JP2003304015A - 直交励起型レーザ発振器 - Google Patents
直交励起型レーザ発振器Info
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
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- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
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- H01S3/223—Gases the active gas being polyatomic, i.e. containing two or more atoms
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 発振器筐体が熱変形しても、平行に配置され
た二つの光学基台と支持棒とからなる光共振器が変形力
を受けない直交励起型レーザ発振器を得ること。 【解決手段】 発振器筐体１と、この両側に設置され光
軸方向に延在する支持棒１１２〜１１４によって互いに
平行接続された一対の光学基台７，９と、光学基台７，
９と発振器筐体１とを接続する一対のベローズ１０，１
１とを備える直交励起型レーザ発振器において、光軸方
向をＹ軸とし、光軸方向に垂直な高さ方向をＺ軸とし、
Ｙ軸とＺ軸に垂直な方向をＸ軸とした場合、光学基台
７，９側と接続されるベローズ１０，１１の中心位置
が、発振器筐体１の側端部側と接続されるベローズ１
０，１１の中心位置に対して、Ｘ軸、Ｚ軸方向の曲げ運
動とＹ軸まわりの回転運動を拘束し、Ｙ軸方向の曲げ運
動とＸ軸、Ｚ軸まわりの回転運動を可能とする連結部材
１２，２２を、発振器筐体１の側端部と光学基台７，９
との間に備える。
た二つの光学基台と支持棒とからなる光共振器が変形力
を受けない直交励起型レーザ発振器を得ること。 【解決手段】 発振器筐体１と、この両側に設置され光
軸方向に延在する支持棒１１２〜１１４によって互いに
平行接続された一対の光学基台７，９と、光学基台７，
９と発振器筐体１とを接続する一対のベローズ１０，１
１とを備える直交励起型レーザ発振器において、光軸方
向をＹ軸とし、光軸方向に垂直な高さ方向をＺ軸とし、
Ｙ軸とＺ軸に垂直な方向をＸ軸とした場合、光学基台
７，９側と接続されるベローズ１０，１１の中心位置
が、発振器筐体１の側端部側と接続されるベローズ１
０，１１の中心位置に対して、Ｘ軸、Ｚ軸方向の曲げ運
動とＹ軸まわりの回転運動を拘束し、Ｙ軸方向の曲げ運
動とＸ軸、Ｚ軸まわりの回転運動を可能とする連結部材
１２，２２を、発振器筐体１の側端部と光学基台７，９
との間に備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、発振器筐体が熱
によって変形した場合にも、一対の光共振器の平行度や
軸ずれなどの位置関係を一定に保つことによって、レー
ザビームの出力やビームモードなどの品質を安定に保つ
ことが可能な構造を有する直交励起型レーザ発振器に関
するものである。
によって変形した場合にも、一対の光共振器の平行度や
軸ずれなどの位置関係を一定に保つことによって、レー
ザビームの出力やビームモードなどの品質を安定に保つ
ことが可能な構造を有する直交励起型レーザ発振器に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】ガスレーザ発振器は、一般に、レーザ気
体が封入されて放電によりレーザを励起する放電管と、
この放電管の両側に配置される２枚のミラーを有する光
共振器とを備えている。レーザ発振時に放電管で大きい
発熱が生じると、その熱の一部が光共振器、または放電
管や光共振器を支持しているベース板側に伝達し、それ
らが熱により変形する結果、光共振器を構成する一対の
光学基台の平行度の狂いや、光共振器の軸と発振器筐体
の軸との間の位置のずれなどを生じる。また、光共振器
自体も外気温度の変化によりフレームの棒部材、端面板
部材等の構成部材相互の間で熱膨張差を生じ、これによ
っても光共振器の位置のずれなどを生じる恐れがある。
このような光共振器の位置のずれは、ミラーアライメン
トの狂いを招来して、レーザ光のレーザ出力やビームモ
ードを不安定にする。そこで、このような熱の影響によ
る光共振器の位置のずれなどに対処するために、種々の
構成を有するレーザ発振器が提案されている。
体が封入されて放電によりレーザを励起する放電管と、
この放電管の両側に配置される２枚のミラーを有する光
共振器とを備えている。レーザ発振時に放電管で大きい
発熱が生じると、その熱の一部が光共振器、または放電
管や光共振器を支持しているベース板側に伝達し、それ
らが熱により変形する結果、光共振器を構成する一対の
光学基台の平行度の狂いや、光共振器の軸と発振器筐体
の軸との間の位置のずれなどを生じる。また、光共振器
自体も外気温度の変化によりフレームの棒部材、端面板
部材等の構成部材相互の間で熱膨張差を生じ、これによ
っても光共振器の位置のずれなどを生じる恐れがある。
このような光共振器の位置のずれは、ミラーアライメン
トの狂いを招来して、レーザ光のレーザ出力やビームモ
ードを不安定にする。そこで、このような熱の影響によ
る光共振器の位置のずれなどに対処するために、種々の
構成を有するレーザ発振器が提案されている。
【０００３】従来のレーザ発振器に関する発明として
は、図１２に示す特開２０００−１８３４２５号公報に
開示されている従来技術がある。この従来技術では、発
振器筐体１の両側に、前部光学基台９と後部光学基台７
とが設けられている。前部光学基台９には部分反射鏡
が、後部光学基台７には全反射鏡が固定されており、部
分反射鏡と全反射鏡とが同一光軸上に互いに平行に固定
されるように、前部光学基台９と後部光学基台７とは、
下部１本、上部２本の合計３本のレーザビーム進行方向
（光軸方向）に延在する支持棒１１２〜１１４によって
互いに剛固に接続されている。発振器筐体１上側におけ
る支持棒１１３，１１４は、それぞれ軸方向中央部をブ
ラケット１２０，１２１によって発振器筐体１上面の光
軸方向中央部分に接続されている。熱変形の少ない送風
器側に位置する支持棒１１３の発振器筐体１に対するブ
ラケット１２０による接続は完全な固定接続であり、他
方の高温側に位置する支持棒１１４の発振器筐体１に対
するブラケット１２１による接続は、軸方向および高さ
方向の動きを拘束したスライド台１２２による可動接続
とされている。すなわち、ブラケット１２１は、矢印で
示すように左右方向にスライド台１２２上をスライド可
能である。下部の支持棒１１２は、発振器筐体１とブラ
ケットによる接続はなされておらず、支持棒１１２の両
端が光学基台９，７に固定されているのみである。発振
器筐体１と後部光学基台７との間および発振器筐体１と
前部光学基台９との間のレーザビーム通過部分は、それ
ぞれベローズによって接続されている。
は、図１２に示す特開２０００−１８３４２５号公報に
開示されている従来技術がある。この従来技術では、発
振器筐体１の両側に、前部光学基台９と後部光学基台７
とが設けられている。前部光学基台９には部分反射鏡
が、後部光学基台７には全反射鏡が固定されており、部
分反射鏡と全反射鏡とが同一光軸上に互いに平行に固定
されるように、前部光学基台９と後部光学基台７とは、
下部１本、上部２本の合計３本のレーザビーム進行方向
（光軸方向）に延在する支持棒１１２〜１１４によって
互いに剛固に接続されている。発振器筐体１上側におけ
る支持棒１１３，１１４は、それぞれ軸方向中央部をブ
ラケット１２０，１２１によって発振器筐体１上面の光
軸方向中央部分に接続されている。熱変形の少ない送風
器側に位置する支持棒１１３の発振器筐体１に対するブ
ラケット１２０による接続は完全な固定接続であり、他
方の高温側に位置する支持棒１１４の発振器筐体１に対
するブラケット１２１による接続は、軸方向および高さ
方向の動きを拘束したスライド台１２２による可動接続
とされている。すなわち、ブラケット１２１は、矢印で
示すように左右方向にスライド台１２２上をスライド可
能である。下部の支持棒１１２は、発振器筐体１とブラ
ケットによる接続はなされておらず、支持棒１１２の両
端が光学基台９，７に固定されているのみである。発振
器筐体１と後部光学基台７との間および発振器筐体１と
前部光学基台９との間のレーザビーム通過部分は、それ
ぞれベローズによって接続されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来技術のも
のにあっては、３本の支持棒１１２〜１１４とブラケッ
ト１２０，１２１による支持構造によって、レーザ媒質
ガスの温度分布による２つの光学基台７，９間の位置関
係の変化を抑えることが可能であるけれども、発振器筐
体１はレーザ媒質ガスの温度分布によって自由に熱変形
するため、その両端面の位置や角度は変化してしまう。
その結果、発振器筐体１両端に取り付けられたベローズ
の位置が変化する。一般に、ベローズの芯ずれ方向の剛
性は軸方向の剛性に比べて非常に大きく、ベローズの位
置がずれることによって有害な反力が発生する。この反
力によって、光共振器の構造体が変形し、２つの光学基
台９，７の位置関係が崩れてしまう。そして、このよう
な光学基台９，７の位置関係のずれは、レーザ出力また
はビームモードを不安定にする。
のにあっては、３本の支持棒１１２〜１１４とブラケッ
ト１２０，１２１による支持構造によって、レーザ媒質
ガスの温度分布による２つの光学基台７，９間の位置関
係の変化を抑えることが可能であるけれども、発振器筐
体１はレーザ媒質ガスの温度分布によって自由に熱変形
するため、その両端面の位置や角度は変化してしまう。
その結果、発振器筐体１両端に取り付けられたベローズ
の位置が変化する。一般に、ベローズの芯ずれ方向の剛
性は軸方向の剛性に比べて非常に大きく、ベローズの位
置がずれることによって有害な反力が発生する。この反
力によって、光共振器の構造体が変形し、２つの光学基
台９，７の位置関係が崩れてしまう。そして、このよう
な光学基台９，７の位置関係のずれは、レーザ出力また
はビームモードを不安定にする。
【０００５】この発明は、上記に鑑みてなされたもの
で、発振器筐体が熱変形しても、平行に配置された二つ
の光学基台と支持棒とからなる光共振器が変形力を受け
ないようにすることができる直交励起型レーザ発振器を
得ることを目的とする。
で、発振器筐体が熱変形しても、平行に配置された二つ
の光学基台と支持棒とからなる光共振器が変形力を受け
ないようにすることができる直交励起型レーザ発振器を
得ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明にかかる直交励起型レーザ発振器は、発振
器筐体と、前記発振器筐体の両側に設置され、光軸方向
に延在する少なくとも３本の支持棒によって互いに平行
接続された、光共振器を構成する光学部品をそれぞれ支
持する一対の光学基台と、前記一対の光学基台と前記発
振器筐体との間を接続する一対のベローズとを備える直
交励起型レーザ発振器において、前記光共振器の光軸方
向をＹ軸とし、前記光軸方向に垂直な高さ方向をＺ軸と
し、前記Ｙ軸およびＺ軸に垂直な方向をＸ軸とした場
合、前記光学基台側と接続されている前記ベローズの中
心位置が、前記発振器筐体の側端部側と接続されている
前記ベローズの中心位置に対して、Ｘ軸およびＺ軸方向
の曲げ運動とＹ軸まわりの回転運動を拘束し、Ｙ軸方向
の曲げ運動とＸ軸およびＺ軸まわりの回転運動を可能と
するように、前記発振器筐体の側端部と前記光学基台と
を連結する連結部材を備えることを特徴とする。
め、この発明にかかる直交励起型レーザ発振器は、発振
器筐体と、前記発振器筐体の両側に設置され、光軸方向
に延在する少なくとも３本の支持棒によって互いに平行
接続された、光共振器を構成する光学部品をそれぞれ支
持する一対の光学基台と、前記一対の光学基台と前記発
振器筐体との間を接続する一対のベローズとを備える直
交励起型レーザ発振器において、前記光共振器の光軸方
向をＹ軸とし、前記光軸方向に垂直な高さ方向をＺ軸と
し、前記Ｙ軸およびＺ軸に垂直な方向をＸ軸とした場
合、前記光学基台側と接続されている前記ベローズの中
心位置が、前記発振器筐体の側端部側と接続されている
前記ベローズの中心位置に対して、Ｘ軸およびＺ軸方向
の曲げ運動とＹ軸まわりの回転運動を拘束し、Ｙ軸方向
の曲げ運動とＸ軸およびＺ軸まわりの回転運動を可能と
するように、前記発振器筐体の側端部と前記光学基台と
を連結する連結部材を備えることを特徴とする。
【０００７】この発明によれば、光学基台側と接続され
ているベローズの中心位置が、発振器筐体の側端部側と
接続されているベローズの中心位置に対して、Ｘ軸およ
びＺ軸方向の曲げ運動とＹ軸まわりの回転運動を拘束
し、Ｙ軸方向の曲げ運動とＸ軸およびＺ軸まわりの回転
運動を可能とするように、発振器筐体の側端部と光学基
台とを連結する連結部材を備えるようにしている。
ているベローズの中心位置が、発振器筐体の側端部側と
接続されているベローズの中心位置に対して、Ｘ軸およ
びＺ軸方向の曲げ運動とＹ軸まわりの回転運動を拘束
し、Ｙ軸方向の曲げ運動とＸ軸およびＺ軸まわりの回転
運動を可能とするように、発振器筐体の側端部と光学基
台とを連結する連結部材を備えるようにしている。
【０００８】つぎの発明にかかる直交励起型レーザ発振
器は、上記の発明において、前記連結部材は、板バネに
よって構成されることを特徴とする。
器は、上記の発明において、前記連結部材は、板バネに
よって構成されることを特徴とする。
【０００９】この発明によれば、連結部材は、板バネに
よって構成されるようにしている。
よって構成されるようにしている。
【００１０】つぎの発明にかかる直交励起型レーザ発振
器は、上記の発明において、前記連結部材はコの字型形
状の板バネによって構成されることを特徴とする。
器は、上記の発明において、前記連結部材はコの字型形
状の板バネによって構成されることを特徴とする。
【００１１】この発明によれば、連結部材はコの字型形
状の板バネによって構成されるようにしている。
状の板バネによって構成されるようにしている。
【００１２】つぎの発明にかかる直交励起型レーザ発振
器は、上記の発明において、前記板バネの上端部は前記
発振器筐体の側端部側で支持され、その下端部は前記光
学基台側で支持されることを特徴とする。
器は、上記の発明において、前記板バネの上端部は前記
発振器筐体の側端部側で支持され、その下端部は前記光
学基台側で支持されることを特徴とする。
【００１３】この発明によれば、板バネの上端部は発振
器筐体の側端部側で支持され、その下端部は光学基台側
で支持されるようにしている。
器筐体の側端部側で支持され、その下端部は光学基台側
で支持されるようにしている。
【００１４】つぎの発明にかかる直交励起型レーザ発振
器は、上記の発明において、前記板バネの下端部は前記
発振器筐体の側端部側で支持され、その上端部は前記光
学基台側で支持されることを特徴とする。
器は、上記の発明において、前記板バネの下端部は前記
発振器筐体の側端部側で支持され、その上端部は前記光
学基台側で支持されることを特徴とする。
【００１５】この発明によれば、板バネの下端部は発振
器筐体の側端部側で支持され、その上端部は光学基台側
で支持されるようにしている。
器筐体の側端部側で支持され、その上端部は光学基台側
で支持されるようにしている。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下に添付図面を参照して、この
発明にかかる直交励起型レーザ発振器の好適な実施の形
態を詳細に説明する。
発明にかかる直交励起型レーザ発振器の好適な実施の形
態を詳細に説明する。
【００１７】実施の形態１．図１はこの発明にかかる直
交励起型レーザ発振器の実施の形態１を示す全体斜視図
であり、図２はその正面図である。図３と図４は、この
発明にかかる直交励起型レーザ発振器の実施の形態１の
具体的状態を示す模式図であり、図３は発振器筐体と光
学基台との間に設けられた連結部材の連結状態を示す図
であり、図４は発振器筐体と光学基台とを連結部材で連
結した状態を模式的に示す図である。図５と図６は、発
振器筐体の熱変形の様子を模式的に表す図である。ま
た、図７〜図９は、発振器筐体が熱変形した場合の連結
部材の具体的状態を示す模式図であり、図７と図８は前
部光学基台付近の正面図であり、そして図９は、連結部
材がＺ軸回りに変形を受けた場合の様子を示す斜視図で
ある。なお、以下の説明では、レーザ光の光軸方向をＹ
軸とし、この光軸に垂直な高さ方向をＺ軸とし、これら
Ｙ軸およびＺ軸に垂直な方向をＸ軸とする。
交励起型レーザ発振器の実施の形態１を示す全体斜視図
であり、図２はその正面図である。図３と図４は、この
発明にかかる直交励起型レーザ発振器の実施の形態１の
具体的状態を示す模式図であり、図３は発振器筐体と光
学基台との間に設けられた連結部材の連結状態を示す図
であり、図４は発振器筐体と光学基台とを連結部材で連
結した状態を模式的に示す図である。図５と図６は、発
振器筐体の熱変形の様子を模式的に表す図である。ま
た、図７〜図９は、発振器筐体が熱変形した場合の連結
部材の具体的状態を示す模式図であり、図７と図８は前
部光学基台付近の正面図であり、そして図９は、連結部
材がＺ軸回りに変形を受けた場合の様子を示す斜視図で
ある。なお、以下の説明では、レーザ光の光軸方向をＹ
軸とし、この光軸に垂直な高さ方向をＺ軸とし、これら
Ｙ軸およびＺ軸に垂直な方向をＸ軸とする。
【００１８】発振器筐体１は、ＣＯ2ガス等のレーザ媒
体ガスが封入された密閉構造を有しており、その内部に
は、図示されていないが、レーザビーム発生用の放電電
極、レーザ媒体ガスを冷却する熱交換器、レーザ媒体ガ
スを循環させる送風器などが設けられている。この発振
器筐体１の光軸方向の両端には、発振器筐体１の上面よ
りも突出するように端板１８，２８が設けられている。
体ガスが封入された密閉構造を有しており、その内部に
は、図示されていないが、レーザビーム発生用の放電電
極、レーザ媒体ガスを冷却する熱交換器、レーザ媒体ガ
スを循環させる送風器などが設けられている。この発振
器筐体１の光軸方向の両端には、発振器筐体１の上面よ
りも突出するように端板１８，２８が設けられている。
【００１９】発振器筐体１の光軸方向の両側には、全反
射鏡６を保持した後部光学基台７と、全反射鏡６と同一
光軸上に部分反射鏡８を保持した前部光学基台９とが、
下部に１本、上部に２本の合計３本の支持棒１１２〜１
１４によって互いに平行に配置されている。そして、全
反射鏡６を保持する後部光学基台７と部分反射鏡８を保
持する前部光学基台９とが光共振器を構成している。な
お、上部支持棒１１３，１１４は、発振器筐体１の端部
に設けられている端板１８，２８を貫通してレーザ光の
進行方向（光軸方向）に延在している。また、以下で
は、支持棒１１２〜１１４が３本の場合について説明す
るが、３本に限られる趣旨ではなく、４本以上の支持棒
を有する場合でもよい。
射鏡６を保持した後部光学基台７と、全反射鏡６と同一
光軸上に部分反射鏡８を保持した前部光学基台９とが、
下部に１本、上部に２本の合計３本の支持棒１１２〜１
１４によって互いに平行に配置されている。そして、全
反射鏡６を保持する後部光学基台７と部分反射鏡８を保
持する前部光学基台９とが光共振器を構成している。な
お、上部支持棒１１３，１１４は、発振器筐体１の端部
に設けられている端板１８，２８を貫通してレーザ光の
進行方向（光軸方向）に延在している。また、以下で
は、支持棒１１２〜１１４が３本の場合について説明す
るが、３本に限られる趣旨ではなく、４本以上の支持棒
を有する場合でもよい。
【００２０】発振器筐体１の端板２８と後部光学基台７
との間および発振器筐体１の端板１８と前部光学基台９
との間は、それぞれベローズ１０，１１によって接続さ
れており、これらベローズ１０，１１中を、レーザ光が
貫通する。
との間および発振器筐体１の端板１８と前部光学基台９
との間は、それぞれベローズ１０，１１によって接続さ
れており、これらベローズ１０，１１中を、レーザ光が
貫通する。
【００２１】また、発振器筐体１の端板２８と後部光学
基台７との間および発振器筐体１の端板１８と前部光学
基台９との間は、また、連結部材２２，１２を介しても
連結されている。この連結部材２２，１２によって、光
学基台７，９と接続される側のベローズ１０，１１の中
心位置が、発振器筐体１の端板２８，１８と接続される
側のベローズ１０，１１の中心位置に対して、Ｘ軸方向
（図２における前後方向）、Ｚ軸方向（同じく高さ方
向）、およびＹ軸（同じくレーザ光の光軸）まわりの回
転方向の自由度を拘束し、それ以外のＹ軸方向、Ｘ軸ま
わりの回転方向およびＺ軸まわりの回転方向は可動とさ
れる。
基台７との間および発振器筐体１の端板１８と前部光学
基台９との間は、また、連結部材２２，１２を介しても
連結されている。この連結部材２２，１２によって、光
学基台７，９と接続される側のベローズ１０，１１の中
心位置が、発振器筐体１の端板２８，１８と接続される
側のベローズ１０，１１の中心位置に対して、Ｘ軸方向
（図２における前後方向）、Ｚ軸方向（同じく高さ方
向）、およびＹ軸（同じくレーザ光の光軸）まわりの回
転方向の自由度を拘束し、それ以外のＹ軸方向、Ｘ軸ま
わりの回転方向およびＺ軸まわりの回転方向は可動とさ
れる。
【００２２】この連結部材１２，２２として、例えば、
Ｘ軸方向の長さがＺ軸方向の長さよりも長く、そしてＹ
軸方向の厚さがＸ軸方向およびＺ軸方向の長さに比べて
極めて短い矩形状の板バネ１２，２２を用いて、発振器
筐体１の端板２８と後部光学基台７との間および発振器
筐体１の端板１８と前部光学基台９との間を連結するこ
とができる（図２および図３参照）。前部光学基台９側
において、この板バネ１２の上端部は、板バネ取付座１
４と板バネ固定板１５とで挟み付けられた状態で、発振
器筐体１の端板１８に固定された板バネ支持板１３の上
端部に取り付けられる。また、板バネ１２の下端部は、
前部光学基台９に取り付けられた板バネ取付座１６と板
バネ固定板１７とで挟み付けられた状態で固定される。
なお、端板１８、板バネ支持板１３、板バネ取付座１
４、板バネ１２および板バネ固定板１５の間は、ネジ止
めなどによって固定され、前部光学基台９、板バネ取付
座１６、板バネ１２および板バネ固定板１７の間もネジ
止めなどによって固定される。説明は省略するが、後部
光学基台７側も同様にして後部光学基台７と発振器筐体
１の端板２８との間に板バネ２２が連結される。
Ｘ軸方向の長さがＺ軸方向の長さよりも長く、そしてＹ
軸方向の厚さがＸ軸方向およびＺ軸方向の長さに比べて
極めて短い矩形状の板バネ１２，２２を用いて、発振器
筐体１の端板２８と後部光学基台７との間および発振器
筐体１の端板１８と前部光学基台９との間を連結するこ
とができる（図２および図３参照）。前部光学基台９側
において、この板バネ１２の上端部は、板バネ取付座１
４と板バネ固定板１５とで挟み付けられた状態で、発振
器筐体１の端板１８に固定された板バネ支持板１３の上
端部に取り付けられる。また、板バネ１２の下端部は、
前部光学基台９に取り付けられた板バネ取付座１６と板
バネ固定板１７とで挟み付けられた状態で固定される。
なお、端板１８、板バネ支持板１３、板バネ取付座１
４、板バネ１２および板バネ固定板１５の間は、ネジ止
めなどによって固定され、前部光学基台９、板バネ取付
座１６、板バネ１２および板バネ固定板１７の間もネジ
止めなどによって固定される。説明は省略するが、後部
光学基台７側も同様にして後部光学基台７と発振器筐体
１の端板２８との間に板バネ２２が連結される。
【００２３】このように板バネ１２，２２を介して発振
器筐体１と光学基台７，９とを連結することによって、
前部光学基台９と後部光学基台７とによって構成される
光共振器の構成は、図４に示すように発振器筐体１の上
端部から板バネ１２，２２によって、つり下げられた状
態と等しくなる。すなわち、Ｘ軸またはＺ軸方向の曲げ
に対して変形し難く、Ｙ軸まわりの回転方向に対する高
い剛性を有する一方、Ｙ軸方向の曲げに対しては容易に
変形し、またＸ軸またはＺ軸まわりの回転方向に対して
容易に変形し得る構造を有する。
器筐体１と光学基台７，９とを連結することによって、
前部光学基台９と後部光学基台７とによって構成される
光共振器の構成は、図４に示すように発振器筐体１の上
端部から板バネ１２，２２によって、つり下げられた状
態と等しくなる。すなわち、Ｘ軸またはＺ軸方向の曲げ
に対して変形し難く、Ｙ軸まわりの回転方向に対する高
い剛性を有する一方、Ｙ軸方向の曲げに対しては容易に
変形し、またＸ軸またはＺ軸まわりの回転方向に対して
容易に変形し得る構造を有する。
【００２４】ここで、発振器筐体１は、その作動中にお
いて、レーザ媒質ガスの熱によって光軸方向（Ｙ軸方
向）に伸びるとともに、レーザ媒質ガスの温度分布によ
って湾曲するように熱変形する。例えば、この熱変形を
受けた発振器筐体１を真上から見た場合には、図５に示
されるように、発振器筐体１は元の長さよりも光軸方向
（Ｙ軸方向）に伸びるとともに、発振器筐体１の後側は
その前側に比較して大きく膨張しており、Ｙ軸に沿って
湾曲するような（Ｚ軸まわりに回転するような）変形を
受けている。また、熱変形を受けた発振器筐体１を正面
から見た場合には、図６に示されるように、発振器筐体
１は元の長さよりも光軸方向（Ｙ軸方向）に伸びるとと
もに、発振器筐体１の下側はその上側に比較して大きく
膨張しており、これもＹ軸に沿って湾曲するような（Ｘ
軸まわりに回転するような）変形を受けている。なお、
図５および図６中に点線で示した矩形は、変形前の発振
器筐体１の形状を示している。
いて、レーザ媒質ガスの熱によって光軸方向（Ｙ軸方
向）に伸びるとともに、レーザ媒質ガスの温度分布によ
って湾曲するように熱変形する。例えば、この熱変形を
受けた発振器筐体１を真上から見た場合には、図５に示
されるように、発振器筐体１は元の長さよりも光軸方向
（Ｙ軸方向）に伸びるとともに、発振器筐体１の後側は
その前側に比較して大きく膨張しており、Ｙ軸に沿って
湾曲するような（Ｚ軸まわりに回転するような）変形を
受けている。また、熱変形を受けた発振器筐体１を正面
から見た場合には、図６に示されるように、発振器筐体
１は元の長さよりも光軸方向（Ｙ軸方向）に伸びるとと
もに、発振器筐体１の下側はその上側に比較して大きく
膨張しており、これもＹ軸に沿って湾曲するような（Ｘ
軸まわりに回転するような）変形を受けている。なお、
図５および図６中に点線で示した矩形は、変形前の発振
器筐体１の形状を示している。
【００２５】さらに、図５および図６に示されるような
発振器筐体１の熱変形に伴って、発振器筐体１の両端に
取り付けられたベローズ１０，１１の位置も変化する。
一般にベローズ１０，１１の芯ずれ方向の剛性は軸方向
の剛性に比べて非常に大きいので、ベローズ１０，１１
の位置がずれることによって有害な反力が発生する。す
なわち、この反力によって、ベローズ１０，１１と接続
されている光共振器の構造体が変形し、二つの光学基台
７，９の位置関係をずらしてしまう。
発振器筐体１の熱変形に伴って、発振器筐体１の両端に
取り付けられたベローズ１０，１１の位置も変化する。
一般にベローズ１０，１１の芯ずれ方向の剛性は軸方向
の剛性に比べて非常に大きいので、ベローズ１０，１１
の位置がずれることによって有害な反力が発生する。す
なわち、この反力によって、ベローズ１０，１１と接続
されている光共振器の構造体が変形し、二つの光学基台
７，９の位置関係をずらしてしまう。
【００２６】このような発振器筐体１の両端面の平行な
位置関係を崩すように作用する発振器筐体１の熱変形に
対して、この実施の形態１では、二つの光学基台７，９
と発振器筐体１の両端面とを板バネ２２，１２を介して
連結したことによって、二つの光学基台７，９は発振器
筐体１の熱変形による変形力を受けることがない。すな
わち、図７に示されるように、発振器筐体１のＹ軸方向
の伸びによる変形に対しては、板バネ１２，２２がその
伸びを吸収するように変形する。そして、このときの板
バネ１２，２２の変形によって生じる反力は非常に小さ
いので、この反力によって光学基台７，９が受ける力は
小さい。その結果、二つの光学基台７，９の間の平行性
が維持される。また、図６に示されるような発振器筐体
１のＹＺ平面内でのＹ軸に沿った湾曲は、図８に示され
るように、板バネ１２（２２）がＸ軸のまわりに反るよ
うな変形によって吸収される。この場合も板バネ１２
（２２）の変形によって生じる反力は非常に小さいの
で、光学基台７，９に変形を与えるような大きな力は加
わらない。さらに、図５に示されるような発振器筐体１
のＸＹ平面内でのＹ軸に沿った湾曲は、図９に示される
ように、板バネ１２，２２がＺ軸のまわりにねじれるよ
うに変形することによって吸収されるので、光学基台
７，９に変形を与えるような大きな力は加わらない。
位置関係を崩すように作用する発振器筐体１の熱変形に
対して、この実施の形態１では、二つの光学基台７，９
と発振器筐体１の両端面とを板バネ２２，１２を介して
連結したことによって、二つの光学基台７，９は発振器
筐体１の熱変形による変形力を受けることがない。すな
わち、図７に示されるように、発振器筐体１のＹ軸方向
の伸びによる変形に対しては、板バネ１２，２２がその
伸びを吸収するように変形する。そして、このときの板
バネ１２，２２の変形によって生じる反力は非常に小さ
いので、この反力によって光学基台７，９が受ける力は
小さい。その結果、二つの光学基台７，９の間の平行性
が維持される。また、図６に示されるような発振器筐体
１のＹＺ平面内でのＹ軸に沿った湾曲は、図８に示され
るように、板バネ１２（２２）がＸ軸のまわりに反るよ
うな変形によって吸収される。この場合も板バネ１２
（２２）の変形によって生じる反力は非常に小さいの
で、光学基台７，９に変形を与えるような大きな力は加
わらない。さらに、図５に示されるような発振器筐体１
のＸＹ平面内でのＹ軸に沿った湾曲は、図９に示される
ように、板バネ１２，２２がＺ軸のまわりにねじれるよ
うに変形することによって吸収されるので、光学基台
７，９に変形を与えるような大きな力は加わらない。
【００２７】また、板バネ１２，２２が、光学基台９，
７側でのベローズ１１，１０の中心位置を、発振器筐体
１の光軸方向の端面におけるベローズ１１，１０の中心
位置に対して、Ｘ軸方向、Ｚ軸方向およびＹ軸まわりの
回転方向の自由度を拘束しているので、発振器筐体１の
熱変形に伴うベローズ１１，１０の位置のずれによる軸
ずれ変形は発生せず、光学基台９，７に対する有害な変
形力の発生を抑えることもできる。
７側でのベローズ１１，１０の中心位置を、発振器筐体
１の光軸方向の端面におけるベローズ１１，１０の中心
位置に対して、Ｘ軸方向、Ｚ軸方向およびＹ軸まわりの
回転方向の自由度を拘束しているので、発振器筐体１の
熱変形に伴うベローズ１１，１０の位置のずれによる軸
ずれ変形は発生せず、光学基台９，７に対する有害な変
形力の発生を抑えることもできる。
【００２８】なお、この実施の形態１では、板バネ１
２，２２の上端を発振器筐体１側で支持し、その下端を
光学基台７，９側で支持しているので、光学基台７，９
の質量による重力方向の力が板バネ１２，２２に対して
常時作用する。そして、この力によって板バネ１２，２
２には、応力として引張り応力が発生する。そのため
に、板バネ１２，２２のＹ軸方向の厚さを薄くすること
ができる。すなわち、板バネ１２，２２の剛性をＸ軸方
向とＺ軸方向の曲げおよびＹ軸まわりの回転方向につい
ては極めて大きくし、Ｙ軸方向の曲げおよびＸ軸とＺ軸
まわりの回転方向については非常に小さくすることが可
能となる。
２，２２の上端を発振器筐体１側で支持し、その下端を
光学基台７，９側で支持しているので、光学基台７，９
の質量による重力方向の力が板バネ１２，２２に対して
常時作用する。そして、この力によって板バネ１２，２
２には、応力として引張り応力が発生する。そのため
に、板バネ１２，２２のＹ軸方向の厚さを薄くすること
ができる。すなわち、板バネ１２，２２の剛性をＸ軸方
向とＺ軸方向の曲げおよびＹ軸まわりの回転方向につい
ては極めて大きくし、Ｙ軸方向の曲げおよびＸ軸とＺ軸
まわりの回転方向については非常に小さくすることが可
能となる。
【００２９】以上で説明したように、発振器筐体１の熱
による変形が生じた場合に、光共振器を構成する二つの
光学基台７，９が発振器筐体１の両端面にしっかりと固
定されているような構成を有する直交励起型レーザ発振
器では、発振器筐体１の変形に追従して二つの光学基台
７，９は変形力を受け、その結果として二つの光学基台
７，９の平行性が失われてしまうが、この実施の形態１
によれば、連結部材としての板バネ１２，２２が発振器
筐体１の変形を吸収し、光学基台９，７へ変形を伝える
ことがないので、二つの光学基台７，９の位置関係を維
持することができる。また、この実施の形態１によれ
ば、板バネ１２，２２によって、ベローズ１１，１０の
軸ずれ変形が及ぼす二つの光学基台９，７への有害な変
形力を抑えることもできる。その結果、レーザ光のレー
ザ光軸を一定に保つことが可能となる。
による変形が生じた場合に、光共振器を構成する二つの
光学基台７，９が発振器筐体１の両端面にしっかりと固
定されているような構成を有する直交励起型レーザ発振
器では、発振器筐体１の変形に追従して二つの光学基台
７，９は変形力を受け、その結果として二つの光学基台
７，９の平行性が失われてしまうが、この実施の形態１
によれば、連結部材としての板バネ１２，２２が発振器
筐体１の変形を吸収し、光学基台９，７へ変形を伝える
ことがないので、二つの光学基台７，９の位置関係を維
持することができる。また、この実施の形態１によれ
ば、板バネ１２，２２によって、ベローズ１１，１０の
軸ずれ変形が及ぼす二つの光学基台９，７への有害な変
形力を抑えることもできる。その結果、レーザ光のレー
ザ光軸を一定に保つことが可能となる。
【００３０】実施の形態２．図１０は、この発明にかか
る直交励起型レーザ発振器の実施の形態２を示す図であ
り、連結部材である板バネ１２（２２）としてコの字型
形状のものを使用する場合を示している。なお、この図
１０では、発振器筐体１と前部光学基台９とを連結する
板バネ１２’を取り付ける場合の状態を示しており、上
述した実施の形態１と同一の構成要素には同一の符号を
付してその説明を省略している。
る直交励起型レーザ発振器の実施の形態２を示す図であ
り、連結部材である板バネ１２（２２）としてコの字型
形状のものを使用する場合を示している。なお、この図
１０では、発振器筐体１と前部光学基台９とを連結する
板バネ１２’を取り付ける場合の状態を示しており、上
述した実施の形態１と同一の構成要素には同一の符号を
付してその説明を省略している。
【００３１】上述した実施の形態１では、Ｘ軸方向の長
さがＺ軸方向の長さよりも長い矩形状の板バネ１２（２
２）を例に挙げて説明したが、この実施の形態２では、
コの字型形状の板バネ１２’（２２’）を連結部材とし
て使用する。
さがＺ軸方向の長さよりも長い矩形状の板バネ１２（２
２）を例に挙げて説明したが、この実施の形態２では、
コの字型形状の板バネ１２’（２２’）を連結部材とし
て使用する。
【００３２】このコの字型形状の板バネ１２’は、脚部
１２ａ’，１２ｂ’をＺ軸下方に向けて、そして、これ
らの脚部１２ａ’，１２ｂ’でベローズ１１（１０）を
挟むようにして配置される。すなわち、前部光学基台９
側において、この板バネ１２’の上端部は板バネ取付座
１４と板バネ固体板１５とで挟み付けられた状態で、発
振器筐体１の端板１８に固定された板バネ支持板１３の
上端部に取り付けられている。また、板バネ１２’の２
本の脚部１２ａ’，１２ｂ’は、それぞれ前部光学基台
９に取り付けられた板バネ取付座１６ａ’，１６ｂ’と
板バネ固定板１７ａ’，１７ｂ’とで挟み付けられた状
態で固定される。ただし、板バネ取付座１６ａ’，１６
ｂ’と板バネ固定板１７ａ’，１７ｂ’によって固定さ
れる板バネ１２’の脚部１２ａ’，１２ｂ’の位置は、
ベローズ１１の中心位置の高さと同じ高さとなる。
１２ａ’，１２ｂ’をＺ軸下方に向けて、そして、これ
らの脚部１２ａ’，１２ｂ’でベローズ１１（１０）を
挟むようにして配置される。すなわち、前部光学基台９
側において、この板バネ１２’の上端部は板バネ取付座
１４と板バネ固体板１５とで挟み付けられた状態で、発
振器筐体１の端板１８に固定された板バネ支持板１３の
上端部に取り付けられている。また、板バネ１２’の２
本の脚部１２ａ’，１２ｂ’は、それぞれ前部光学基台
９に取り付けられた板バネ取付座１６ａ’，１６ｂ’と
板バネ固定板１７ａ’，１７ｂ’とで挟み付けられた状
態で固定される。ただし、板バネ取付座１６ａ’，１６
ｂ’と板バネ固定板１７ａ’，１７ｂ’によって固定さ
れる板バネ１２’の脚部１２ａ’，１２ｂ’の位置は、
ベローズ１１の中心位置の高さと同じ高さとなる。
【００３３】このように、コの字型形状の板バネ１２’
（２２’）は、実施の形態１の矩形状の板バネ１２（２
２）と比較して、その形状と配置方法からＺ軸回りの方
向に変形し易いものとなっている。つまり、Ｚ軸回りの
回転方向の変形を効率的に吸収することが可能となる。
（２２’）は、実施の形態１の矩形状の板バネ１２（２
２）と比較して、その形状と配置方法からＺ軸回りの方
向に変形し易いものとなっている。つまり、Ｚ軸回りの
回転方向の変形を効率的に吸収することが可能となる。
【００３４】この実施の形態２によれば、コの字型形状
の板バネ１２’，２２’を連結部材として使用したの
で、板バネ１２’，２２’のＺ軸まわりのねじり変形が
容易に発生し、板バネ１２’，２２’の変形反力を一層
小さくすることができる。その結果、発振器筐体１の熱
変形による影響とそれによるベローズ１０，１１の軸ず
れ変形による影響を、光共振器を構成する二つの光学基
台７，９に与えることがない。
の板バネ１２’，２２’を連結部材として使用したの
で、板バネ１２’，２２’のＺ軸まわりのねじり変形が
容易に発生し、板バネ１２’，２２’の変形反力を一層
小さくすることができる。その結果、発振器筐体１の熱
変形による影響とそれによるベローズ１０，１１の軸ず
れ変形による影響を、光共振器を構成する二つの光学基
台７，９に与えることがない。
【００３５】実施の形態３．図１１は、この発明にかか
る直交励起型レーザ発振器の実施の形態３を示す図であ
り、発振器筐体１と前部光学基台９との接続部分におけ
る正面図を示している。上述した実施の形態１では、板
バネ１２，２２の上端部は発振器筐体１側に連結され、
その下端部は光学基台７，９側に連結される場合を示し
たが、この実施の形態３では、図１１に示されるように
実施の形態１とは逆の場合、すなわち板バネ１２，２２
の上端部は光学基台７，９側に連結され、その下端部は
発振器筐体１側に連結される場合を示している。
る直交励起型レーザ発振器の実施の形態３を示す図であ
り、発振器筐体１と前部光学基台９との接続部分におけ
る正面図を示している。上述した実施の形態１では、板
バネ１２，２２の上端部は発振器筐体１側に連結され、
その下端部は光学基台７，９側に連結される場合を示し
たが、この実施の形態３では、図１１に示されるように
実施の形態１とは逆の場合、すなわち板バネ１２，２２
の上端部は光学基台７，９側に連結され、その下端部は
発振器筐体１側に連結される場合を示している。
【００３６】すなわち、前部光学基台９側において、こ
の板バネ１２の下端部は、板バネ取付座１４と板バネ固
定板１５とで挟み付けられた状態で、発振器筐体１の光
軸方向の側端部に固定された板バネ支持板１３の上端部
に取り付けられる。また、板バネ１２の上端部は、前部
光学基台９に取り付けられた板バネ取付座１６と板バネ
固定板１７とで挟み付けられた状態で固定される。な
お、発振器筐体１の側端部、板バネ支持板１３、板バネ
取付座１４、板バネ１２および板バネ固定板１５の間
は、ネジ止めなどによって固定され、前部光学基台９、
板バネ取付座１６、板バネ１２および板バネ固定板１７
の間もネジ止めなどによって固定される。図示されてい
ないが、後部光学基台７側も同様にして、板バネ２２の
上端部は後部光学基台７側に連結され、その下端部は発
振器筐体１の端板２８側に連結される。
の板バネ１２の下端部は、板バネ取付座１４と板バネ固
定板１５とで挟み付けられた状態で、発振器筐体１の光
軸方向の側端部に固定された板バネ支持板１３の上端部
に取り付けられる。また、板バネ１２の上端部は、前部
光学基台９に取り付けられた板バネ取付座１６と板バネ
固定板１７とで挟み付けられた状態で固定される。な
お、発振器筐体１の側端部、板バネ支持板１３、板バネ
取付座１４、板バネ１２および板バネ固定板１５の間
は、ネジ止めなどによって固定され、前部光学基台９、
板バネ取付座１６、板バネ１２および板バネ固定板１７
の間もネジ止めなどによって固定される。図示されてい
ないが、後部光学基台７側も同様にして、板バネ２２の
上端部は後部光学基台７側に連結され、その下端部は発
振器筐体１の端板２８側に連結される。
【００３７】この実施の形態３によれば、板バネ１２，
２２の発振器筐体１側への連結位置を、光学基台７，９
側への連結位置よりも下方にする構成としたので、板バ
ネ１２，２２に光学基台９，７の重力がかかり、そのた
めに板バネ１２，２２の座屈を防止することができる程
度に板バネ１２，２２の板厚を厚くする必要があるが、
実施の形態１に比べて直交励起型レーザ発振器の組立構
造をシンプルにすることが可能となる。
２２の発振器筐体１側への連結位置を、光学基台７，９
側への連結位置よりも下方にする構成としたので、板バ
ネ１２，２２に光学基台９，７の重力がかかり、そのた
めに板バネ１２，２２の座屈を防止することができる程
度に板バネ１２，２２の板厚を厚くする必要があるが、
実施の形態１に比べて直交励起型レーザ発振器の組立構
造をシンプルにすることが可能となる。
【００３８】
【発明の効果】以上説明したように、この発明による直
交励起型レーザ発振器によれば、光共振器の光軸方向を
Ｙ軸とし、光軸方向に垂直な高さ方向をＺ軸とし、Ｙ軸
およびＺ軸に垂直な方向をＸ軸とした場合に、光学基台
側と接続されているベローズの中心位置が、発振器筐体
の側端部側と接続されている前記ベローズの中心位置に
対して、Ｘ軸およびＺ軸方向の曲げ運動とＹ軸まわりの
回転運動を拘束し、Ｙ軸方向の曲げ運動とＸ軸およびＺ
軸まわりの回転運動を可能とするように、発振器筐体の
光軸方向の側端部と光学基台とを連結する連結部材を備
えるように構成したので、発振器筐体の熱変形やベロー
ズの軸ずれ変形による力を吸収することができるという
効果を有する。そして、二個の光学基台の位置関係（平
行度、軸ずれ）は初期の状態を保つことができ、レーザ
光の品質（出力、ビームモード）を安定に保つことがで
きるという効果を有する。
交励起型レーザ発振器によれば、光共振器の光軸方向を
Ｙ軸とし、光軸方向に垂直な高さ方向をＺ軸とし、Ｙ軸
およびＺ軸に垂直な方向をＸ軸とした場合に、光学基台
側と接続されているベローズの中心位置が、発振器筐体
の側端部側と接続されている前記ベローズの中心位置に
対して、Ｘ軸およびＺ軸方向の曲げ運動とＹ軸まわりの
回転運動を拘束し、Ｙ軸方向の曲げ運動とＸ軸およびＺ
軸まわりの回転運動を可能とするように、発振器筐体の
光軸方向の側端部と光学基台とを連結する連結部材を備
えるように構成したので、発振器筐体の熱変形やベロー
ズの軸ずれ変形による力を吸収することができるという
効果を有する。そして、二個の光学基台の位置関係（平
行度、軸ずれ）は初期の状態を保つことができ、レーザ
光の品質（出力、ビームモード）を安定に保つことがで
きるという効果を有する。
【００３９】つぎの発明によれば、連結部材を板バネに
よって構成するようにしたので、発振器筐体の熱変形や
ベローズの軸ずれ変形による力を効果的に吸収すること
ができるという効果を有する。その結果、２個の光学基
台の位置関係（平行度、軸ずれ）は初期の状態を保つこ
とができ、レーザ光の品質（出力、ビームモード）を安
定に保つことができるという効果を有する。さらに、リ
ニアベアリング等のガイド機構によって光学基台間の変
形を防止する場合には、微小な変位に対して摩擦力によ
るスティックスリップが発生し、光学基台に有害な変形
が発生してしまうが、板バネによるガイド機構を用いる
場合には、摩擦力が発生しないためこのようなスティッ
クスリップが発生することがないという効果を有する。
そして、板バネによるガイド機構はリニアベアリング等
のガイド機構に比べて安価に構成できるという効果を有
する。
よって構成するようにしたので、発振器筐体の熱変形や
ベローズの軸ずれ変形による力を効果的に吸収すること
ができるという効果を有する。その結果、２個の光学基
台の位置関係（平行度、軸ずれ）は初期の状態を保つこ
とができ、レーザ光の品質（出力、ビームモード）を安
定に保つことができるという効果を有する。さらに、リ
ニアベアリング等のガイド機構によって光学基台間の変
形を防止する場合には、微小な変位に対して摩擦力によ
るスティックスリップが発生し、光学基台に有害な変形
が発生してしまうが、板バネによるガイド機構を用いる
場合には、摩擦力が発生しないためこのようなスティッ
クスリップが発生することがないという効果を有する。
そして、板バネによるガイド機構はリニアベアリング等
のガイド機構に比べて安価に構成できるという効果を有
する。
【００４０】つぎの発明によれば、連結部材をコの字型
形状の板バネによって構成するようにしたので、板バネ
のＺ軸まわりのねじり変形が容易に発生し、板バネの変
形反力を一層小さくすることができるという効果を有す
る。その結果、発振器筐体の熱変形による影響とそれに
よるベローズの軸ずれ変形による影響を、光共振器を構
成する二つの光学基台に与えることがない。
形状の板バネによって構成するようにしたので、板バネ
のＺ軸まわりのねじり変形が容易に発生し、板バネの変
形反力を一層小さくすることができるという効果を有す
る。その結果、発振器筐体の熱変形による影響とそれに
よるベローズの軸ずれ変形による影響を、光共振器を構
成する二つの光学基台に与えることがない。
【００４１】つぎの発明によれば、板バネの上端部は発
振器筐体の側端部側で支持され、その下端部は光学基台
側で支持されるように構成したので、光学基台の質量に
よる重力によって板バネに引張り応力が発生するため
に、板バネのＹ軸方向の厚さを薄くすることができると
いう効果を有する。
振器筐体の側端部側で支持され、その下端部は光学基台
側で支持されるように構成したので、光学基台の質量に
よる重力によって板バネに引張り応力が発生するため
に、板バネのＹ軸方向の厚さを薄くすることができると
いう効果を有する。
【００４２】つぎの発明によれば、板バネの下端部は発
振器筐体の側端部側で支持され、その上端部は光学基台
側で支持されるように構成したので、直交励起型レーザ
発振器の組立構造をシンプルにすることができるという
効果を有する。
振器筐体の側端部側で支持され、その上端部は光学基台
側で支持されるように構成したので、直交励起型レーザ
発振器の組立構造をシンプルにすることができるという
効果を有する。
【図１】 この発明の実施の形態１の直交励起型レーザ
発振器の全体斜視図である。
発振器の全体斜視図である。
【図２】 この発明の実施の形態１の直交励起型レーザ
発振器の正面図である。
発振器の正面図である。
【図３】 この発明の実施の形態１の直交励起型レーザ
発振器における連結部材の連結の様子を示す斜視図であ
る。
発振器における連結部材の連結の様子を示す斜視図であ
る。
【図４】 この発明の実施の形態１の直交励起型レーザ
発振器における発振器筐体と光学基台との間の関係を示
す模式図である。
発振器における発振器筐体と光学基台との間の関係を示
す模式図である。
【図５】 発振器筐体の熱変形状態を示す平面図であ
る。
る。
【図６】 発振器筐体の熱変形状態を示す正面図であ
る。
る。
【図７】 連結部材のＹ軸方向の曲げ変形の様子を示す
図である。
図である。
【図８】 連結部材のＸ軸まわりの回転の変形の様子を
示す図である。
示す図である。
【図９】 連結部材のＺ軸まわりの回転の変形の様子を
示す図である。
示す図である。
【図１０】 この発明の実施の形態２の直交励起型レー
ザ発振器における連結部材とベローズの位置関係を示す
模式図である。
ザ発振器における連結部材とベローズの位置関係を示す
模式図である。
【図１１】 この発明の実施の形態３の直交励起型レー
ザ発振器の連結部材の位置関係を示す模式図である。
ザ発振器の連結部材の位置関係を示す模式図である。
【図１２】 直交励起型レーザ発振器の従来例を示す斜
視図である。
視図である。
１ 発振器筐体、６ 全反射鏡、７ 後部光学基台、８
部分反射鏡、９ 前部光学基台、１０，１１ ベロー
ズ、１２，１２’，２２，２２’ 連結部材（板バ
ネ）、１３ 板バネ支持板、１４，１６，１６ａ’，１
６ｂ’ 板バネ取付座、１５，１７，１７ａ’，１７
ｂ’ 板バネ固定板、１８，２８ 端板、１１２〜１１
５ 支持棒。
部分反射鏡、９ 前部光学基台、１０，１１ ベロー
ズ、１２，１２’，２２，２２’ 連結部材（板バ
ネ）、１３ 板バネ支持板、１４，１６，１６ａ’，１
６ｂ’ 板バネ取付座、１５，１７，１７ａ’，１７
ｂ’ 板バネ固定板、１８，２８ 端板、１１２〜１１
５ 支持棒。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 小原 隆雄
東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三
菱電機株式会社内
(72)発明者 西田 聡
東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三
菱電機株式会社内
Ｆターム(参考） 5F071 DD05 DD06 DD08 EE01 JJ06
Claims (5)
- 【請求項１】 発振器筐体と、前記発振器筐体の両側に
設置され、光軸方向に延在する少なくとも３本の支持棒
によって互いに平行接続された、光共振器を構成する光
学部品をそれぞれ支持する一対の光学基台と、前記一対
の光学基台と前記発振器筐体との間を接続する一対のベ
ローズとを備える直交励起型レーザ発振器において、 前記光共振器の光軸方向をＹ軸とし、前記光軸方向に垂
直な高さ方向をＺ軸とし、前記Ｙ軸およびＺ軸に垂直な
方向をＸ軸とした場合、 前記光学基台側と接続されている前記ベローズの中心位
置が、前記発振器筐体の側端部側と接続されている前記
ベローズの中心位置に対して、Ｘ軸およびＺ軸方向の曲
げ運動とＹ軸まわりの回転運動を拘束し、Ｙ軸方向の曲
げ運動とＸ軸およびＺ軸まわりの回転運動を可能とする
ように、前記発振器筐体の側端部と前記光学基台とを連
結する連結部材を備えることを特徴とする直交励起型レ
ーザ発振器。 - 【請求項２】 前記連結部材は、板バネによって構成さ
れることを特徴とする請求項１に記載の直交励起型レー
ザ発振器。 - 【請求項３】 前記連結部材はコの字型形状の板バネに
よって構成されることを特徴とする請求項１に記載の直
交励起型レーザ発振器。 - 【請求項４】 前記板バネの上端部は前記発振器筐体の
側端部側で支持され、その下端部は前記光学基台側で支
持されることを特徴とする請求項２に記載の直交励起型
レーザ発振器。 - 【請求項５】 前記板バネの下端部は前記発振器筐体の
側端部側で支持され、その上端部は前記光学基台側で支
持されることを特徴とする請求項２に記載の直交励起型
レーザ発振器。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002109694A JP3768455B2 (ja) | 2002-04-11 | 2002-04-11 | 直交励起型レーザ発振器 |
| US10/278,932 US6920170B2 (en) | 2002-04-11 | 2002-10-24 | Orthogonally excited-type laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002109694A JP3768455B2 (ja) | 2002-04-11 | 2002-04-11 | 直交励起型レーザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003304015A true JP2003304015A (ja) | 2003-10-24 |
| JP3768455B2 JP3768455B2 (ja) | 2006-04-19 |
Family
ID=28786600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002109694A Expired - Lifetime JP3768455B2 (ja) | 2002-04-11 | 2002-04-11 | 直交励起型レーザ発振器 |
Country Status (2)
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|---|---|
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| JP (1) | JP3768455B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2008136073A1 (ja) * | 2007-04-20 | 2008-11-13 | Mitsubishi Electric Corporation | レーザ発振器 |
| JP2010045336A (ja) * | 2008-07-17 | 2010-02-25 | Fanuc Ltd | ガスレーザ共振器 |
| US8712667B2 (en) | 2009-05-21 | 2014-04-29 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Air-fuel ratio control apparatus for an internal combustion engine |
| JP5980414B2 (ja) * | 2013-03-26 | 2016-08-31 | 三菱電機株式会社 | ガスレーザ装置 |
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| JPH07111352A (ja) | 1993-10-12 | 1995-04-25 | Toshiba Corp | レーザー発振器 |
| JPH07307506A (ja) * | 1994-05-16 | 1995-11-21 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ発振器 |
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-
2002
- 2002-04-11 JP JP2002109694A patent/JP3768455B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2002-10-24 US US10/278,932 patent/US6920170B2/en not_active Expired - Lifetime
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|---|---|---|---|---|
| WO2008136073A1 (ja) * | 2007-04-20 | 2008-11-13 | Mitsubishi Electric Corporation | レーザ発振器 |
| DE112007003374T5 (de) | 2007-04-20 | 2010-01-21 | Mitsubishi Electric Corp. | Laseroszillator |
| JPWO2008136073A1 (ja) * | 2007-04-20 | 2010-07-29 | 三菱電機株式会社 | レーザ発振器 |
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| JP4565045B2 (ja) * | 2008-07-17 | 2010-10-20 | ファナック株式会社 | ガスレーザ共振器 |
| US8135051B2 (en) | 2008-07-17 | 2012-03-13 | Fanuc Ltd | Gas laser oscillator |
| US8712667B2 (en) | 2009-05-21 | 2014-04-29 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Air-fuel ratio control apparatus for an internal combustion engine |
| JP5980414B2 (ja) * | 2013-03-26 | 2016-08-31 | 三菱電機株式会社 | ガスレーザ装置 |
| US9502850B2 (en) | 2013-03-26 | 2016-11-22 | Mitsubishi Electric Corporation | Gas laser device |
| DE112014001693B4 (de) | 2013-03-26 | 2021-09-02 | Mitsubishi Electric Corporation | Gaslaservorrichtung |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3768455B2 (ja) | 2006-04-19 |
| US6920170B2 (en) | 2005-07-19 |
| US20030193985A1 (en) | 2003-10-16 |
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