JPH104230A

JPH104230A - 気体レーザ用電極

Info

Publication number: JPH104230A
Application number: JP15580796A
Authority: JP
Inventors: Ikuo Watanabe; 辺郁男渡; Setsuo Suzuki; 木節雄鈴; Etsuo Noda; 田悦夫野; Motohisa Abe; 部素久阿; Takayuki Shibano; 野隆之芝; Noriyasu Kobayashi; 林徳康小; Nobutada Aoki; 木延忠青; Kenji Ishidoya; 健司石戸谷
Original assignee: LASER NOSHUKU GIJUTSU KENKYU KUMIAI; Toshiba Corp
Current assignee: LASER NOSHUKU GIJUTSU KENKYU KUMIAI; Toshiba Corp
Priority date: 1996-06-17
Filing date: 1996-06-17
Publication date: 1998-01-06
Anticipated expiration: 2016-06-17
Also published as: JP3630499B2

Abstract

(57)【要約】【課題】放電の集中を可及的に防止する。【解決手段】筒形の第１の電極２と、この第１の電極
の内面との間に円周方向に一様に分散される隙間が形成
されるように前記第１の電極の内側に設置された筒形の
第２の電極１０と、を備えていることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は気体レーザ用電極に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】気体レーザ用電極が用いられる気体レー
ザ装置の一般的な構成を図１８に示す。この気体レーザ
装置９０は放電容器９１を有しており、この放電容器９
１内の両端部に円筒型の気体レーザ用電極９２が対向配
置されている。

【０００３】また、放電容器９１内には軸方向に延びた
レーザ管９４が設けられており、このレーザ管９４の外
壁は断熱材９５で被覆されている。そして上記気体レー
ザ用電極９２は高電圧電源９９に接続されているととも
に、レーザ用電極９２の先端部分がレーザ管９４内に入
り込むような構成となっている。なお、レーザ管９４内
にはレーザ媒質となる銅片９６が配設されている。ま
た、放電容器９１の一端の外側には反射ミラー９７が、
他端の外側には出力ミラー９８が設けられている。

【０００４】次に上記気体レーザ装置９０の動作を説明
する。まず放電容器９１の給気ポート９３ａを介して、
図示しないガスボンベからバッファガスとしてネオンガ
スが供給され、排気ポート９３ｂから排出されることに
より、放電容器９１内は一定の圧力に保たれている。

【０００５】このような状態で気体レーザ用電極９２に
高電圧電源９９からの高電圧が印加されると、電極９２
間でネオン放電が生じる。このネオン放電が継続すると
レーザ管９４が加熱されて銅片９６が溶け銅蒸気が発生
し、更に加熱を続けると、レーザ媒質である銅原子が励
起され、光が発生する。この光が反射ミラー９７と出力
ミラー９８との間を往復することにより増幅され出力ミ
ラー９８からレーザ光が発振される。

【０００６】断熱材９５は熱が外部に逃げることを防ぐ
のに用いられる。また電極９２の先端がレーザ管９４内
に入れられているのは、電極９２の先端付近の温度がな
るべく下がらないようにしてレーザ発振に有効な温度領
域（例えば約１４５０℃以上の温度領域）が長くなるよ
うにするためである。したがって電極９２は高温となる
ため、電極材として高融点金属、例えばモリブデンが用
いられる。

【０００７】従来、高融点金属で円筒型の気体レーザ用
電極９２を製作する場合は、その加工のし易さとコスト
の面から金属板をまるめて円筒にし、この円筒を電極と
している。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】このように従来の円筒
型の気体レーザ用電極９２は高融点金属板をまるめて製
作するためにまるめて継いだときの継目に放電が集中し
易い。継目に放電が集中すると、電極９２の寿命が短く
なるばかりか、レーザ出力の低下や、レーザ出力の不安
定性を招くという問題が生じる。

【０００９】本発明は上記事情を考慮してなされたもの
であって、放電の集中が起こりにくい気体レーザ用電極
を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明による気体レーザ
用電極の第１の態様は、筒形の第１の電極と、この第１
の電極の内面との間に円周方向に一様に分散される隙間
が形成されるように前記第１の電極の内側に設置された
筒形の第２の電極と、を備えていることを特徴とする。

【００１１】また本発明による気体レーザ用電極の第２
の態様は、第１の態様の気体レーザ用電極において、前
記第１の電極は、長方形状の１枚の金属板の対向する１
組の辺に対称的に複数の切り込みを入れることによって
前記１組の各辺に複数の係合片を形成し、前記金属板を
まるめて前記１組の辺のうち一方の辺の係合片と他方の
辺の係合片が互い違いに係合するようにして形成したこ
とを特徴とする。

【００１２】また本発明による気体レーザ用電極の第３
の態様は、第１の態様の気体レーザ用電極において、前
記第１の電極はブロック状の金属材料から形成されたこ
とを特徴とする。

【００１３】また本発明による気体レーザ用電極の第４
の態様は、第１乃至第３のいずれかの態様の気体レーザ
用電極において、前記第２の電極は、外面に複数の突起
が設けられており、この突起によって前記隙間が前記第
１の電極の内面と前記第２の電極の外面の間に形成され
ることを特徴とする。

【００１４】また本発明による気体レーザ用電極の第５
の態様には、第１乃至第４のいずれかの態様の気体レー
ザ用電極において、前記第２の電極は周方向にほぼ等間
隔に配置される複数の孔が開けられていることを特徴と
する。

【００１５】また本発明による気体レーザ用電極の第６
の態様は、第１乃至第５のいずれかの態様の気体レーザ
用電極において、前記第２の電極は、軸方向に分割され
て配置された複数の筒型の副電極を有し、これらの副電
極は金属板によって連結されていることを特徴とする。

【００１６】また本発明による気体レーザ用電極の第７
の態様は、第１乃至第５のいずれかの態様の気体レーザ
用電極において、前記第２の電極は、周方向に一様に分
散され、軸方向に延びた複数枚の金属板を有し、前記隙
間は前記金属板と前記第１の電極の内面との間に形成さ
れることを特徴とする。

【００１７】また本発明による気体レーザ用電極の第８
の態様は、筒形の電極の内側に、表面に複数の突起を有
する細長い金属板を、前記突起が前記電極の内面に接す
るようにスパイラル状に設置したことを特徴とする。

【００１８】また本発明による気体レーザ用電極の第９
の態様は、筒形の電極に、周方向に一様に分散する、軸
方向の切れ目を入れ、この切れ目に金属板が編み込まれ
ていることを特徴とする。

【００１９】また本発明による気体レーザ用電極の第１
０の態様は、筒形の電極の内側に金属メッシュが接する
ように設置されていることを特徴とする。

【００２０】また本発明による気体レーザ用電極の第１
１の態様は、金属板から形成された筒形の電極と、この
電極の周方向に一様に分散するように形成された複数の
切り開き部と、を備え、前記切り開き部の切り開いた部
分は前記電極の内側に曲げられていることを特徴とす
る。

【００２１】また本発明による気体レーザ用電極の第１
２の態様は、ブロック状の金属材料から形成された筒形
の電極と、この電極の内側に周方向に形成された複数の
溝とを備えていることを特徴とする。

【００２２】

【発明の実施の形態】本発明による気体レーザ用電極の
第１の実施の形態の構成を図１に示す。この実施の形態
の気体レーザ用電極１は外筒２と内筒１０とを備えてい
る。外筒２は図２（ａ）の展開図に示すように高融点金
属板２の一辺にほぼ同じ長さの複数の切込み３ａ₁，…
３ａ₄を入れることにより係合片２ａ₁，…２ａ₅を形
成するとともに上記一辺に対向する他辺に、上記切込み
３ａ₁，…３ａ₄に対称的にほぼ同じ長さの複数の切込
み３ｂ₁，…３ｂ₄を入れることにより係合片２ｂ₁，
…２ｂ₅を形成し、続いて上記金属板２をまるめて上記
一辺上の係合辺２ａ₁，…２ａ₅と上記他辺上の係合片
２ｂ₁，…２ｂ₅が互い違いに係合するようにして円筒
を形成したものである。例えば上記一辺の係合片２
ａ₁，２ａ₃，２ａ₅が外筒２の外側の位置にあれば、
係合片２ａ₂，２ａ₄は外筒２の内側に位置し、このと
き上記他辺の係合片２ｂ₁，２ｂ₃，２ｂ₅は内側に、
係合片２ｂ₂，２ｂ₄は外側に位置することになる。こ
のときの外筒２の断面を図２（ｂ）に示す。なお図２
（ｂ）において符号４は継目である。

【００２３】一方内筒１０は図３の展開図に示すような
形状の高融点金属板１０から形成される。この金属板１
０は主要部１１と、継目保護部１２とを備えている。主
要部１１には複数の孔１３が設けられているとともに複
数の突起１４が設けられている。

【００２４】そしてこの金属板１０を突起１４が外側を
向くように矢印の方向にまるめ、金属板１０の主要部１
１の端部と外筒２の端部が一致するようにして外筒２の
内側に挿入する。すると、弾性力により金属板１０が外
側に広がろうとして動作し、金属板１０の突起１４が外
筒２の内周に接触して上記広がろうとする動作が停止
し、図１に示す気体レーザ用電極１が形成される。な
お、継目保護部１２は外筒２の、内筒１０によって被わ
れていない継目を被覆するように配置される。一般に高
電圧電源には外筒２が接続される。

【００２５】この気体レーザ用電極１においては、上記
突起１４によって外筒１２の内周と内筒１０の外周との
間に一様な隙間が形成される。このため、電極１の先端
の周方向の狭い隙間、および内筒１０の孔１３の周囲と
外筒２との間の狭い隙間で電子の発生率が高まり、放電
が一箇所、例えば外筒２の継目に集中するのを抑えるこ
とができる。

【００２６】なお、内筒１０は重なりが生じないように
金属板１０の周方向の長さを調製することにより、図１
に示すように切れ目２１を設けた方が良い。これは内筒
１０の重なった部分に放電が集中することを避けるため
である。また切れ目２１を設ける代わりに内筒１０を構
成する金属板１０を外筒２の内側に一周以上巻くことに
より周方向に更に一様に狭い隙間を形成しても良い。

【００２７】また、内筒１０を構成する金属板１０自体
の広がる力だけで金属板１０は外筒２の内側に設置され
るが、リベット２２₁，２２₂等を用いることにより、
内筒１０を外筒２に固定し、内筒１０の自重あるいは放
電による損傷で内筒１０の先端が外筒より離れることを
防止するようにしても良い。

【００２８】また放電が外筒２の継目に集中しないよう
にするため、外筒２の先端部分に切り欠き８を入れ、継
目４が電極１の先端に現われないようにするとともに、
リベット２２₃によって継目が離れないようにしても良
い。

【００２９】なお、内筒１０の継目保護部１２は外筒２
の、内筒１０によって被われていない継目４に放電が集
中するのを防止するために設けたものであり、放電が集
中しないようであれば、内筒１０を構成する金属板１０
（図３参照）から取り除いても良い。

【００３０】なお、内筒１０の軸方向の長さは、放電が
安定に持続されれば、外筒２の軸方向の長さより短くて
良い。この場合熱伝導による熱の損失が少なくなる。

【００３１】なお外筒２を薄い金属板を用いて形成する
ことにより熱伝導を少なくし、放電による損傷の大きい
内筒１０を厚い金属板を用いて形成した方が良い。また
内筒１０は外筒２の材料とは異なる、放電による損傷が
より少ない金属を用いても良い。

【００３２】なお、上記実施の形態の気体レーザ用電極
１においては、隙間を形成するための突起１４は内筒１
０の外側に設けたが、外筒２の内側に設けても良い。ま
た上記隙間は突起１４の高さによって調整することが可
能である。突起１４の高さはどれも同じにするのが一般
的であるが、部分的に高さを変え、隙間の狭い所と広い
所を形成するようにすると、気体レーザ装置９０の放電
容器９１内の圧力が高いときは放電が狭い隙間に、圧力
が低いときには広い隙間に集中し易いため、広い圧力範
囲に適応することが可能となる。

【００３３】また上記実施の形態の気体レーザ用電極１
においては、外筒２と内筒１０の電気的接触は突起１４
やリベット２２₁，２２₂，２２₃で保っているが、電
気的接触をより確実にするため、突起１４の頭を円筒に
合せた面形状にしたり、リベット止めの数を増やした
り、金属のスペーサを入れたりしても良い。

【００３４】次に本発明による気体レーザ用電極の第２
の実施の形態を図４を参照して説明する。この実施の形
態の気体レーザ用電極は１枚の金属板から形成され、こ
の電極の展開図を図４に示す。この実施の形態の気体レ
ーザ用電極は、第１の実施の形態の気体レーザ用電極と
同様に、外筒２と、内筒１０と、継目保護部１２とを有
している（図４参照）。外筒２を構成することになる金
属板の部分２には第１の実施の形態と同様に切り込み
（図示せず）が入れられている。

【００３５】また、内筒１０を構成することになる金属
板の部分１０には第１の実施の形態の場合と同様に複数
の穴１３と、突起１４が設けられている。

【００３６】このような図４に示す金属板を矢印の方向
にまるめることによって図１に示すような外筒２の内側
に、この外筒２に沿って内筒１０が設けられている構造
の気体レーザ用電極を形成することができる。

【００３７】この第２の実施の形態の気体レーザ用電極
も第１の実施の形態の電極と同様の効果を奏することは
云うまでもない。さらに本実施例では、一枚の板金から
電極が製作できるため、外筒と内筒の電気的接触が確実
となる。

【００３８】次に本発明による気体レーザ用電極の第３
の実施の形態の構成を図５に示す。この実施の形態の気
体レーザ用電極１は、外筒２と、内筒１０とを備えてい
る。この外筒２は図１に示す第１の実施の形態の外筒２
とは異なり、ブロック状の金属材料から製作したもので
ある。また内筒１０は高融点金属板あるいはブロック状
の金属材料から製作され、孔１３と突起１４が設けられ
ている。そしてこの内筒１０は突起１４が外側となるよ
うに（金属板から製作される場合はまるめられて）外筒
２の内側に挿入される。これにより第１の実施の形態の
場合と同様に外筒２と内筒との間には突起１４によって
形成される隙間が設けられることになる。

【００３９】この実施の形態の気体レーザ用電極では第
１の実施の形態の場合と同様の理由から放電の集中が起
こりにくい。また、外筒２がブロック状の金属材料から
成形されることにより継目がなく、第１の実施の形態に
比べて放電が集中しにくい。

【００４０】次に本発明による気体レーザ用電極の第４
の実施の形態の構成を図６に示す。この実施の形態の気
体レーザ用電極１は、外筒２と分割された複数の内筒１
０ａ，１０ｂ，１０ｃとを備えている。外筒２は第１の
実施の形態の場合と同様に高融点金属板から製作され
る。また各内筒１０ａ，１０ｂ，１０ｃは突起を有する
高融点金属板をまるめることにより製作され、突起１４
を外側にして外筒２の内側に挿入される。

【００４１】またこれらの内筒１０ａ，１０ｂ，１０ｃ
は接続板３１によって連続されている。これらの内筒１
０ａ，１０ｂ，１０ｃには突起１４のみが設けられてい
るが、必要であれば第１の実施の形態と同様に孔を設け
ても良い。またこれらの各内筒１０ａ，１０ｂ，１０ｃ
および接続板３１は一枚の金属板から製作しても良い。
この場合の展開図を図７に示す。なお、図７において符
号１２は継目保護部であり、接続板３１とともに外筒２
の継目に放電が集中するのを防止する。なお図６に示す
気体レーザ用電極１は各内筒１０ａ，１０ｂ，１０ｃお
よび接続板３１が一枚の金属板から製作されているもの
を示している。

【００４２】この第４の実施の形態の気体レーザ用電極
１においては、分割された内筒１０ａ，１０ｂ，１０ｃ
と、外筒との間に、突起１４による一様な隙間が周方向
に形成されることにより、放電の集中を避けることがで
きる。

【００４３】なお、この第４の実施の形態においては、
第１の実施の形態の場合と同様に外筒２と、各内筒とを
リベット等で固定しても良い。また、外筒２をブロック
状の金属材料から形成しても良い。

【００４４】次に本発明による気体レーザ用電極の第５
の実施の形態の構成を図８に示す。この実施の形態の気
体レーザ用電極１は円筒電極２を有しており、この円筒
電極２は図１に示す第１の実施の形態の外筒２と同様に
して一枚の高融点金属板から製作される。そしてこの円
筒電極２の内側に、軸方向に延びた細長い金属板４１が
周方向にほぼ等間隔に複数枚配置された構成となってい
る。この複数枚の金属板４１は接続円筒４２によって連
結されている。なお、複数枚の金属板４１および接続円
筒４２は１枚の金属板をまるめることによって製作して
も良い。この場合の展開図を図９に示す。

【００４５】この第５実施の形態の気体レーザ用電極１
においては、細長い金属板４１と円筒電極２の間が全体
として周方向に一様な狭い隙間となるため、放電が一箇
所に集中しにくい構造となっている。細長い金属板４１
の幅を太くし、円筒電極２の継目４を被覆するようにす
ると、更に一様な放電を得ることができる。

【００４６】なお、細長い金属板４１はリベット等を用
いて円筒電極２に固定するようにしても良い。また、細
長い金属板４１に孔や突起を設けるようにしても良い。
また、円筒電極２はブロック状の金属材料から形成する
ようにしても良い。

【００４７】次に本発明による気体レーザ用電極の第６
の実施の形態の構成を図１０に示す。この実施の形態の
気体レーザ用電極１は円筒電極２を有し、この円筒電極
２は図１に示す第１の実施の形態の外筒２と同様にして
一枚の高融点金属板から製作される。なお、図１に示す
継目４等は図１０においては図示していない。

【００４８】この円筒電極２は、周方向に切られた切れ
目５２を軸方向に２箇所入れたものの組を周方向に一様
に複数組配置したものであり、これらの各組の切れ目５
２には細長い金属板５３が通されている。

【００４９】このように構成することにより、円筒電極
２の内側と細長い金属板５２との間には隙間が形成さ
れ、この隙間が円筒電極２の周方向にほぼ等間隔に配置
されるため、放電が一箇所に集中しにくくなる。

【００５０】次に本発明による気体レーザ用電極の第７
の実施の形態の構成を図１１（ａ）に示す。この実施の
形態の気体レーザ用電極１は、図１１（ｂ）に示す金属
板をまるめることにより形成される。この金属板は円筒
電極となる長方形状の主要部２と、この主要部２の一辺
から延びた細長い複数枚の板部５とを有している。な
お、主要部２には対向する辺に複数個の切り込み３ａ，
３ｂが設けられている。

【００５１】まず金属板をまるめる前に板部５を主要部
に折り重なるように折り曲げ、その後に矢印方向に金属
板をまるめて、第１の実施の形態の外筒と同様にして円
筒形状の電極１を形成する。なお折り曲げた板部５はリ
ベット等によって円筒２に固定しても良い。

【００５２】この実施の形態の気体レーザ用電極１も、
円筒２と板５との間の隙間が電極１の先端部付近の周方
向にほぼ等間隔に形成されるため、放電が分散され放電
が集中するのを防止することができる。

【００５３】次に本発明による気体レーザ用電極の第８
の実施の形態の構成を図１２に示す。この実施の形態の
気体レーザ用電極１は図１に示す実施の形態の外筒２と
同様にして製作される円筒電極２を有しており、この円
筒電極２の内側に、表面に突起１４を有する細長い金属
板６１をスパイラル状に設置したものである。突起１４
により円筒電極２と金属板６１との間に狭い隙間が形成
されるため、放電が分散され、放電が集中するのを防止
することができる。なお、金属板６１の先端６２を円筒
電極２の継目（図示せず）に近付けないようにすると、
放電を更に効果的に分散させることができる。

【００５４】なお、金属板６１には孔を設けても良い。
また、円筒電極２をブロック形状の金属材料から形成し
ても良いことは言うまでもない。

【００５５】次に本発明による気体レーザ用電極の第９
の実施の形態の構成を図１３に示す。この実施の形態の
気体レーザ用電極１は、図１に示す第１の実施の形態の
外筒２と同様にして形成される円筒電極２を有し、この
円筒電極２の、軸方向に切られた切れ目７１に金属板７
０が編み込まれている。なお、切れ目７１は円筒電極２
の先端から入れられている。

【００５６】この実施の形態の気体レーザ用電極１にお
いては、金属板７０と円筒電極２との間に周方向に一様
な狭い隙間７２が形成されるため、放電が一様に分散さ
れ、放電の集中を防止することができる。なお、編み込
みは２箇所以上作っても良い。

【００５７】また、図１４に示すように円筒電極２の先
端より少し離れた位置から切れ目７１を入れ、この切れ
目に金属板７０を編み込むようにしても良い。この場
合、円筒電極２の先端が固定されて動かないため、狭い
隙間を周方向に一様に作り易く、また放電による変形が
少ない。

【００５８】なお、図１３および図１４に示す気体レー
ザ用電極１の円筒電極２はブロック形状の金属材料から
形成しても良い。

【００５９】次に本発明による気体レーザ用電極の第１
０の実施の形態の構成を図１５に示す。この実施の形態
の気体レーザ用電極１は円筒電極２を有し、この円筒電
極２の内側の面に沿って格子形状の金属部材（メッシュ
ともいう）８０が設置されている。この円筒電極２に直
接接していない金属部材８０の部分が円筒電極２との間
に狭い隙間が形成され、これにより電子の発生率が高ま
り、放電の集中を防止できる。

【００６０】なお、２枚以上のメッシュを重ねてメッシ
ュの目の開口率を調整することができる。

【００６１】また、円筒電極２は図２に示す第１の実施
の形態の外筒２と同様に１枚の金属板から形成しても良
いし、ブロック状の金属材料から形成しても良い。

【００６２】次に本発明による気体レーザ用電極の第１
１の実施の形態の構成を図１６に示す。この実施の形態
の気体レーザ用電極１は図１に示す第１の実施の形態と
外筒２と同様に１枚の金属板から形成された円筒電極２
を有し、この円筒電極２には周上にほぼ等間隔に複数の
切り開き部８５が設けられている。そして切り開いた部
分を円筒電極２の内側に曲げることにより、円筒電極２
との間に狭い隙間を形成したものである。

【００６３】これにより、放電が分散され、放電の集中
を防止することができる。

【００６４】なお、上記第１０の実施の形態の気体レー
ザ用電極１においては複数の切り開き部８５を設け、切
り開いた部分を曲げることにより狭い隙間を形成した
が、円筒電極２に孔を開け、このときにできる「バリ」
を曲げて隙間を形成しても良い。

【００６５】次に本発明による気体レーザ用電極の第１
２の実施の形態の構成を図１７に示す。この実施の形態
の気体レーザ用電極１はブロック状の金属材から形成さ
れる円筒電極２を有し、この円筒電極２の内側には周方
向に溝８７が形成されている。

【００６６】このように周方向に形成された溝により一
様な狭い隙間が形成されることにより放電が分散され、
放電の集中を防止することができる。

【００６７】なお、溝８７は円筒電極２の先端部だけに
あれば良い。また溝８７はスパイラル状に形成しても良
い。

【００６８】以上説明した実施の形態の気体レーザ用電
極を組み合わせ用いても良い。

【００６９】また、円筒電極（外筒）２の内側に２個以
上の内筒１０を重ねるように挿入して気体レーザ用電極
を形成しても良い。

【００７０】なお、上記実施の形態の気体レーザ用電極
１は銅蒸気レーザ装置ばかりでなく大部分の金属レーザ
装置、更には電極を有する放電装置にも用いても良い。
また、カソード側の電極として用いるばかりでなくアノ
ード側の電極として用いても良い。

【００７１】また、上記各実施の形態においては気体レ
ーザ用電極１の形状は円筒形状のものについて説明した
が、断面が多角形の柱状の電極を用いても良い。

【００７２】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、放電
の集中が起こりにくい気体レーザ用電極が実現する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による気体レーザ用電極の第１の実施の
形態の構成を示す構成図。

【図２】第１の実施の形態の電極の外筒の展開図。

【図３】第１の実施の形態の電極の内筒の展開図。

【図４】第２の実施の形態の気体レーザ用電極の展開
図。

【図５】第３の実施の形態の気体レーザ用電極の構成
図。

【図６】第４の実施の形態の気体レーザ用電極の構成
図。

【図７】第４の実施の形態にかかる内筒の展開図。

【図８】第５の実施の形態の気体レーザ用電極の構成
図。

【図９】第５の実施の形態の気体レーザ用電極にかかる
内筒の展開図。

【図１０】第６の実施の形態の気体レーザ用電極の構成
図。

【図１１】第７の実施の形態の気体レーザ用電極の構成
図。

【図１２】第８の実施の形態の気体レーザ用電極の構成
図。

【図１３】第９の実施の形態の気体レーザ用電極の構成
図。

【図１４】第９の実施の形態の変形例の構成図。

【図１５】第１０の実施の形態の気体レーザ用電極の構
成図。

【図１６】第１１の実施の形態の気体レーザ用電極の構
成図。

【図１７】第１２の実施の形態の気体レーザ用電極の構
成図。

【図１８】気体レーザ装置の構成図。

【符号の説明】１気体レーザ用電極２外筒（円筒電極）２ａ_i（ｉ＝１，…５）係合片２ｂ_i（ｉ＝１，…５）係合片３ａ_i（ｉ＝１，…４）切り込み３ｂ_i（ｉ＝１，…４）切り込み４継目８切り欠き１０内筒１０ａ，１０ｂ，１０ｃ内筒１１主要部１２継目保護部１３孔１４突起２１切れ目２２_i（ｉ＝１，２，３）リベット３１接続板４１金属板４２接続円筒５２切れ目５３金属板６１金属板６２金属板の先端部７０金属板７１切れ目７２狭い隙間８０金属部材（メッシュ）８５切り開き部８７溝９０気体レーザ装置９１放電容器９２気体レーザ用電極９３ａ給気ポート９３ｂ排気ポート９４レーザ管９５断熱材９６銅片９７反射ミラー９８出力ミラー９９高電圧電源

フロントページの続き (72)発明者野田悦夫神奈川県川崎市幸区小向東芝町１株式会社東芝研究開発センター内 (72)発明者阿部素久神奈川県横浜市磯子区新杉田町８番地株式会社東芝横浜事業所内 (72)発明者芝野隆之神奈川県横浜市磯子区新杉田町８番地株式会社東芝横浜事業所内 (72)発明者小林徳康神奈川県横浜市磯子区新杉田町８番地株式会社東芝横浜事業所内 (72)発明者青木延忠神奈川県横浜市磯子区新杉田町８番地株式会社東芝横浜事業所内 (72)発明者石戸谷健司栃木県大田原市下石上1385 株式会社東芝那須電子管工場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】筒形の第１の電極と、この第１の電極の内
面との間に円周方向に一様に分散される隙間が形成され
るように前記第１の電極の内側に設置された筒形の第２
の電極と、を備えていることを特徴とする気体レーザ用
電極。
【請求項２】前記第１の電極は、長方形状の１枚の金属
板の対向する１組の辺に対称的に複数の切り込みを入れ
ることによって前記１組の各辺に複数の係合片を形成
し、前記金属板をまるめて前記１組の辺のうち一方の辺
の係合片と他方の辺の係合片が互い違いに係合するよう
にして形成したことを特徴とする請求項１記載の気体レ
ーザ用電極。
【請求項３】前記第１の電極はブロック状の金属材料か
ら形成されたことを特徴とする請求項１記載の気体レー
ザ用電極。
【請求項４】前記第２の電極は、外面に複数の突起が設
けられており、この突起によって前記隙間が前記第１の
電極の内面と前記第２の電極の外面の間に形成されるこ
とを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の気体
レーザ用電極。
【請求項５】前記第２の電極には周方向にほぼ等間隔に
配置される複数の孔が開けられていることを特徴とする
請求項１記載乃至４のいずれかに記載の気体レーザ用電
極。
【請求項６】前記第２の電極は、軸方向に分割されて配
置された複数の筒型の副電極を有し、これらの副電極は
金属板によって連結されていることを特徴とする請求項
１乃至５のいずれかに記載の気体レーザ用電極。
【請求項７】前記第２の電極は、周方向に一様に分散さ
れ、軸方向に延びた複数枚の金属板を有し、前記隙間は
前記金属板と前記第１の電極の内面との間に形成される
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の気
体レーザ用電極。
【請求項８】筒形の電極の内側に、表面に複数の突起を
有する細長い金属板を、前記突起が前記電極の内面に接
するようにスパイラル状に設置したことを特徴とする気
体レーザ用電極。
【請求項９】筒形の電極に、周方向に一様に分散する、
軸方向の切れ目を入れ、この切れ目に金属板が編み込ま
れていることを特徴とする気体レーザ用電極。
【請求項１０】筒形の電極の内側に金属メッシュが接す
るように設置されていることを特徴とする気体レーザ用
電極。
【請求項１１】金属板から形成された筒形の電極と、こ
の電極の周方向に一様に分散するように形成された複数
の切り開き部と、を備え、前記切り開き部の切り開いた
部分は前記電極の内側に曲げられていることを特徴とす
る気体レーザ用電極。
【請求項１２】ブロック状の金属材料から形成された筒
形の電極と、この電極の内側に周方向に形成された複数
の溝とを備えていることを特徴とする気体レーザ用電
極。