JPS5927588A - 内部鏡型ガスレ−ザ発振装置 - Google Patents
内部鏡型ガスレ−ザ発振装置Info
- Publication number
- JPS5927588A JPS5927588A JP13507882A JP13507882A JPS5927588A JP S5927588 A JPS5927588 A JP S5927588A JP 13507882 A JP13507882 A JP 13507882A JP 13507882 A JP13507882 A JP 13507882A JP S5927588 A JPS5927588 A JP S5927588A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylindrical
- gas laser
- magnetic field
- gas
- oscillator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/139—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity, e.g. by controlling the cavity length
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明をま内部鏡型がスレーリ′発振装置に関するもの
である。
である。
一般に内部鏡型ガスレーデ発振装置においては。
レーサゞ先の発振周波数の安定化な図るためには共振器
間隔を厳密な一定値に維持することが必要である。
間隔を厳密な一定値に維持することが必要である。
ところでガスレーデ発掘時にはガスレーデ放電空間の温
度が相当に高くなるためこれによってガスレーザ２放電
空間を囲繞する封体が加熱され熱膨張するようになるが
、この封体の温度は封体外周の雰囲気温度の変化によや
影響を受けて変化し易いことから、この封体の温度変化
に伴ない当該刺体の長さが伸縮するため、この封体の両
端部それぞれ支持された共振器用反射鏡の離間間隔即ち
共振器間隔が変化するようになる。
度が相当に高くなるためこれによってガスレーザ２放電
空間を囲繞する封体が加熱され熱膨張するようになるが
、この封体の温度は封体外周の雰囲気温度の変化によや
影響を受けて変化し易いことから、この封体の温度変化
に伴ない当該刺体の長さが伸縮するため、この封体の両
端部それぞれ支持された共振器用反射鏡の離間間隔即ち
共振器間隔が変化するようになる。
このため従来においては、共振器間隔を一定化するため
に稗々の試みがなされており５次のような構成のものが
知られｔいる。
に稗々の試みがなされており５次のような構成のものが
知られｔいる。
（イ）第１図に示すように、ガスレ・−ず放電空間Ｓを
囲繞するガラス製封体１の両端部１１．１２の各々に筒
状の反射鏡支持部材２．２の各々の一端を気密に接続し
て殴り、これら反射鏡支持部月２，２の各々の他端内部
に共振器用反射＠８．８を前記ガスレーデ放電空間Ｓを
介して互に対向するよう気密圧接続し２て設け、前記ガ
ラス製封体ｌの外周を囲むようコ・イル状のヒータ４を
設け５ガラス製封体１の温度変化のうち低下分をヒータ
４により加熱してその温度変化を補償するようにして共
振器間隔の一定化を図るようにした構成 （１］）第２図に示フように、上述の（イ）の構成にお
いて、ヒータ４・を設けずに、がラス製封体１を冷却す
る冷却用ファン５を設け、ガラス製封体１の温度変化の
うち」二昇分を冷却用ファンによりガラス製封体ｌを冷
却してその温度変化を補償するようにして共振器間隔の
一定化を図るようにした構成（ハ）第８図に示すように
、上述の（イ）の構成においてヒータ４を設けずに、ガ
ラス製封体１の一方の端部１２と反射鏡支持部４Ａ２ど
の間に筒状の電歪素子０を気密に接続して設り、この電
歪素子６に電圧を印加して当該電歪素子（Ｓを伸縮せし
めるよ）にして共振器間隔の一定化を図るよう圧した溝
威しかしながら上述の（イ）及び（す）の構成において
は、ガラス製封体１の温度変化を補償する応答速度が遅
いため、共振器間隔の変動を防止することが困難であり
、共振器間隔を実用−に十分な精度で一定値に維持する
ことができない。そして（ハ）の（／り成におい又は、
共１辰器間隔の変動に対して速い応答速度で電歪素子６
が追従して伸縮することができるため、共振器間隔の一
定化を図る点では別設問題を生じないが、現任知られて
いる電歪素子６の材質例えｔ」、チタン酸バリウムなど
の特性上の制約から、この電歪素子６をガラス製封体ｌ
及び反射鏡支持部材２に気密に接続するためには工１１
？ギシ樹脂などの有機接着剤を使用しなければならず、
このため有機接着剤からメタン、水蒸気、水素等の不純
物ガスが分！リイ生成して、この不純物ガスがガスレー
デの発振に悪影響な力えるようになるため装置の使用寿
命が相当に／Ｊ：’ｔｉくなる。
囲繞するガラス製封体１の両端部１１．１２の各々に筒
状の反射鏡支持部材２．２の各々の一端を気密に接続し
て殴り、これら反射鏡支持部月２，２の各々の他端内部
に共振器用反射＠８．８を前記ガスレーデ放電空間Ｓを
介して互に対向するよう気密圧接続し２て設け、前記ガ
ラス製封体ｌの外周を囲むようコ・イル状のヒータ４を
設け５ガラス製封体１の温度変化のうち低下分をヒータ
４により加熱してその温度変化を補償するようにして共
振器間隔の一定化を図るようにした構成 （１］）第２図に示フように、上述の（イ）の構成にお
いて、ヒータ４・を設けずに、がラス製封体１を冷却す
る冷却用ファン５を設け、ガラス製封体１の温度変化の
うち」二昇分を冷却用ファンによりガラス製封体ｌを冷
却してその温度変化を補償するようにして共振器間隔の
一定化を図るようにした構成（ハ）第８図に示すように
、上述の（イ）の構成においてヒータ４を設けずに、ガ
ラス製封体１の一方の端部１２と反射鏡支持部４Ａ２ど
の間に筒状の電歪素子０を気密に接続して設り、この電
歪素子６に電圧を印加して当該電歪素子（Ｓを伸縮せし
めるよ）にして共振器間隔の一定化を図るよう圧した溝
威しかしながら上述の（イ）及び（す）の構成において
は、ガラス製封体１の温度変化を補償する応答速度が遅
いため、共振器間隔の変動を防止することが困難であり
、共振器間隔を実用−に十分な精度で一定値に維持する
ことができない。そして（ハ）の（／り成におい又は、
共１辰器間隔の変動に対して速い応答速度で電歪素子６
が追従して伸縮することができるため、共振器間隔の一
定化を図る点では別設問題を生じないが、現任知られて
いる電歪素子６の材質例えｔ」、チタン酸バリウムなど
の特性上の制約から、この電歪素子６をガラス製封体ｌ
及び反射鏡支持部材２に気密に接続するためには工１１
？ギシ樹脂などの有機接着剤を使用しなければならず、
このため有機接着剤からメタン、水蒸気、水素等の不純
物ガスが分！リイ生成して、この不純物ガスがガスレー
デの発振に悪影響な力えるようになるため装置の使用寿
命が相当に／Ｊ：’ｔｉくなる。
本発明は以上の如き事情に基いてなされたものであつ又
、共振器間隔の変動を速い応答速度で補償することがで
き、しかも使用寿命の長い内部鏡型がスレーＩＪ’発振
装置を提供することを目°的とし。
、共振器間隔の変動を速い応答速度で補償することがで
き、しかも使用寿命の長い内部鏡型がスレーＩＪ’発振
装置を提供することを目°的とし。
その特徴とするところｔ」１．ガスレーサ゛放電空間を
囲繞するガラス製封体と、この個体の両端部にそれぞれ
気密に接続して設けた、少ｙ、ｃ くとも一方力（ガス
レーザ発振路に治り−〔伸びる筒状磁性体部分ン有する
ｌ対の反射鏡支持部材と、この１対の反射鏡支持部材の
各々に支持せしめ友、前記ガスレーザ放電空間ケ介して
互に対向する共振器用反射鏡と、前記筒状磁性体部分が
ガスレーザ発振路向に伸縮するよう当該筒状磁性体部分
に磁界ケ与える磁界形成機構とを具えて成る点にある。
囲繞するガラス製封体と、この個体の両端部にそれぞれ
気密に接続して設けた、少ｙ、ｃ くとも一方力（ガス
レーザ発振路に治り−〔伸びる筒状磁性体部分ン有する
ｌ対の反射鏡支持部材と、この１対の反射鏡支持部材の
各々に支持せしめ友、前記ガスレーザ放電空間ケ介して
互に対向する共振器用反射鏡と、前記筒状磁性体部分が
ガスレーザ発振路向に伸縮するよう当該筒状磁性体部分
に磁界ケ与える磁界形成機構とを具えて成る点にある。
以下図面によって本発明の実施例につ（・て説明゛する
。
。
本発明の一実施例に：ｔ６い゛〔は、第４図に示すよ５
に、ガスレーザ放電空間Ｓｔ囲繞する筒状のガラス製封
体（以下）ＩＳに「個体」という。）ｌの一方の９ｉｆ
Ｊ ｔ’ｌｓ １１に、例えば筒状ガラス部分２１１及
び筒状金稿１τ１〜分２１２の気密接続体より成る筒状
の一方の反射鏡支持部材２１’／、その筒状ガラス部分
２１１ケ気密に接続することによりガスレーザ発振路Ｐ
ｌｔｔ沿って設け、前記封体ｌ□の他方の端部１２に、
例゛えば筒状ガラス部分２２１及び鉄・ニック°ル系会
金などの強磁性金属より成る筒状磁性体部分１０並びに
筒状金４部分２２２欠この順に気密に接続して形成して
成る筒状の他方の反射鏡支持部す材２２′ｉ￥：、その
筒状ガラス部分２２１’Ｙ気密に接続することによりガ
スレーザ発振路ＰＫ沿って設け、前記一方の反射鏡支持
部材２１の筒状金属部分２１２及び前記他方の反射鏡支
持部材２２の筒状金属部分２２２の各々の内部には、ガ
スレーザ発振路Ｐ上におい”Ｃガスレーザ放雷、空間Ｓ
ｔ介して互に対向するよう共振器用反射！＃、（以下単
に「反射鏡」という８゜）３，３ン気密に接続して設け
、前記他方の反射鏡支持部材２２における筒状磁性体部
分ｌＯには例えば当該筒状磁性体部分ｌＯの外周に巻回
して設けたコイル８０より成る磁界形成機構８ン設けて
構成−ｆる。１３．１４は放電電極である。
に、ガスレーザ放電空間Ｓｔ囲繞する筒状のガラス製封
体（以下）ＩＳに「個体」という。）ｌの一方の９ｉｆ
Ｊ ｔ’ｌｓ １１に、例えば筒状ガラス部分２１１及
び筒状金稿１τ１〜分２１２の気密接続体より成る筒状
の一方の反射鏡支持部材２１’／、その筒状ガラス部分
２１１ケ気密に接続することによりガスレーザ発振路Ｐ
ｌｔｔ沿って設け、前記封体ｌ□の他方の端部１２に、
例゛えば筒状ガラス部分２２１及び鉄・ニック°ル系会
金などの強磁性金属より成る筒状磁性体部分１０並びに
筒状金４部分２２２欠この順に気密に接続して形成して
成る筒状の他方の反射鏡支持部す材２２′ｉ￥：、その
筒状ガラス部分２２１’Ｙ気密に接続することによりガ
スレーザ発振路ＰＫ沿って設け、前記一方の反射鏡支持
部材２１の筒状金属部分２１２及び前記他方の反射鏡支
持部材２２の筒状金属部分２２２の各々の内部には、ガ
スレーザ発振路Ｐ上におい”Ｃガスレーザ放雷、空間Ｓ
ｔ介して互に対向するよう共振器用反射！＃、（以下単
に「反射鏡」という８゜）３，３ン気密に接続して設け
、前記他方の反射鏡支持部材２２における筒状磁性体部
分ｌＯには例えば当該筒状磁性体部分ｌＯの外周に巻回
して設けたコイル８０より成る磁界形成機構８ン設けて
構成−ｆる。１３．１４は放電電極である。
前記封体ｌは例えばホウケイ酸ガラスなどの硬質ガラス
より成り、この封体ｌの各々の端部１１及び１２にそれ
ぞれ気密に接続される一方の反射鏡支持部材２１におけ
る筒状ガラス部分２１１及び他方の反射鏡支持部材２２
［ｊｄける筒状ガラス部分２２１は、封体ｌの材質と−
その熱膨張率が近似した例えばコバールガラス（商品名
）などより成り、前記一方の反射鏡支持部材２１におけ
る筒状金属部分２１２及び他方の反射鏡支持部拐２２に
おける筒状金属部分２２２は、これらに気密に接続され
る反射鏡３，３の利質とその熱膨張率が近似した金属よ
り成る。前記他方の反射鏡支持部材２２にお（パ〔、筒
状ガラス部分２２１は融着により筒状磁性体部分１０に
接続され、この筒状磁性体部分１０は例えば銅などの金
属によるロウ付によって筒状金属部分２２２に接続され
る。前記反射鏡３ 、３０）各々は、例えば低融点フリ
ットガラスなどの融着によりそれぞれ一方の反射鏡支持
部材２１の筒状金属部分２１２及び他方の反射鏡支持ｉ
＋＋拐２２の筒状金属部分２２２に接続される。そして
前記筒状磁性体Ｉｌｌ ｆｉ ｌ Ｏの材質としては、
磁性を有するもσノ、好ましくは強磁性を有するもので
あればよいが、既述の鉄・ニッケル系＠釜の他、例えば
鉄・ニッケル・コバルト系台金或いは純ニッケルなど７
用いてもよい。
より成り、この封体ｌの各々の端部１１及び１２にそれ
ぞれ気密に接続される一方の反射鏡支持部材２１におけ
る筒状ガラス部分２１１及び他方の反射鏡支持部材２２
［ｊｄける筒状ガラス部分２２１は、封体ｌの材質と−
その熱膨張率が近似した例えばコバールガラス（商品名
）などより成り、前記一方の反射鏡支持部材２１におけ
る筒状金属部分２１２及び他方の反射鏡支持部拐２２に
おける筒状金属部分２２２は、これらに気密に接続され
る反射鏡３，３の利質とその熱膨張率が近似した金属よ
り成る。前記他方の反射鏡支持部材２２にお（パ〔、筒
状ガラス部分２２１は融着により筒状磁性体部分１０に
接続され、この筒状磁性体部分１０は例えば銅などの金
属によるロウ付によって筒状金属部分２２２に接続され
る。前記反射鏡３ 、３０）各々は、例えば低融点フリ
ットガラスなどの融着によりそれぞれ一方の反射鏡支持
部材２１の筒状金属部分２１２及び他方の反射鏡支持ｉ
＋＋拐２２の筒状金属部分２２２に接続される。そして
前記筒状磁性体Ｉｌｌ ｆｉ ｌ Ｏの材質としては、
磁性を有するもσノ、好ましくは強磁性を有するもので
あればよいが、既述の鉄・ニッケル系＠釜の他、例えば
鉄・ニッケル・コバルト系台金或いは純ニッケルなど７
用いてもよい。
前記筒状磁性体部分１υあ伸縮可能幅は、ガスレ−ザ発
振時１７Ｃおげろ共振器間隔の変動欠十分補償すること
ができる大ささであればよく、このような伸縮可能幅を
得るためには筒状磁性体部分ｌＯＱ拐質材質その長さ並
びに筒状磁性体部分１０虻−与える磁界の大きさなどｔ
適宜選定てれはよい。
振時１７Ｃおげろ共振器間隔の変動欠十分補償すること
ができる大ささであればよく、このような伸縮可能幅を
得るためには筒状磁性体部分ｌＯＱ拐質材質その長さ並
びに筒状磁性体部分１０虻−与える磁界の大きさなどｔ
適宜選定てれはよい。
以上の実施例によれば、他方の反射鏡支持部材２２がそ
の一部にガスレーザ発振路Ｐｖｃ沿って伸びる筒状磁性
体部分１０”ｌ有し、この筒状磁性体部分ｌＯ圧磁界乞
与えるコイル８０より成る磁界形成機構８ヶ設けている
ことから、筒状磁性体部分１０を磁歪効果によって速い
応答速度でその長さ方向忙伸縮せしめることができるの
で、互に対向する反射鏡３，３の離間間隔即ち共振器間
隔の変動を速かに補供することができ、その結果共振器
間隔ン一定化することがでさて安定し定発撮周波数めレ
ーザ元を得ることが可能となる。しかも他方の反射鏡支
持部材２２における筒状磁性体部分１０の気密接続にお
い【は、筒状ガラス部分２２１とはこれｔ融着せしめる
ことにより気密接続を得ることができ、筒状金属部分２
２２とは金属によるロウ伺によって気＠接続を得ること
ができるので、有機接着剤を用（・ることか不要となり
、従ってガスレーザ放電空間Ｓ内に不純物ガスの混入す
るおそれがな（・のでガスレーザの発振に悪影響ン与え
ることがなく、結局装置の使用寿命を長（することがで
きる。
の一部にガスレーザ発振路Ｐｖｃ沿って伸びる筒状磁性
体部分１０”ｌ有し、この筒状磁性体部分ｌＯ圧磁界乞
与えるコイル８０より成る磁界形成機構８ヶ設けている
ことから、筒状磁性体部分１０を磁歪効果によって速い
応答速度でその長さ方向忙伸縮せしめることができるの
で、互に対向する反射鏡３，３の離間間隔即ち共振器間
隔の変動を速かに補供することができ、その結果共振器
間隔ン一定化することがでさて安定し定発撮周波数めレ
ーザ元を得ることが可能となる。しかも他方の反射鏡支
持部材２２における筒状磁性体部分１０の気密接続にお
い【は、筒状ガラス部分２２１とはこれｔ融着せしめる
ことにより気密接続を得ることができ、筒状金属部分２
２２とは金属によるロウ伺によって気＠接続を得ること
ができるので、有機接着剤を用（・ることか不要となり
、従ってガスレーザ放電空間Ｓ内に不純物ガスの混入す
るおそれがな（・のでガスレーザの発振に悪影響ン与え
ることがなく、結局装置の使用寿命を長（することがで
きる。
ところで共振器間隔の変動を検出する具体的な方法とし
ては、例えばガスレーザ発振時におけるガスレーザ発振
周波数或いはガスレーザ発振出カン検出し、こ−り検出
値と、予め定められた一定の周波数で発振しているとぎ
に得られる基準検出値との差を検出する方法があり、こ
の場合にはこの差を零とするよ５に比較器などｔ用（・
て磁界形成機構８によって筒状磁性体部分１ｏに与える
磁界の太ささン自動調整丁れば共振器間隔の変動が補イ
Ｒされる。
ては、例えばガスレーザ発振時におけるガスレーザ発振
周波数或いはガスレーザ発振出カン検出し、こ−り検出
値と、予め定められた一定の周波数で発振しているとぎ
に得られる基準検出値との差を検出する方法があり、こ
の場合にはこの差を零とするよ５に比較器などｔ用（・
て磁界形成機構８によって筒状磁性体部分１ｏに与える
磁界の太ささン自動調整丁れば共振器間隔の変動が補イ
Ｒされる。
以上本発明の一実施例につ（・て説明したが、本発明に
おいては種々変更が可能であり、例えば第５図に示すよ
うに筒状磁性体部分１０が、それぞれ異なる磁性体材料
より成る複数（例えば３つ）の筒状磁性体部分１０１
、１ｔ）２．１０３χ互にロウ付により気密に接続して
成る構成、第６図に示すように反射鏡支持部月２２全体
が筒状磁性体部分１０より成る構５にとしてもよい。或
（・は第７図に示すように、反射鏡支持部ｉ２１．２２
の一方のみならず両方に筒状磁性体部分ｌＯン有せしめ
、これら筒状磁性体部分ｌＯの各々には例えば当該筒状
磁性体部分ｌＯの各六の外周に設けたコイル８０よりｒ
反る磁界形Ｈ，機措８を設けた構成としてもよい。
おいては種々変更が可能であり、例えば第５図に示すよ
うに筒状磁性体部分１０が、それぞれ異なる磁性体材料
より成る複数（例えば３つ）の筒状磁性体部分１０１
、１ｔ）２．１０３χ互にロウ付により気密に接続して
成る構成、第６図に示すように反射鏡支持部月２２全体
が筒状磁性体部分１０より成る構５にとしてもよい。或
（・は第７図に示すように、反射鏡支持部ｉ２１．２２
の一方のみならず両方に筒状磁性体部分ｌＯン有せしめ
、これら筒状磁性体部分ｌＯの各々には例えば当該筒状
磁性体部分ｌＯの各六の外周に設けたコイル８０よりｒ
反る磁界形Ｈ，機措８を設けた構成としてもよい。
そして磁界形成機構８としては他の公知の構成としても
よ（・し、既述のようにコイル８０ン設ける場合には、
筒状磁性体部分１０の外周全体に巻回せしめ′〔もよい
し、或いは外周り一部に巻回１゛４）ようにしてもよい
。
よ（・し、既述のようにコイル８０ン設ける場合には、
筒状磁性体部分１０の外周全体に巻回せしめ′〔もよい
し、或いは外周り一部に巻回１゛４）ようにしてもよい
。
以上のよ、うに本発明は、ガスレーザ放電空間ン囲繞す
るガラス製封体と、この封体の両端部にそれぞれ気密に
接続して設けた、少なくとも一方がガスレーザ発振路に
沿って伸びる筒状磁性体部分を有するｌ対の反射鏡支持
部材と、この１対の反射鏡支持部拐の各々に支持せしめ
た、前記ガスレーザ放」、空間ン介して互に対向する共
振器用反射鏡と、前記筒状磁性体部分がガスレーザ発振
方向に伸縮するよ５当該筒状磁性体部分に磁界を与える
磁界形成機構と７具えてＤＭること乞１１す徴と−ｊる
構成であるから、共振器間隔の変動を速い応答速度で補
償することがでさ、シかも使用寿命の長い内部鏡型ガス
レーザ発振装置ン提供することができる。
るガラス製封体と、この封体の両端部にそれぞれ気密に
接続して設けた、少なくとも一方がガスレーザ発振路に
沿って伸びる筒状磁性体部分を有するｌ対の反射鏡支持
部材と、この１対の反射鏡支持部拐の各々に支持せしめ
た、前記ガスレーザ放」、空間ン介して互に対向する共
振器用反射鏡と、前記筒状磁性体部分がガスレーザ発振
方向に伸縮するよ５当該筒状磁性体部分に磁界を与える
磁界形成機構と７具えてＤＭること乞１１す徴と−ｊる
構成であるから、共振器間隔の変動を速い応答速度で補
償することがでさ、シかも使用寿命の長い内部鏡型ガス
レーザ発振装置ン提供することができる。
第１図〜第一３図はそれぞれ従来の内部鏡型ガスレーザ
発振装置の例を示す説明用部分断面図、第４図は本発明
の一実施例を示す説明用部分断面図、第”５図〜第７図
はそれぞれ本発明の他の実施例〉示す説明用部分断面図
である。 １・・・ガラス製封体 ２，２・・・反射鏡支持耶利
３．３・・・共振器用反射鏡Ｓ・・・ガスレーザ放電空
間４・・・ヒータ ５・・・冷却用ファン６・
・・電歪素子 ２１．２２・・・反射鏡支持部相
２１１ 、２２１・・・筒状ガラス部分２１２．２２２
・・・筒状金属部分
発振装置の例を示す説明用部分断面図、第４図は本発明
の一実施例を示す説明用部分断面図、第”５図〜第７図
はそれぞれ本発明の他の実施例〉示す説明用部分断面図
である。 １・・・ガラス製封体 ２，２・・・反射鏡支持耶利
３．３・・・共振器用反射鏡Ｓ・・・ガスレーザ放電空
間４・・・ヒータ ５・・・冷却用ファン６・
・・電歪素子 ２１．２２・・・反射鏡支持部相
２１１ 、２２１・・・筒状ガラス部分２１２．２２２
・・・筒状金属部分
Claims (1)
- ■）がスＬ／−ず放電空間を囲繞するガラス製封体と、
この刺体の両端部にそれぞれ気密に接続し１設けた。少
１．ｃくとも一方がガスレーデ発振路に沿って伸びる筒
状磁性体部分を有する１対の反射鏡支持部拐と、この１
対の反射鏡支持部拐の各々に支持せしめ、た、前記ガス
レーデ放電空間を介して互に対向する共振器用反射鏡と
、前記筒状磁性体部分がガスシー９２発振方向に伸縮す
るよう当該筒状磁性体ｒｌｔ分に磁界を与える磁界形成
機構とを共え°（成ることを特徴とする内部鏡型ガスレ
ーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13507882A JPS5927588A (ja) | 1982-08-04 | 1982-08-04 | 内部鏡型ガスレ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13507882A JPS5927588A (ja) | 1982-08-04 | 1982-08-04 | 内部鏡型ガスレ−ザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5927588A true JPS5927588A (ja) | 1984-02-14 |
| JPH0343797B2 JPH0343797B2 (ja) | 1991-07-03 |
Family
ID=15143318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13507882A Granted JPS5927588A (ja) | 1982-08-04 | 1982-08-04 | 内部鏡型ガスレ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5927588A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60258984A (ja) * | 1984-06-05 | 1985-12-20 | Agency Of Ind Science & Technol | 磁気変調による内部鏡レ−ザの周波数安定化方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4825832A (ja) * | 1971-08-09 | 1973-04-04 | ||
| JPS4922796A (ja) * | 1972-06-23 | 1974-02-28 | ||
| JPS4922797A (ja) * | 1972-06-23 | 1974-02-28 |
-
1982
- 1982-08-04 JP JP13507882A patent/JPS5927588A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4825832A (ja) * | 1971-08-09 | 1973-04-04 | ||
| JPS4922796A (ja) * | 1972-06-23 | 1974-02-28 | ||
| JPS4922797A (ja) * | 1972-06-23 | 1974-02-28 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60258984A (ja) * | 1984-06-05 | 1985-12-20 | Agency Of Ind Science & Technol | 磁気変調による内部鏡レ−ザの周波数安定化方法 |
| JPH0237712B2 (ja) * | 1984-06-05 | 1990-08-27 | Kogyo Gijutsuin |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0343797B2 (ja) | 1991-07-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS58145169A (ja) | 光半導体装置 | |
| US3784927A (en) | Gas laser | |
| US3987373A (en) | Laser having etalon assembly | |
| US3801929A (en) | Gas laser apparatus having low temperature sensitivity | |
| JPS5927588A (ja) | 内部鏡型ガスレ−ザ発振装置 | |
| JPS62109385A (ja) | 半導体レ−ザ装置 | |
| US3619811A (en) | Gas laser tube mount | |
| JP2725493B2 (ja) | 空冷式アルゴンイオンレーザ管 | |
| US4216438A (en) | Internal mirror type gas laser tube | |
| RU167515U1 (ru) | Кварцевый резонатор-термостат | |
| JPH08237067A (ja) | 迅速加熱可能で消費電力の少ない調温制御発信器用共振器 | |
| US4564744A (en) | Integrated infrared thermostat resonator | |
| US3739297A (en) | Single bore tube gas laser | |
| US4159451A (en) | Coaxial glass gas laser tube | |
| JPS6028281A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPS5922404B2 (ja) | 水晶発振体 | |
| JPS6021584A (ja) | レ−ザ装置 | |
| US4864583A (en) | Gas lasers with reduced turn-on delay | |
| JPS596007Y2 (ja) | 単結晶振動子 | |
| JPS6049686A (ja) | 内部ミラ−型ガスレ−ザ管 | |
| JP3277222B2 (ja) | 光ファイバコイルの支持構造 | |
| JPH07288360A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPH0635482Y2 (ja) | 金属蒸気レ−ザ管 | |
| JPH11162408A (ja) | ショートアークランプ | |
| US2954498A (en) | Reflex klystron |