JPS59207676A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS59207676A JPS59207676A JP8195883A JP8195883A JPS59207676A JP S59207676 A JPS59207676 A JP S59207676A JP 8195883 A JP8195883 A JP 8195883A JP 8195883 A JP8195883 A JP 8195883A JP S59207676 A JPS59207676 A JP S59207676A
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- Japan
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- gas laser
- laser device
- cooling fluid
- connecting bodies
- heat
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、ガスレーザ管の両端部に相対向する反射鏡を
有するガスレーザ装置の改良に関するものである。
有するガスレーザ装置の改良に関するものである。
従来技術
一般に、上記ガスレーザ装置においては、ガスレーザ管
の発熱は避けられず、これにも拘わらずガスレーザの安
定した発振出力を得るためには相対向する反射鏡の平行
度を一定に維持する必要がある。
の発熱は避けられず、これにも拘わらずガスレーザの安
定した発振出力を得るためには相対向する反射鏡の平行
度を一定に維持する必要がある。
従来、ガスレーザ管の発熱によっても反射鏡の平行度が
影響されることのないガスレーザ装置が種々提言されて
いるが、未だ構造が簡単で製作費が低廉な装置は具体化
されていない。
影響されることのないガスレーザ装置が種々提言されて
いるが、未だ構造が簡単で製作費が低廉な装置は具体化
されていない。
発明の目的
本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであって、構
造が簡単で製作費が低廉なガスレーザ装置を提供するこ
とを目的としている。
造が簡単で製作費が低廉なガスレーザ装置を提供するこ
とを目的としている。
実施例
以下、図示の実施例を参照して本発明の詳細な説明する
。
。
第１図乃至第４図において、１はガスレーザ発振媒質を
気密に収容するためのガスレーザ管、２および３はガス
レーザ管１の両端部に反射鏡４゜４を相対向するように
支持するための反射鏡支持体、５，５および６は反射鏡
支持体２，３を連結する連結体で、これらの連結体５，
５．６の外周部には断熱部材７が配設されている。ガス
レーザ管１は反射鏡支持体２．３間にて支持されるが、
図示のごとくガスレーザ管１が長い場合にレーザ管１を
より確実に支持するために、あるいは中間にレーザ管の
継手がある場合にその支持のためにガスレーザ管１の略
中間部を支持する支持部材８が、例えば連結体６に締着
されている。９および１０は反射鏡４を夫々反射鏡支持
体２，３に拘束する拘束具で、できれば反射鏡４をレー
ザ管の軸方向や軸に対する傾動方向に調整自在とした方
が好ましい。１１は反射鏡支持体３に連結された吊設用
部材で、この吊設用部材１１のＺ２方向の端部はガスレ
ーザ装置の機枠２４に締着されぞいる。
気密に収容するためのガスレーザ管、２および３はガス
レーザ管１の両端部に反射鏡４゜４を相対向するように
支持するための反射鏡支持体、５，５および６は反射鏡
支持体２，３を連結する連結体で、これらの連結体５，
５．６の外周部には断熱部材７が配設されている。ガス
レーザ管１は反射鏡支持体２．３間にて支持されるが、
図示のごとくガスレーザ管１が長い場合にレーザ管１を
より確実に支持するために、あるいは中間にレーザ管の
継手がある場合にその支持のためにガスレーザ管１の略
中間部を支持する支持部材８が、例えば連結体６に締着
されている。９および１０は反射鏡４を夫々反射鏡支持
体２，３に拘束する拘束具で、できれば反射鏡４をレー
ザ管の軸方向や軸に対する傾動方向に調整自在とした方
が好ましい。１１は反射鏡支持体３に連結された吊設用
部材で、この吊設用部材１１のＺ２方向の端部はガスレ
ーザ装置の機枠２４に締着されぞいる。
すなわち、反射鏡支持体３は吊設用部材１１を介してガ
スレーザ装置の機枠２４に吊設されている。
スレーザ装置の機枠２４に吊設されている。
同様に吊設用部材１２の下端部が反射鏡支持体２に連結
されている。なお、吊設用部材１２の上部にはＸ方向に
開口する、例えば円状の孔１２１が穿設されている。１
３は機枠２４と実質的に一体をなすガイド部材で、この
ガイド部材１３のガイド部１３１、例えば円筒部が吊設
用部材１２の穿設孔１２１に遊入されている。なおガイ
ド部材１３が円筒状に形成されているのは機枠２４の孔
２４１とともにガスレーザの通路を確保するためである
。
されている。なお、吊設用部材１２の上部にはＸ方向に
開口する、例えば円状の孔１２１が穿設されている。１
３は機枠２４と実質的に一体をなすガイド部材で、この
ガイド部材１３のガイド部１３１、例えば円筒部が吊設
用部材１２の穿設孔１２１に遊入されている。なおガイ
ド部材１３が円筒状に形成されているのは機枠２４の孔
２４１とともにガスレーザの通路を確保するためである
。
連結体５．６の内部には冷却流体を流通させるための通
路１４，１５．１６が夫々配設されていて、この夫々の
通路１４，１５．ｉｆ＋の実質的両端部には、夫々流入
管１７，１８．１９および図示しない流出管が連通され
ている。またこれらの流入管または流出管には夫々流量
調整器２１，２２゜２３が接続されている。これらの冷
却流体流通手段と夫々の連結体の外周部に配設された断
熱部材とで対熱手段が構成されている。
路１４，１５．１６が夫々配設されていて、この夫々の
通路１４，１５．ｉｆ＋の実質的両端部には、夫々流入
管１７，１８．１９および図示しない流出管が連通され
ている。またこれらの流入管または流出管には夫々流量
調整器２１，２２゜２３が接続されている。これらの冷
却流体流通手段と夫々の連結体の外周部に配設された断
熱部材とで対熱手段が構成されている。
上記構成において流入管または流出管に接続された流量
調整器２１．２２．２３により適宜に冷却流体の流量を
調整した後、あるいは調整しつつガスレーザの発振出力
を得る。
調整器２１．２２．２３により適宜に冷却流体の流量を
調整した後、あるいは調整しつつガスレーザの発振出力
を得る。
上記実施例においては、連結体６にはガスレーザ管１の
略中間部を受持する支持部材８が締着されている。この
支持部材８の適宜部を断熱部とするが、この断熱部や断
熱部材７の配設にも拘わらず、連結体５よりも連結体６
に対する入熱の方が幾分大となるので、連結体６への冷
却流体の容量が他の連結体５．５への容量よりも大とな
るように流量調整されている。なお連結体５，５は略同
−条件となるので夫々の連結体５，５への冷却流体の容
量は略等量となるように調整されている。
略中間部を受持する支持部材８が締着されている。この
支持部材８の適宜部を断熱部とするが、この断熱部や断
熱部材７の配設にも拘わらず、連結体５よりも連結体６
に対する入熱の方が幾分大となるので、連結体６への冷
却流体の容量が他の連結体５．５への容量よりも大とな
るように流量調整されている。なお連結体５，５は略同
−条件となるので夫々の連結体５，５への冷却流体の容
量は略等量となるように調整されている。
なお、冷却流体の夫々の連結体５，５．６への冷却流体
の流量を予じめ調整しておく場合の他に、ガスレーザの
発振出力を断続してしかも非定常状態で得る場合には、
夫々の連結体５，５．６への入熱が非定常状態となるの
で、夫々の連結体５゜５．６への冷却流体の流量を適宜
に調整する方が好ましい。例えば、連結体５，５．６を
略同−構造として、夫々の連結体５，５．６より流出さ
れる冷却流体の温度が略同−となるように夫々の冷却流
体の流量を調整したり、あるいは、特定構造の連結体５
，５．６において、夫々の連結体５゜５．６より流出さ
れる冷却流体の温度と夫々の連結体５，５．６への冷却
流体の流量とに関するデータを予じめ知得しておいて、
このデータに基いて夫々の冷却流体の流量を調整するこ
ともできる。
の流量を予じめ調整しておく場合の他に、ガスレーザの
発振出力を断続してしかも非定常状態で得る場合には、
夫々の連結体５，５．６への入熱が非定常状態となるの
で、夫々の連結体５゜５．６への冷却流体の流量を適宜
に調整する方が好ましい。例えば、連結体５，５．６を
略同−構造として、夫々の連結体５，５．６より流出さ
れる冷却流体の温度が略同−となるように夫々の冷却流
体の流量を調整したり、あるいは、特定構造の連結体５
，５．６において、夫々の連結体５゜５．６より流出さ
れる冷却流体の温度と夫々の連結体５，５．６への冷却
流体の流量とに関するデータを予じめ知得しておいて、
このデータに基いて夫々の冷却流体の流量を調整するこ
ともできる。
本発明においては、上記したごとく対熱手段により連結
体５，５．６の熱膨張および熱収縮が略同−に保たれる
。例えば、ガスレーザ装置の稼動時に連結体５，５．６
が膨張した場合、連結体５゜５．６により連結された反
射鏡支持体２は初期状態と平行にｘ１方向に変位する。
体５，５．６の熱膨張および熱収縮が略同−に保たれる
。例えば、ガスレーザ装置の稼動時に連結体５，５．６
が膨張した場合、連結体５゜５．６により連結された反
射鏡支持体２は初期状態と平行にｘ１方向に変位する。
この場合、ガイド部１３１と穿設孔１２１との遊入門係
により、吊設用部材１２がガイド部材１３により拘束さ
れつつｘ１方向に摺動するため反射鏡支持体２のｘ１方
向への変位が吸収される。また、ガスレーザ装置の稼動
後には適宜の時間後に連結体５，５．６が収縮するが、
この場合上記とは逆にガイド部１３１と穿設孔１２１と
の遊入部でｘ２方向の変位が吸収されるため、反射鏡支
持体２は円滑にＸ、方向に変位する。
により、吊設用部材１２がガイド部材１３により拘束さ
れつつｘ１方向に摺動するため反射鏡支持体２のｘ１方
向への変位が吸収される。また、ガスレーザ装置の稼動
後には適宜の時間後に連結体５，５．６が収縮するが、
この場合上記とは逆にガイド部１３１と穿設孔１２１と
の遊入部でｘ２方向の変位が吸収されるため、反射鏡支
持体２は円滑にＸ、方向に変位する。
さらに、ガスレーザ管１、反射鏡支持体２，３、反射鏡
４，４および連結体５，５．６などより構成される、い
わゆるガス共振器は吊設用部材１１゜１２を介してガス
レーザ装置の機枠２４に吊設されているため、吊設用部
材には引張り力が作用するに留まり、このため吊設用部
材は引張り力に対応し得る構造でよく、従って装置とし
ての構造が簡単となり、製作費が低廉となる。
４，４および連結体５，５．６などより構成される、い
わゆるガス共振器は吊設用部材１１゜１２を介してガス
レーザ装置の機枠２４に吊設されているため、吊設用部
材には引張り力が作用するに留まり、このため吊設用部
材は引張り力に対応し得る構造でよく、従って装置とし
ての構造が簡単となり、製作費が低廉となる。
上記説明のうち、吊設用部材１２の穿設孔１２１を断面
非円状とすれば、との穿設孔１２１の形状に相応したガ
イド部１３１との遊入関係により反射鏡支持体２の位置
決めが行なわれるので、反射すると共に吊設用部材１２
の穿設孔１２１とガイド部材１３との遊合部をこの吊設
用部材１２のｚ２方向の位置に配設すれば、ガスレーザ
の通路を遮断することがないので構造を簡単にすること
ができる。即ちガイド部材１３を単なるピンとすること
ができる。勿論吊設用部材１２とガイド部材１３との凹
凸状態を相互に反対とすることもできる。
非円状とすれば、との穿設孔１２１の形状に相応したガ
イド部１３１との遊入関係により反射鏡支持体２の位置
決めが行なわれるので、反射すると共に吊設用部材１２
の穿設孔１２１とガイド部材１３との遊合部をこの吊設
用部材１２のｚ２方向の位置に配設すれば、ガスレーザ
の通路を遮断することがないので構造を簡単にすること
ができる。即ちガイド部材１３を単なるピンとすること
ができる。勿論吊設用部材１２とガイド部材１３との凹
凸状態を相互に反対とすることもできる。
さらにまた、ガスレーザ管１が比較的短い場合、ガスレ
ーザ管１の略中間部を支持するための支持部材８を割愛
することができる。この場合、連結体５，５．６は略同
−の条件となるため夫々の連結体への冷却流体を略等量
で流通させる。勿論この場合、データに基いて夫々の冷
却流体の流量を適宜に調整することもできる。さらに連
結体は２以上設ければよいが、実用上３または４本に選
定した方が好ましい。なお、吊設用部材１１．１２とし
て夫々Ｘ方向に対して僅かに可撓性を有する部材を選定
すれば、機枠２４がＸ方向に振動したときにこの振動が
可撓性を有する部材により減衰されるため、いわゆる共
振器への影響が微小になるという利点が生じる。また連
結体として断面非円状の部材を選定することもできる。
ーザ管１の略中間部を支持するための支持部材８を割愛
することができる。この場合、連結体５，５．６は略同
−の条件となるため夫々の連結体への冷却流体を略等量
で流通させる。勿論この場合、データに基いて夫々の冷
却流体の流量を適宜に調整することもできる。さらに連
結体は２以上設ければよいが、実用上３または４本に選
定した方が好ましい。なお、吊設用部材１１．１２とし
て夫々Ｘ方向に対して僅かに可撓性を有する部材を選定
すれば、機枠２４がＸ方向に振動したときにこの振動が
可撓性を有する部材により減衰されるため、いわゆる共
振器への影響が微小になるという利点が生じる。また連
結体として断面非円状の部材を選定することもできる。
発明の効果
上記実施例に詳記した如く、本発明は、対熱手段により
夫々の連結体の熱的変化を略同−に保つと共に、いわゆ
る共振器をガスレーザ装置の機枠に吊設し、かつ共振器
の一方を機枠に対してガスレーザ管の長手方向に可動に
構成したため、反射鏡の平行度が安定し、従って安定し
たガスレーザの発振出力を得ることができる。しかも構
造が簡単であるため製作費が低廉なガスレーザ装置を実
現することができ、産業上有益である。
夫々の連結体の熱的変化を略同−に保つと共に、いわゆ
る共振器をガスレーザ装置の機枠に吊設し、かつ共振器
の一方を機枠に対してガスレーザ管の長手方向に可動に
構成したため、反射鏡の平行度が安定し、従って安定し
たガスレーザの発振出力を得ることができる。しかも構
造が簡単であるため製作費が低廉なガスレーザ装置を実
現することができ、産業上有益である。
第１図は本発明の実施例を示す概略正面図、第２図は第
１図の″イ１′部拡大断面図、第３図は第１図の■−■
線断面矢視図、第４図は第２図の■−■線矢視図である
。 １・・・ガスレーザ管、２ 、３−・反射鏡支持体、５
゜５．６・・・連結体、７・・・断熱部材、８・・・ガ
スレーザ管の中間部支持部材、１１．１２・・・吊設用
部材、１３・・・ガイド部材、２４・・・ガスレーザ装
置の機枠。 代理人 弁理士 中 井 宏 図面の浄書（内容に変更なし） 第１図 第２図 ぺ 特許庁長官 殿 １．事件の表示 昭和５８年特許願第８１９５８号 ２、発明の名称 ガスレーザ装置 ３、補正する者 事件との関係 特 許 出 願 人 大阪市淀用区田用２丁目１番１１号 （０２６） 大阪変圧器株式会社 ４、代理人 住 所 〒５３２ 大阪市淀用区田用２丁目１番１
１号５、補正命令の日付 自 発 ６、補正の対象 「図 面」３７９−
１図の″イ１′部拡大断面図、第３図は第１図の■−■
線断面矢視図、第４図は第２図の■−■線矢視図である
。 １・・・ガスレーザ管、２ 、３−・反射鏡支持体、５
゜５．６・・・連結体、７・・・断熱部材、８・・・ガ
スレーザ管の中間部支持部材、１１．１２・・・吊設用
部材、１３・・・ガイド部材、２４・・・ガスレーザ装
置の機枠。 代理人 弁理士 中 井 宏 図面の浄書（内容に変更なし） 第１図 第２図 ぺ 特許庁長官 殿 １．事件の表示 昭和５８年特許願第８１９５８号 ２、発明の名称 ガスレーザ装置 ３、補正する者 事件との関係 特 許 出 願 人 大阪市淀用区田用２丁目１番１１号 （０２６） 大阪変圧器株式会社 ４、代理人 住 所 〒５３２ 大阪市淀用区田用２丁目１番１
１号５、補正命令の日付 自 発 ６、補正の対象 「図 面」３７９−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Ｌ ガスレーザ管の両端部に相対向する反射鏡を有する
ガスレーザ装置において、前記各々の反射鏡を支持する
反射鏡支持体を複数本の連結体で連結し、前記各々の連
結体の熱的変化を略同−に保つ対熱手段を配設し、前記
各々の反射鏡支持体に吊設用部材を連結すると共に前記
吊設用部材の一方をガスレーザ装置の機枠に吊設し、か
つ他方の吊設用部材を前記レーザ管の長手方向に可動と
なるよう前記機枠に吊設してなるガスレーザ装置。 λ 前記対熱手段は、前記各々の連結体の外周部に配設
される断熱部材と、少なくとも前記各々の連結体の内部
を長袖方向に流入出される冷却流体流通手段とよりなる
特許請求の範囲第１項に記載のガスレーザ装置。 ３、前記対熱手段は、前記各々の連結体の内部に略等量
の冷却流体を流入出する冷却流体流通手段を具備してな
る特許請求の範囲第２項に記載のガスレーザ装置。 ４、 ガスレーザ管の両端部に相対向する反射鏡を有す
るガスレーザ装置において、前記各々の反射鏡を支持す
る反射鏡支持体を複数本の連結体で連結し、前記レーザ
管の略中間部を前記連結体の１個に支持し、前記各々の
連結体の熱的変化を略同−に保つ対熱手段を配設し、前
記各々の反射鏡支持体に吊設用部材を連結すると共に前
記吊設用部材の一方をガスレーザ装置の機枠に吊設し、
かつ他方の吊設用部材を前記レーザ管の長手方向に可動
となるよう前記機枠に吊設してなるガスレーザ装置。 ５、前記対熱手段は、前記各々の連結体の外周部に配設
される断熱部材と、少なくとも前記各々の連結体の内部
を長袖方向に流入出される冷却流体流通手段とよりなる
特許請求の範囲第４項に記載のガスレーザ装置。 ６、前記対熱手段は、前記レーザ管を支持する連結体へ
の冷却流体の容量が他の連結体への容量よりも大で、か
つレーザ管を支持していない連結体への冷却流体が略等
量である冷却流体流通手段を具備してなる特許請求の範
囲第５項に記載のガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8195883A JPS59207676A (ja) | 1983-05-11 | 1983-05-11 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8195883A JPS59207676A (ja) | 1983-05-11 | 1983-05-11 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59207676A true JPS59207676A (ja) | 1984-11-24 |
Family
ID=13761004
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8195883A Pending JPS59207676A (ja) | 1983-05-11 | 1983-05-11 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59207676A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61284981A (ja) * | 1985-06-06 | 1986-12-15 | レーザー コーポレーション オブ アメリカ | ガスレーザ装置 |
| JPS6396980A (ja) * | 1986-10-14 | 1988-04-27 | Fanuc Ltd | レ−ザ共振器 |
| JPH08256U (ja) * | 1995-08-02 | 1996-02-06 | ファナック株式会社 | レーザ共振器 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4978496A (ja) * | 1972-11-30 | 1974-07-29 | ||
| JPS5616965B1 (ja) * | 1970-08-04 | 1981-04-20 |
-
1983
- 1983-05-11 JP JP8195883A patent/JPS59207676A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5616965B1 (ja) * | 1970-08-04 | 1981-04-20 | ||
| JPS4978496A (ja) * | 1972-11-30 | 1974-07-29 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61284981A (ja) * | 1985-06-06 | 1986-12-15 | レーザー コーポレーション オブ アメリカ | ガスレーザ装置 |
| JPS6396980A (ja) * | 1986-10-14 | 1988-04-27 | Fanuc Ltd | レ−ザ共振器 |
| JPH08256U (ja) * | 1995-08-02 | 1996-02-06 | ファナック株式会社 | レーザ共振器 |
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