JPH0451993B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0451993B2 JPH0451993B2 JP57168067A JP16806782A JPH0451993B2 JP H0451993 B2 JPH0451993 B2 JP H0451993B2 JP 57168067 A JP57168067 A JP 57168067A JP 16806782 A JP16806782 A JP 16806782A JP H0451993 B2 JPH0451993 B2 JP H0451993B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- gas
- gas flow
- laser
- cylinder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 15
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明はガスレーザ装置に関するものであ
る。
る。
従来例の構成とその問題点
第１図に従来のガスレーザ装置を示す。図にお
いて、１はレーザ管、２はガス流入管、３は電極
であり、レーザ管１の他端はもう一方の電極とガ
ス排出管に接続されている。４は共振器を構成す
る一方のミラーで、５は上記構成を連結する部材
（以下ミラー支持筒と呼ぶ）である。但し、５に
更に別な部材を用いてミラーを支持することも可
能である。ところが、ガス流入管２とレーザ管１
の軸方向とが相直交するため、ガス媒質の流れ
は、図中矢印Ａのような状態となつてレーザ管１
中で片寄つた流れとなる。このため、ガス媒質に
よる放電の冷却状態が不均一となつて、放電自身
が片寄つた状態となり、レーザ管１に加える放電
の電気入力を大きくしても、レーザの出力が増大
しない領域があらわれるという問題を有してい
た。
いて、１はレーザ管、２はガス流入管、３は電極
であり、レーザ管１の他端はもう一方の電極とガ
ス排出管に接続されている。４は共振器を構成す
る一方のミラーで、５は上記構成を連結する部材
（以下ミラー支持筒と呼ぶ）である。但し、５に
更に別な部材を用いてミラーを支持することも可
能である。ところが、ガス流入管２とレーザ管１
の軸方向とが相直交するため、ガス媒質の流れ
は、図中矢印Ａのような状態となつてレーザ管１
中で片寄つた流れとなる。このため、ガス媒質に
よる放電の冷却状態が不均一となつて、放電自身
が片寄つた状態となり、レーザ管１に加える放電
の電気入力を大きくしても、レーザの出力が増大
しない領域があらわれるという問題を有してい
た。
発明の目的
この発明の目的は、レーザ出力を向上できるガ
スレーザ装置を提供することである。
スレーザ装置を提供することである。
発明の構成
この発明のガスレーザ装置は、ミラー支持筒の
一方の筒端にミラーを密封連結するとともに周胴
部にガス導入管を直交連結し、このミラー支持筒
内にガス流集束筒を同心状に配置するとともに、
その集束筒の周胴部に筒軸方向へ延びて径方向に
対し所定角度で傾斜する複数のガス流入スリツト
を形成し、上記ミラー支持筒の他方の筒端にガス
流拡散筒の一方の筒端を同心状に連結するととも
に、そのガス流拡散筒の他方の筒端にレーザ管の
管端を同心状に連結して、そのレーザ管管端に電
極を配したもので、ガス導入管からミラー支持筒
内に送り込んだガス流をガス流集束筒によりその
中心へ向けて渦巻状に集束させ、その渦巻状集束
ガス流をガス流拡散筒により径方向へ均一に拡散
してレーザ管内へ送り込むことにより、レーザ管
内でのガスの流速を均一化することにより、放電
の冷却状態および放電の広がりを均一化してレー
ザ出力の向上を図る。
一方の筒端にミラーを密封連結するとともに周胴
部にガス導入管を直交連結し、このミラー支持筒
内にガス流集束筒を同心状に配置するとともに、
その集束筒の周胴部に筒軸方向へ延びて径方向に
対し所定角度で傾斜する複数のガス流入スリツト
を形成し、上記ミラー支持筒の他方の筒端にガス
流拡散筒の一方の筒端を同心状に連結するととも
に、そのガス流拡散筒の他方の筒端にレーザ管の
管端を同心状に連結して、そのレーザ管管端に電
極を配したもので、ガス導入管からミラー支持筒
内に送り込んだガス流をガス流集束筒によりその
中心へ向けて渦巻状に集束させ、その渦巻状集束
ガス流をガス流拡散筒により径方向へ均一に拡散
してレーザ管内へ送り込むことにより、レーザ管
内でのガスの流速を均一化することにより、放電
の冷却状態および放電の広がりを均一化してレー
ザ出力の向上を図る。
実施例の説明
この発明の一実施例を第２図ないし第５図を用
いて説明する。第２図において、６はミラー支持
筒、７はミラー支持筒６の一方の筒端に密封連結
してミラー面をミラー支持筒６の筒軸に対し直交
配置したミラー、８はミラー支持筒６の周胴部に
直交連結したガス導入管である。
いて説明する。第２図において、６はミラー支持
筒、７はミラー支持筒６の一方の筒端に密封連結
してミラー面をミラー支持筒６の筒軸に対し直交
配置したミラー、８はミラー支持筒６の周胴部に
直交連結したガス導入管である。
９はガス流集束筒で、上記ミラー支持筒６内に
同心状に配置されるとともに、その周胴部に、第
３図に示すように、筒軸方向へ延びて径方向Ｂに
対して所定角度θで傾斜する複数のガス流入スリ
ツト１０を並列形成する。このガス流集束筒９
は、ガス導入管８からミラー支持筒６内へ送り込
まれてきたガスを、ガス流スリツト１０に通すこ
とにより回転運動を与えて、筒軸１１の回りに渦
巻状に集束させる作用をもつ。
同心状に配置されるとともに、その周胴部に、第
３図に示すように、筒軸方向へ延びて径方向Ｂに
対して所定角度θで傾斜する複数のガス流入スリ
ツト１０を並列形成する。このガス流集束筒９
は、ガス導入管８からミラー支持筒６内へ送り込
まれてきたガスを、ガス流スリツト１０に通すこ
とにより回転運動を与えて、筒軸１１の回りに渦
巻状に集束させる作用をもつ。
１２は、ガス流集束筒９の他方の筒端に同心状
に連結したガス流拡散筒、１３はガス流拡散筒１
２の筒端に同心状に連結したレーザ管、１４はレ
ーザ管１３の管端に配置した電極である。
に連結したガス流拡散筒、１３はガス流拡散筒１
２の筒端に同心状に連結したレーザ管、１４はレ
ーザ管１３の管端に配置した電極である。
このように構成した結果、ガス導入管８からミ
ラー支持筒６内に送り込まれたガスは、ガス流集
束筒９のガス流入スリツト１０を通つて筒軸１１
の回りに渦巻状に集束し、この集束ガス流がガス
流拡散筒１２内を進む間に径方向へ均等に拡散さ
れて、レーザ管１３内に送り込まれる。すなわ
ち、レーザ管１３内においては、第４図に示すよ
うに、周辺の流速が中央部の流速よりもやや大き
い略均一な流速分布が得られるため、レーザ管１
３内において均一な広がつた放電が得られ、放電
の冷却状態が均一となる。なお、ガス流拡散筒１
２を設けない場合には、放電による影響のため、
レーザ管１３内における中心部でのガス流の回転
がそのまま持続されて中心部での流速が大きくな
り、すなわち放電の拡がりが小さい領域がレーザ
管１３内に存在してレーザ出力を増大できなくな
る。このようなガス流拡散筒１２は、その筒長を
30mm以上に設定すると、効果的である。
ラー支持筒６内に送り込まれたガスは、ガス流集
束筒９のガス流入スリツト１０を通つて筒軸１１
の回りに渦巻状に集束し、この集束ガス流がガス
流拡散筒１２内を進む間に径方向へ均等に拡散さ
れて、レーザ管１３内に送り込まれる。すなわ
ち、レーザ管１３内においては、第４図に示すよ
うに、周辺の流速が中央部の流速よりもやや大き
い略均一な流速分布が得られるため、レーザ管１
３内において均一な広がつた放電が得られ、放電
の冷却状態が均一となる。なお、ガス流拡散筒１
２を設けない場合には、放電による影響のため、
レーザ管１３内における中心部でのガス流の回転
がそのまま持続されて中心部での流速が大きくな
り、すなわち放電の拡がりが小さい領域がレーザ
管１３内に存在してレーザ出力を増大できなくな
る。このようなガス流拡散筒１２は、その筒長を
30mm以上に設定すると、効果的である。
実際に、上記実施例（第２図）と従来例（第１
図）を用いて、電極３および１４への電気入力を
徐々に増大していつたところ、それらのレーザ出
力は、第５図に示すように、従来例の場合が曲線
Ｃで示すように早期に飽和現象をおこしてレーザ
出力の大幅な増大が得られなかつたのに対し、上
記実施例を用いた場合は曲線Ｄで示すように飽和
現象を起こしにくく、レーザ出力の大幅な増大が
得られた。
図）を用いて、電極３および１４への電気入力を
徐々に増大していつたところ、それらのレーザ出
力は、第５図に示すように、従来例の場合が曲線
Ｃで示すように早期に飽和現象をおこしてレーザ
出力の大幅な増大が得られなかつたのに対し、上
記実施例を用いた場合は曲線Ｄで示すように飽和
現象を起こしにくく、レーザ出力の大幅な増大が
得られた。
第６図はガスレーザ装置の他の実施例であつ
て、上記実施例と異なる点は、ガス流拡散筒１
２′の内径を、レーザ管１３に近づくにつれて漸
次減少させた点だけであり、ガス流拡散筒１２′
によりレーザ管１３内での流速分布を上記実施例
よりも一層均一にして、レーザ出力を一層向上す
ることができる。
て、上記実施例と異なる点は、ガス流拡散筒１
２′の内径を、レーザ管１３に近づくにつれて漸
次減少させた点だけであり、ガス流拡散筒１２′
によりレーザ管１３内での流速分布を上記実施例
よりも一層均一にして、レーザ出力を一層向上す
ることができる。
第１図は従来例の断面図、第２図はこの発明の
一実施例の断面図、第３図はガス流集束筒の断面
図、第４図はレーザ管内における流速分布表示
図、第５図は電気入力とレーザ出力の関係特性
図、第６図は他の実施例の要部断面図である。 ６……ミラー支持筒、７……ミラー、８……ガ
ス導入管、９……ガス流集束筒、１０……ガス流
入スリツト、１２，１２′……ガス流拡散筒、１
３……レーザ管、１４……電極。
一実施例の断面図、第３図はガス流集束筒の断面
図、第４図はレーザ管内における流速分布表示
図、第５図は電気入力とレーザ出力の関係特性
図、第６図は他の実施例の要部断面図である。 ６……ミラー支持筒、７……ミラー、８……ガ
ス導入管、９……ガス流集束筒、１０……ガス流
入スリツト、１２，１２′……ガス流拡散筒、１
３……レーザ管、１４……電極。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ミラー、レーザ管、ガス流入管などを連結す
るための支持筒であつてその支持筒の周胴部に直
交連結したガス導入管と、前記支持筒内に同心状
に配置するとともにその周胴部に筒軸方向へ延び
て径方向に対し所定角度で傾斜する複数のガス流
入スリツトを並列形成したガス流集束筒と、前記
ミラー支持筒の他方の筒端に同心状に連結して前
記ガス流集束筒から送り出されてくる渦巻状集束
ガス流を径方向へ均一拡散しながら筒軸方向へ送
り出すガス流拡散筒と、管端を前記ガス流拡散筒
の筒端へ同心状に連結したレーザ管と、このレー
ザ管の管端に配した電極とを備えたガスレーザ
層。 ２ 前記ガス流拡散筒は、前記レーザ管に近づく
につれて内径が漸次減少する特許請求の範囲第１
項記載のガスレーザ装置。 ３ 前記ガス流拡散筒は、筒長が30mm以上である
特許請求の範囲第１項または第２項記載のガスレ
ーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16806782A JPS5956782A (ja) | 1982-09-25 | 1982-09-25 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16806782A JPS5956782A (ja) | 1982-09-25 | 1982-09-25 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5956782A JPS5956782A (ja) | 1984-04-02 |
| JPH0451993B2 true JPH0451993B2 (ja) | 1992-08-20 |
Family
ID=15861215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16806782A Granted JPS5956782A (ja) | 1982-09-25 | 1982-09-25 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5956782A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU584366B2 (en) * | 1984-10-10 | 1989-05-25 | Prc Corporation | Gas laser comprising at least one axial gas-flown energizing path |
| JP2706353B2 (ja) * | 1990-05-31 | 1998-01-28 | 松下電器産業株式会社 | ガスレーザ発振装置 |
| JP4893521B2 (ja) * | 2007-08-02 | 2012-03-07 | アイコム株式会社 | 電子機器の取り付け構造 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3646475A (en) * | 1969-09-16 | 1972-02-29 | Systems Res Labor | Vortex tube laser |
| JPS5610989A (en) * | 1979-07-06 | 1981-02-03 | Nippon Sekigaisen Kogyo Kk | Laser oscillator |
| JPS57159076A (en) * | 1981-02-25 | 1982-10-01 | Rekuseru Corp | Laser device |
-
1982
- 1982-09-25 JP JP16806782A patent/JPS5956782A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3646475A (en) * | 1969-09-16 | 1972-02-29 | Systems Res Labor | Vortex tube laser |
| JPS5610989A (en) * | 1979-07-06 | 1981-02-03 | Nippon Sekigaisen Kogyo Kk | Laser oscillator |
| JPS57159076A (en) * | 1981-02-25 | 1982-10-01 | Rekuseru Corp | Laser device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5956782A (ja) | 1984-04-02 |
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