けられた螺旋状の羽を有する
テーパであり、放電管内のレーザガス流を旋回流にする
作用がある。
【００２２】図４は前記螺旋状の羽６ａを有するテーパ
６を示し、螺旋状の羽６ａの角度を変化させることによ
りレーザガス流を制御できる。
６を示し、螺旋状の羽６ａの角度を変化させることによ
りレーザガス流を制御できる。
【００２３】（実施例３）図５はガスレーザ発振装置の
放電管導入部を示し、１はガラス等の誘電体よりなる放
電管であり、２は反射鏡であり、３はレーザガス流でレ
ーザガスの流れる方向を示しており、４は送気管であ
り、７は放電管導入部に設けられたテーパ状の溝であ
り、放電管内のレーザガス流を旋回流にする作用があ
る。
放電管導入部を示し、１はガラス等の誘電体よりなる放
電管であり、２は反射鏡であり、３はレーザガス流でレ
ーザガスの流れる方向を示しており、４は送気管であ
り、７は放電管導入部に設けられたテーパ状の溝であ
り、放電管内のレーザガス流を旋回流にする作用があ
る。
【００２４】図６は前記テーパ状の溝７を示し、テーパ
状の溝７の角度を変化させることによりレーザガス流を
制御できる。
状の溝７の角度を変化させることによりレーザガス流を
制御できる。
【００２５】（実施例４）図７はガスレーザ発振装置の
放電管導入部を示し、１はガラス等の誘電体よりなる放
電管であり、２は反射鏡であり、３はレーザガス流でレ
ーザガスの流れる方向を示しており、４は送気管であ
り、６は放電管導入部に設けられた螺旋状の羽を有する
テーパであり、放電管内のレーザガス流を旋回流にする
作用があり、８は放電管導入部に設けられたレーザガス
流案内用円筒体であり、全てのレーザガスを螺旋状の羽
を有するテーパ６の羽に導く作用がある。
放電管導入部を示し、１はガラス等の誘電体よりなる放
電管であり、２は反射鏡であり、３はレーザガス流でレ
ーザガスの流れる方向を示しており、４は送気管であ
り、６は放電管導入部に設けられた螺旋状の羽を有する
テーパであり、放電管内のレーザガス流を旋回流にする
作用があり、８は放電管導入部に設けられたレーザガス
流案内用円筒体であり、全てのレーザガスを螺旋状の羽
を有するテーパ６の羽に導く作用がある。
【００２６】なお、螺旋状の羽を有するテーパ６の代わ
りに、テーパ状の溝７を用いても同様の効果が得られ
る。
りに、テーパ状の溝７を用いても同様の効果が得られ
る。
【００２７】（実施例５）図８はガスレーザ発振装置の
放電管導入部を示し、１はガラス等の誘電体よりなる放
電管であり、２は反射鏡であり、３はレーザガス流でレ
ーザガスの流れる方向を示しており、４は送気管であ
り、９は放電管導入部に設けられた外周に螺旋羽を有す
る円筒体であり、放電管内のレーザガス流を旋回流にす
る作用がある。
放電管導入部を示し、１はガラス等の誘電体よりなる放
電管であり、２は反射鏡であり、３はレーザガス流でレ
ーザガスの流れる方向を示しており、４は送気管であ
り、９は放電管導入部に設けられた外周に螺旋羽を有す
る円筒体であり、放電管内のレーザガス流を旋回流にす
る作用がある。
【００２８】図９は前記外周に螺旋羽９ａを有する円筒
体９を示し、羽の角度を変化させることによりレーザガ
ス流を制御できる。
体９を示し、羽の角度を変化させることによりレーザガ
ス流を制御できる。
【００２９】（実施例６）図１０はガスレーザ発振装置
の放電管導入部を示し、１はガラス等の誘電体よりなる
放電管であり、２は反射鏡であり、３はレーザガス流で
レーザガスの流れる方向を示しており、４は送気管であ
り、１０は放電管導入部に設けられた外周に螺旋溝を設
けた円筒体であり、放電管内のレーザガス流を旋回流に
する作用がある。
の放電管導入部を示し、１はガラス等の誘電体よりなる
放電管であり、２は反射鏡であり、３はレーザガス流で
レーザガスの流れる方向を示しており、４は送気管であ
り、１０は放電管導入部に設けられた外周に螺旋溝を設
けた円筒体であり、放電管内のレーザガス流を旋回流に
する作用がある。
【００３０】図１１は前記外周に螺旋溝１０ａを設けた
円筒体１０を示し、螺旋溝１０ａの角度を変化させるこ
とによりレーザガス流を制御できる。
円筒体１０を示し、螺旋溝１０ａの角度を変化させるこ
とによりレーザガス流を制御できる。
【００３１】（実施例７）図１２はガスレーザ発振装置
の放電管導入部を示し、３はレーザガス流でレーザガス
の流れる方向を示しており、４は送気管であり、１１は
放電管導入部であり、１２は放電管導入部の中心軸であ
り、１３は送気管の中心軸である。放電管導入部の中心
軸１２と送気管の中心軸１３にオフセットを設けること
によりレーザガス流を旋回流にすることができる。
の放電管導入部を示し、３はレーザガス流でレーザガス
の流れる方向を示しており、４は送気管であり、１１は
放電管導入部であり、１２は放電管導入部の中心軸であ
り、１３は送気管の中心軸である。放電管導入部の中心
軸１２と送気管の中心軸１３にオフセットを設けること
によりレーザガス流を旋回流にすることができる。
【００３２】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、放電管導
入部にレーザガス流を旋回流にする手段を取ることによ
り放電管内の放電が安定化し、レーザビームを高出力化
することができる。
入部にレーザガス流を旋回流にする手段を取ることによ
り放電管内の放電が安定化し、レーザビームを高出力化
することができる。
【図１】本発明の実施例１におけるガスレーザ発振装置
の放電管導入部の構成を示す要部断面図
の放電管導入部の構成を示す要部断面図
【図２】（ａ）は同実施例１における角度のついた穴を
設けた円筒体の正面図（ｂ）は（ａ）の左側面図
設けた円筒体の正面図（ｂ）は（ａ）の左側面図
【図３】本発明の実施例２におけるガスレーザ発振装置
の放電管導入部の構成を示す要部断面図
の放電管導入部の構成を示す要部断面図
【図４】（ａ）は同実施例２における螺旋状の羽を有す
るテーパの正面図（ｂ）は（ａ）の左側面図
るテーパの正面図（ｂ）は（ａ）の左側面図
【図５】本発明の実施例３におけるガスレーザ発振装置
の放電管導入部の構成を示す要部断面図
の放電管導入部の構成を示す要部断面図
【図６】（ａ）は同実施例３におけるテーパ状溝の正面
図（ｂ）は（ａ）の左側面図
図（ｂ）は（ａ）の左側面図
【図７】本発明の実施例４におけるガスレーザ発振装置
の放電管導入部の構成を示す要部断面図
の放電管導入部の構成を示す要部断面図
【図８】本発明の実施例５におけるガスレーザ発振装置
の放電管導入部の構成を示す要部断面図
の放電管導入部の構成を示す要部断面図
【図９】（ａ）は同実施例５における外周に螺旋羽を有
する円筒体の正面図（ｂ）は（ａ）の左側面図
する円筒体の正面図（ｂ）は（ａ）の左側面図
【図１０】本発明の実施例６におけるガスレーザ発振装
置の放電管導入部の構成を示す要部断面図
置の放電管導入部の構成を示す要部断面図
【図１１】（ａ）は同実施例６における外周に螺旋溝を
有する円筒体の正面図（ｂ）は（ａ）の左側面図
有する円筒体の正面図（ｂ）は（ａ）の左側面図
【図１２】本発明の実施例７におけるガスレーザ発振装
置の放電管導入部の構成を示す要部断面図
置の放電管導入部の構成を示す要部断面図
【図１３】従来のガスレーザ発振装置の構成図
１，２０ 放電管 ２ 反射鏡 ３ レーザガス流 ４ 送気管 ５ 角度のついた穴を設けた円筒体 ５ａ 角度のついた穴 ６ 螺旋状の羽を有するテーパ ６ａ 螺旋状の羽 ７ テーパ状の溝 ８ レーザガス流案内用円筒体 ９ 外周に螺旋羽を有する円筒体 ９ａ 螺旋羽 １０ 外周に螺旋溝を設けた円筒体 １０ａ 螺旋溝 １１ 放電管導入部 １２ 放電管導入部の中心軸 １３ 送気管の中心軸 ２１ マイクロ波空胴共振器 ２８，２９ レーザガス冷却用熱交換器 ３０ レーザガス循環用送風機
Claims (8)
- 【請求項１】 レーザガスが流れる送気管と、この送気
管の途中に設けられたレーザガス循環用送風機と、レー
ザガス冷却用熱交換器と、誘電体よりなる放電管と、こ
の放電管内に放電を発生させるマイクロ波空胴共振器と
を備え、前記マイクロ波空胴共振器は電界の振動方向が
異なる複数のマイクロ波を印加する作用を有し、前記放
電管のレーザガス導入部に角度のついた穴を設けた円筒
体を備えたガスレーザ発振装置。 - 【請求項２】 円筒体に設けた角度のついた穴をテーパ
状にした請求項１記載のガスレーザ発振装置。 - 【請求項３】 レーザガスが流れる送気管と、この送気
管の途中に設けられたレーザガス循環用送風機と、レー
ザガス冷却用熱交換器と、誘電体よりなる放電管と、こ
の放電管内に放電を発生させるマイクロ波空胴共振器と
を備え、前記マイクロ波空胴共振器は電界の振動方向が
異なる複数のマイクロ波を印加する作用を有し、前記放
電管のレーザガス導入部に螺旋状の羽を有するテーパを
備えたガスレーザ発振装置。 - 【請求項４】 レーザガスが流れる送気管と、この送気
管の途中に設けられたレーザガス循環用送風機と、レー
ザガス冷却用熱交換器と、誘電体よりなる放電管と、こ
の放電管内に放電を発生させるマイクロ波空胴共振器と
を備え、前記マイクロ波空胴共振器は電界の振動方向が
異なる複数のマイクロ波を印加する作用を有し、前記放
電管のレーザガス導入部にテーパ状の溝を備えたガスレ
ーザ発振装置。 - 【請求項５】 レーザガスが流れる送気管と、この送気
管の途中に設けられたレーザガス循環用送風機と、レー
ザガス冷却用熱交換器と、誘電体よりなる放電管と、こ
の放電管内に放電を発生させるマイクロ波空胴共振器と
を備え、前記マイクロ波空胴共振器は電界の振動方向が
異なる複数のマイクロ波を印加する作用を有し、前記放
電管のレーザガス導入部にレーザガス流案内用円筒体を
備えた請求項３または請求項４記載のガスレーザ発振装
置。 - 【請求項６】 レーザガスが流れる送気管と、この送気
管の途中に設けられたレーザガス循環用送風機と、レー
ザガス冷却用熱交換器と、誘電体よりなる放電管と、こ
の放電管内に放電を発生させるマイクロ波空胴共振器と
を備え、前記マイクロ波空胴共振器は電界の振動方向が
異なる複数のマイクロ波を印加する作用を有し、前記放
電管のレーザガス導入部に外周に螺旋羽を有する円筒体
を備えたガスレーザ発振装置。 - 【請求項７】 レーザガスが流れる送気管と、この送気
管の途中に設けられたレーザガス循環用送風機と、レー
ザガス冷却用熱交換器と、誘電体よりなる放電管と、こ
の放電管内に放電を発生させるマイクロ波空胴共振器と
を備え、前記マイクロ波空胴共振器は電界の振動方向が
異なる複数のマイクロ波を印加する作用を有し、前記放
電管のレーザガス導入部に外周に螺旋溝を設けた円筒体
を備えたガスレーザ発振装置。 - 【請求項８】 レーザガスが流れる送気管と、この送気
管の途中に設けられたレーザガス循環用送風機と、レー
ザガス冷却用熱交換器と、誘電体よりなる放電管と、こ
の放電管内に放電を発生させるマイクロ波空胴共振器と
を備え、前記マイクロ波空胴共振器は電界の振動方向が
異なる複数のマイクロ波を印加する作用を有し、放電管
導入部の中心軸と送気管の中心軸をオフセットしたガス
レーザ発振装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8025806A JPH09199772A (ja) | 1996-01-19 | 1996-01-19 | ガスレーザ発振装置 |
| US08/784,310 US5898724A (en) | 1996-01-19 | 1997-01-16 | Gas laser apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8025806A JPH09199772A (ja) | 1996-01-19 | 1996-01-19 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09199772A true JPH09199772A (ja) | 1997-07-31 |
Family
ID=12176119
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8025806A Pending JPH09199772A (ja) | 1996-01-19 | 1996-01-19 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5898724A (ja) |
| JP (1) | JPH09199772A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7664155B2 (en) | 2006-07-13 | 2010-02-16 | Fanuc Ltd | Gas laser oscillating unit |
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-
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Cited By (3)
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| CN103887685B (zh) * | 2012-12-21 | 2016-08-24 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 用于轴快流气体激光器的放电管 |
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| Publication number | Publication date |
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| US5898724A (en) | 1999-04-27 |
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