JPS6028281A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS6028281A JPS6028281A JP13611083A JP13611083A JPS6028281A JP S6028281 A JPS6028281 A JP S6028281A JP 13611083 A JP13611083 A JP 13611083A JP 13611083 A JP13611083 A JP 13611083A JP S6028281 A JPS6028281 A JP S6028281A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- supporting bodies
- mirror
- laser
- bellows
- varied
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 230000002146 bilateral effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ガスレーザ装置、特に内部ミラー型冷陰極ガ
スレーザ装置の改良に関する。
スレーザ装置の改良に関する。
従来のこの種のガスレーザ装置は第１図に示すように、
レーザ電源１をレーザ管３のカン−ドアとアノードであ
る金属製ミラー支持体４に接続し、電源１をＯＮ状態に
すると、レーザ管３はミラー支持体４とレーザ管３のカ
ソード７との間で放電し、ミラー５，５′の共振器によ
りレーザ発振する０ しかし、レーザ管３は通常硬質ガラス製の外囲器３′、
３“であるため、レーザ管３の外囲器の上部３′と下部
３“の温度は、レーザ管３のカソード７、アノードとな
るミラー支持体４間の放電による熱や外気温度の変化等
により、不均一となるため、レーザ管３の外囲器の上部
３′と下部３“の長さが変化するため、レーザ光８の出
力は不安定となり光軸変動も大きくなる０ 本発明の目的は、前記欠点を改善し、レーザ光出力の安
定な光軸変動の少ないガスレーザ装置を提供することに
ある０ 次に第２図に示した実施例について本発明を具体的に説
明する０ レーザ管３のアノード１５を中央に設け、レーザ細管６
．６’、カソード７．７’、ベローズｉｏ。
レーザ電源１をレーザ管３のカン−ドアとアノードであ
る金属製ミラー支持体４に接続し、電源１をＯＮ状態に
すると、レーザ管３はミラー支持体４とレーザ管３のカ
ソード７との間で放電し、ミラー５，５′の共振器によ
りレーザ発振する０ しかし、レーザ管３は通常硬質ガラス製の外囲器３′、
３“であるため、レーザ管３の外囲器の上部３′と下部
３“の温度は、レーザ管３のカソード７、アノードとな
るミラー支持体４間の放電による熱や外気温度の変化等
により、不均一となるため、レーザ管３の外囲器の上部
３′と下部３“の長さが変化するため、レーザ光８の出
力は不安定となり光軸変動も大きくなる０ 本発明の目的は、前記欠点を改善し、レーザ光出力の安
定な光軸変動の少ないガスレーザ装置を提供することに
ある０ 次に第２図に示した実施例について本発明を具体的に説
明する０ レーザ管３のアノード１５を中央に設け、レーザ細管６
．６’、カソード７．７’、ベローズｉｏ。
１０′、ミラー支持体４．４’、ミラー５，５′を左右
対象に配置し、ミラー支持体４．４′とミラ−ジンバル
１４．１４’ とを絶縁板１１．１１’で接続する。そ
してミラージンバル１４．１４’はミラージンバル支持
体１３．１３’により共振器支持体１２．１２’に接続
される。ここでレーザ電源１の正極を安定抵抗２全通し
てレーザ管３のアノード１５に接続し、負極を安定抵抗
９，９′を通してカソード７．７′にそれぞれ接続し、
レーザ電源１をＯＮ状態にするとレーザ管３はアノード
１５とカソード７．７′との間で放電しミラー５．５’
の共振器によυレーザ発振する。またカソード７′をア
ース電位にすることにより、カソード７もほぼアース電
位となシミラー支持体４゜４′の電位もそれぞれアース
電位となる。
対象に配置し、ミラー支持体４．４′とミラ−ジンバル
１４．１４’ とを絶縁板１１．１１’で接続する。そ
してミラージンバル１４．１４’はミラージンバル支持
体１３．１３’により共振器支持体１２．１２’に接続
される。ここでレーザ電源１の正極を安定抵抗２全通し
てレーザ管３のアノード１５に接続し、負極を安定抵抗
９，９′を通してカソード７．７′にそれぞれ接続し、
レーザ電源１をＯＮ状態にするとレーザ管３はアノード
１５とカソード７．７′との間で放電しミラー５．５’
の共振器によυレーザ発振する。またカソード７′をア
ース電位にすることにより、カソード７もほぼアース電
位となシミラー支持体４゜４′の電位もそれぞれアース
電位となる。
そして、レーザ管３のカソード７．７’、アノード１５
間の放電電流による発熱や、外気温度によってＶ−ザ管
３の外囲器上部３′、下部３“の温度が変化して、その
長さが変化してもミラー支持体４，４′に接続されたベ
ローズ１０．１０’に吸収され、熱膨張係数の小さい共
振器支持体１２゜１２′によりミラー支持体４，４′は
支持されるので、ミラー５，５′の間隔は変化せず、レ
ーザ光８の出力変化は無く、光軸変動の少ないガスレー
ザ装置を得ることができる。
間の放電電流による発熱や、外気温度によってＶ−ザ管
３の外囲器上部３′、下部３“の温度が変化して、その
長さが変化してもミラー支持体４，４′に接続されたベ
ローズ１０．１０’に吸収され、熱膨張係数の小さい共
振器支持体１２゜１２′によりミラー支持体４，４′は
支持されるので、ミラー５，５′の間隔は変化せず、レ
ーザ光８の出力変化は無く、光軸変動の少ないガスレー
ザ装置を得ることができる。
第１図は従来のガスレーザ装置を示すブｐ、り図、第２
図は、本発明のガスレーザ装置の一実施例を示す回路図
である。 １・・・・・・レーザ電源、２，９．９’・・・・・−
安定琳抗、３・・・・・・レーザ管、４．４’・−・・
・・ミラー支持体、５゜５′・・・・・・ミラー、６，
６′・−・・・・細管、７，７′・・・・・・カソード
、８・・・・・・レーザ出力、１０．１０’・・・・・
・ベローズ、１１．１１’・・・・・・絶縁板、１２．
１２’・−・・・・共振器支持体、１３．１３’・・・
・・・ミラージンバル支持体、１４，１４’−・・・・
ミラージンバル、１５・・・・・・アノード。 ／′・−゛、
図は、本発明のガスレーザ装置の一実施例を示す回路図
である。 １・・・・・・レーザ電源、２，９．９’・・・・・−
安定琳抗、３・・・・・・レーザ管、４．４’・−・・
・・ミラー支持体、５゜５′・・・・・・ミラー、６，
６′・−・・・・細管、７，７′・・・・・・カソード
、８・・・・・・レーザ出力、１０．１０’・・・・・
・ベローズ、１１．１１’・・・・・・絶縁板、１２．
１２’・−・・・・共振器支持体、１３．１３’・・・
・・・ミラージンバル支持体、１４，１４’−・・・・
ミラージンバル、１５・・・・・・アノード。 ／′・−゛、
Claims (1)
- 金属製ミラー支持体２組とアノード１個とカソード２組
とを具備する内部ミラー屋冷陰極レーザ管を有するガス
レーザ装置において、前記金属製ミラー支持体の１部に
ベローズを設け、金属製ミラー支持体を熱膨張係数の小
さめ光共振器支持体に固着することを特徴とするガスレ
ーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13611083A JPS6028281A (ja) | 1983-07-26 | 1983-07-26 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13611083A JPS6028281A (ja) | 1983-07-26 | 1983-07-26 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6028281A true JPS6028281A (ja) | 1985-02-13 |
Family
ID=15167522
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13611083A Pending JPS6028281A (ja) | 1983-07-26 | 1983-07-26 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6028281A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2595875A1 (fr) * | 1986-03-17 | 1987-09-18 | Asulab Sa | Laser comportant au moins un joint d'etancheite |
| KR20000056778A (ko) * | 1999-02-22 | 2000-09-15 | 송순달 | 구리 이온 레이저 |
-
1983
- 1983-07-26 JP JP13611083A patent/JPS6028281A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2595875A1 (fr) * | 1986-03-17 | 1987-09-18 | Asulab Sa | Laser comportant au moins un joint d'etancheite |
| KR20000056778A (ko) * | 1999-02-22 | 2000-09-15 | 송순달 | 구리 이온 레이저 |
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