JPH07307506A - レーザ発振器 - Google Patents
レーザ発振器Info
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- JPH07307506A JPH07307506A JP6101372A JP10137294A JPH07307506A JP H07307506 A JPH07307506 A JP H07307506A JP 6101372 A JP6101372 A JP 6101372A JP 10137294 A JP10137294 A JP 10137294A JP H07307506 A JPH07307506 A JP H07307506A
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- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
-
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザビームのポインティングの安定化を図
ること。 【構成】 筐体１０に設けられた熱交換器用入口ポート
３４から筐体１０内に導入された冷却媒質は配管３５を
通って熱交換器８に供給され、配管３７を通って上面側
からみて熱交換器用入口ポート３４と放電電極４ａ，４
ｂに平行な筐体１０の中心線に対してほぼ線対称の位置
に設けられた熱交換器用出口ポート３６から再び筐体１
０外へと排出される。また、放電電極用入口ポート４０
及び放電電極用出口ポート４２についても同様の位置関
係となるように配設されている。このため、筐体１０は
レーザビーム方向に左右同条件で冷却されることとな
る。これにより、筐体１０の熱歪の影響が低減され、レ
ーザビームのポインティングが安定する。
ること。 【構成】 筐体１０に設けられた熱交換器用入口ポート
３４から筐体１０内に導入された冷却媒質は配管３５を
通って熱交換器８に供給され、配管３７を通って上面側
からみて熱交換器用入口ポート３４と放電電極４ａ，４
ｂに平行な筐体１０の中心線に対してほぼ線対称の位置
に設けられた熱交換器用出口ポート３６から再び筐体１
０外へと排出される。また、放電電極用入口ポート４０
及び放電電極用出口ポート４２についても同様の位置関
係となるように配設されている。このため、筐体１０は
レーザビーム方向に左右同条件で冷却されることとな
る。これにより、筐体１０の熱歪の影響が低減され、レ
ーザビームのポインティングが安定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザビームの出射位
置及び出射方向であるポインティングの安定化を図った
レーザ発振器に関するものである。
置及び出射方向であるポインティングの安定化を図った
レーザ発振器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、レーザ発振器に関連する先行技術
文献としては、例えば、特公昭６３−６４０７３号公報
及び特公昭６４−８３２号公報にて開示されたものが知
られている。図２０は、特公昭６３−６４０７３号公報
にて開示されたレーザ発振器の構成を示す斜視図であ
る。図２０において、１０はレーザ媒質ガスを１／１０
気圧程度の低真空状態で封入する筐体、４ａ，４ｂは一
対の放電電極、３はレーザ媒質ガス流路を形成するダク
ト、８は熱交換器、６はブロワ、３２は部分反射鏡、２
６は全反射鏡、５ａは部分反射鏡３２を含む一方のレー
ザビーム反射手段、５ｂは全反射鏡３０を含む他方のレ
ーザビーム反射手段、２はレーザビームである。また、
図２１は、特公昭６４−８３２号公報にて開示されたレ
ーザ発振器の構成を示す正面図、図２２は図２１の上面
図、図２３は図２１の右側面図、図２４は図２３のＣ−
Ｃ線に沿う拡大詳細断面図、図２５は図２３のＡ−Ａ線
に沿う拡大詳細断面図、図２６は図２３のＢ−Ｂ線に沿
う拡大詳細断面図である。図２１〜図２６において、２
４ａ，２４ｂ，２４ｃは支持棒、２０ａ，２０ｂは基
板、７は金属製のベローズ、２２は筐体１０に配設され
た固定座、９はナット、１２はブラケット、１３はハウ
ジング、１４は球面軸受、１５はフランジ、１６，１８
はボルト、１１は転がり軸受、１７はカラー、３４，３
６は筐体１０に設けた熱交換器８の冷却用の冷却媒質が
通る熱交換器用入口ポート及び熱交換器用出口ポート、
３５，３７は熱交換器用入口ポート３４及び熱交換器用
出口ポート３６から熱交換器８に至る配管、４０，４２
は筐体１０に設けた一対の放電電極４ａ，４ｂの冷却用
の冷却媒質が通る放電電極用入口ポート及び放電電極用
出口ポート、４１，４３は放電電極用入口ポート４０及
び放電電極用出口ポート４２から一対の放電電極４ａ，
４ｂに至る配管、４５は一対の放電電極４ａ，４ｂをつ
なぐ配管、２２は筐体１０を他の構造物に固定する固定
座である。
文献としては、例えば、特公昭６３−６４０７３号公報
及び特公昭６４−８３２号公報にて開示されたものが知
られている。図２０は、特公昭６３−６４０７３号公報
にて開示されたレーザ発振器の構成を示す斜視図であ
る。図２０において、１０はレーザ媒質ガスを１／１０
気圧程度の低真空状態で封入する筐体、４ａ，４ｂは一
対の放電電極、３はレーザ媒質ガス流路を形成するダク
ト、８は熱交換器、６はブロワ、３２は部分反射鏡、２
６は全反射鏡、５ａは部分反射鏡３２を含む一方のレー
ザビーム反射手段、５ｂは全反射鏡３０を含む他方のレ
ーザビーム反射手段、２はレーザビームである。また、
図２１は、特公昭６４−８３２号公報にて開示されたレ
ーザ発振器の構成を示す正面図、図２２は図２１の上面
図、図２３は図２１の右側面図、図２４は図２３のＣ−
Ｃ線に沿う拡大詳細断面図、図２５は図２３のＡ−Ａ線
に沿う拡大詳細断面図、図２６は図２３のＢ−Ｂ線に沿
う拡大詳細断面図である。図２１〜図２６において、２
４ａ，２４ｂ，２４ｃは支持棒、２０ａ，２０ｂは基
板、７は金属製のベローズ、２２は筐体１０に配設され
た固定座、９はナット、１２はブラケット、１３はハウ
ジング、１４は球面軸受、１５はフランジ、１６，１８
はボルト、１１は転がり軸受、１７はカラー、３４，３
６は筐体１０に設けた熱交換器８の冷却用の冷却媒質が
通る熱交換器用入口ポート及び熱交換器用出口ポート、
３５，３７は熱交換器用入口ポート３４及び熱交換器用
出口ポート３６から熱交換器８に至る配管、４０，４２
は筐体１０に設けた一対の放電電極４ａ，４ｂの冷却用
の冷却媒質が通る放電電極用入口ポート及び放電電極用
出口ポート、４１，４３は放電電極用入口ポート４０及
び放電電極用出口ポート４２から一対の放電電極４ａ，
４ｂに至る配管、４５は一対の放電電極４ａ，４ｂをつ
なぐ配管、２２は筐体１０を他の構造物に固定する固定
座である。
【０００３】次に、その動作について説明する。筐体１
０には、放電を発生してレーザ媒質ガスを励起するため
の一対の放電電極４ａ，４ｂと、レーザ媒質ガスを循環
させるブロワ６と、レーザ媒質ガスを冷却する熱交換器
８が配設されている。レーザ媒質ガスは一対の放電電極
４ａ，４ｂの間を通過し、レーザ発振可能な状態に励起
される。放電によって高温になったレーザ媒質ガスはダ
クト３を通って熱交換器８内で冷却され、ブロワ６を通
って矢印の方向に循環する。筐体１０の長手方向に配置
されたレーザビーム反射手段５ａに含まれる部分反射鏡
３２及びレーザビーム反射手段５ｂに含まれる全反射鏡
２６で構成される共振器ミラーにより作られる光路は、
放電によりレーザ媒質ガスが励起状態となった励起領域
を通過する。
０には、放電を発生してレーザ媒質ガスを励起するため
の一対の放電電極４ａ，４ｂと、レーザ媒質ガスを循環
させるブロワ６と、レーザ媒質ガスを冷却する熱交換器
８が配設されている。レーザ媒質ガスは一対の放電電極
４ａ，４ｂの間を通過し、レーザ発振可能な状態に励起
される。放電によって高温になったレーザ媒質ガスはダ
クト３を通って熱交換器８内で冷却され、ブロワ６を通
って矢印の方向に循環する。筐体１０の長手方向に配置
されたレーザビーム反射手段５ａに含まれる部分反射鏡
３２及びレーザビーム反射手段５ｂに含まれる全反射鏡
２６で構成される共振器ミラーにより作られる光路は、
放電によりレーザ媒質ガスが励起状態となった励起領域
を通過する。
【０００４】全反射鏡２６で反射されたレーザビームは
部分反射鏡３２に到達する。部分反射鏡３２に到達した
レーザビームの一部はそのまま外部に出力され、残りは
逆のルートを通って全反射鏡２６まで戻り、上記のプロ
セスが繰返される。レーザビームは上記のようにして励
起領域を反復通過する間に増幅され、部分反射鏡３２か
ら外部に出力される。レーザビーム反射手段５ａ及びレ
ーザビーム反射手段５ｂは、３本の支持棒２４ａ，２４
ｂ，２４ｃにより保持された一対の基板２０ａ及び２０
ｂに取付けられている。ベローズ７は筐体１０とその左
右に位置する基板２０ｂ，２０ａとに外力を伝えないよ
うにそれぞれ接続するものである。
部分反射鏡３２に到達する。部分反射鏡３２に到達した
レーザビームの一部はそのまま外部に出力され、残りは
逆のルートを通って全反射鏡２６まで戻り、上記のプロ
セスが繰返される。レーザビームは上記のようにして励
起領域を反復通過する間に増幅され、部分反射鏡３２か
ら外部に出力される。レーザビーム反射手段５ａ及びレ
ーザビーム反射手段５ｂは、３本の支持棒２４ａ，２４
ｂ，２４ｃにより保持された一対の基板２０ａ及び２０
ｂに取付けられている。ベローズ７は筐体１０とその左
右に位置する基板２０ｂ，２０ａとに外力を伝えないよ
うにそれぞれ接続するものである。
【０００５】レーザ発振器の動作の際には、図示しない
冷却装置等から供給される水等の冷却媒質が必要であ
る。筐体１０に設けられた入口ポート３４から筐体１０
内に導入された冷却媒質は、配管３５を通って熱交換器
８に供給され、配管３７を通って筐体１０に設けられた
出口ポート３６から再び筐体１０外へと排出される。筐
体１０に設けられた入口ポート４０から筐体１０内に導
入された冷却媒質は配管４１を通って下側の放電電極４
ｂに入り、配管４５を通って上側の放電電極４ａに入っ
た後、配管４３を通って筐体１０に設けられた出口ポー
ト４２から再び筐体１０外へと排出される。筐体１０は
その下部に設けられた４箇所の固定座２２を利用して、
例えば、基礎工事のなされた床やレーザ発振器へ電力供
給する電源盤のフレーム等の比較的強固な構造物に固定
される。
冷却装置等から供給される水等の冷却媒質が必要であ
る。筐体１０に設けられた入口ポート３４から筐体１０
内に導入された冷却媒質は、配管３５を通って熱交換器
８に供給され、配管３７を通って筐体１０に設けられた
出口ポート３６から再び筐体１０外へと排出される。筐
体１０に設けられた入口ポート４０から筐体１０内に導
入された冷却媒質は配管４１を通って下側の放電電極４
ｂに入り、配管４５を通って上側の放電電極４ａに入っ
た後、配管４３を通って筐体１０に設けられた出口ポー
ト４２から再び筐体１０外へと排出される。筐体１０は
その下部に設けられた４箇所の固定座２２を利用して、
例えば、基礎工事のなされた床やレーザ発振器へ電力供
給する電源盤のフレーム等の比較的強固な構造物に固定
される。
【０００６】次に、筐体１０と基板２０ｂ，２０ａの支
持構成について説明する。基板２０ａは３本の支持棒２
４ａ，２４ｂ，２４ｃにて支持されているが、それぞれ
の支持棒２４ａ，２４ｂ，２４ｃの筐体１０への関連構
造が異なった構成となっている。即ち、図２５に示すよ
うに、支持棒２４ａは筐体１０に取付けたハウジング１
３内の球面軸受１４により支持され、支持棒２４ａの軸
端部には基板２０ａがナット９により固着されている。
また、図２６に示すように、支持棒２４ｂには転がり軸
受１１を取付け、その転がり軸受１１の下面と平面上に
線接触するブラケット１２は筐体１０にボルト１８で固
定されている。カラー１７は、ナット９により支持棒２
４ｂを基板２０ａに締付けるときに転がり軸受１１の位
置を決定する役目をする。また、図２４に示すように、
支持棒２４ｃは筐体１０とは無関係となるように基板２
０ａに対してナット９により固定されている。３本の支
持棒２４ａ，２４ｂ，２４ｃは例えば、インバーのよう
な線膨張係数の小さな材質で作られ、温度変化があって
も基板２０ａと基板２０ｂとの平行性が損なわれ難いよ
うになっている。
持構成について説明する。基板２０ａは３本の支持棒２
４ａ，２４ｂ，２４ｃにて支持されているが、それぞれ
の支持棒２４ａ，２４ｂ，２４ｃの筐体１０への関連構
造が異なった構成となっている。即ち、図２５に示すよ
うに、支持棒２４ａは筐体１０に取付けたハウジング１
３内の球面軸受１４により支持され、支持棒２４ａの軸
端部には基板２０ａがナット９により固着されている。
また、図２６に示すように、支持棒２４ｂには転がり軸
受１１を取付け、その転がり軸受１１の下面と平面上に
線接触するブラケット１２は筐体１０にボルト１８で固
定されている。カラー１７は、ナット９により支持棒２
４ｂを基板２０ａに締付けるときに転がり軸受１１の位
置を決定する役目をする。また、図２４に示すように、
支持棒２４ｃは筐体１０とは無関係となるように基板２
０ａに対してナット９により固定されている。３本の支
持棒２４ａ，２４ｂ，２４ｃは例えば、インバーのよう
な線膨張係数の小さな材質で作られ、温度変化があって
も基板２０ａと基板２０ｂとの平行性が損なわれ難いよ
うになっている。
【０００７】レーザ発振器を動作させるには、まず、準
備動作としてブロワ６を運転開始すると共に、一般には
室温より低い温度（例えば、１０℃）の冷却媒質を熱交
換器８と放電電極４ａ，４ｂに供給し、放電電極４ａ，
４ｂの間にはいる入口部においてレーザ媒質ガスの温度
と流速を所定の状態とし、レーザ媒質ガスを放電により
効率よく励起できる状態にする。この冷却媒質が供給さ
れておればブロワ６が所定の回転数になるとレーザ媒質
ガスは高速で循環しているため、レーザ媒質ガスの温度
は所定の温度及び流速となる。準備動作に必要な時間は
ブロワ６の回転数が所定の回転数に立上がる時間に相当
する。レーザ発振器が準備完了後、レーザ発振可能な状
態となる。
備動作としてブロワ６を運転開始すると共に、一般には
室温より低い温度（例えば、１０℃）の冷却媒質を熱交
換器８と放電電極４ａ，４ｂに供給し、放電電極４ａ，
４ｂの間にはいる入口部においてレーザ媒質ガスの温度
と流速を所定の状態とし、レーザ媒質ガスを放電により
効率よく励起できる状態にする。この冷却媒質が供給さ
れておればブロワ６が所定の回転数になるとレーザ媒質
ガスは高速で循環しているため、レーザ媒質ガスの温度
は所定の温度及び流速となる。準備動作に必要な時間は
ブロワ６の回転数が所定の回転数に立上がる時間に相当
する。レーザ発振器が準備完了後、レーザ発振可能な状
態となる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、熱交換器用
及び放電電極用の冷却媒質の入口ポート３４，４０また
は出口ポート３６，４２において冷却媒質が流通する筐
体１０は冷却媒質により室温状態から徐々に冷却媒質の
温度に近くなるように温度変動していく。この温度変動
の時定数は筐体１０の熱容量により決まり、レーザ発振
器の立上げ時間よりも長時間であり、レーザ発振器が準
備完了の状態になった後も徐々に変化していく。室温よ
り冷却媒質の温度が低い場合においては、図２７に示す
筐体１０の上面図に示した細かい斜線部の部分が入口ポ
ート３４，４０または出口ポート３６，４２からの熱伝
導により部分的に冷却される。すると、図２７に示すよ
うに、線膨張により上側（ダクト３側）の部分だけが収
縮し、筐体１０に歪が生じる。結果的に、筐体１０に支
持される基板２０ａ，２０ｂの位置が変化し、レーザ発
振した場合におけるレーザビームのポインティングが変
動してしまう。この現象は、レーザ発振器の立上げ時と
立下げ時に発生する時定数の比較的長いもので、筐体１
０の歪量は冷却媒質と周囲温度との温度差により決まる
ものである。以下、この現象を第１のモードの筐体歪と
称する。
及び放電電極用の冷却媒質の入口ポート３４，４０また
は出口ポート３６，４２において冷却媒質が流通する筐
体１０は冷却媒質により室温状態から徐々に冷却媒質の
温度に近くなるように温度変動していく。この温度変動
の時定数は筐体１０の熱容量により決まり、レーザ発振
器の立上げ時間よりも長時間であり、レーザ発振器が準
備完了の状態になった後も徐々に変化していく。室温よ
り冷却媒質の温度が低い場合においては、図２７に示す
筐体１０の上面図に示した細かい斜線部の部分が入口ポ
ート３４，４０または出口ポート３６，４２からの熱伝
導により部分的に冷却される。すると、図２７に示すよ
うに、線膨張により上側（ダクト３側）の部分だけが収
縮し、筐体１０に歪が生じる。結果的に、筐体１０に支
持される基板２０ａ，２０ｂの位置が変化し、レーザ発
振した場合におけるレーザビームのポインティングが変
動してしまう。この現象は、レーザ発振器の立上げ時と
立下げ時に発生する時定数の比較的長いもので、筐体１
０の歪量は冷却媒質と周囲温度との温度差により決まる
ものである。以下、この現象を第１のモードの筐体歪と
称する。
【０００９】また、レーザ発振器を動作させると一対の
放電電極４ａ，４ｂを通過した高温のレーザ媒質ガスが
ダクト３内を流れるために、ダクト３が高温となり、高
温となったダクト３からの熱輻射によりダクト３に近接
した筐体１０が入熱を受け、ダクト３に面した筐体１０
の温度が徐々に上昇して線膨張により膨張する。このた
め、図２８の筐体１０の上面図に示すように筐体１０に
歪が生じる。結果的には、筐体１０に支持される基板２
０ａ，２０ｂの位置が徐々に変化し、レーザ発振した場
合におけるレーザビームのポインティングが変動してし
まう。この現象は、レーザ発振器の動作のＯＮ・ＯＦＦ
により発生する時定数の比較的長いもので、筐体１０の
歪量は放電入力の大きさにより決まるものである。以
下、この現象を第２のモードの筐体歪と称する。
放電電極４ａ，４ｂを通過した高温のレーザ媒質ガスが
ダクト３内を流れるために、ダクト３が高温となり、高
温となったダクト３からの熱輻射によりダクト３に近接
した筐体１０が入熱を受け、ダクト３に面した筐体１０
の温度が徐々に上昇して線膨張により膨張する。このた
め、図２８の筐体１０の上面図に示すように筐体１０に
歪が生じる。結果的には、筐体１０に支持される基板２
０ａ，２０ｂの位置が徐々に変化し、レーザ発振した場
合におけるレーザビームのポインティングが変動してし
まう。この現象は、レーザ発振器の動作のＯＮ・ＯＦＦ
により発生する時定数の比較的長いもので、筐体１０の
歪量は放電入力の大きさにより決まるものである。以
下、この現象を第２のモードの筐体歪と称する。
【００１０】従来装置では、３本の支持棒の支持方法が
両側の基板２０ａ，２０ｂ共に同じであり、従来の支持
方法では筐体１０と３本の支持棒２４ａ，２４ｂ，２４
ｃに固定された２枚の基板２０ａ，２０ｂとの相対位置
関係を機械的に決める要素がなかった。即ち、支持棒２
４ａは、図２５に示すように、球面軸受１４の内面をス
ライド可能であり、支持棒２４ｂは、図２６に示すよう
に、カラー１７により機械的に位置の定められた転がり
軸受１１とブラケット１２の間でスライド可能であるか
らである。したがって、輸送時等に大きな加速度が加わ
ると上記スライド部がスライドしてしまい、支持棒２４
ａの段付部とハウジング１３や支持棒２４ｂの段付部と
ブラケット１２が接触する状態が生じ、接触前は互いに
無関係であった筐体１０と基板２０ａが上述の接触によ
り筐体１０からの歪力を直接受けるようになる。このた
め、基板２０ａ，２０ｂは、筐体１０の大きな変化の影
響をまともに受けるようになり、レーザビームのポイン
ティングの再現性の欠如の要因となっていた。
両側の基板２０ａ，２０ｂ共に同じであり、従来の支持
方法では筐体１０と３本の支持棒２４ａ，２４ｂ，２４
ｃに固定された２枚の基板２０ａ，２０ｂとの相対位置
関係を機械的に決める要素がなかった。即ち、支持棒２
４ａは、図２５に示すように、球面軸受１４の内面をス
ライド可能であり、支持棒２４ｂは、図２６に示すよう
に、カラー１７により機械的に位置の定められた転がり
軸受１１とブラケット１２の間でスライド可能であるか
らである。したがって、輸送時等に大きな加速度が加わ
ると上記スライド部がスライドしてしまい、支持棒２４
ａの段付部とハウジング１３や支持棒２４ｂの段付部と
ブラケット１２が接触する状態が生じ、接触前は互いに
無関係であった筐体１０と基板２０ａが上述の接触によ
り筐体１０からの歪力を直接受けるようになる。このた
め、基板２０ａ，２０ｂは、筐体１０の大きな変化の影
響をまともに受けるようになり、レーザビームのポイン
ティングの再現性の欠如の要因となっていた。
【００１１】また、前述のような第１のモードの筐体歪
または第２のモードの筐体歪が発生すると、支持棒２４
ａを支持する筐体１０に固定された２つの球面軸受１４
間の距離が筐体１０の温度変化による線膨張（または収
縮）により相対的に変化するため、２つの球面軸受１４
のどちらかの接触面で支持棒２４ａが滑りを生じる必要
がある。ここで、基板２０ａ側が滑るか基板２０ｂ側が
滑るかはその時の摩擦係数の少ない方が滑るので不確定
である。しかも、筐体歪が元に戻ったときに筐体歪の発
生時に滑った側が同じだけ滑りを生じる保証がなく、レ
ーザ発振器の立上げや立下げ、レーザ動作のＯＮ・ＯＦ
Ｆを繰返すことによる筐体１０と基板２０ａ，２０ｂと
の相対位置の再現性がないため、いつかは支持棒２４ａ
の段付部とハウジング１３や支持棒２４ｂの段付部とブ
ラケット１２が接触してしまう可能性があり、接触によ
るレーザビームのポインティングの再現性の欠如の要因
となっていた。
または第２のモードの筐体歪が発生すると、支持棒２４
ａを支持する筐体１０に固定された２つの球面軸受１４
間の距離が筐体１０の温度変化による線膨張（または収
縮）により相対的に変化するため、２つの球面軸受１４
のどちらかの接触面で支持棒２４ａが滑りを生じる必要
がある。ここで、基板２０ａ側が滑るか基板２０ｂ側が
滑るかはその時の摩擦係数の少ない方が滑るので不確定
である。しかも、筐体歪が元に戻ったときに筐体歪の発
生時に滑った側が同じだけ滑りを生じる保証がなく、レ
ーザ発振器の立上げや立下げ、レーザ動作のＯＮ・ＯＦ
Ｆを繰返すことによる筐体１０と基板２０ａ，２０ｂと
の相対位置の再現性がないため、いつかは支持棒２４ａ
の段付部とハウジング１３や支持棒２４ｂの段付部とブ
ラケット１２が接触してしまう可能性があり、接触によ
るレーザビームのポインティングの再現性の欠如の要因
となっていた。
【００１２】また、従来、共振器ミラー同士の平行性が
保たれれば、レーザ動作時のレーザビームの特性は変わ
らないと考えられていたが、相対する共振器ミラー、即
ち、２枚の基板２０ａ，２０ｂと筐体１０との相対位置
関係がずれていくとレーザビームのビームモードや集光
性能といった特性が若干ながら変化することが分かっ
た。輸送等による振動や、第１のモードの筐体歪または
第２のモードの筐体歪の発生・除去の繰返しにより、通
常、鉄等の金属で構成された筐体１０と低線膨張材質で
構成された支持棒２４ａ，２４ｂ，２４ｃとの長さの変
化がその都度生じるが、元の状態に戻った時に必ずしも
基板２０ａ，２０ｂと筐体１０との相対位置が元通りに
なるとは限らず、経時的に徐々に相対位置のずれが大き
くなってしまうという事態が生じる場合がある。このた
め、レーザビーム特性の経時変化が生じることがあり、
例えば、レーザ発振器を高精度なレーザ加工に使用する
場合等に徐々に加工結果が変化してしまう不具合が発生
していた。
保たれれば、レーザ動作時のレーザビームの特性は変わ
らないと考えられていたが、相対する共振器ミラー、即
ち、２枚の基板２０ａ，２０ｂと筐体１０との相対位置
関係がずれていくとレーザビームのビームモードや集光
性能といった特性が若干ながら変化することが分かっ
た。輸送等による振動や、第１のモードの筐体歪または
第２のモードの筐体歪の発生・除去の繰返しにより、通
常、鉄等の金属で構成された筐体１０と低線膨張材質で
構成された支持棒２４ａ，２４ｂ，２４ｃとの長さの変
化がその都度生じるが、元の状態に戻った時に必ずしも
基板２０ａ，２０ｂと筐体１０との相対位置が元通りに
なるとは限らず、経時的に徐々に相対位置のずれが大き
くなってしまうという事態が生じる場合がある。このた
め、レーザビーム特性の経時変化が生じることがあり、
例えば、レーザ発振器を高精度なレーザ加工に使用する
場合等に徐々に加工結果が変化してしまう不具合が発生
していた。
【００１３】従来のレーザ発振器は、上述したような構
成からなり、レーザ発振器の立上げ時や運転時におい
て、筐体１０の熱歪によりレーザビームのポインティン
グ安定性が低下するという不具合があった。
成からなり、レーザ発振器の立上げ時や運転時におい
て、筐体１０の熱歪によりレーザビームのポインティン
グ安定性が低下するという不具合があった。
【００１４】そこで、この発明は、かかる不具合を解決
するためになされたもので、筐体の熱歪の影響を低減
し、レーザビームのポインティングの安定したレーザ発
振器の提供を課題としている。
するためになされたもので、筐体の熱歪の影響を低減
し、レーザビームのポインティングの安定したレーザ発
振器の提供を課題としている。
【００１５】
【課題を解決するための手段】請求項１にかかるレーザ
発振器は、レーザ媒質ガスを封入する筐体と、前記筐体
内で対向して配設され、前記レーザ媒質ガスを用いてレ
ーザビームを発振させる一対の放電電極と、前記レーザ
媒質ガスを前記筐体内で循環する循環手段と、前記筐体
内に配設され、前記放電電極で発生する放電にて高温と
なった前記レーザ媒質ガスを冷却する熱交換器と、前記
筐体に配設され、前記熱交換器に冷却媒質を供給・排出
する熱交換器用入口ポート及び熱交換器用出口ポートと
を具備し、前記熱交換器用入口ポートと前記熱交換器用
出口ポートとの互いの位置関係を前記筐体への取付面に
対する垂直方向からみて前記放電電極に平行な前記筐体
の中心線に対してほぼ線対称とするものである。
発振器は、レーザ媒質ガスを封入する筐体と、前記筐体
内で対向して配設され、前記レーザ媒質ガスを用いてレ
ーザビームを発振させる一対の放電電極と、前記レーザ
媒質ガスを前記筐体内で循環する循環手段と、前記筐体
内に配設され、前記放電電極で発生する放電にて高温と
なった前記レーザ媒質ガスを冷却する熱交換器と、前記
筐体に配設され、前記熱交換器に冷却媒質を供給・排出
する熱交換器用入口ポート及び熱交換器用出口ポートと
を具備し、前記熱交換器用入口ポートと前記熱交換器用
出口ポートとの互いの位置関係を前記筐体への取付面に
対する垂直方向からみて前記放電電極に平行な前記筐体
の中心線に対してほぼ線対称とするものである。
【００１６】請求項２にかかるレーザ発振器は、請求項
１の具備する手段に加えて、前記熱交換器用入口ポート
と前記熱交換器用出口ポートとの互いの位置関係が、前
記筐体への取付面に対する垂直方向からみて前記放電電
極に平行な前記筐体の中心線に対してほぼ線対称でコ−
ナ部とするものである。
１の具備する手段に加えて、前記熱交換器用入口ポート
と前記熱交換器用出口ポートとの互いの位置関係が、前
記筐体への取付面に対する垂直方向からみて前記放電電
極に平行な前記筐体の中心線に対してほぼ線対称でコ−
ナ部とするものである。
【００１７】請求項３にかかるレーザ発振器は、レーザ
媒質ガスを封入する筐体と、前記筐体内で対向して配設
され、前記レーザ媒質ガスを用いてレーザビームを発振
させる一対の放電電極と、前記レーザ媒質ガスを前記筐
体内で循環する循環手段と、前記筐体内に配設され、前
記放電電極で発生する放電にて高温となった前記レーザ
媒質ガスを冷却する複数の熱交換器とを具備し、前記複
数の熱交換器の互いの位置関係を前記筐体への取付面に
対する垂直方向からみて前記筐体の中心に対してほぼ点
対称とするものである。
媒質ガスを封入する筐体と、前記筐体内で対向して配設
され、前記レーザ媒質ガスを用いてレーザビームを発振
させる一対の放電電極と、前記レーザ媒質ガスを前記筐
体内で循環する循環手段と、前記筐体内に配設され、前
記放電電極で発生する放電にて高温となった前記レーザ
媒質ガスを冷却する複数の熱交換器とを具備し、前記複
数の熱交換器の互いの位置関係を前記筐体への取付面に
対する垂直方向からみて前記筐体の中心に対してほぼ点
対称とするものである。
【００１８】請求項４にかかるレーザ発振器は、請求項
３の具備する手段に加えて、前記複数の熱交換器の互い
の位置関係が、前記筐体への取付面に対する垂直方向か
らみて前記筐体の中心に対してほぼ点対称で前記筐体内
の前記レーザ媒質ガスの循環を妨げない位置とするもの
である。
３の具備する手段に加えて、前記複数の熱交換器の互い
の位置関係が、前記筐体への取付面に対する垂直方向か
らみて前記筐体の中心に対してほぼ点対称で前記筐体内
の前記レーザ媒質ガスの循環を妨げない位置とするもの
である。
【００１９】請求項５にかかるレーザ発振器は、レーザ
媒質ガスを封入する筐体と、前記筐体内で対向して配設
され、前記レーザ媒質ガスを用いてレーザビームを発振
させる一対の放電電極と、前記レーザ媒質ガスを前記筐
体内で循環する循環手段と、前記筐体に配設され、前記
放電電極で発生する放電にて高温となった前記放電電極
を冷却する冷却媒質を供給・排出する放電電極用入口ポ
ート及び放電電極用出口ポートとを具備し、前記放電電
極用入口ポートと前記放電電極用出口ポートとの互いの
位置関係を前記筐体への取付面に対する垂直方向からみ
て前記放電電極に平行な前記筐体の中心線に対してほぼ
線対称とするものである。
媒質ガスを封入する筐体と、前記筐体内で対向して配設
され、前記レーザ媒質ガスを用いてレーザビームを発振
させる一対の放電電極と、前記レーザ媒質ガスを前記筐
体内で循環する循環手段と、前記筐体に配設され、前記
放電電極で発生する放電にて高温となった前記放電電極
を冷却する冷却媒質を供給・排出する放電電極用入口ポ
ート及び放電電極用出口ポートとを具備し、前記放電電
極用入口ポートと前記放電電極用出口ポートとの互いの
位置関係を前記筐体への取付面に対する垂直方向からみ
て前記放電電極に平行な前記筐体の中心線に対してほぼ
線対称とするものである。
【００２０】請求項６にかかるレーザ発振器は、請求項
５の具備する手段に加えて、前記放電電極用入口ポート
と前記放電電極用出口ポートとの互いの位置関係が、前
記筐体への取付面に対する垂直方向からみて前記放電電
極に平行な前記筐体の中心線に対してほぼ線対称でコ−
ナ部とするものである。
５の具備する手段に加えて、前記放電電極用入口ポート
と前記放電電極用出口ポートとの互いの位置関係が、前
記筐体への取付面に対する垂直方向からみて前記放電電
極に平行な前記筐体の中心線に対してほぼ線対称でコ−
ナ部とするものである。
【００２１】請求項７にかかるレーザ発振器は、レーザ
媒質ガスを封入する筐体と、前記筐体内で対向して配設
され、前記レーザ媒質ガスを用いてレーザビームを発振
させる一対の放電電極と、前記レーザ媒質ガスを前記筐
体内で循環する循環手段と、前記筐体内に配設され、前
記放電電極で発生する放電にて高温となった前記レーザ
媒質ガスを冷却する熱交換器と、前記筐体に配設され、
前記熱交換器に冷却媒質を供給・排出する熱交換器用入
口ポート及び熱交換器用出口ポートと、前記熱交換器用
入口ポート及び前記熱交換器用出口ポートに熱絶縁性部
材を介して固定され、前記冷却媒質を流通する流路形成
部材とを具備するものである。
媒質ガスを封入する筐体と、前記筐体内で対向して配設
され、前記レーザ媒質ガスを用いてレーザビームを発振
させる一対の放電電極と、前記レーザ媒質ガスを前記筐
体内で循環する循環手段と、前記筐体内に配設され、前
記放電電極で発生する放電にて高温となった前記レーザ
媒質ガスを冷却する熱交換器と、前記筐体に配設され、
前記熱交換器に冷却媒質を供給・排出する熱交換器用入
口ポート及び熱交換器用出口ポートと、前記熱交換器用
入口ポート及び前記熱交換器用出口ポートに熱絶縁性部
材を介して固定され、前記冷却媒質を流通する流路形成
部材とを具備するものである。
【００２２】請求項８にかかるレーザ発振器は、レーザ
媒質ガスを封入する筐体と、前記筐体内で対向して配設
され、前記レーザ媒質ガスを用いてレーザビームを発振
させる一対の放電電極と、前記レーザ媒質ガスを前記筐
体内で循環する循環手段と、前記筐体に配設され、前記
放電電極で発生する放電にて高温となった前記放電電極
を冷却する冷却媒質を供給・排出する放電電極用入口ポ
ート及び放電電極用出口ポートと、前記放電電極用入口
ポート及び前記放電電極用出口ポートに熱絶縁性部材を
介して固定され、前記冷却媒質を流通する流路形成部材
とを具備するものである。
媒質ガスを封入する筐体と、前記筐体内で対向して配設
され、前記レーザ媒質ガスを用いてレーザビームを発振
させる一対の放電電極と、前記レーザ媒質ガスを前記筐
体内で循環する循環手段と、前記筐体に配設され、前記
放電電極で発生する放電にて高温となった前記放電電極
を冷却する冷却媒質を供給・排出する放電電極用入口ポ
ート及び放電電極用出口ポートと、前記放電電極用入口
ポート及び前記放電電極用出口ポートに熱絶縁性部材を
介して固定され、前記冷却媒質を流通する流路形成部材
とを具備するものである。
【００２３】請求項９にかかるレーザ発振器は、請求項
７または請求項８の具備する手段に加えて、前記流路形
成部材が、少なくとも前記筐体に封入された前記レーザ
媒質ガスに曝される部分を前記レーザ媒質ガスで侵され
ない材料で形成するものである。
７または請求項８の具備する手段に加えて、前記流路形
成部材が、少なくとも前記筐体に封入された前記レーザ
媒質ガスに曝される部分を前記レーザ媒質ガスで侵され
ない材料で形成するものである。
【００２４】請求項１０にかかるレーザ発振器は、請求
項９の具備する手段に加えて、前記流路形成部材の形成
材料を、金属、フッ素系樹脂またはセラミックスとする
ものである。
項９の具備する手段に加えて、前記流路形成部材の形成
材料を、金属、フッ素系樹脂またはセラミックスとする
ものである。
【００２５】請求項１１にかかるレーザ発振器は、レー
ザ媒質ガスを封入する筐体と、複数の支持棒に挿嵌され
る支持部材を介して前記筐体に支持される一対の対向す
る基板に複数のレーザ反射ミラーを配設するレーザビー
ム反射手段と、前記支持部材のほぼ真下に位置して前記
筐体に配設され、前記筐体を他の構造物に固定する固定
座とを具備するものである。
ザ媒質ガスを封入する筐体と、複数の支持棒に挿嵌され
る支持部材を介して前記筐体に支持される一対の対向す
る基板に複数のレーザ反射ミラーを配設するレーザビー
ム反射手段と、前記支持部材のほぼ真下に位置して前記
筐体に配設され、前記筐体を他の構造物に固定する固定
座とを具備するものである。
【００２６】請求項１２にかかるレーザ発振器は、請求
項１１の具備する手段に加えて、前記固定座を、前記筐
体の長手方向のほぼ端部に位置して配設するものであ
る。
項１１の具備する手段に加えて、前記固定座を、前記筐
体の長手方向のほぼ端部に位置して配設するものであ
る。
【００２７】請求項１３にかかるレーザ発振器は、レー
ザ媒質ガスを封入する筐体と、複数の支持棒に挿嵌され
る支持部材を介して前記筐体に支持される一対の対向す
る基板に複数のレーザ反射ミラーを配設するレーザビー
ム反射手段とを具備し、前記支持部材は一対の軸受に前
記支持棒が貫通されると共に、前記一対の軸受のうち一
方の軸受と前記支持棒との相対位置関係を機械的に決定
するものである。
ザ媒質ガスを封入する筐体と、複数の支持棒に挿嵌され
る支持部材を介して前記筐体に支持される一対の対向す
る基板に複数のレーザ反射ミラーを配設するレーザビー
ム反射手段とを具備し、前記支持部材は一対の軸受に前
記支持棒が貫通されると共に、前記一対の軸受のうち一
方の軸受と前記支持棒との相対位置関係を機械的に決定
するものである。
【００２８】請求項１４にかかるレーザ発振器は、請求
項１３の具備する手段に加えて、前記軸受と前記支持棒
との相対位置関係を、前記軸受に弾性部材を介して前記
支持棒の段差部に押付け機械的に決定するものである。
項１３の具備する手段に加えて、前記軸受と前記支持棒
との相対位置関係を、前記軸受に弾性部材を介して前記
支持棒の段差部に押付け機械的に決定するものである。
【００２９】請求項１５にかかるレーザ発振器は、レー
ザ媒質ガスを封入する筐体と、複数の支持棒に挿嵌され
る支持部材を介して前記筐体に支持される一対の対向す
る基板に複数のレーザ反射ミラーを配設するレーザビー
ム反射手段とを具備し、前記支持部材は一対の球面軸受
に前記支持棒が貫通されると共に、前記一対の球面軸受
のうち一方の球面軸受の片側を前記支持棒の段差部、反
対側を弾性部材にて押さえることで前記球面軸受と前記
支持棒との相対位置関係を機械的に決定するものであ
る。
ザ媒質ガスを封入する筐体と、複数の支持棒に挿嵌され
る支持部材を介して前記筐体に支持される一対の対向す
る基板に複数のレーザ反射ミラーを配設するレーザビー
ム反射手段とを具備し、前記支持部材は一対の球面軸受
に前記支持棒が貫通されると共に、前記一対の球面軸受
のうち一方の球面軸受の片側を前記支持棒の段差部、反
対側を弾性部材にて押さえることで前記球面軸受と前記
支持棒との相対位置関係を機械的に決定するものであ
る。
【００３０】請求項１６にかかるレーザ発振器は、請求
項１３または請求項１５の具備する手段に加えて、前記
軸受または前記球面軸受と前記支持棒との相対位置関係
を、前記軸受または前記球面軸受にバネを介して前記支
持棒の段差部に押付け機械的に決定するものである。
項１３または請求項１５の具備する手段に加えて、前記
軸受または前記球面軸受と前記支持棒との相対位置関係
を、前記軸受または前記球面軸受にバネを介して前記支
持棒の段差部に押付け機械的に決定するものである。
【００３１】請求項１７にかかるレーザ発振器は、レー
ザ媒質ガスを封入する筐体と、前記筐体内で対向して配
設され、前記レーザ媒質ガスを用いてレーザビームを発
振させる一対の放電電極と、前記レーザ媒質ガスを前記
筐体内で循環する循環手段と、前記筐体内に配設され、
前記放電電極で発生する放電にて高温となった前記レー
ザ媒質ガスを冷却する複数の熱交換器とを具備し、前記
複数の熱交換器の互いの位置関係を前記筐体への取付面
に対する垂直方向からみて前記筐体の中心に対してほぼ
点対称とすると共に、更に、前記筐体の長手方向のほぼ
端部に位置して配設され、前記筐体を他の構造物に固定
する固定座を具備するものである。
ザ媒質ガスを封入する筐体と、前記筐体内で対向して配
設され、前記レーザ媒質ガスを用いてレーザビームを発
振させる一対の放電電極と、前記レーザ媒質ガスを前記
筐体内で循環する循環手段と、前記筐体内に配設され、
前記放電電極で発生する放電にて高温となった前記レー
ザ媒質ガスを冷却する複数の熱交換器とを具備し、前記
複数の熱交換器の互いの位置関係を前記筐体への取付面
に対する垂直方向からみて前記筐体の中心に対してほぼ
点対称とすると共に、更に、前記筐体の長手方向のほぼ
端部に位置して配設され、前記筐体を他の構造物に固定
する固定座を具備するものである。
【００３２】請求項１８にかかるレーザ発振器は、レー
ザ媒質ガスを封入する筐体と、前記筐体内で対向して配
設され、前記レーザ媒質ガスを用いてレーザビームを発
振させる一対の放電電極と、前記レーザ媒質ガスを前記
筐体内で循環する循環手段と、前記筐体内に配設され、
前記放電電極で発生する放電にて高温となった前記レー
ザ媒質ガスを冷却する熱交換器と、前記筐体に配設さ
れ、前記熱交換器に冷却媒質を供給・排出する熱交換器
用入口ポート及び熱交換器用出口ポートとを具備し、前
記熱交換器用入口ポートと前記熱交換器用出口ポートと
の互いの位置関係で前記筐体への取付面に対する垂直方
向からみて前記放電電極に平行な前記筐体の中心線から
の距離をほぼ等しくすると共に、更に、前記筐体の長手
方向のほぼ端部に位置して配設され、前記筐体を他の構
造物に固定する固定座を具備するものである。
ザ媒質ガスを封入する筐体と、前記筐体内で対向して配
設され、前記レーザ媒質ガスを用いてレーザビームを発
振させる一対の放電電極と、前記レーザ媒質ガスを前記
筐体内で循環する循環手段と、前記筐体内に配設され、
前記放電電極で発生する放電にて高温となった前記レー
ザ媒質ガスを冷却する熱交換器と、前記筐体に配設さ
れ、前記熱交換器に冷却媒質を供給・排出する熱交換器
用入口ポート及び熱交換器用出口ポートとを具備し、前
記熱交換器用入口ポートと前記熱交換器用出口ポートと
の互いの位置関係で前記筐体への取付面に対する垂直方
向からみて前記放電電極に平行な前記筐体の中心線から
の距離をほぼ等しくすると共に、更に、前記筐体の長手
方向のほぼ端部に位置して配設され、前記筐体を他の構
造物に固定する固定座を具備するものである。
【００３３】請求項１９にかかるレーザ発振器は、レー
ザ媒質ガスを封入する筐体と、前記筐体内で対向して配
設され、前記レーザ媒質ガスを用いてレーザビームを発
振させる一対の放電電極と、前記レーザ媒質ガスを前記
筐体内で循環する循環手段と、前記筐体に配設され、前
記放電電極で発生する放電にて高温となった前記放電電
極を冷却する冷却媒質を供給・排出する放電電極用入口
ポート及び放電電極用出口ポートとを具備し、前記放電
電極用入口ポート及び前記放電電極用出口ポートとの互
いの位置関係で前記筐体への取付面に対する垂直方向か
らみて前記放電電極に平行な前記筐体の中心線からの距
離をほぼ等しくすると共に、更に、前記筐体の長手方向
のほぼ端部に位置して配設され、前記筐体を他の構造物
に固定する固定座を具備するものである。
ザ媒質ガスを封入する筐体と、前記筐体内で対向して配
設され、前記レーザ媒質ガスを用いてレーザビームを発
振させる一対の放電電極と、前記レーザ媒質ガスを前記
筐体内で循環する循環手段と、前記筐体に配設され、前
記放電電極で発生する放電にて高温となった前記放電電
極を冷却する冷却媒質を供給・排出する放電電極用入口
ポート及び放電電極用出口ポートとを具備し、前記放電
電極用入口ポート及び前記放電電極用出口ポートとの互
いの位置関係で前記筐体への取付面に対する垂直方向か
らみて前記放電電極に平行な前記筐体の中心線からの距
離をほぼ等しくすると共に、更に、前記筐体の長手方向
のほぼ端部に位置して配設され、前記筐体を他の構造物
に固定する固定座を具備するものである。
【００３４】
【作用】請求項１においては、筐体内で対向して配設さ
れた一対の放電電極で発生する放電にて高温となり循環
手段にて循環されるレーザ媒質ガスを冷却する熱交換器
に冷却媒質を供給・排出するため筐体には熱交換器用入
口ポート及び熱交換器用出口ポートが配設されている。
これら熱交換器用入口ポート及び熱交換器用出口ポート
は互いの位置関係が筐体への取付面に対する垂直方向か
らみて放電電極に平行な筐体の中心線に対してほぼ線対
称に配設されており、筐体がレーザビーム方向に左右同
条件で冷却されることとなる。
れた一対の放電電極で発生する放電にて高温となり循環
手段にて循環されるレーザ媒質ガスを冷却する熱交換器
に冷却媒質を供給・排出するため筐体には熱交換器用入
口ポート及び熱交換器用出口ポートが配設されている。
これら熱交換器用入口ポート及び熱交換器用出口ポート
は互いの位置関係が筐体への取付面に対する垂直方向か
らみて放電電極に平行な筐体の中心線に対してほぼ線対
称に配設されており、筐体がレーザビーム方向に左右同
条件で冷却されることとなる。
【００３５】請求項２においては、請求項１の作用に加
えて、熱交換器用入口ポート及び熱交換器用出口ポート
は互いの位置関係が筐体への取付面に対する垂直方向か
らみて放電電極に平行な筐体の中心線に対してほぼ線対
称でコ−ナ部に配設されており、筐体がレーザビーム方
向に左右同条件で冷却されると共に、熱交換器等の配置
の邪魔になることがない。
えて、熱交換器用入口ポート及び熱交換器用出口ポート
は互いの位置関係が筐体への取付面に対する垂直方向か
らみて放電電極に平行な筐体の中心線に対してほぼ線対
称でコ−ナ部に配設されており、筐体がレーザビーム方
向に左右同条件で冷却されると共に、熱交換器等の配置
の邪魔になることがない。
【００３６】請求項３においては、筐体内で対向して配
設された一対の放電電極で発生する放電にて高温となり
循環手段にて循環されるレーザ媒質ガスを冷却する複数
の熱交換器が配設されている。これら複数の熱交換器は
互いの位置関係が筐体への取付面に対する垂直方向から
みて筐体の中心に対してほぼ点対称に配設されており、
筐体がレーザビーム方向に左右同条件で冷却されること
となる。
設された一対の放電電極で発生する放電にて高温となり
循環手段にて循環されるレーザ媒質ガスを冷却する複数
の熱交換器が配設されている。これら複数の熱交換器は
互いの位置関係が筐体への取付面に対する垂直方向から
みて筐体の中心に対してほぼ点対称に配設されており、
筐体がレーザビーム方向に左右同条件で冷却されること
となる。
【００３７】請求項４においては、請求項３の作用に加
えて、複数の熱交換器は互いの位置関係が筐体への取付
面に対する垂直方向からみて筐体の中心に対してほぼ点
対称で筐体内のレーザ媒質ガスの循環を妨げない位置に
配設されており、筐体がレーザビーム方向に左右同条件
で冷却されると共に、循環されるレーザ媒質ガスは熱交
換器で効率良く冷却されることとなる。
えて、複数の熱交換器は互いの位置関係が筐体への取付
面に対する垂直方向からみて筐体の中心に対してほぼ点
対称で筐体内のレーザ媒質ガスの循環を妨げない位置に
配設されており、筐体がレーザビーム方向に左右同条件
で冷却されると共に、循環されるレーザ媒質ガスは熱交
換器で効率良く冷却されることとなる。
【００３８】請求項５においては、筐体内で対向して配
設された一対の放電電極で発生する放電にて高温となっ
た放電電極を冷却する冷却媒質を供給・排出するため筐
体には放電電極用入口ポート及び放電電極用出口ポート
が配設されている。これら放電電極用入口ポート及び放
電電極用出口ポートは互いの位置関係が筐体への取付面
に対する垂直方向からみて放電電極に平行な筐体の中心
線に対してほぼ線対称に配設されており、筐体がレーザ
ビーム方向に左右同条件で冷却されることとなる。
設された一対の放電電極で発生する放電にて高温となっ
た放電電極を冷却する冷却媒質を供給・排出するため筐
体には放電電極用入口ポート及び放電電極用出口ポート
が配設されている。これら放電電極用入口ポート及び放
電電極用出口ポートは互いの位置関係が筐体への取付面
に対する垂直方向からみて放電電極に平行な筐体の中心
線に対してほぼ線対称に配設されており、筐体がレーザ
ビーム方向に左右同条件で冷却されることとなる。
【００３９】請求項６においては、請求項５の作用に加
えて、放電電極用入口ポート及び放電電極用出口ポート
は互いの位置関係が筐体への取付面に対する垂直方向か
らみて放電電極に平行な筐体の中心線に対してほぼ線対
称でコ−ナ部に配設されており、筐体がレーザビーム方
向に左右同条件で冷却されると共に、熱交換器等の配置
の邪魔になることがない。
えて、放電電極用入口ポート及び放電電極用出口ポート
は互いの位置関係が筐体への取付面に対する垂直方向か
らみて放電電極に平行な筐体の中心線に対してほぼ線対
称でコ−ナ部に配設されており、筐体がレーザビーム方
向に左右同条件で冷却されると共に、熱交換器等の配置
の邪魔になることがない。
【００４０】請求項７においては、筐体内で対向して配
設された一対の放電電極で発生する放電にて高温となり
循環手段にて循環されるレーザ媒質ガスを冷却する熱交
換器に冷却媒質を供給・排出するため筐体には熱交換器
用入口ポート及び熱交換器用出口ポートが配設されてい
る。これら熱交換器用入口ポート及び熱交換器用出口ポ
ートと筐体との間には流路形成部材が熱絶縁性部材を介
して固定されており、筐体が直接的に冷却されることは
ない。
設された一対の放電電極で発生する放電にて高温となり
循環手段にて循環されるレーザ媒質ガスを冷却する熱交
換器に冷却媒質を供給・排出するため筐体には熱交換器
用入口ポート及び熱交換器用出口ポートが配設されてい
る。これら熱交換器用入口ポート及び熱交換器用出口ポ
ートと筐体との間には流路形成部材が熱絶縁性部材を介
して固定されており、筐体が直接的に冷却されることは
ない。
【００４１】請求項８においては、筐体内で対向して配
設された一対の放電電極で発生する放電にて高温となる
放電電極を冷却するための冷却媒質を供給・排出するた
め筐体には放電電極用入口ポート及び放電電極用出口ポ
ートが配設されている。これら放電電極用入口ポート及
び放電電極用出口ポートと筐体との間には流路形成部材
が熱絶縁性部材を介して固定されており、筐体が直接的
に冷却されることはない。
設された一対の放電電極で発生する放電にて高温となる
放電電極を冷却するための冷却媒質を供給・排出するた
め筐体には放電電極用入口ポート及び放電電極用出口ポ
ートが配設されている。これら放電電極用入口ポート及
び放電電極用出口ポートと筐体との間には流路形成部材
が熱絶縁性部材を介して固定されており、筐体が直接的
に冷却されることはない。
【００４２】請求項９においては、請求項７または請求
項８の作用に加えて、流路形成部材の少なくとも筐体に
封入されたレーザ媒質ガスに曝される部分がそのレーザ
媒質ガスに侵されても劣化またはひび割れしない材料で
形成されており、筐体内のレーザ媒質ガスが流路形成部
材から外部に洩れることはない。
項８の作用に加えて、流路形成部材の少なくとも筐体に
封入されたレーザ媒質ガスに曝される部分がそのレーザ
媒質ガスに侵されても劣化またはひび割れしない材料で
形成されており、筐体内のレーザ媒質ガスが流路形成部
材から外部に洩れることはない。
【００４３】請求項１０においては、請求項９の作用に
加えて、流路形成部材のレーザ媒質ガスに曝される部分
の形成材料が金属、フッ素系樹脂またはセラミックスと
されることで、流路形成部材は劣化またはひび割れする
ことなく、筐体内のレーザ媒質ガスが外部に洩れること
はない。
加えて、流路形成部材のレーザ媒質ガスに曝される部分
の形成材料が金属、フッ素系樹脂またはセラミックスと
されることで、流路形成部材は劣化またはひび割れする
ことなく、筐体内のレーザ媒質ガスが外部に洩れること
はない。
【００４４】請求項１１においては、一対の対向する基
板に複数のレーザ反射ミラーが配設されるレーザビーム
反射手段を筐体に支持する複数の支持棒に挿嵌される支
持部材のほぼ真下に筐体の固定座が位置するように配設
される。このため、筐体の熱歪の影響が基板に伝わり難
くなる。
板に複数のレーザ反射ミラーが配設されるレーザビーム
反射手段を筐体に支持する複数の支持棒に挿嵌される支
持部材のほぼ真下に筐体の固定座が位置するように配設
される。このため、筐体の熱歪の影響が基板に伝わり難
くなる。
【００４５】請求項１２においては、請求項１１の作用
に加えて、固定座が、支持部材のほぼ真下で筐体の長手
方向のほぼ端部に位置して配設されるため、筐体の熱歪
の影響が基板に伝わり難くなる。
に加えて、固定座が、支持部材のほぼ真下で筐体の長手
方向のほぼ端部に位置して配設されるため、筐体の熱歪
の影響が基板に伝わり難くなる。
【００４６】請求項１３においては、一対の対向する基
板に複数のレーザ反射ミラーが配設されるレーザビーム
反射手段を筐体に支持する複数の支持棒に支持部材が挿
嵌されている。この支持部材である一対の軸受のうち筐
体側に位置決めされる一方の軸受と基板に一体的な支持
棒との相対位置関係が機械的に決定される。このよう
に、軸受と支持棒との相対位置関係を保持させること
で、筐体の熱歪の影響が基板に伝わり難くなる。
板に複数のレーザ反射ミラーが配設されるレーザビーム
反射手段を筐体に支持する複数の支持棒に支持部材が挿
嵌されている。この支持部材である一対の軸受のうち筐
体側に位置決めされる一方の軸受と基板に一体的な支持
棒との相対位置関係が機械的に決定される。このよう
に、軸受と支持棒との相対位置関係を保持させること
で、筐体の熱歪の影響が基板に伝わり難くなる。
【００４７】請求項１４においては、請求項１３の作用
に加えて、軸受と支持棒との相対位置関係が、軸受に弾
性部材を介して支持棒の段差部に押付け保持させること
で、確実に位置決めされる。
に加えて、軸受と支持棒との相対位置関係が、軸受に弾
性部材を介して支持棒の段差部に押付け保持させること
で、確実に位置決めされる。
【００４８】請求項１５においては、一対の対向する基
板に複数のレーザ反射ミラーが配設されるレーザビーム
反射手段を筐体に支持する複数の支持棒に支持部材が挿
嵌されている。この支持部材である一対の球面軸受のう
ち一方の球面軸受の片側を支持棒の段差部、反対側を弾
性部材にて押さえることで、筐体側に位置決めされる球
面軸受と基板に一体的な支持棒との相対位置関係が機械
的に決定される。このように、軸受を球面軸受とするこ
とで、筐体側の捩じれをも吸収して支持棒に固定される
基板への筐体の熱歪の影響をなくすことができる。
板に複数のレーザ反射ミラーが配設されるレーザビーム
反射手段を筐体に支持する複数の支持棒に支持部材が挿
嵌されている。この支持部材である一対の球面軸受のう
ち一方の球面軸受の片側を支持棒の段差部、反対側を弾
性部材にて押さえることで、筐体側に位置決めされる球
面軸受と基板に一体的な支持棒との相対位置関係が機械
的に決定される。このように、軸受を球面軸受とするこ
とで、筐体側の捩じれをも吸収して支持棒に固定される
基板への筐体の熱歪の影響をなくすことができる。
【００４９】請求項１６においては、請求項１３または
請求項１５の作用に加えて、軸受または球面軸受と支持
棒との相対位置関係が、軸受または球面軸受にバネを介
して支持棒の段差部に押付け保持させることで、確実に
位置決めされる。
請求項１５の作用に加えて、軸受または球面軸受と支持
棒との相対位置関係が、軸受または球面軸受にバネを介
して支持棒の段差部に押付け保持させることで、確実に
位置決めされる。
【００５０】請求項１７においては、筐体内で対向して
配設された一対の放電電極で発生する放電にて高温とな
り循環手段にて循環されるレーザ媒質ガスを冷却する複
数の熱交換器が配設されている。これら複数の熱交換器
は互いの位置関係が筐体への取付面に対する垂直方向か
らみて筐体の中心に対してほぼ点対称に配設されてお
り、筐体はレーザビーム方向に左右同条件で冷却される
こととなる。また、筐体を他の堅固な構造物に固定する
固定座が筐体の長手方向のほぼ端部に位置するように配
設される。このため、筐体が熱歪の影響を受け難くな
る。
配設された一対の放電電極で発生する放電にて高温とな
り循環手段にて循環されるレーザ媒質ガスを冷却する複
数の熱交換器が配設されている。これら複数の熱交換器
は互いの位置関係が筐体への取付面に対する垂直方向か
らみて筐体の中心に対してほぼ点対称に配設されてお
り、筐体はレーザビーム方向に左右同条件で冷却される
こととなる。また、筐体を他の堅固な構造物に固定する
固定座が筐体の長手方向のほぼ端部に位置するように配
設される。このため、筐体が熱歪の影響を受け難くな
る。
【００５１】請求項１８においては、筐体内で対向して
配設された一対の放電電極で発生する放電にて高温とな
り循環手段にて循環されるレーザ媒質ガスを冷却する熱
交換器に冷却媒質を供給・排出するため筐体には熱交換
器用入口ポート及び熱交換器用出口ポートが配設されて
いる。これら熱交換器用入口ポート及び熱交換器用出口
ポートは互いの位置関係が筐体への取付面に対する垂直
方向からみて放電電極に平行な筐体の中心線からほぼ等
しい距離となるように配設されており、筐体はレーザビ
ーム方向に左右同条件で冷却されることとなる。また、
筐体を他の堅固な構造物に固定する固定座が筐体の長手
方向のほぼ端部に位置するように配設される。このた
め、筐体が熱歪の影響を受け難くなる。
配設された一対の放電電極で発生する放電にて高温とな
り循環手段にて循環されるレーザ媒質ガスを冷却する熱
交換器に冷却媒質を供給・排出するため筐体には熱交換
器用入口ポート及び熱交換器用出口ポートが配設されて
いる。これら熱交換器用入口ポート及び熱交換器用出口
ポートは互いの位置関係が筐体への取付面に対する垂直
方向からみて放電電極に平行な筐体の中心線からほぼ等
しい距離となるように配設されており、筐体はレーザビ
ーム方向に左右同条件で冷却されることとなる。また、
筐体を他の堅固な構造物に固定する固定座が筐体の長手
方向のほぼ端部に位置するように配設される。このた
め、筐体が熱歪の影響を受け難くなる。
【００５２】請求項１９においては、筐体内で対向して
配設された一対の放電電極で発生する放電にて高温とな
った放電電極を冷却する冷却媒質を供給・排出するため
筐体には放電電極用入口ポート及び放電電極用出口ポー
トが配設されている。これら放電電極用入口ポート及び
放電電極用出口ポートは互いの位置関係が筐体への取付
面に対する垂直方向からみて放電電極に平行な筐体の中
心線からほぼ等しい距離となるように配設されており、
筐体はレーザビーム方向に左右同条件で冷却されること
となる。また、筐体を他の堅固な構造物に固定する固定
座が筐体の長手方向のほぼ端部に位置するように配設さ
れる。このため、筐体が熱歪の影響を受け難くなる。
配設された一対の放電電極で発生する放電にて高温とな
った放電電極を冷却する冷却媒質を供給・排出するため
筐体には放電電極用入口ポート及び放電電極用出口ポー
トが配設されている。これら放電電極用入口ポート及び
放電電極用出口ポートは互いの位置関係が筐体への取付
面に対する垂直方向からみて放電電極に平行な筐体の中
心線からほぼ等しい距離となるように配設されており、
筐体はレーザビーム方向に左右同条件で冷却されること
となる。また、筐体を他の堅固な構造物に固定する固定
座が筐体の長手方向のほぼ端部に位置するように配設さ
れる。このため、筐体が熱歪の影響を受け難くなる。
【００５３】
【実施例】以下、本発明を具体的な実施例に基づいて説
明する。 実施例１．図１は本発明の第一実施例にかかるレーザ発
振器の構成を示す正面図、図２は図１の上面図である。
なお、レーザ発振器の全体構成は図２０に示す従来装置
と同様であり、その説明を省略する。また、図１及び図
２では、前述の図２１及び図２２に示す従来装置と同様
の構成または相当部分からなるものについては同一符号
及び同一記号を付してその詳細な説明を省略し、以下に
その相違点について述べる。
明する。 実施例１．図１は本発明の第一実施例にかかるレーザ発
振器の構成を示す正面図、図２は図１の上面図である。
なお、レーザ発振器の全体構成は図２０に示す従来装置
と同様であり、その説明を省略する。また、図１及び図
２では、前述の図２１及び図２２に示す従来装置と同様
の構成または相当部分からなるものについては同一符号
及び同一記号を付してその詳細な説明を省略し、以下に
その相違点について述べる。
【００５４】図１及び図２において、筐体１０に設けら
れた熱交換器用入口ポート３４から筐体１０内に導入さ
れた冷却媒質は配管３５を通って熱交換器８に供給さ
れ、配管３７を通って上面側からみて熱交換器用入口ポ
ート３４と放電電極４ａ，４ｂに平行な筐体１０の中心
線に対してほぼ線対称の位置に設けられた熱交換器用出
口ポート３６から再び筐体１０外へと排出される。
れた熱交換器用入口ポート３４から筐体１０内に導入さ
れた冷却媒質は配管３５を通って熱交換器８に供給さ
れ、配管３７を通って上面側からみて熱交換器用入口ポ
ート３４と放電電極４ａ，４ｂに平行な筐体１０の中心
線に対してほぼ線対称の位置に設けられた熱交換器用出
口ポート３６から再び筐体１０外へと排出される。
【００５５】次に、その動作について説明する。レーザ
発振器の準備動作において、熱交換器用入口ポート３４
及び熱交換器用出口ポート３６を介して冷却媒質が流通
する筐体１０は、従来装置と同様に、冷却媒質により室
温状態から徐々に冷却媒質の温度に近くなるように温度
変動していく。室温より冷却媒質の温度が低い場合にお
いて、図３の上面図に斜線で示す部分が熱交換器用入口
ポート３４及び熱交換器用出口ポート３６からの熱伝導
により部分的に冷却されるが、冷却媒質の流量は大きい
ので出入口温度はほとんど同一温度であり、図３の上側
（支持棒２４ａ，２４ｂ側）部分と下側（支持棒２４ｃ
側）部分で同じように線膨張による収縮が発生し、筐体
１０に曲げを生じさせるような歪が発生しない。つま
り、第１のモードの筐体歪の発生がなく、結果的に、筐
体１０に支持される基板２０ａ，２０ｂの位置が変化し
難くなり、レーザ発振した場合におけるレーザビームの
ポインティングが安定する。
発振器の準備動作において、熱交換器用入口ポート３４
及び熱交換器用出口ポート３６を介して冷却媒質が流通
する筐体１０は、従来装置と同様に、冷却媒質により室
温状態から徐々に冷却媒質の温度に近くなるように温度
変動していく。室温より冷却媒質の温度が低い場合にお
いて、図３の上面図に斜線で示す部分が熱交換器用入口
ポート３４及び熱交換器用出口ポート３６からの熱伝導
により部分的に冷却されるが、冷却媒質の流量は大きい
ので出入口温度はほとんど同一温度であり、図３の上側
（支持棒２４ａ，２４ｂ側）部分と下側（支持棒２４ｃ
側）部分で同じように線膨張による収縮が発生し、筐体
１０に曲げを生じさせるような歪が発生しない。つま
り、第１のモードの筐体歪の発生がなく、結果的に、筐
体１０に支持される基板２０ａ，２０ｂの位置が変化し
難くなり、レーザ発振した場合におけるレーザビームの
ポインティングが安定する。
【００５６】このように、本発明の第一実施例のレーザ
発振器は、レーザ媒質ガスを封入する筐体１０と、筐体
１０内で対向して配設され、前記レーザ媒質ガスを用い
てレーザビームを発振させる一対の放電電極４ａ，４ｂ
と、前記レーザ媒質ガスを筐体１０内で循環するブロワ
６にて達成される循環手段と、筐体１０内に配設され、
放電電極４ａ，４ｂで発生する放電にて高温となった前
記レーザ媒質ガスを冷却する熱交換器８と、筐体１０に
配設され、熱交換器８に冷却媒質を供給・排出する熱交
換器用入口ポート３４及び熱交換器用出口ポート３６と
を具備し、熱交換器用入口ポート３４と熱交換器用出口
ポート３６との互いの位置関係を筐体１０への取付面に
対する垂直方向からみて放電電極４ａ，４ｂに平行な筐
体１０の中心線に対してほぼ線対称とする実施例とする
ことができる。
発振器は、レーザ媒質ガスを封入する筐体１０と、筐体
１０内で対向して配設され、前記レーザ媒質ガスを用い
てレーザビームを発振させる一対の放電電極４ａ，４ｂ
と、前記レーザ媒質ガスを筐体１０内で循環するブロワ
６にて達成される循環手段と、筐体１０内に配設され、
放電電極４ａ，４ｂで発生する放電にて高温となった前
記レーザ媒質ガスを冷却する熱交換器８と、筐体１０に
配設され、熱交換器８に冷却媒質を供給・排出する熱交
換器用入口ポート３４及び熱交換器用出口ポート３６と
を具備し、熱交換器用入口ポート３４と熱交換器用出口
ポート３６との互いの位置関係を筐体１０への取付面に
対する垂直方向からみて放電電極４ａ，４ｂに平行な筐
体１０の中心線に対してほぼ線対称とする実施例とする
ことができる。
【００５７】したがって、筐体１０には熱交換器用入口
ポート３４及び熱交換器用出口ポート３６が互いの位置
関係を筐体１０への取付面に対する垂直方向からみて放
電電極４ａ，４ｂに平行な筐体１０の中心線に対してほ
ぼ線対称となるように配設されており、筐体１０はレー
ザビーム方向に左右同条件で冷却されることとなる。故
に、熱交換器用入口ポート３４と熱交換器用出口ポート
３６とにより冷却される筐体１０は熱歪による曲がりを
生じ難く、第１のモードの筐体歪の量を低減できる。
ポート３４及び熱交換器用出口ポート３６が互いの位置
関係を筐体１０への取付面に対する垂直方向からみて放
電電極４ａ，４ｂに平行な筐体１０の中心線に対してほ
ぼ線対称となるように配設されており、筐体１０はレー
ザビーム方向に左右同条件で冷却されることとなる。故
に、熱交換器用入口ポート３４と熱交換器用出口ポート
３６とにより冷却される筐体１０は熱歪による曲がりを
生じ難く、第１のモードの筐体歪の量を低減できる。
【００５８】また、本実施例のレーザ発振器は、熱交換
器用入口ポート３４と熱交換器用出口ポート３６との互
いの位置関係は、筐体１０への取付面に対する垂直方向
からみて放電電極４ａ，４ｂに平行な筐体１０の中心線
に対してほぼ線対称でコ−ナ部とする実施例とすること
ができる。
器用入口ポート３４と熱交換器用出口ポート３６との互
いの位置関係は、筐体１０への取付面に対する垂直方向
からみて放電電極４ａ，４ｂに平行な筐体１０の中心線
に対してほぼ線対称でコ−ナ部とする実施例とすること
ができる。
【００５９】したがって、筐体１０には熱交換器用入口
ポート３４及び熱交換器用出口ポート３６が互いの位置
関係を筐体１０への取付面に対する垂直方向からみて放
電電極４ａ，４ｂに平行な筐体１０の中心線に対してほ
ぼ線対称でコ−ナ部となるように配設されており、筐体
１０はレーザビーム方向に左右同条件で冷却されること
となる。故に、熱交換器用入口ポート３４と熱交換器用
出口ポート３６とにより冷却される筐体１０は熱歪によ
る曲がりを生じ難く、第１のモードの筐体歪の量を低減
できる。また、筐体１０内部における熱交換器８等の配
置の自由度が向上する。
ポート３４及び熱交換器用出口ポート３６が互いの位置
関係を筐体１０への取付面に対する垂直方向からみて放
電電極４ａ，４ｂに平行な筐体１０の中心線に対してほ
ぼ線対称でコ−ナ部となるように配設されており、筐体
１０はレーザビーム方向に左右同条件で冷却されること
となる。故に、熱交換器用入口ポート３４と熱交換器用
出口ポート３６とにより冷却される筐体１０は熱歪によ
る曲がりを生じ難く、第１のモードの筐体歪の量を低減
できる。また、筐体１０内部における熱交換器８等の配
置の自由度が向上する。
【００６０】実施例２．図４は本発明の第二実施例にか
かるレーザ発振器の構成を示す正面図、図５は図４の上
面図である。なお、レーザ発振器の全体構成は図２０に
示す従来装置と同様であり、その説明を省略する。ま
た、図４及び図５では、前述の図２１及び図２２に示す
従来装置と同様の構成または相当部分からなるものにつ
いては同一符号及び同一記号を付してその詳細な説明を
省略し、以下にその相違点について述べる。
かるレーザ発振器の構成を示す正面図、図５は図４の上
面図である。なお、レーザ発振器の全体構成は図２０に
示す従来装置と同様であり、その説明を省略する。ま
た、図４及び図５では、前述の図２１及び図２２に示す
従来装置と同様の構成または相当部分からなるものにつ
いては同一符号及び同一記号を付してその詳細な説明を
省略し、以下にその相違点について述べる。
【００６１】図４及び図５において、筐体１０内には上
側からみて筐体１０の中心に対してほぼ点対称の位置に
２個の熱交換器８ａ，８ｂと、それら２個の熱交換器８
ａ，８ｂに取付けられたダクト３ａ，３ｂが設けられて
いる。各熱交換器８ａ，８ｂに対して設けられた熱交換
器用入口ポート３４ａ，３４ｂから筐体１０内に導入さ
れた冷却媒質はそれぞれの配管３５ａ，３５ｂを通って
熱交換器８ａ，８ｂに供給され、それぞれの配管３７
ａ，３７ｂを通ってそれぞれの熱交換器８ａ，８ｂに対
して設けられた熱交換器用出口ポート３６ａ，３６ｂか
ら再び筐体１０外へと排出される。
側からみて筐体１０の中心に対してほぼ点対称の位置に
２個の熱交換器８ａ，８ｂと、それら２個の熱交換器８
ａ，８ｂに取付けられたダクト３ａ，３ｂが設けられて
いる。各熱交換器８ａ，８ｂに対して設けられた熱交換
器用入口ポート３４ａ，３４ｂから筐体１０内に導入さ
れた冷却媒質はそれぞれの配管３５ａ，３５ｂを通って
熱交換器８ａ，８ｂに供給され、それぞれの配管３７
ａ，３７ｂを通ってそれぞれの熱交換器８ａ，８ｂに対
して設けられた熱交換器用出口ポート３６ａ，３６ｂか
ら再び筐体１０外へと排出される。
【００６２】次に、その動作について説明する。レーザ
発振器を動作させると一対の放電電極４ａ，４ｂを通過
した高温のレーザ媒質ガスがダクト３ａ，３ｂ内を流れ
るために、従来装置と同様に、ダクト３ａ，３ｂが高温
となり、高温となったダクトからの熱輻射によりダクト
３ａ，３ｂに近接した筐体１０が入熱を受け、ダクト３
ａ，３ｂに面した筐体１０の温度が徐々に上昇して線膨
張により膨張する。また、上側からみて筐体１０の中心
に対してほぼ点対称の位置に設けられた２個の熱交換器
８ａ，８ｂに取付けられたダクト３ａ，３ｂも上側から
みて筐体１０の中心に対してほぼ点対称の位置に設けら
れている。このため、図６の上面図に波線で示す筐体１
０部分がダクト３ａ，３ｂからの熱輻射により熱される
が、上側部分と下側部分で同じように線膨張による膨張
が発生し、筐体１０に曲げを生じさせるような歪の発生
が減少する。つまり、第２のモードの筐体歪の低減が図
れ、結果的に、筐体１０に支持される基板２０ａ，２０
ｂの位置が変化し難くなり、レーザ発振した場合におけ
るレーザビームのポインティングが安定する。なお、本
実施例の構成は後述の第五実施例と組合わせることによ
り、最も効果的となるがこれについては第八実施例とし
て後述する。
発振器を動作させると一対の放電電極４ａ，４ｂを通過
した高温のレーザ媒質ガスがダクト３ａ，３ｂ内を流れ
るために、従来装置と同様に、ダクト３ａ，３ｂが高温
となり、高温となったダクトからの熱輻射によりダクト
３ａ，３ｂに近接した筐体１０が入熱を受け、ダクト３
ａ，３ｂに面した筐体１０の温度が徐々に上昇して線膨
張により膨張する。また、上側からみて筐体１０の中心
に対してほぼ点対称の位置に設けられた２個の熱交換器
８ａ，８ｂに取付けられたダクト３ａ，３ｂも上側から
みて筐体１０の中心に対してほぼ点対称の位置に設けら
れている。このため、図６の上面図に波線で示す筐体１
０部分がダクト３ａ，３ｂからの熱輻射により熱される
が、上側部分と下側部分で同じように線膨張による膨張
が発生し、筐体１０に曲げを生じさせるような歪の発生
が減少する。つまり、第２のモードの筐体歪の低減が図
れ、結果的に、筐体１０に支持される基板２０ａ，２０
ｂの位置が変化し難くなり、レーザ発振した場合におけ
るレーザビームのポインティングが安定する。なお、本
実施例の構成は後述の第五実施例と組合わせることによ
り、最も効果的となるがこれについては第八実施例とし
て後述する。
【００６３】このように、本発明の第二実施例のレーザ
発振器は、レーザ媒質ガスを封入する筐体１０と、筐体
１０内で対向して配設され、前記レーザ媒質ガスを用い
てレーザビームを発振させる一対の放電電極４ａ，４ｂ
と、前記レーザ媒質ガスを筐体１０内で循環するブロワ
６ａ，６ｂにて達成される循環手段と、筐体１０内に配
設され、放電電極４ａ，４ｂで発生する放電にて高温と
なった前記レーザ媒質ガスを冷却する複数の熱交換器８
ａ，８ｂとを具備し、複数の熱交換器８ａ，８ｂの互い
の位置関係を筐体１０への取付面に対する垂直方向から
みて筐体１０の中心に対してほぼ点対称とする実施例と
することができる。
発振器は、レーザ媒質ガスを封入する筐体１０と、筐体
１０内で対向して配設され、前記レーザ媒質ガスを用い
てレーザビームを発振させる一対の放電電極４ａ，４ｂ
と、前記レーザ媒質ガスを筐体１０内で循環するブロワ
６ａ，６ｂにて達成される循環手段と、筐体１０内に配
設され、放電電極４ａ，４ｂで発生する放電にて高温と
なった前記レーザ媒質ガスを冷却する複数の熱交換器８
ａ，８ｂとを具備し、複数の熱交換器８ａ，８ｂの互い
の位置関係を筐体１０への取付面に対する垂直方向から
みて筐体１０の中心に対してほぼ点対称とする実施例と
することができる。
【００６４】したがって、筐体１０には複数の熱交換器
８ａ，８ｂが互いの位置関係を筐体１０への取付面に対
する垂直方向からみて筐体１０の中心に対してほぼ点対
称となるように配設されており、筐体１０はレーザビー
ム方向に左右同条件で冷却されることとなる。故に、複
数の熱交換器８ａ，８ｂにより輻射熱を受ける筐体１０
は熱歪による曲がりを生じ難く、第２のモードの筐体歪
の量を低減できる。
８ａ，８ｂが互いの位置関係を筐体１０への取付面に対
する垂直方向からみて筐体１０の中心に対してほぼ点対
称となるように配設されており、筐体１０はレーザビー
ム方向に左右同条件で冷却されることとなる。故に、複
数の熱交換器８ａ，８ｂにより輻射熱を受ける筐体１０
は熱歪による曲がりを生じ難く、第２のモードの筐体歪
の量を低減できる。
【００６５】また、本実施例のレーザ発振器は、複数の
熱交換器８ａ，８ｂの互いの位置関係は、筐体１０への
取付面に対する垂直方向からみて筐体１０の中心に対し
てほぼ点対称で筐体１０内の前記レーザ媒質ガスの循環
を妨げない位置とする実施例とすることができる。
熱交換器８ａ，８ｂの互いの位置関係は、筐体１０への
取付面に対する垂直方向からみて筐体１０の中心に対し
てほぼ点対称で筐体１０内の前記レーザ媒質ガスの循環
を妨げない位置とする実施例とすることができる。
【００６６】したがって、筐体１０には複数の熱交換器
８ａ，８ｂが互いの位置関係を筐体１０への取付面に対
する垂直方向からみて筐体１０の中心に対してほぼ点対
称で筐体１０内のレーザ媒質ガスの循環を妨げない位置
となるように配設されており、筐体１０はレーザビーム
方向に左右同条件で冷却されることとなる。故に、複数
の熱交換器８ａ，８ｂにより輻射熱を受ける筐体１０は
熱歪による曲がりを生じ難く、第２のモードの筐体歪の
量を低減できる。また、筐体１０内を循環されるレーザ
媒質ガスが熱交換器８ａ，８ｂで効率良く冷却できる。
８ａ，８ｂが互いの位置関係を筐体１０への取付面に対
する垂直方向からみて筐体１０の中心に対してほぼ点対
称で筐体１０内のレーザ媒質ガスの循環を妨げない位置
となるように配設されており、筐体１０はレーザビーム
方向に左右同条件で冷却されることとなる。故に、複数
の熱交換器８ａ，８ｂにより輻射熱を受ける筐体１０は
熱歪による曲がりを生じ難く、第２のモードの筐体歪の
量を低減できる。また、筐体１０内を循環されるレーザ
媒質ガスが熱交換器８ａ，８ｂで効率良く冷却できる。
【００６７】実施例３．図１は本発明の第三実施例にか
かるレーザ発振器の構成を示す正面図、図２は図１の上
面図である。なお、レーザ発振器の全体構成は図２０に
示す従来装置と同様であり、その説明を省略する。ま
た、図１及び図２では、前述の図２１及び図２２に示す
従来装置と同様の構成または相当部分からなるものにつ
いては同一符号及び同一記号を付してその詳細な説明を
省略し、以下にその相違点について述べる。
かるレーザ発振器の構成を示す正面図、図２は図１の上
面図である。なお、レーザ発振器の全体構成は図２０に
示す従来装置と同様であり、その説明を省略する。ま
た、図１及び図２では、前述の図２１及び図２２に示す
従来装置と同様の構成または相当部分からなるものにつ
いては同一符号及び同一記号を付してその詳細な説明を
省略し、以下にその相違点について述べる。
【００６８】図１及び図２において、筐体１０に設けら
れた放電電極用入口ポート４０から筐体１０内に導入さ
れた冷却媒質は配管４１を通って上側の放電電極４ａに
入り、配管４５を通って下側の放電電極４ｂに入ったの
ち、配管４３を通って上面側からみて放電電極用入口ポ
ート４０と放電電極４ａ，４ｂに平行な筐体１０の中心
線に対してほぼ線対称の位置に設けられた放電電極用出
口ポート４２から再び筐体１０外へと排出される。
れた放電電極用入口ポート４０から筐体１０内に導入さ
れた冷却媒質は配管４１を通って上側の放電電極４ａに
入り、配管４５を通って下側の放電電極４ｂに入ったの
ち、配管４３を通って上面側からみて放電電極用入口ポ
ート４０と放電電極４ａ，４ｂに平行な筐体１０の中心
線に対してほぼ線対称の位置に設けられた放電電極用出
口ポート４２から再び筐体１０外へと排出される。
【００６９】次に、その動作について説明する。レーザ
発振器の準備動作において、放電電極用入口ポート４０
及び放電電極用出口ポート４２を介して冷却媒質が流通
する筐体１０は、従来装置と同様に、冷却媒質により室
温状態から徐々に冷却媒質の温度に近くなるように温度
変動していく。室温より冷却媒質の温度が低い場合にお
いて、図３の上面図に斜線で示す部分が放電電極用入口
ポート４０及び放電電極用出口ポート４２からの熱伝導
により部分的に冷却されるが、冷却媒質の流量は大きい
ので出入口温度はほとんど同一温度であり、図３の上側
（ダクト３側）部分と下側（ブロワ６側）部分で同じよ
うに線膨張による収縮が発生し、筐体１０に曲げを生じ
させるような歪が発生しない。つまり、第１のモードの
筐体歪の発生がなく、結果的に、筐体１０に支持される
基板２０ａ，２０ｂの位置が変化し難くなり、レーザ発
振した場合におけるレーザビームのポインティングが安
定する。
発振器の準備動作において、放電電極用入口ポート４０
及び放電電極用出口ポート４２を介して冷却媒質が流通
する筐体１０は、従来装置と同様に、冷却媒質により室
温状態から徐々に冷却媒質の温度に近くなるように温度
変動していく。室温より冷却媒質の温度が低い場合にお
いて、図３の上面図に斜線で示す部分が放電電極用入口
ポート４０及び放電電極用出口ポート４２からの熱伝導
により部分的に冷却されるが、冷却媒質の流量は大きい
ので出入口温度はほとんど同一温度であり、図３の上側
（ダクト３側）部分と下側（ブロワ６側）部分で同じよ
うに線膨張による収縮が発生し、筐体１０に曲げを生じ
させるような歪が発生しない。つまり、第１のモードの
筐体歪の発生がなく、結果的に、筐体１０に支持される
基板２０ａ，２０ｂの位置が変化し難くなり、レーザ発
振した場合におけるレーザビームのポインティングが安
定する。
【００７０】このように、本発明の第三実施例のレーザ
発振器は、レーザ媒質ガスを封入する筐体１０と、筐体
１０内で対向して配設され、前記レーザ媒質ガスを用い
てレーザビームを発振させる一対の放電電極４ａ，４ｂ
と、前記レーザ媒質ガスを筐体１０内で循環するブロワ
６にて達成される循環手段と、筐体１０内に配設され、
放電電極４ａ，４ｂで発生する放電にて高温となった放
電電極４ａ，４ｂを冷却する冷却媒質を供給・排出する
放電電極用入口ポート４０及び放電電極用出口ポート４
２とを具備し、放電電極用入口ポート４０と放電電極用
出口ポート４２との互いの位置関係を筐体１０への取付
面に対する垂直方向からみて放電電極４ａ，４ｂに平行
な筐体１０の中心線に対してほぼ線対称とする実施例と
することができる。
発振器は、レーザ媒質ガスを封入する筐体１０と、筐体
１０内で対向して配設され、前記レーザ媒質ガスを用い
てレーザビームを発振させる一対の放電電極４ａ，４ｂ
と、前記レーザ媒質ガスを筐体１０内で循環するブロワ
６にて達成される循環手段と、筐体１０内に配設され、
放電電極４ａ，４ｂで発生する放電にて高温となった放
電電極４ａ，４ｂを冷却する冷却媒質を供給・排出する
放電電極用入口ポート４０及び放電電極用出口ポート４
２とを具備し、放電電極用入口ポート４０と放電電極用
出口ポート４２との互いの位置関係を筐体１０への取付
面に対する垂直方向からみて放電電極４ａ，４ｂに平行
な筐体１０の中心線に対してほぼ線対称とする実施例と
することができる。
【００７１】したがって、筐体１０には放電電極用入口
ポート４０及び放電電極用出口ポート４２が互いの位置
関係を筐体１０への取付面に対する垂直方向からみて放
電電極４ａ，４ｂに平行な筐体１０の中心線に対してほ
ぼ線対称となるように配設されており、筐体１０はレー
ザビーム方向に左右同条件で冷却されることとなる。故
に、放電電極用入口ポート４０と放電電極用出口ポート
４２とにより冷却される筐体１０は熱歪による曲がりを
生じ難く、第１のモードの筐体歪の量を低減できる。
ポート４０及び放電電極用出口ポート４２が互いの位置
関係を筐体１０への取付面に対する垂直方向からみて放
電電極４ａ，４ｂに平行な筐体１０の中心線に対してほ
ぼ線対称となるように配設されており、筐体１０はレー
ザビーム方向に左右同条件で冷却されることとなる。故
に、放電電極用入口ポート４０と放電電極用出口ポート
４２とにより冷却される筐体１０は熱歪による曲がりを
生じ難く、第１のモードの筐体歪の量を低減できる。
【００７２】また、本実施例のレーザ発振器は、放電電
極用入口ポート４０と放電電極用出口ポート４２との互
いの位置関係は、筐体１０への取付面に対する垂直方向
からみて放電電極４ａ，４ｂに平行な筐体１０の中心線
に対してほぼ線対称でコ−ナ部とする実施例とするとこ
ができる。
極用入口ポート４０と放電電極用出口ポート４２との互
いの位置関係は、筐体１０への取付面に対する垂直方向
からみて放電電極４ａ，４ｂに平行な筐体１０の中心線
に対してほぼ線対称でコ−ナ部とする実施例とするとこ
ができる。
【００７３】したがって、筐体１０には放電電極用入口
ポート４０及び放電電極用出口ポート４２が互いの位置
関係を筐体１０への取付面に対する垂直方向からみて放
電電極４ａ，４ｂに平行な筐体１０の中心線に対してほ
ぼ線対称でコ−ナ部となるように配設されており、筐体
１０はレーザビーム方向に左右同条件で冷却されること
となる。故に、放電電極用入口ポート４０と放電電極用
出口ポート４２とにより冷却される筐体１０は熱歪によ
る曲がりを生じ難く、第１のモードの筐体歪の量を低減
できる。また、筐体１０内部における熱交換器８等の配
置の自由度が向上する。
ポート４０及び放電電極用出口ポート４２が互いの位置
関係を筐体１０への取付面に対する垂直方向からみて放
電電極４ａ，４ｂに平行な筐体１０の中心線に対してほ
ぼ線対称でコ−ナ部となるように配設されており、筐体
１０はレーザビーム方向に左右同条件で冷却されること
となる。故に、放電電極用入口ポート４０と放電電極用
出口ポート４２とにより冷却される筐体１０は熱歪によ
る曲がりを生じ難く、第１のモードの筐体歪の量を低減
できる。また、筐体１０内部における熱交換器８等の配
置の自由度が向上する。
【００７４】実施例４．図７は本発明の第四実施例にか
かるレーザ発振器の筐体に配設される熱交換器用入口ポ
ートの構成を示す拡大詳細断面図である。なお、レーザ
発振器の全体構成は図２０に示す従来装置と同様であ
り、その説明を省略する。また、図７では、上述の第一
実施例〜第三実施例と同様の構成または相当部分からな
るものについては同一符号及び同一記号を付してその詳
細な説明を省略する。
かるレーザ発振器の筐体に配設される熱交換器用入口ポ
ートの構成を示す拡大詳細断面図である。なお、レーザ
発振器の全体構成は図２０に示す従来装置と同様であ
り、その説明を省略する。また、図７では、上述の第一
実施例〜第三実施例と同様の構成または相当部分からな
るものについては同一符号及び同一記号を付してその詳
細な説明を省略する。
【００７５】図７において、３４は筐体１０に設けられ
た熱交換器用入口ポート、３５は熱交換器８に冷却媒質
を供給する配管、５０は冷却媒質が流通する流路形成部
材である配管部品、５１は熱絶縁性部材であるＯリン
グ、５２，５３は同じく熱絶縁性部材である絶縁ワッシ
ャ、５４はネジ、５５は配管部品５０に冷却媒質を筐体
１０外から導入する配管である。なお、筐体１０におけ
る熱交換器用出口ポート３６も同様の構成である。この
構成において、Ｏリング５１と配管部品５０は真空状態
である筐体１０内のレーザ媒質ガスに接することとなり
材質の選定には注意を要する。通常、Ｏリング材質とし
て使用されるニトリルゴムまた、構造材として使用され
るナイロン及びポリカーボネート等のプラスチック材料
では真空に曝される部分が劣化しひび割れが発生したり
する。このため、本実施例で用いるＯリング５１はフッ
素ゴム系の材質により構成され、配管部品５０は金属ま
たはＰＶｄＦ等のフッ素系樹脂やセラミックスで構成さ
れている。絶縁ワッシャ５２，５３は真空に曝されない
ので例えば、ポリカーボネート等のプラスチック材料で
構成すればよい。
た熱交換器用入口ポート、３５は熱交換器８に冷却媒質
を供給する配管、５０は冷却媒質が流通する流路形成部
材である配管部品、５１は熱絶縁性部材であるＯリン
グ、５２，５３は同じく熱絶縁性部材である絶縁ワッシ
ャ、５４はネジ、５５は配管部品５０に冷却媒質を筐体
１０外から導入する配管である。なお、筐体１０におけ
る熱交換器用出口ポート３６も同様の構成である。この
構成において、Ｏリング５１と配管部品５０は真空状態
である筐体１０内のレーザ媒質ガスに接することとなり
材質の選定には注意を要する。通常、Ｏリング材質とし
て使用されるニトリルゴムまた、構造材として使用され
るナイロン及びポリカーボネート等のプラスチック材料
では真空に曝される部分が劣化しひび割れが発生したり
する。このため、本実施例で用いるＯリング５１はフッ
素ゴム系の材質により構成され、配管部品５０は金属ま
たはＰＶｄＦ等のフッ素系樹脂やセラミックスで構成さ
れている。絶縁ワッシャ５２，５３は真空に曝されない
ので例えば、ポリカーボネート等のプラスチック材料で
構成すればよい。
【００７６】次に、その動作について説明する。本実施
例の構成では、冷却媒質と筐体１０の熱交換器用入口ポ
ート３４はＯリング５１と絶縁ワッシャ５２，５３とに
より熱絶縁されているため、冷却媒質の温度が変化して
も筐体１０に熱が伝わり難い構造となっている。また、
配管部品５０を熱伝導性の低いフッ素系樹脂やセラミッ
クスで構成すれば、金属で構成するよりも効果があり、
また、絶縁ワッシャ５２，５３を省略することができ
る。筐体１０における熱交換器用出口ポート３６も同様
の構成であり、冷却媒質の温度変化の影響を筐体１０が
受けない構造のため、レーザ発振した場合におけるレー
ザビームのポインティングが安定する。
例の構成では、冷却媒質と筐体１０の熱交換器用入口ポ
ート３４はＯリング５１と絶縁ワッシャ５２，５３とに
より熱絶縁されているため、冷却媒質の温度が変化して
も筐体１０に熱が伝わり難い構造となっている。また、
配管部品５０を熱伝導性の低いフッ素系樹脂やセラミッ
クスで構成すれば、金属で構成するよりも効果があり、
また、絶縁ワッシャ５２，５３を省略することができ
る。筐体１０における熱交換器用出口ポート３６も同様
の構成であり、冷却媒質の温度変化の影響を筐体１０が
受けない構造のため、レーザ発振した場合におけるレー
ザビームのポインティングが安定する。
【００７７】本実施例においては、筐体１０に配設され
る熱交換器用入口ポート３４及び熱交換器用出口ポート
３６の熱絶縁構造として、配管部品５０はその円筒面部
にＯリング５１を挿入する場合について示したが、この
他、図８に示すように、フランジ固定式にしてもよい。
このとき、ネジ５６に熱絶縁材質であるポリカーボネー
ト等のプラスチック材料を使用したり、配管部品５０を
熱伝導性の低いフッ素系樹脂やセラミックスで構成すれ
ば絶縁ワッシャ５２を省略してもよい。
る熱交換器用入口ポート３４及び熱交換器用出口ポート
３６の熱絶縁構造として、配管部品５０はその円筒面部
にＯリング５１を挿入する場合について示したが、この
他、図８に示すように、フランジ固定式にしてもよい。
このとき、ネジ５６に熱絶縁材質であるポリカーボネー
ト等のプラスチック材料を使用したり、配管部品５０を
熱伝導性の低いフッ素系樹脂やセラミックスで構成すれ
ば絶縁ワッシャ５２を省略してもよい。
【００７８】このように、本発明の第四実施例のレーザ
発振器は、レーザ媒質ガスを封入する筐体１０と、筐体
１０内で対向して配設され、前記レーザ媒質ガスを用い
てレーザビームを発振させる一対の放電電極４ａ，４ｂ
と、前記レーザ媒質ガスを前記筐体１０内で循環するブ
ロワ６にて達成される循環手段と、筐体１０内に配設さ
れ、放電電極４ａ，４ｂで発生する放電にて高温となっ
た前記レーザ媒質ガスを冷却する熱交換器８と、筐体１
０に配設され、熱交換器８に冷却媒質を供給・排出する
熱交換器用入口ポート３４及び熱交換器用出口ポート３
６と、熱交換器用入口ポート３４及び熱交換器用出口ポ
ート３６にＯリング５１及び絶縁ワッシャ５２，５３か
らなる熱絶縁性部材を介して固定され、前記冷却媒質を
流通する配管部品５０からなる流路形成部材とを具備す
る実施例とすることができる。
発振器は、レーザ媒質ガスを封入する筐体１０と、筐体
１０内で対向して配設され、前記レーザ媒質ガスを用い
てレーザビームを発振させる一対の放電電極４ａ，４ｂ
と、前記レーザ媒質ガスを前記筐体１０内で循環するブ
ロワ６にて達成される循環手段と、筐体１０内に配設さ
れ、放電電極４ａ，４ｂで発生する放電にて高温となっ
た前記レーザ媒質ガスを冷却する熱交換器８と、筐体１
０に配設され、熱交換器８に冷却媒質を供給・排出する
熱交換器用入口ポート３４及び熱交換器用出口ポート３
６と、熱交換器用入口ポート３４及び熱交換器用出口ポ
ート３６にＯリング５１及び絶縁ワッシャ５２，５３か
らなる熱絶縁性部材を介して固定され、前記冷却媒質を
流通する配管部品５０からなる流路形成部材とを具備す
る実施例とすることができる。
【００７９】したがって、熱交換器用入口ポート３４と
熱交換器用出口ポート３６とはＯリング５１及び絶縁ワ
ッシャ５２，５３からなる熱絶縁性部材を介し、冷却媒
質を流通する配管部品５０からなる流路形成部材にて筐
体１０に固定されることとなる。故に、熱交換器用入口
ポート３４及び熱交換器用出口ポート３６が配設されて
いても筐体１０は温度的に安定し、第１のモードの筐体
歪の量を低減できる。
熱交換器用出口ポート３６とはＯリング５１及び絶縁ワ
ッシャ５２，５３からなる熱絶縁性部材を介し、冷却媒
質を流通する配管部品５０からなる流路形成部材にて筐
体１０に固定されることとなる。故に、熱交換器用入口
ポート３４及び熱交換器用出口ポート３６が配設されて
いても筐体１０は温度的に安定し、第１のモードの筐体
歪の量を低減できる。
【００８０】ところで、上述の第四実施例では、筐体１
０に配設される熱交換器用入口ポート３４及び熱交換器
用出口ポート３６に熱絶縁構造を適用したが、変形例と
して、同様の熱絶縁構造を筐体１０に配設される放電電
極用入口ポート４０及び放電電極用出口ポート４２に対
しても適用することができる。
０に配設される熱交換器用入口ポート３４及び熱交換器
用出口ポート３６に熱絶縁構造を適用したが、変形例と
して、同様の熱絶縁構造を筐体１０に配設される放電電
極用入口ポート４０及び放電電極用出口ポート４２に対
しても適用することができる。
【００８１】このように、本発明の第四実施例の変形例
のレーザ発振器は、レーザ媒質ガスを封入する筐体１０
と、筐体１０内で対向して配設され、前記レーザ媒質ガ
スを用いてレーザビームを発振させる一対の放電電極４
ａ，４ｂと、前記レーザ媒質ガスを前記筐体１０内で循
環するブロワ６にて達成される循環手段と、筐体１０に
配設され、放電電極４ａ，４ｂで発生する放電にて高温
となった放電電極４ａ，４ｂを冷却する冷却媒質を供給
・排出する放電電極用入口ポート４０及び放電電極用出
口ポート４２と、放電電極用入口ポート４０及び放電電
極用出口ポート４２にＯリング５１及び絶縁ワッシャ５
２，５３からなる熱絶縁性部材を介して固定され、前記
冷却媒質を流通する配管部品５０からなる流路形成部材
とを具備する実施例とすることができる。
のレーザ発振器は、レーザ媒質ガスを封入する筐体１０
と、筐体１０内で対向して配設され、前記レーザ媒質ガ
スを用いてレーザビームを発振させる一対の放電電極４
ａ，４ｂと、前記レーザ媒質ガスを前記筐体１０内で循
環するブロワ６にて達成される循環手段と、筐体１０に
配設され、放電電極４ａ，４ｂで発生する放電にて高温
となった放電電極４ａ，４ｂを冷却する冷却媒質を供給
・排出する放電電極用入口ポート４０及び放電電極用出
口ポート４２と、放電電極用入口ポート４０及び放電電
極用出口ポート４２にＯリング５１及び絶縁ワッシャ５
２，５３からなる熱絶縁性部材を介して固定され、前記
冷却媒質を流通する配管部品５０からなる流路形成部材
とを具備する実施例とすることができる。
【００８２】したがって、放電電極用入口ポート４０と
放電電極用出口ポート４２とはＯリング５１及び絶縁ワ
ッシャ５２，５３からなる熱絶縁性部材を介し、冷却媒
質を流通する配管部品５０からなる流路形成部材にて筐
体１０に固定されることとなる。故に、放電電極用入口
ポート４０及び放電電極用出口ポート４２が配設されて
いても筐体１０は温度的に安定し、第１のモードの筐体
歪の量を低減できる。
放電電極用出口ポート４２とはＯリング５１及び絶縁ワ
ッシャ５２，５３からなる熱絶縁性部材を介し、冷却媒
質を流通する配管部品５０からなる流路形成部材にて筐
体１０に固定されることとなる。故に、放電電極用入口
ポート４０及び放電電極用出口ポート４２が配設されて
いても筐体１０は温度的に安定し、第１のモードの筐体
歪の量を低減できる。
【００８３】また、本実施例のレーザ発振器は、冷却媒
質を流通する配管部品５０からなる流路形成部材が、少
なくとも筐体１０に封入された前記レーザ媒質ガスに曝
される部分を前記レーザ媒質ガスに侵されない材料で形
成する実施例とすることができる。
質を流通する配管部品５０からなる流路形成部材が、少
なくとも筐体１０に封入された前記レーザ媒質ガスに曝
される部分を前記レーザ媒質ガスに侵されない材料で形
成する実施例とすることができる。
【００８４】したがって、冷却媒質を流通する配管部品
５０はレーザ媒質ガスに侵されて劣化またはひび割れす
ることがない。故に、配管部品５０から筐体１０内のレ
ーザ媒質ガスが外部に洩れることはない。
５０はレーザ媒質ガスに侵されて劣化またはひび割れす
ることがない。故に、配管部品５０から筐体１０内のレ
ーザ媒質ガスが外部に洩れることはない。
【００８５】更に、本実施例のレーザ発振器は、冷却媒
質を流通する配管部品５０からなる流路形成部材の形成
材料が、金属、フッ素系樹脂またはセラミックスとする
実施例とすることができる。このものにおいても、上述
と同様の作用・効果が期待できる。
質を流通する配管部品５０からなる流路形成部材の形成
材料が、金属、フッ素系樹脂またはセラミックスとする
実施例とすることができる。このものにおいても、上述
と同様の作用・効果が期待できる。
【００８６】実施例５．図９は本発明の第五実施例にか
かるレーザ発振器を示す正面図、図１０は図９の上面図
である。なお、レーザ発振器の全体構成は図２０に示す
従来装置と同様であり、その説明を省略する。また、図
９及び図１０では、固定座２２の位置が異なること以外
は前述の図２１及び図２２に示す従来装置と同一であ
り、同様の構成または相当部分からなるものについては
同一符号及び同一記号を付してその詳細な説明を省略
し、以下にその相違点について述べる。
かるレーザ発振器を示す正面図、図１０は図９の上面図
である。なお、レーザ発振器の全体構成は図２０に示す
従来装置と同様であり、その説明を省略する。また、図
９及び図１０では、固定座２２の位置が異なること以外
は前述の図２１及び図２２に示す従来装置と同一であ
り、同様の構成または相当部分からなるものについては
同一符号及び同一記号を付してその詳細な説明を省略
し、以下にその相違点について述べる。
【００８７】本実施例では、固定座２２は支持棒２４
ａ，２４ｂが筐体１０に支持されている箇所のほぼ真下
の位置に設けられている。従来装置で述べたように、筐
体１０が熱歪により収縮・膨張し筐体１０に曲げを生じ
るような応力がかかっても、固定座２２は堅固な構造物
に固定されているため位置が変化し難い。したがって、
この構成によれば、例えば、図１１のようにレーザ発振
時においてダクト３側の温度が高くなっても支持棒２４
ａ，２４ｂ，２４ｃに支持される位置の変化量を小さく
でき、第２のモードの筐体歪が発生してもレーザ発振し
た場合におけるレーザビームのポインティングが安定す
る。また、第１のモードの筐体歪に対しても同様の効果
がある。
ａ，２４ｂが筐体１０に支持されている箇所のほぼ真下
の位置に設けられている。従来装置で述べたように、筐
体１０が熱歪により収縮・膨張し筐体１０に曲げを生じ
るような応力がかかっても、固定座２２は堅固な構造物
に固定されているため位置が変化し難い。したがって、
この構成によれば、例えば、図１１のようにレーザ発振
時においてダクト３側の温度が高くなっても支持棒２４
ａ，２４ｂ，２４ｃに支持される位置の変化量を小さく
でき、第２のモードの筐体歪が発生してもレーザ発振し
た場合におけるレーザビームのポインティングが安定す
る。また、第１のモードの筐体歪に対しても同様の効果
がある。
【００８８】ここで、本実施例における固定座２２の優
位性を先行技術文献との比較により述べる。例えば、特
開昭５７−９７６８９号公報、特開昭６１−１８８９８
７号公報及び特開平２−１６８６８３号公報には、本実
施例と類似の構造が開示されている。ここで、本実施例
と大きく異なるところは、上記先行技術文献のいずれも
が本実施例の図９及び図１０に示す基板２０ａ，２０ｂ
または支持棒２４ａ，２４ｂ，２４ｃを直接レーザ発振
器を固定する台座等の堅固な構造物に固定またはスライ
ドさせる構造になっているところである。即ち、これら
の先行技術文献では、レーザビームが取出される側の基
板（図１０の基板２０ａ）を固定し、基板２０ｂに相当
する部分をスライドさせたり、特開平２−１６８６８３
に示されるラダーを使ったりして、構造物の動きを吸収
しようとしており、本実施例における筐体１０に相当す
る円筒形状励起部（特開昭６１−１８８９８７）または
レーザ管（特開平２−１６８６８３）またはレーザ発振
器（特開昭５７−９７６８９）の動きを吸収するような
概念はなく目的が異なっている。また、本実施例の基本
的構成である球面軸受と転がり軸受とを用いて基板を支
持し、筐体のねじれ変形を球面軸受で吸収する概念がな
い。更に、本実施例では構造物に固定するのは筐体１０
であり、支持棒２４ａ，２４ｂ，２４ｃは筐体１０のね
じれに対しても自由に動くことができるため、基板２０
ａ，２０ｂへの影響がない。これに対して、上記先行技
術文献ではレーザビームが取出される基板全体が構造物
に固定され、即ち、支持棒の長手方向に垂直な方向にそ
の位置が固定されているため、図１０の紙面に平行な面
に対して構造物が捩じれて歪む場合には、支持棒がその
動きと共に曲がりを生じ、基板の取付角度が変わり、ひ
いてはレーザビームの出力光軸が動く。更に、類似の先
行技術文献として、実開平３ー４５６７３号公報がある
が、この先行技術文献においても筐体の歪を吸収するこ
とについての記述はなく、また、連結棒長手方向（レー
ザビーム光軸方向）の動きについては考慮されている
が、長手方向と垂直方向（図１０の紙面方向面内）への
ケーシングの保持板の歪に対する考慮はなく基本概念が
異なるものである。
位性を先行技術文献との比較により述べる。例えば、特
開昭５７−９７６８９号公報、特開昭６１−１８８９８
７号公報及び特開平２−１６８６８３号公報には、本実
施例と類似の構造が開示されている。ここで、本実施例
と大きく異なるところは、上記先行技術文献のいずれも
が本実施例の図９及び図１０に示す基板２０ａ，２０ｂ
または支持棒２４ａ，２４ｂ，２４ｃを直接レーザ発振
器を固定する台座等の堅固な構造物に固定またはスライ
ドさせる構造になっているところである。即ち、これら
の先行技術文献では、レーザビームが取出される側の基
板（図１０の基板２０ａ）を固定し、基板２０ｂに相当
する部分をスライドさせたり、特開平２−１６８６８３
に示されるラダーを使ったりして、構造物の動きを吸収
しようとしており、本実施例における筐体１０に相当す
る円筒形状励起部（特開昭６１−１８８９８７）または
レーザ管（特開平２−１６８６８３）またはレーザ発振
器（特開昭５７−９７６８９）の動きを吸収するような
概念はなく目的が異なっている。また、本実施例の基本
的構成である球面軸受と転がり軸受とを用いて基板を支
持し、筐体のねじれ変形を球面軸受で吸収する概念がな
い。更に、本実施例では構造物に固定するのは筐体１０
であり、支持棒２４ａ，２４ｂ，２４ｃは筐体１０のね
じれに対しても自由に動くことができるため、基板２０
ａ，２０ｂへの影響がない。これに対して、上記先行技
術文献ではレーザビームが取出される基板全体が構造物
に固定され、即ち、支持棒の長手方向に垂直な方向にそ
の位置が固定されているため、図１０の紙面に平行な面
に対して構造物が捩じれて歪む場合には、支持棒がその
動きと共に曲がりを生じ、基板の取付角度が変わり、ひ
いてはレーザビームの出力光軸が動く。更に、類似の先
行技術文献として、実開平３ー４５６７３号公報がある
が、この先行技術文献においても筐体の歪を吸収するこ
とについての記述はなく、また、連結棒長手方向（レー
ザビーム光軸方向）の動きについては考慮されている
が、長手方向と垂直方向（図１０の紙面方向面内）への
ケーシングの保持板の歪に対する考慮はなく基本概念が
異なるものである。
【００８９】このように、本発明の第五実施例のレーザ
発振器は、レーザ媒質ガスを封入する筐体１０と、複数
の支持棒２４ａ，２４ｂに挿嵌される転がり軸受１１、
ブラケット１２、ハウジング１３、球面軸受１４及びフ
ランジ１５からなる支持部材を介して筐体１０に支持さ
れる一対の対向する基板２０ａ，２０ｂに複数のレーザ
反射ミラー３２，２６を配設するレーザビーム反射手段
５ａ，５ｂと、前記支持部材のほぼ真下に位置して筐体
１０に配設され、筐体１０を他の構造物に固定する固定
座２２とを具備する実施例とすることができる。
発振器は、レーザ媒質ガスを封入する筐体１０と、複数
の支持棒２４ａ，２４ｂに挿嵌される転がり軸受１１、
ブラケット１２、ハウジング１３、球面軸受１４及びフ
ランジ１５からなる支持部材を介して筐体１０に支持さ
れる一対の対向する基板２０ａ，２０ｂに複数のレーザ
反射ミラー３２，２６を配設するレーザビーム反射手段
５ａ，５ｂと、前記支持部材のほぼ真下に位置して筐体
１０に配設され、筐体１０を他の構造物に固定する固定
座２２とを具備する実施例とすることができる。
【００９０】したがって、筐体１０の固定座２２は、複
数のレーザ反射ミラー３２，２６が配設されるレーザビ
ーム反射手段５ａ，５ｂの転がり軸受１１、ブラケット
１２、ハウジング１３、球面軸受１４及びフランジ１５
からなる支持部材の真下とされ、この支持部材と固定座
２２とはほぼ同一垂直平面上に配置されることとなる。
故に、レーザビーム反射手段５ａ，５ｂの支持部材のほ
ぼ真下に位置するように設けられた筐体１０の固定座２
２は、第１のモードの筐体歪及び第２のモードの筐体歪
が発生したときの支持部材の位置の移動を減少させる。
数のレーザ反射ミラー３２，２６が配設されるレーザビ
ーム反射手段５ａ，５ｂの転がり軸受１１、ブラケット
１２、ハウジング１３、球面軸受１４及びフランジ１５
からなる支持部材の真下とされ、この支持部材と固定座
２２とはほぼ同一垂直平面上に配置されることとなる。
故に、レーザビーム反射手段５ａ，５ｂの支持部材のほ
ぼ真下に位置するように設けられた筐体１０の固定座２
２は、第１のモードの筐体歪及び第２のモードの筐体歪
が発生したときの支持部材の位置の移動を減少させる。
【００９１】また、本実施例のレーザ発振器は、固定座
２２を、筐体１０の長手方向のほぼ端部に位置して配設
する実施例とすることができる。このものにおいても、
上述と同様の作用・効果が期待できる。
２２を、筐体１０の長手方向のほぼ端部に位置して配設
する実施例とすることができる。このものにおいても、
上述と同様の作用・効果が期待できる。
【００９２】実施例６．図１２は本発明の第六実施例に
かかるレーザ発振器の筐体において一対の対向する基板
を支持する支持棒と支持部材との構成を示し、図２３の
従来装置のＢ−Ｂ線に沿う断面図に対応する拡大詳細断
面図である。なお、レーザ発振器の全体構成は図２０に
示す従来装置と同様であり、その説明を省略する。ま
た、図１２では、上述の第一実施例〜第五実施例と同様
の構成または相当部分からなるものについては同一符号
及び同一記号を付してその詳細な説明を省略する。図１
２において、６１はバネであり、バネ６１は転がり軸受
１１を支持棒２４ｂの段差部に常時、当接させている。
かかるレーザ発振器の筐体において一対の対向する基板
を支持する支持棒と支持部材との構成を示し、図２３の
従来装置のＢ−Ｂ線に沿う断面図に対応する拡大詳細断
面図である。なお、レーザ発振器の全体構成は図２０に
示す従来装置と同様であり、その説明を省略する。ま
た、図１２では、上述の第一実施例〜第五実施例と同様
の構成または相当部分からなるものについては同一符号
及び同一記号を付してその詳細な説明を省略する。図１
２において、６１はバネであり、バネ６１は転がり軸受
１１を支持棒２４ｂの段差部に常時、当接させている。
【００９３】前述したように、図２６に示す従来装置に
おけるカラー１７及び転がり軸受１１は、低線膨張率の
インバー等の材質で作るのであるが、加工性が非常に悪
く困難であるため、鉄などの加工容易な一般的な金属材
料で作られている。これらの部分が温度変化するとカラ
ー１７と転がり軸受１１の長さに応じた線膨張が生じ、
温度が高くなると支持棒２４ｂよりもカラー１７及び転
がり軸受１１の方が大きく延びる。このために、従来装
置では、支持棒２４ｂが転がり軸受１１と接している段
差部と基板２０ａとの距離が長くなる方向に変化し、支
持棒２４ｂに支持された部分の基板間距離が大きくな
り、基板同士の平行性が狂ってしまっていた。
おけるカラー１７及び転がり軸受１１は、低線膨張率の
インバー等の材質で作るのであるが、加工性が非常に悪
く困難であるため、鉄などの加工容易な一般的な金属材
料で作られている。これらの部分が温度変化するとカラ
ー１７と転がり軸受１１の長さに応じた線膨張が生じ、
温度が高くなると支持棒２４ｂよりもカラー１７及び転
がり軸受１１の方が大きく延びる。このために、従来装
置では、支持棒２４ｂが転がり軸受１１と接している段
差部と基板２０ａとの距離が長くなる方向に変化し、支
持棒２４ｂに支持された部分の基板間距離が大きくな
り、基板同士の平行性が狂ってしまっていた。
【００９４】これに対して、図１２の本実施例装置によ
れば、カラー１７の替わりにバネ６１が挿入されてお
り、転がり軸受１１はバネ６１の付勢力により支持棒２
４ｂの段付部に押付けられている。この構造は単なるプ
リロードではなく、線膨張による長さの変化を吸収する
ものである。この動作は、温度変化による転がり軸受１
１の厚み方向の膨張が生じてもそれに見合うだけバネ６
１の付勢力が大きくなるだけであり、支持棒２４ｂが転
がり軸受１１と接している段差部と基板２０ａとの距離
は支持棒２４ｂの長さで決まる。支持棒２４ｂは前述し
たように低線膨張係数の材質で形成されており、基板同
士の平行性が精度良く保たれる。したがって、レーザ発
振した場合におけるレーザビームのポインティングが安
定する。
れば、カラー１７の替わりにバネ６１が挿入されてお
り、転がり軸受１１はバネ６１の付勢力により支持棒２
４ｂの段付部に押付けられている。この構造は単なるプ
リロードではなく、線膨張による長さの変化を吸収する
ものである。この動作は、温度変化による転がり軸受１
１の厚み方向の膨張が生じてもそれに見合うだけバネ６
１の付勢力が大きくなるだけであり、支持棒２４ｂが転
がり軸受１１と接している段差部と基板２０ａとの距離
は支持棒２４ｂの長さで決まる。支持棒２４ｂは前述し
たように低線膨張係数の材質で形成されており、基板同
士の平行性が精度良く保たれる。したがって、レーザ発
振した場合におけるレーザビームのポインティングが安
定する。
【００９５】このように、本発明の第六実施例のレーザ
発振器は、レーザ媒質ガスを封入する筐体１０と、複数
の支持棒２４ａ，２４ｂに挿嵌される転がり軸受１１、
ブラケット１２、ハウジング１３、球面軸受１４及びフ
ランジ１５からなる支持部材を介して筐体１０に支持さ
れる一対の対向する基板２０ａ，２０ｂに複数のレーザ
反射ミラーを配設するレーザビーム反射手段５ａ，５ｂ
とを具備し、前記支持部材は一対の転がり軸受１１に支
持棒２４ｂが貫通されると共に、一対の転がり軸受１１
のうち一方の転がり軸受１１と支持棒２４ｂとの相対位
置関係を機械的に決定する実施例とすることができる。
発振器は、レーザ媒質ガスを封入する筐体１０と、複数
の支持棒２４ａ，２４ｂに挿嵌される転がり軸受１１、
ブラケット１２、ハウジング１３、球面軸受１４及びフ
ランジ１５からなる支持部材を介して筐体１０に支持さ
れる一対の対向する基板２０ａ，２０ｂに複数のレーザ
反射ミラーを配設するレーザビーム反射手段５ａ，５ｂ
とを具備し、前記支持部材は一対の転がり軸受１１に支
持棒２４ｂが貫通されると共に、一対の転がり軸受１１
のうち一方の転がり軸受１１と支持棒２４ｂとの相対位
置関係を機械的に決定する実施例とすることができる。
【００９６】したがって、一対の対向する基板２０ａ，
２０ｂに複数のレーザ反射ミラーが配設されるレーザビ
ーム反射手段５ａ，５ｂを筐体１０に支持する複数の支
持棒２４ａ，２４ｂに支持部材が挿嵌されている。この
支持部材である一対の転がり軸受１１のうち筐体１０側
に位置決めされる一方の転がり軸受１１と基板２０ａに
一体的な支持棒２４ｂとの相対位置関係が機械的に決定
される。これにより、転がり軸受１１と支持棒２４ｂと
の相対位置関係を保持させることができる。故に、支持
棒２４ｂと筐体１０との干渉がなくなり、筐体１０に対
する基板２０ａ，２０ｂの位置の再現性が向上し、筐体
１０の熱歪の影響を基板２０ａ，２０ｂに伝わり難くで
きる。
２０ｂに複数のレーザ反射ミラーが配設されるレーザビ
ーム反射手段５ａ，５ｂを筐体１０に支持する複数の支
持棒２４ａ，２４ｂに支持部材が挿嵌されている。この
支持部材である一対の転がり軸受１１のうち筐体１０側
に位置決めされる一方の転がり軸受１１と基板２０ａに
一体的な支持棒２４ｂとの相対位置関係が機械的に決定
される。これにより、転がり軸受１１と支持棒２４ｂと
の相対位置関係を保持させることができる。故に、支持
棒２４ｂと筐体１０との干渉がなくなり、筐体１０に対
する基板２０ａ，２０ｂの位置の再現性が向上し、筐体
１０の熱歪の影響を基板２０ａ，２０ｂに伝わり難くで
きる。
【００９７】また、本実施例のレーザ発振器は、転がり
軸受１１と支持棒２４ｂとの相対位置関係は、転がり軸
受１１に弾性部材を介して支持棒２４ｂの段差部に押付
け機械的に決定する実施例とすることができる。このも
のにおいても、上述と同様の作用・効果が期待できる。
軸受１１と支持棒２４ｂとの相対位置関係は、転がり軸
受１１に弾性部材を介して支持棒２４ｂの段差部に押付
け機械的に決定する実施例とすることができる。このも
のにおいても、上述と同様の作用・効果が期待できる。
【００９８】実施例７．図１５は本発明の第七実施例に
かかるレーザ発振器の筐体において一対の対向する基板
を支持する支持棒と支持部材との構成を示す拡大詳細断
面図である。なお、レーザ発振器の全体構成は図２０に
示す従来装置と同様であり、その説明を省略する。ま
た、図１３はレーザ発振器の右側面図、図１４はレーザ
発振器の左側面図であり、図１３のＡ1 −Ａ1 線に沿う
断面図である図１５の基板の支持構造が異なる以外は前
述の従来装置と同一である。図１５では、上述の第一実
施例〜第六実施例と同様の構成または相当部分からなる
ものについては同一符号及び同一記号を付してその詳細
な説明を省略する。ここで、図１４のＡ2 −Ａ2 線に沿
う断面図は図２５に示す従来構造と同一であり、図１３
及び図１４のＢ−Ｂ線に沿う断面図及びＣ−Ｃ線に沿う
断面図は図２６及び図２４に示す従来構造とそれぞれ同
一である。以下にその相違点について述べる。図１５に
おいて、６２はバネであり、バネ６２は球面軸受１４を
支持棒２４ａの段差部に常時、当接させている。
かかるレーザ発振器の筐体において一対の対向する基板
を支持する支持棒と支持部材との構成を示す拡大詳細断
面図である。なお、レーザ発振器の全体構成は図２０に
示す従来装置と同様であり、その説明を省略する。ま
た、図１３はレーザ発振器の右側面図、図１４はレーザ
発振器の左側面図であり、図１３のＡ1 −Ａ1 線に沿う
断面図である図１５の基板の支持構造が異なる以外は前
述の従来装置と同一である。図１５では、上述の第一実
施例〜第六実施例と同様の構成または相当部分からなる
ものについては同一符号及び同一記号を付してその詳細
な説明を省略する。ここで、図１４のＡ2 −Ａ2 線に沿
う断面図は図２５に示す従来構造と同一であり、図１３
及び図１４のＢ−Ｂ線に沿う断面図及びＣ−Ｃ線に沿う
断面図は図２６及び図２４に示す従来構造とそれぞれ同
一である。以下にその相違点について述べる。図１５に
おいて、６２はバネであり、バネ６２は球面軸受１４を
支持棒２４ａの段差部に常時、当接させている。
【００９９】従来装置では、３本の支持棒２４ａ，２４
ｂ，２４ｃにおけるそれぞれの支持方法が基板２０ａ側
と２０ｂ側とにおいて同一であったが、本実施例におい
ては支持棒２４ａの支持方法が基板２０ａ側と２０ｂ側
とで異なっている。従来の支持方法では筐体１０と３本
の支持棒２４ａ，２４ｂ，２４ｃを介した一対の基板２
０ａ，２０ｂとの相対位置関係を機械的に決定する要素
がなかった。即ち、支持棒２４ａは球面軸受１４の内面
をスライド可能であり、支持棒２４ｂはカラー１７によ
り機械的に位置の定められた転がり軸受１１とブラケッ
ト１２の間でスライド可能であるからである。したがっ
て、輸送時等大きな加速度が加わると上記スライド部が
スライドしてしまい、支持棒２４ａの段付部とハウジン
グ１３や支持棒２４ｂの段付部とブラケット１２が接触
し、接触する前は無関係であったものが接触した部分が
筐体１０と同じ動きになり、接触する箇所は一定しない
ので基板２０ａ，２０ｂの動きに再現性が乏しくレーザ
ビームのポインティングの再現性の欠如の要因となって
いた。また、従来、共振器ミラー同士の平行性が保たれ
れば、レーザ動作時のレーザビームの特性は変わらない
と考えられていたが、相対する共振器ミラー即ち、一対
の基板２０ａ，２０ｂと筐体１０の相対位置関係がずれ
ていくとレーザビームのビームモードや集光性能といっ
た特性が変化することが分かった。レーザ動作のＯＮ・
ＯＦＦの繰返しや環境温度の変化により、通常、鉄等の
金属で構成された筐体１０と低線膨張材質で構成された
支持棒２４ａ，２４ｂ，２４ｃの長さの変化がその都度
生じるが、元の状態に戻った時に必ずしも一対の基板２
０ａ，２０ｂと筐体１０との相対位置関係が元通りにな
るとは限らず、経時的に徐々に相対位置ずれが大きくな
るという事態を生じて、レーザビームの特性の経時変化
が生じることがあった。
ｂ，２４ｃにおけるそれぞれの支持方法が基板２０ａ側
と２０ｂ側とにおいて同一であったが、本実施例におい
ては支持棒２４ａの支持方法が基板２０ａ側と２０ｂ側
とで異なっている。従来の支持方法では筐体１０と３本
の支持棒２４ａ，２４ｂ，２４ｃを介した一対の基板２
０ａ，２０ｂとの相対位置関係を機械的に決定する要素
がなかった。即ち、支持棒２４ａは球面軸受１４の内面
をスライド可能であり、支持棒２４ｂはカラー１７によ
り機械的に位置の定められた転がり軸受１１とブラケッ
ト１２の間でスライド可能であるからである。したがっ
て、輸送時等大きな加速度が加わると上記スライド部が
スライドしてしまい、支持棒２４ａの段付部とハウジン
グ１３や支持棒２４ｂの段付部とブラケット１２が接触
し、接触する前は無関係であったものが接触した部分が
筐体１０と同じ動きになり、接触する箇所は一定しない
ので基板２０ａ，２０ｂの動きに再現性が乏しくレーザ
ビームのポインティングの再現性の欠如の要因となって
いた。また、従来、共振器ミラー同士の平行性が保たれ
れば、レーザ動作時のレーザビームの特性は変わらない
と考えられていたが、相対する共振器ミラー即ち、一対
の基板２０ａ，２０ｂと筐体１０の相対位置関係がずれ
ていくとレーザビームのビームモードや集光性能といっ
た特性が変化することが分かった。レーザ動作のＯＮ・
ＯＦＦの繰返しや環境温度の変化により、通常、鉄等の
金属で構成された筐体１０と低線膨張材質で構成された
支持棒２４ａ，２４ｂ，２４ｃの長さの変化がその都度
生じるが、元の状態に戻った時に必ずしも一対の基板２
０ａ，２０ｂと筐体１０との相対位置関係が元通りにな
るとは限らず、経時的に徐々に相対位置ずれが大きくな
るという事態を生じて、レーザビームの特性の経時変化
が生じることがあった。
【０１００】これに対して、本実施例によれば、ハウジ
ング１３及びフランジ１５を介して筐体１０の左右に挿
嵌された球面軸受１４のうち基板２０ａ側の球面軸受１
４のみを基板２０ａとの相対位置関係を機械的に決定す
るように構成したので輸送時等の大きな加速度が加わっ
ても一対の基板２０ａ，２０ｂと筐体１０との相対位置
関係は変化せずレーザビームのポインティングの再現性
のよい発振器が得られる。また、レーザ動作のＯＮ・Ｏ
ＦＦの繰返しや環境温度の変化により、通常、鉄等の金
属で構成された筐体１０と低線膨張材質で構成された支
持棒２４ａ，２４ｂ，２４ｃの長さの変化がその都度生
じても、球面軸受１４と一対の基板２０ａ，２０ｂの相
対位置関係を機械的に決定するように構成したので元の
状態に戻った時に必ず一対の基板２０ａ，２０ｂと筐体
１０との相対位置関係が元通りになり、経時的なレーザ
ビームの特性の変化が生じない。また、本実施例は第六
実施例の支持構造と同様に、温度変化による球面軸受１
４の厚み方向の膨張が生じてもそれに見合うだけバネ６
２の付勢力が大きくなるだけであり、支持棒２４ａが球
面軸受１４と接している段差部と基板２０ａとの距離は
支持棒２４ａの長さで決まる。支持棒２４ａは前述した
ように低線膨張係数の材質で構成されており、基板同士
の平行性が精度良く保たれる。したがって、第六実施例
と同様に、レーザ発振した場合におけるレーザビームの
ポインティングが安定する効果も有している。
ング１３及びフランジ１５を介して筐体１０の左右に挿
嵌された球面軸受１４のうち基板２０ａ側の球面軸受１
４のみを基板２０ａとの相対位置関係を機械的に決定す
るように構成したので輸送時等の大きな加速度が加わっ
ても一対の基板２０ａ，２０ｂと筐体１０との相対位置
関係は変化せずレーザビームのポインティングの再現性
のよい発振器が得られる。また、レーザ動作のＯＮ・Ｏ
ＦＦの繰返しや環境温度の変化により、通常、鉄等の金
属で構成された筐体１０と低線膨張材質で構成された支
持棒２４ａ，２４ｂ，２４ｃの長さの変化がその都度生
じても、球面軸受１４と一対の基板２０ａ，２０ｂの相
対位置関係を機械的に決定するように構成したので元の
状態に戻った時に必ず一対の基板２０ａ，２０ｂと筐体
１０との相対位置関係が元通りになり、経時的なレーザ
ビームの特性の変化が生じない。また、本実施例は第六
実施例の支持構造と同様に、温度変化による球面軸受１
４の厚み方向の膨張が生じてもそれに見合うだけバネ６
２の付勢力が大きくなるだけであり、支持棒２４ａが球
面軸受１４と接している段差部と基板２０ａとの距離は
支持棒２４ａの長さで決まる。支持棒２４ａは前述した
ように低線膨張係数の材質で構成されており、基板同士
の平行性が精度良く保たれる。したがって、第六実施例
と同様に、レーザ発振した場合におけるレーザビームの
ポインティングが安定する効果も有している。
【０１０１】このように、本発明の第七実施例のレーザ
発振器は、レーザ媒質ガスを封入する筐体１０と、複数
の支持棒２４ａ，２４ｂに挿嵌される転がり軸受１１、
ブラケット１２、ハウジング１３、球面軸受１４及びフ
ランジ１５からなる支持部材を介して筐体１０に支持さ
れる一対の対向する基板２０ａ，２０ｂに複数のレーザ
反射ミラーを配設するレーザビーム反射手段５ａ，５ｂ
とを具備し、前記支持部材は一対の球面軸受１４に支持
棒２４ａが貫通されると共に、一対の球面軸受１４のう
ち一方の球面軸受１４の片側を支持棒２４ａの段差部、
反対側をバネ６２からなる弾性部材にて押さえることで
球面軸受１４と支持棒２４ａとの相対位置関係を機械的
に決定する実施例とすることができる。
発振器は、レーザ媒質ガスを封入する筐体１０と、複数
の支持棒２４ａ，２４ｂに挿嵌される転がり軸受１１、
ブラケット１２、ハウジング１３、球面軸受１４及びフ
ランジ１５からなる支持部材を介して筐体１０に支持さ
れる一対の対向する基板２０ａ，２０ｂに複数のレーザ
反射ミラーを配設するレーザビーム反射手段５ａ，５ｂ
とを具備し、前記支持部材は一対の球面軸受１４に支持
棒２４ａが貫通されると共に、一対の球面軸受１４のう
ち一方の球面軸受１４の片側を支持棒２４ａの段差部、
反対側をバネ６２からなる弾性部材にて押さえることで
球面軸受１４と支持棒２４ａとの相対位置関係を機械的
に決定する実施例とすることができる。
【０１０２】したがって、一対の対向する基板２０ａ，
２０ｂに複数のレーザ反射ミラーが配設されるレーザビ
ーム反射手段５ａ，５ｂを筐体１０に支持する複数の支
持棒２４ａ，２４ｂに支持部材が挿嵌されている。この
支持部材である一対の球面軸受１４のうち一方の球面軸
受１４の片側を支持棒２４ａの段差部、反対側をバネ６
２にて押さえることで、筐体１０側に位置決めされる球
面軸受１４と基板２０ａに一体的な支持棒２４ａとの相
対位置関係が機械的に決定される。これにより、球面軸
受１４と支持棒２４ａとの相対位置関係を保持させるこ
とができる。故に、支持棒２４ａと筐体１０との干渉が
なくなり、筐体１０に対する基板２０ａ，２０ｂの位置
の再現性が向上し、筐体１０の熱歪の影響を基板２０
ａ，２０ｂに伝わり難くできる。
２０ｂに複数のレーザ反射ミラーが配設されるレーザビ
ーム反射手段５ａ，５ｂを筐体１０に支持する複数の支
持棒２４ａ，２４ｂに支持部材が挿嵌されている。この
支持部材である一対の球面軸受１４のうち一方の球面軸
受１４の片側を支持棒２４ａの段差部、反対側をバネ６
２にて押さえることで、筐体１０側に位置決めされる球
面軸受１４と基板２０ａに一体的な支持棒２４ａとの相
対位置関係が機械的に決定される。これにより、球面軸
受１４と支持棒２４ａとの相対位置関係を保持させるこ
とができる。故に、支持棒２４ａと筐体１０との干渉が
なくなり、筐体１０に対する基板２０ａ，２０ｂの位置
の再現性が向上し、筐体１０の熱歪の影響を基板２０
ａ，２０ｂに伝わり難くできる。
【０１０３】また、本実施例のレーザ発振器は、転がり
軸受１１または球面軸受１４と支持棒２４ａとの相対位
置関係は、転がり軸受１１または球面軸受１４にバネを
介して前記支持棒の段差部に押付け機械的に決定する実
施例とすることができる。このものにおいても、上述と
同様の作用・効果が期待できる。
軸受１１または球面軸受１４と支持棒２４ａとの相対位
置関係は、転がり軸受１１または球面軸受１４にバネを
介して前記支持棒の段差部に押付け機械的に決定する実
施例とすることができる。このものにおいても、上述と
同様の作用・効果が期待できる。
【０１０４】実施例８．図１６は本発明の第八実施例に
かかるレーザ発振器の概略構成を示す上面図である。本
実施例は上述の第二実施例と第五実施例とを組合わせた
構成を示す。固定座２２が、第二実施例の図６では、筐
体１０の長手方向で、熱交換器８ａ，８ｂ及びダクト３
ａ，３ｂの下部に設けられているが、本実施例では、固
定座２２が筐体１０の長手方向の端部に設けられてい
る。
かかるレーザ発振器の概略構成を示す上面図である。本
実施例は上述の第二実施例と第五実施例とを組合わせた
構成を示す。固定座２２が、第二実施例の図６では、筐
体１０の長手方向で、熱交換器８ａ，８ｂ及びダクト３
ａ，３ｂの下部に設けられているが、本実施例では、固
定座２２が筐体１０の長手方向の端部に設けられてい
る。
【０１０５】次に、その動作について説明する。レーザ
発振器を動作させると一対の放電電極４ａ，４ｂを通過
した高温のレーザ媒質ガスがダクト３ａ，３ｂ内を流れ
るために、ダクト３ａ，３ｂが高温となり、高温となっ
たダクト３ａ，３ｂからの熱輻射によりダクト３ａ，３
ｂに近接した筐体１０が入熱を受け、ダクト３ａ，３ｂ
に面した筐体１０の温度が徐々に上昇して線膨張により
膨張する。第二実施例では図６の上面図に示した筐体１
０の波線部分がダクト３ａ，３ｂからの熱輻射により熱
され線膨張による膨張が発生するが、図６において筐体
１０に曲げを生じさせるような熱歪の発生が相殺される
のは４つの固定座２２よりも筐体１０の中央部だけであ
り、固定座２２よりも端部の膨張については相殺されな
い。これに対して、図１６では固定座２２が筐体１０の
長手方向の端部に設けられているため、上側と下側の線
膨張による膨張がすべて相殺される。即ち、第２のモー
ドの筐体歪の発生がなく、レーザ発振した場合における
レーザビームのポインティングが安定する。
発振器を動作させると一対の放電電極４ａ，４ｂを通過
した高温のレーザ媒質ガスがダクト３ａ，３ｂ内を流れ
るために、ダクト３ａ，３ｂが高温となり、高温となっ
たダクト３ａ，３ｂからの熱輻射によりダクト３ａ，３
ｂに近接した筐体１０が入熱を受け、ダクト３ａ，３ｂ
に面した筐体１０の温度が徐々に上昇して線膨張により
膨張する。第二実施例では図６の上面図に示した筐体１
０の波線部分がダクト３ａ，３ｂからの熱輻射により熱
され線膨張による膨張が発生するが、図６において筐体
１０に曲げを生じさせるような熱歪の発生が相殺される
のは４つの固定座２２よりも筐体１０の中央部だけであ
り、固定座２２よりも端部の膨張については相殺されな
い。これに対して、図１６では固定座２２が筐体１０の
長手方向の端部に設けられているため、上側と下側の線
膨張による膨張がすべて相殺される。即ち、第２のモー
ドの筐体歪の発生がなく、レーザ発振した場合における
レーザビームのポインティングが安定する。
【０１０６】また、第二実施例では抑制できなかった第
１のモードの筐体歪についても、本実施例においては、
筐体１０の中心に対してほぼ点対称の位置に設けられた
熱交換器用入口ポート３４ａ，３４ｂ及び熱交換器用出
口ポート３６ａ，３６ｂが端部に設けられた固定座２２
の内側に設けられているので、図１６に示される筐体１
０の上側と下側の部分が同じように線膨張による収縮が
発生し、筐体１０に曲げを生じさせるような歪が生じな
い。したがって、レーザ発振した場合におけるレーザビ
ームのポインティングが安定する。
１のモードの筐体歪についても、本実施例においては、
筐体１０の中心に対してほぼ点対称の位置に設けられた
熱交換器用入口ポート３４ａ，３４ｂ及び熱交換器用出
口ポート３６ａ，３６ｂが端部に設けられた固定座２２
の内側に設けられているので、図１６に示される筐体１
０の上側と下側の部分が同じように線膨張による収縮が
発生し、筐体１０に曲げを生じさせるような歪が生じな
い。したがって、レーザ発振した場合におけるレーザビ
ームのポインティングが安定する。
【０１０７】このように、本発明の第八実施例のレーザ
発振器は、レーザ媒質ガスを封入する筐体１０と、筐体
１０内で対向して配設され、前記レーザ媒質ガスを用い
てレーザビームを発振させる一対の放電電極４ａ，４ｂ
と、前記レーザ媒質ガスを筐体１０内で循環するブロワ
６ａ，６ｂにて達成される循環手段と、筐体１０内に配
設され、放電電極４ａ，４ｂで発生する放電にて高温と
なった前記レーザ媒質ガスを冷却する複数の熱交換器８
ａ，８ｂとを具備し、複数の熱交換器８ａ，８ｂの互い
の位置関係を筐体１０への取付面に対する垂直方向から
みて筐体１０の中心に対してほぼ点対称とすると共に、
更に、筐体１０の長手方向のほぼ端部に位置して配設さ
れ、筐体１０を他の構造物に固定する固定座２２を具備
する実施例とすることができる。
発振器は、レーザ媒質ガスを封入する筐体１０と、筐体
１０内で対向して配設され、前記レーザ媒質ガスを用い
てレーザビームを発振させる一対の放電電極４ａ，４ｂ
と、前記レーザ媒質ガスを筐体１０内で循環するブロワ
６ａ，６ｂにて達成される循環手段と、筐体１０内に配
設され、放電電極４ａ，４ｂで発生する放電にて高温と
なった前記レーザ媒質ガスを冷却する複数の熱交換器８
ａ，８ｂとを具備し、複数の熱交換器８ａ，８ｂの互い
の位置関係を筐体１０への取付面に対する垂直方向から
みて筐体１０の中心に対してほぼ点対称とすると共に、
更に、筐体１０の長手方向のほぼ端部に位置して配設さ
れ、筐体１０を他の構造物に固定する固定座２２を具備
する実施例とすることができる。
【０１０８】したがって、筐体１０内で対向して配設さ
れた一対の放電電極４ａ，４ｂで発生する放電にて高温
となりブロワ６ａ，６ｂにて達成される循環手段にて循
環されるレーザ媒質ガスを冷却する複数の熱交換器８
ａ，８ｂは、互いの位置関係が筐体１０への取付面に対
する垂直方向からみて筐体１０の中心に対してほぼ点対
称に配設されており、筐体１０はレーザビーム方向に左
右同条件で冷却されることとなる。また、筐体１０を他
の堅固な構造物に固定する固定座２２が筐体１０の長手
方向のほぼ端部に位置するように配設される。
れた一対の放電電極４ａ，４ｂで発生する放電にて高温
となりブロワ６ａ，６ｂにて達成される循環手段にて循
環されるレーザ媒質ガスを冷却する複数の熱交換器８
ａ，８ｂは、互いの位置関係が筐体１０への取付面に対
する垂直方向からみて筐体１０の中心に対してほぼ点対
称に配設されており、筐体１０はレーザビーム方向に左
右同条件で冷却されることとなる。また、筐体１０を他
の堅固な構造物に固定する固定座２２が筐体１０の長手
方向のほぼ端部に位置するように配設される。
【０１０９】故に、筐体１０に曲げを生じさせるような
歪の発生を抑制することができる。ところで、本実施例
では熱交換器８ａ，８ｂ及びダクト３ａ，３ｂを用い、
熱交換器とダクトとを各々２個ずつ配置した例について
述べたが、図１７に示すように、熱交換器８ａ，８ｂ，
８ｃ，８ｄ及びダクト３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄを上側か
らみて筐体１０の中心に対してほぼ点対称の位置となる
ように各々４個ずつ配置してもよい。
歪の発生を抑制することができる。ところで、本実施例
では熱交換器８ａ，８ｂ及びダクト３ａ，３ｂを用い、
熱交換器とダクトとを各々２個ずつ配置した例について
述べたが、図１７に示すように、熱交換器８ａ，８ｂ，
８ｃ，８ｄ及びダクト３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄを上側か
らみて筐体１０の中心に対してほぼ点対称の位置となる
ように各々４個ずつ配置してもよい。
【０１１０】実施例９．図１８は本発明の第九実施例に
かかるレーザ発振器の概略構成を示す上面図である。本
実施例は上述の第五実施例の採用により格別に効果を有
する他の実施例である。本実施例では、固定座２２が筐
体１０の長手方向端部に設けられていると共に、筐体１
０に設けられた熱交換器８の冷却媒質が通る熱交換器用
入口ポート３４及び熱交換器用出口ポート３６が筐体１
０の中心に対してほぼ点対称の位置に設けられている。
この場合における熱交換器用入口ポート３４と熱交換器
用出口ポート３６との互いの位置関係は、筐体１０への
取付面に対する垂直方向からみて放電電極４ａ，４ｂに
平行な筐体１０の中心線からの距離をほぼ等しくするも
のである。
かかるレーザ発振器の概略構成を示す上面図である。本
実施例は上述の第五実施例の採用により格別に効果を有
する他の実施例である。本実施例では、固定座２２が筐
体１０の長手方向端部に設けられていると共に、筐体１
０に設けられた熱交換器８の冷却媒質が通る熱交換器用
入口ポート３４及び熱交換器用出口ポート３６が筐体１
０の中心に対してほぼ点対称の位置に設けられている。
この場合における熱交換器用入口ポート３４と熱交換器
用出口ポート３６との互いの位置関係は、筐体１０への
取付面に対する垂直方向からみて放電電極４ａ，４ｂに
平行な筐体１０の中心線からの距離をほぼ等しくするも
のである。
【０１１１】次に、その動作について説明する。筐体１
０の中心に対してほぼ点対称の位置に設けられた熱交換
器用入口ポート３４及び熱交換器用出口ポート３６が端
部に設けられた固定座２２の内側に設けられているの
で、図２７に示される筐体１０の上側と下側の部分がト
ータル的には同じように線膨張による収縮が発生し、筐
体１０に曲げを生じさせるような歪が生じない。したが
って、第１のモードの筐体歪が抑制でき、レーザ発振し
た場合におけるレーザビームのポインティングが安定す
る。
０の中心に対してほぼ点対称の位置に設けられた熱交換
器用入口ポート３４及び熱交換器用出口ポート３６が端
部に設けられた固定座２２の内側に設けられているの
で、図２７に示される筐体１０の上側と下側の部分がト
ータル的には同じように線膨張による収縮が発生し、筐
体１０に曲げを生じさせるような歪が生じない。したが
って、第１のモードの筐体歪が抑制でき、レーザ発振し
た場合におけるレーザビームのポインティングが安定す
る。
【０１１２】このように、本発明の第九実施例のレーザ
発振器は、レーザ媒質ガスを封入する筐体１０と、筐体
１０内で対向して配設され、前記レーザ媒質ガスを用い
てレーザビームを発振させる一対の放電電極４ａ，４ｂ
と、前記レーザ媒質ガスを筐体１０内で循環するブロワ
６にて達成される循環手段と、筐体１０内に配設され、
放電電極４ａ，４ｂで発生する放電にて高温となった前
記レーザ媒質ガスを冷却する熱交換器８と、筐体１０に
配設され、熱交換器８に冷却媒質を供給・排出する熱交
換器用入口ポート３４及び熱交換器用出口ポート３６と
を具備し、熱交換器用入口ポート３４と熱交換器用出口
ポート３６との互いの位置関係で筐体１０への取付面に
対する垂直方向からみて放電電極４ａ，４ｂに平行な筐
体１０の中心線からの距離をほぼ等しくすると共に、更
に、筐体１０の長手方向のほぼ端部に位置して配設さ
れ、筐体１０を他の構造物に固定する固定座２２を具備
する実施例とすることができる。
発振器は、レーザ媒質ガスを封入する筐体１０と、筐体
１０内で対向して配設され、前記レーザ媒質ガスを用い
てレーザビームを発振させる一対の放電電極４ａ，４ｂ
と、前記レーザ媒質ガスを筐体１０内で循環するブロワ
６にて達成される循環手段と、筐体１０内に配設され、
放電電極４ａ，４ｂで発生する放電にて高温となった前
記レーザ媒質ガスを冷却する熱交換器８と、筐体１０に
配設され、熱交換器８に冷却媒質を供給・排出する熱交
換器用入口ポート３４及び熱交換器用出口ポート３６と
を具備し、熱交換器用入口ポート３４と熱交換器用出口
ポート３６との互いの位置関係で筐体１０への取付面に
対する垂直方向からみて放電電極４ａ，４ｂに平行な筐
体１０の中心線からの距離をほぼ等しくすると共に、更
に、筐体１０の長手方向のほぼ端部に位置して配設さ
れ、筐体１０を他の構造物に固定する固定座２２を具備
する実施例とすることができる。
【０１１３】したがって、筐体１０内で対向して配設さ
れた一対の放電電極４ａ，４ｂで発生する放電にて高温
となりブロワ６にて達成される循環手段にて循環される
レーザ媒質ガスを冷却熱交換器８に冷却媒質を供給・排
出するため筐体１０に配設される熱交換器用入口ポート
３４及び熱交換器用出口ポート３６は、互いの位置関係
が筐体１０への取付面に対する垂直方向からみて放電電
極４ａ，４ｂに平行な筐体１０の中心線からほぼ等しい
距離となるように配設されており、筐体１０はレーザビ
ーム方向に左右同条件で冷却されることとなる。また、
筐体１０を他の堅固な構造物に固定する固定座２２が筐
体１０の長手方向のほぼ端部に位置するように配設され
る。故に、筐体１０に曲げを生じさせるような歪の発生
を抑制することができる。
れた一対の放電電極４ａ，４ｂで発生する放電にて高温
となりブロワ６にて達成される循環手段にて循環される
レーザ媒質ガスを冷却熱交換器８に冷却媒質を供給・排
出するため筐体１０に配設される熱交換器用入口ポート
３４及び熱交換器用出口ポート３６は、互いの位置関係
が筐体１０への取付面に対する垂直方向からみて放電電
極４ａ，４ｂに平行な筐体１０の中心線からほぼ等しい
距離となるように配設されており、筐体１０はレーザビ
ーム方向に左右同条件で冷却されることとなる。また、
筐体１０を他の堅固な構造物に固定する固定座２２が筐
体１０の長手方向のほぼ端部に位置するように配設され
る。故に、筐体１０に曲げを生じさせるような歪の発生
を抑制することができる。
【０１１４】更に、第九実施例は図１９に示すように、
熱交換器用入口ポート３４と熱交換器用出口ポート３６
との位置関係を替えることもできる。この第九実施例の
変形例では、固定座２２が筐体１０の長手方向端部に設
けられていると共に、筐体１０に設けられた熱交換器８
の冷却媒質が通る熱交換器用入口ポート３４及び熱交換
器用出口ポート３６が筐体１０の長手方向中心線に対し
て互いに反対の位置に設けられている。本変形例では、
図１８と同様に、筐体１０の上側と下側の部分がトータ
ル的には同じように線膨張による収縮が発生し、筐体１
０に曲げを生じさせるような歪が生じない。したがっ
て、第１のモードの筐体歪の発生が抑制でき、レーザ発
振した場合におけるレーザビームのポインティングが安
定する。
熱交換器用入口ポート３４と熱交換器用出口ポート３６
との位置関係を替えることもできる。この第九実施例の
変形例では、固定座２２が筐体１０の長手方向端部に設
けられていると共に、筐体１０に設けられた熱交換器８
の冷却媒質が通る熱交換器用入口ポート３４及び熱交換
器用出口ポート３６が筐体１０の長手方向中心線に対し
て互いに反対の位置に設けられている。本変形例では、
図１８と同様に、筐体１０の上側と下側の部分がトータ
ル的には同じように線膨張による収縮が発生し、筐体１
０に曲げを生じさせるような歪が生じない。したがっ
て、第１のモードの筐体歪の発生が抑制でき、レーザ発
振した場合におけるレーザビームのポインティングが安
定する。
【０１１５】ところで、第九実施例では、筐体１０に設
けられた冷却媒質を通す熱交換器用入口ポート３４及び
熱交換器用出口ポート３６について述べたが、放電電極
用入口ポート４０及び放電電極用出口ポート４２につい
ても同様に実施することができる。即ち、上述の第九実
施例のレーザ発振器の筐体１０を示す図１８または図１
９で、熱交換器８を一対の放電電極４ａ，４ｂ、熱交換
器用入口ポート３４及び熱交換器用出口ポート３６を放
電電極用入口ポート４０及び放電電極用出口ポート４２
とそれぞれ置換えることにより、レーザ媒質ガスを封入
する筐体１０と、筐体１０内で対向して配設され、前記
レーザ媒質ガスを用いてレーザビームを発振させる一対
の放電電極４ａ，４ｂと、前記レーザ媒質ガスを筐体１
０内で循環するブロワ６にて達成される循環手段と、筐
体１０に配設され、放電電極４ａ，４ｂで発生する放電
にて高温となった放電電極４ａ，４ｂを冷却する冷却媒
質を供給・排出する放電電極用入口ポート４０及び放電
電極用出口ポート４２とを具備し、放電電極用入口ポー
ト４０及び放電電極用出口ポート４２との互いの位置関
係で筐体１０への取付面に対する垂直方向からみて放電
電極４ａ，４ｂに平行な筐体１０の中心線からの距離を
ほぼ等しくすると共に、更に、筐体１０の長手方向のほ
ぼ端部に位置して配設され、筐体１０を他の構造物に固
定する固定座２２を具備する実施例とすることができ
る。
けられた冷却媒質を通す熱交換器用入口ポート３４及び
熱交換器用出口ポート３６について述べたが、放電電極
用入口ポート４０及び放電電極用出口ポート４２につい
ても同様に実施することができる。即ち、上述の第九実
施例のレーザ発振器の筐体１０を示す図１８または図１
９で、熱交換器８を一対の放電電極４ａ，４ｂ、熱交換
器用入口ポート３４及び熱交換器用出口ポート３６を放
電電極用入口ポート４０及び放電電極用出口ポート４２
とそれぞれ置換えることにより、レーザ媒質ガスを封入
する筐体１０と、筐体１０内で対向して配設され、前記
レーザ媒質ガスを用いてレーザビームを発振させる一対
の放電電極４ａ，４ｂと、前記レーザ媒質ガスを筐体１
０内で循環するブロワ６にて達成される循環手段と、筐
体１０に配設され、放電電極４ａ，４ｂで発生する放電
にて高温となった放電電極４ａ，４ｂを冷却する冷却媒
質を供給・排出する放電電極用入口ポート４０及び放電
電極用出口ポート４２とを具備し、放電電極用入口ポー
ト４０及び放電電極用出口ポート４２との互いの位置関
係で筐体１０への取付面に対する垂直方向からみて放電
電極４ａ，４ｂに平行な筐体１０の中心線からの距離を
ほぼ等しくすると共に、更に、筐体１０の長手方向のほ
ぼ端部に位置して配設され、筐体１０を他の構造物に固
定する固定座２２を具備する実施例とすることができ
る。
【０１１６】したがって、筐体１０内で対向して配設さ
れた一対の放電電極４ａ，４ｂで発生する放電にて高温
となった放電電極４ａ，４ｂを冷却する冷却媒質を供給
・排出する放電電極用入口ポート４０及び放電電極用出
口ポート４２は、互いの位置関係が筐体１０への取付面
に対する垂直方向からみて放電電極４ａ，４ｂに平行な
筐体１０の中心線からほぼ等しい距離となるように配設
されており、筐体１０はレーザビーム方向に左右同条件
で冷却されることとなる。また、筐体１０を他の堅固な
構造物に固定する固定座２２が筐体１０の長手方向のほ
ぼ端部に位置するように配設される。故に、筐体１０に
曲げを生じさせるような歪の発生を抑制することができ
る。
れた一対の放電電極４ａ，４ｂで発生する放電にて高温
となった放電電極４ａ，４ｂを冷却する冷却媒質を供給
・排出する放電電極用入口ポート４０及び放電電極用出
口ポート４２は、互いの位置関係が筐体１０への取付面
に対する垂直方向からみて放電電極４ａ，４ｂに平行な
筐体１０の中心線からほぼ等しい距離となるように配設
されており、筐体１０はレーザビーム方向に左右同条件
で冷却されることとなる。また、筐体１０を他の堅固な
構造物に固定する固定座２２が筐体１０の長手方向のほ
ぼ端部に位置するように配設される。故に、筐体１０に
曲げを生じさせるような歪の発生を抑制することができ
る。
【０１１７】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１のレーザ
発振器によれば、筐体には熱交換器用入口ポート及び熱
交換器用出口ポートが互いの位置関係を筐体への取付面
に対する垂直方向からみて放電電極に平行な筐体の中心
線に対してほぼ線対称となるように配設されており、筐
体はレーザビーム方向に左右同条件で冷却されることと
なる。これにより、筐体の熱歪の影響が低減され、レー
ザビームのポインティングが安定するという優れた効果
がある。
発振器によれば、筐体には熱交換器用入口ポート及び熱
交換器用出口ポートが互いの位置関係を筐体への取付面
に対する垂直方向からみて放電電極に平行な筐体の中心
線に対してほぼ線対称となるように配設されており、筐
体はレーザビーム方向に左右同条件で冷却されることと
なる。これにより、筐体の熱歪の影響が低減され、レー
ザビームのポインティングが安定するという優れた効果
がある。
【０１１８】請求項２のレーザ発振器によれば、請求項
１の効果に加えて、熱交換器用入口ポート及び熱交換器
用出口ポートが互いの位置関係を筐体への取付面に対す
る垂直方向からみて放電電極に平行な筐体の中心線に対
してほぼ線対称でコ−ナ部となるように配設されてい
る。これにより、熱交換器用入口ポート及び熱交換器用
出口ポートが熱交換器等の配置の邪魔にならないという
効果がある。
１の効果に加えて、熱交換器用入口ポート及び熱交換器
用出口ポートが互いの位置関係を筐体への取付面に対す
る垂直方向からみて放電電極に平行な筐体の中心線に対
してほぼ線対称でコ−ナ部となるように配設されてい
る。これにより、熱交換器用入口ポート及び熱交換器用
出口ポートが熱交換器等の配置の邪魔にならないという
効果がある。
【０１１９】請求項３のレーザ発振器によれば、筐体に
は複数の熱交換器が互いの位置関係を筐体への取付面に
対する垂直方向からみて筐体の中心に対してほぼ点対称
となるように配設されており、筐体はレーザビーム方向
に左右同条件で冷却されることとなる。これにより、筐
体の熱歪の影響が低減され、レーザビームのポインティ
ングが安定するという優れた効果がある。
は複数の熱交換器が互いの位置関係を筐体への取付面に
対する垂直方向からみて筐体の中心に対してほぼ点対称
となるように配設されており、筐体はレーザビーム方向
に左右同条件で冷却されることとなる。これにより、筐
体の熱歪の影響が低減され、レーザビームのポインティ
ングが安定するという優れた効果がある。
【０１２０】請求項４のレーザ発振器によれば、請求項
３の効果に加えて、複数の熱交換器は互いの位置関係が
筐体内のレーザ媒質ガスの循環を妨げない位置に配設さ
れている。これにより、循環されるレーザ媒質ガスが熱
交換器で効率良く冷却されるという効果がある。
３の効果に加えて、複数の熱交換器は互いの位置関係が
筐体内のレーザ媒質ガスの循環を妨げない位置に配設さ
れている。これにより、循環されるレーザ媒質ガスが熱
交換器で効率良く冷却されるという効果がある。
【０１２１】請求項５のレーザ発振器によれば、筐体に
は放電電極用入口ポート及び放電電極用出口ポートが互
いの位置関係を筐体への取付面に対する垂直方向からみ
て放電電極に平行な筐体の中心線に対してほぼ線対称と
なるように配設されており、筐体はレーザビーム方向に
左右同条件で冷却されることとなる。これにより、筐体
の熱歪の影響が低減され、レーザビームのポインティン
グが安定するという優れた効果がある。
は放電電極用入口ポート及び放電電極用出口ポートが互
いの位置関係を筐体への取付面に対する垂直方向からみ
て放電電極に平行な筐体の中心線に対してほぼ線対称と
なるように配設されており、筐体はレーザビーム方向に
左右同条件で冷却されることとなる。これにより、筐体
の熱歪の影響が低減され、レーザビームのポインティン
グが安定するという優れた効果がある。
【０１２２】請求項６のレーザ発振器によれば、請求項
５の効果に加えて、放電電極用入口ポート及び放電電極
用出口ポートが互いの位置関係を筐体への取付面に対す
る垂直方向からみて放電電極に平行な筐体の中心線に対
してほぼ線対称でコ−ナ部となるように配設されてい
る。これにより、放電電極用入口ポート及び放電電極用
出口ポートが熱交換器等の配置の邪魔にならないという
効果がある。
５の効果に加えて、放電電極用入口ポート及び放電電極
用出口ポートが互いの位置関係を筐体への取付面に対す
る垂直方向からみて放電電極に平行な筐体の中心線に対
してほぼ線対称でコ−ナ部となるように配設されてい
る。これにより、放電電極用入口ポート及び放電電極用
出口ポートが熱交換器等の配置の邪魔にならないという
効果がある。
【０１２３】請求項７のレーザ発振器によれば、熱交換
器用入口ポートと熱交換器用出口ポートとは熱絶縁性部
材を介し、冷却媒質を流通する流路形成部材にて筐体に
固定されることとなる。これにより、筐体の熱歪の影響
が低減され、レーザビームのポインティングが安定する
という優れた効果がある。
器用入口ポートと熱交換器用出口ポートとは熱絶縁性部
材を介し、冷却媒質を流通する流路形成部材にて筐体に
固定されることとなる。これにより、筐体の熱歪の影響
が低減され、レーザビームのポインティングが安定する
という優れた効果がある。
【０１２４】請求項８のレーザ発振器によれば、放電電
極用入口ポートと放電電極用出口ポートとは熱絶縁性部
材を介し、冷却媒質を流通する流路形成部材にて筐体に
固定されることとなる。これにより、筐体の熱歪の影響
が低減され、レーザビームのポインティングが安定する
という優れた効果がある。
極用入口ポートと放電電極用出口ポートとは熱絶縁性部
材を介し、冷却媒質を流通する流路形成部材にて筐体に
固定されることとなる。これにより、筐体の熱歪の影響
が低減され、レーザビームのポインティングが安定する
という優れた効果がある。
【０１２５】請求項９のレーザ発振器によれば、請求項
７または請求項８の効果に加えて、流路形成部材の少な
くとも筐体に封入されたレーザ媒質ガスに曝される部分
がそのレーザ媒質ガスに侵されても劣化またはひび割れ
しない材料で形成されており、筐体内のレーザ媒質ガス
が外部に洩れることはないという効果がある。
７または請求項８の効果に加えて、流路形成部材の少な
くとも筐体に封入されたレーザ媒質ガスに曝される部分
がそのレーザ媒質ガスに侵されても劣化またはひび割れ
しない材料で形成されており、筐体内のレーザ媒質ガス
が外部に洩れることはないという効果がある。
【０１２６】請求項１０のレーザ発振器によれば、請求
項９の効果に加えて、流路形成部材のレーザ媒質ガスに
曝される部分の具体的な形成材料が金属、フッ素系樹脂
またはセラミックスとされる。これにより、流路形成部
材は劣化またはひび割れすることなく、筐体内のレーザ
媒質ガスが外部に洩れることはないという効果がある。
項９の効果に加えて、流路形成部材のレーザ媒質ガスに
曝される部分の具体的な形成材料が金属、フッ素系樹脂
またはセラミックスとされる。これにより、流路形成部
材は劣化またはひび割れすることなく、筐体内のレーザ
媒質ガスが外部に洩れることはないという効果がある。
【０１２７】請求項１１のレーザ発振器によれば、筐体
の固定座は、複数のレーザ反射ミラーが配設されるレー
ザビーム反射手段の支持部材の真下とされ、この支持部
材と固定座とはほぼ同一垂直平面上に配置されることと
なる。これにより、筐体の熱歪の影響が低減され、レー
ザビームのポインティングが安定するという優れた効果
がある。
の固定座は、複数のレーザ反射ミラーが配設されるレー
ザビーム反射手段の支持部材の真下とされ、この支持部
材と固定座とはほぼ同一垂直平面上に配置されることと
なる。これにより、筐体の熱歪の影響が低減され、レー
ザビームのポインティングが安定するという優れた効果
がある。
【０１２８】請求項１２のレーザ発振器によれば、請求
項１１の効果に加えて、固定座が、支持部材のほぼ真下
で筐体の長手方向のほぼ端部に位置して配設される。こ
れにより、筐体の熱歪の影響が基板に伝わり難くいとい
う効果がある。
項１１の効果に加えて、固定座が、支持部材のほぼ真下
で筐体の長手方向のほぼ端部に位置して配設される。こ
れにより、筐体の熱歪の影響が基板に伝わり難くいとい
う効果がある。
【０１２９】請求項１３のレーザ発振器によれば、一対
の対向する基板に複数のレーザ反射ミラーが配設される
レーザビーム反射手段を筐体に支持する複数の支持棒に
支持部材が挿嵌されている。この支持部材である一対の
軸受のうち筐体側に位置決めされる一方の軸受と基板に
一体的な支持棒との相対位置関係が機械的に決定され
る。これにより、軸受と支持棒との相対位置関係が保持
され、筐体の熱歪の影響が低減され、レーザビームのポ
インティングが安定するという優れた効果がある。
の対向する基板に複数のレーザ反射ミラーが配設される
レーザビーム反射手段を筐体に支持する複数の支持棒に
支持部材が挿嵌されている。この支持部材である一対の
軸受のうち筐体側に位置決めされる一方の軸受と基板に
一体的な支持棒との相対位置関係が機械的に決定され
る。これにより、軸受と支持棒との相対位置関係が保持
され、筐体の熱歪の影響が低減され、レーザビームのポ
インティングが安定するという優れた効果がある。
【０１３０】請求項１４のレーザ発振器によれば、請求
項１３の効果に加えて、軸受と支持棒との相対位置関係
が、軸受に弾性部材を介して支持棒の段差部に押付け保
持される。これにより、軸受と支持棒とは確実に位置決
めされるという効果がある。
項１３の効果に加えて、軸受と支持棒との相対位置関係
が、軸受に弾性部材を介して支持棒の段差部に押付け保
持される。これにより、軸受と支持棒とは確実に位置決
めされるという効果がある。
【０１３１】請求項１５のレーザ発振器によれば、一対
の対向する基板に複数のレーザ反射ミラーが配設される
レーザビーム反射手段を筐体に支持する複数の支持棒に
支持部材が挿嵌されている。この支持部材である一対の
球面軸受のうち一方の球面軸受の片側を支持棒の段差
部、反対側を弾性部材にて押さえることで、筐体側に位
置決めされる球面軸受と基板に一体的な支持棒との相対
位置関係が機械的に決定される。これにより、球面軸受
と支持棒との相対位置関係を保持され、筐体の熱歪の影
響が低減され、レーザビームのポインティングが安定す
るという優れた効果がある。
の対向する基板に複数のレーザ反射ミラーが配設される
レーザビーム反射手段を筐体に支持する複数の支持棒に
支持部材が挿嵌されている。この支持部材である一対の
球面軸受のうち一方の球面軸受の片側を支持棒の段差
部、反対側を弾性部材にて押さえることで、筐体側に位
置決めされる球面軸受と基板に一体的な支持棒との相対
位置関係が機械的に決定される。これにより、球面軸受
と支持棒との相対位置関係を保持され、筐体の熱歪の影
響が低減され、レーザビームのポインティングが安定す
るという優れた効果がある。
【０１３２】請求項１６のレーザ発振器によれば、請求
項１５の効果に加えて、軸受または球面軸受と支持棒と
の相対位置関係が、軸受または球面軸受にバネを介して
支持棒の段差部に押付け保持される。これにより、軸受
または球面軸受と支持棒とは確実に位置決めされるとい
う効果がある。
項１５の効果に加えて、軸受または球面軸受と支持棒と
の相対位置関係が、軸受または球面軸受にバネを介して
支持棒の段差部に押付け保持される。これにより、軸受
または球面軸受と支持棒とは確実に位置決めされるとい
う効果がある。
【０１３３】請求項１７のレーザ発振器によれば、筐体
内で対向して配設された一対の放電電極で発生する放電
にて高温となり循環手段にて循環されるレーザ媒質ガス
を冷却する複数の熱交換器は、互いの位置関係が筐体へ
の取付面に対する垂直方向からみて筐体の中心に対して
ほぼ点対称に配設されており、筐体はレーザビーム方向
に左右同条件で冷却されることとなる。また、筐体を他
の堅固な構造物に固定する固定座が筐体の長手方向のほ
ぼ端部に位置するように配設されている。これにより、
筐体の熱歪の影響が低減され、レーザビームのポインテ
ィングが安定するという優れた効果がある。
内で対向して配設された一対の放電電極で発生する放電
にて高温となり循環手段にて循環されるレーザ媒質ガス
を冷却する複数の熱交換器は、互いの位置関係が筐体へ
の取付面に対する垂直方向からみて筐体の中心に対して
ほぼ点対称に配設されており、筐体はレーザビーム方向
に左右同条件で冷却されることとなる。また、筐体を他
の堅固な構造物に固定する固定座が筐体の長手方向のほ
ぼ端部に位置するように配設されている。これにより、
筐体の熱歪の影響が低減され、レーザビームのポインテ
ィングが安定するという優れた効果がある。
【０１３４】請求項１８のレーザ発振器によれば、筐体
内で対向して配設された一対の放電電極で発生する放電
にて高温となり循環手段にて循環されるレーザ媒質ガス
を冷却熱交換器に冷却媒質を供給・排出するため筐体に
配設される熱交換器用入口ポート及び熱交換器用出口ポ
ートは、互いの位置関係が筐体への取付面に対する垂直
方向からみて放電電極に平行な筐体１０の中心線からほ
ぼ等しい距離となるように配設されており、筐体はレー
ザビーム方向に左右同条件で冷却されることとなる。ま
た、筐体を他の堅固な構造物に固定する固定座が筐体の
長手方向のほぼ端部に位置するように配設されている。
これにより、筐体の熱歪の影響が低減され、レーザビー
ムのポインティングが安定するという優れた効果があ
る。
内で対向して配設された一対の放電電極で発生する放電
にて高温となり循環手段にて循環されるレーザ媒質ガス
を冷却熱交換器に冷却媒質を供給・排出するため筐体に
配設される熱交換器用入口ポート及び熱交換器用出口ポ
ートは、互いの位置関係が筐体への取付面に対する垂直
方向からみて放電電極に平行な筐体１０の中心線からほ
ぼ等しい距離となるように配設されており、筐体はレー
ザビーム方向に左右同条件で冷却されることとなる。ま
た、筐体を他の堅固な構造物に固定する固定座が筐体の
長手方向のほぼ端部に位置するように配設されている。
これにより、筐体の熱歪の影響が低減され、レーザビー
ムのポインティングが安定するという優れた効果があ
る。
【０１３５】請求項１９のレーザ発振器によれば、筐体
内で対向して配設された一対の放電電極で発生する放電
にて高温となった放電電極を冷却する冷却媒質を供給・
排出する放電電極用入口ポート及び放電電極用出口ポー
トは、互いの位置関係が筐体への取付面に対する垂直方
向からみて放電電極に平行な筐体の中心線からほぼ等し
い距離となるように配設されており、筐体はレーザビー
ム方向に左右同条件で冷却されることとなる。また、筐
体を他の堅固な構造物に固定する固定座が筐体の長手方
向のほぼ端部に位置するように配設されている。これに
より、筐体の熱歪の影響が低減され、レーザビームのポ
インティングが安定するという優れた効果がある。
内で対向して配設された一対の放電電極で発生する放電
にて高温となった放電電極を冷却する冷却媒質を供給・
排出する放電電極用入口ポート及び放電電極用出口ポー
トは、互いの位置関係が筐体への取付面に対する垂直方
向からみて放電電極に平行な筐体の中心線からほぼ等し
い距離となるように配設されており、筐体はレーザビー
ム方向に左右同条件で冷却されることとなる。また、筐
体を他の堅固な構造物に固定する固定座が筐体の長手方
向のほぼ端部に位置するように配設されている。これに
より、筐体の熱歪の影響が低減され、レーザビームのポ
インティングが安定するという優れた効果がある。
【図１】 図１は本発明の第一実施例及び第三実施例に
かかるレーザ発振器の構成を示す正面図である。
かかるレーザ発振器の構成を示す正面図である。
【図２】 図２は図１の本発明の第一実施例及び第三実
施例にかかるレーザ発振器の上面図である。
施例にかかるレーザ発振器の上面図である。
【図３】 図３は本発明の第一実施例及び第三実施例に
かかるレーザ発振器における筐体の熱歪の発生を示す概
略上面図である。
かかるレーザ発振器における筐体の熱歪の発生を示す概
略上面図である。
【図４】 図４は本発明の第二実施例にかかるレーザ発
振器の構成を示す正面図である。
振器の構成を示す正面図である。
【図５】 図５は図４の本発明の第二実施例にかかるレ
ーザ発振器の上面図である。
ーザ発振器の上面図である。
【図６】 図６は本発明の第二実施例にかかるレーザ発
振器における筐体の熱歪の発生を示す概略上面図であ
る。
振器における筐体の熱歪の発生を示す概略上面図であ
る。
【図７】 図７は本発明の第四実施例にかかるレーザ発
振器の筐体に設けられる熱交換器用入口ポートを示す拡
大詳細断面図である。
振器の筐体に設けられる熱交換器用入口ポートを示す拡
大詳細断面図である。
【図８】 図８は本発明の第四実施例にかかるレーザ発
振器の筐体に設けられる他の熱交換器用入口ポートを示
す拡大詳細断面図である。
振器の筐体に設けられる他の熱交換器用入口ポートを示
す拡大詳細断面図である。
【図９】 図９は本発明の第五実施例にかかるレーザ発
振器の構成を示す正面図である。
振器の構成を示す正面図である。
【図１０】 図１０は図９の本発明の第五実施例にかか
るレーザ発振器の上面図である。
るレーザ発振器の上面図である。
【図１１】 図１１は本発明の第五実施例にかかるレー
ザ発振器における筐体の熱歪の発生を示す概略上面図で
ある。
ザ発振器における筐体の熱歪の発生を示す概略上面図で
ある。
【図１２】 図１２は本発明の第六実施例にかかるレー
ザ発振器の支持棒２４ｂの支持部を示す拡大部分断面図
である。
ザ発振器の支持棒２４ｂの支持部を示す拡大部分断面図
である。
【図１３】 図１３は本発明の第七実施例にかかるレー
ザ発振器の構成を示す右側面図である。
ザ発振器の構成を示す右側面図である。
【図１４】 図１４は本発明の第七実施例にかかるレー
ザ発振器の構成を示す左側面図である。
ザ発振器の構成を示す左側面図である。
【図１５】 図１５は本発明の第七実施例にかかるレー
ザ発振器の支持棒２４ａの支持部を示す拡大部分断面図
である。
ザ発振器の支持棒２４ａの支持部を示す拡大部分断面図
である。
【図１６】 図１６は本発明の第八実施例にかかるレー
ザ発振器における筐体の熱歪の発生を示す概略上面図で
ある。
ザ発振器における筐体の熱歪の発生を示す概略上面図で
ある。
【図１７】 図１７は本発明の第八実施例にかかるレー
ザ発振器の他の構成における筐体の熱歪の発生を示す概
略上面図である。
ザ発振器の他の構成における筐体の熱歪の発生を示す概
略上面図である。
【図１８】 図１８は本発明の第九実施例にかかるレー
ザ発振器における筐体の熱歪の発生を示す概略上面図で
ある。
ザ発振器における筐体の熱歪の発生を示す概略上面図で
ある。
【図１９】 図１９は本発明の第九実施例にかかるレー
ザ発振器の他の構成における筐体の熱歪の発生を示す概
略上面図である。
ザ発振器の他の構成における筐体の熱歪の発生を示す概
略上面図である。
【図２０】 図２０は従来のレーザ発振器の概略構成を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図２１】 図２１は従来のレーザ発振器の構成を示す
正面図である。
正面図である。
【図２２】 図２２は図２１の従来のレーザ発振器の上
面図である。
面図である。
【図２３】 図２３は従来のレーザ発振器の構成を示す
右側面図である。
右側面図である。
【図２４】 図２４は図２３のＣ−Ｃ線に沿う支持棒２
４ｃの支持部を示す拡大部分断面図である。
４ｃの支持部を示す拡大部分断面図である。
【図２５】 図２５は図２３のＡ−Ａ線に沿う支持棒２
４ａの支持部を示す拡大部分断面図である。
４ａの支持部を示す拡大部分断面図である。
【図２６】 図２６は図２３のＢ−Ｂ線に沿う支持棒２
４ｂの支持部を示す拡大部分断面図である。
４ｂの支持部を示す拡大部分断面図である。
【図２７】 図２７は従来のレーザ発振器における筐体
の熱歪の発生を示す概略上面図である。
の熱歪の発生を示す概略上面図である。
【図２８】 図２８は従来のレーザ発振器における筐体
の熱歪の発生を示す概略上面図である。
の熱歪の発生を示す概略上面図である。
２ レーザビーム、３ ダクト、４ａ，４ｂ 放電電
極、５ａ，５ｂ レーザ反射手段、６ ブロワ、８ 熱
交換器、１０ 筐体、１１ 転がり軸受、１４球面軸
受、２０ａ，２０ｂ 基板、２２ 固定座、２４ａ，２
４ｂ，２４ｃ 支持棒、３４ 熱交換器用入口ポート、
３６ 熱交換器用出口ポート、４０ 放電電極用入口ポ
ート、４２ 放電電極用出口ポート、５０ 配管部品、
５１ Ｏリング、５２ 絶縁ワッシャ、６１ バネ。
極、５ａ，５ｂ レーザ反射手段、６ ブロワ、８ 熱
交換器、１０ 筐体、１１ 転がり軸受、１４球面軸
受、２０ａ，２０ｂ 基板、２２ 固定座、２４ａ，２
４ｂ，２４ｃ 支持棒、３４ 熱交換器用入口ポート、
３６ 熱交換器用出口ポート、４０ 放電電極用入口ポ
ート、４２ 放電電極用出口ポート、５０ 配管部品、
５１ Ｏリング、５２ 絶縁ワッシャ、６１ バネ。
Claims (19)
- 【請求項１】 レーザ媒質ガスを封入する筐体と、 前記筐体内に対向して配設され、前記レーザ媒質ガスを
用いてレーザビームを発振させる一対の放電電極と、 前記レーザ媒質ガスを前記筐体内で循環する循環手段
と、 前記筐体内に配設され、前記放電電極で発生する放電に
て高温となった前記レーザ媒質ガスを冷却する熱交換器
と、 前記筐体に配設され、前記熱交換器に冷却媒質を供給・
排出する熱交換器用入口ポート及び熱交換器用出口ポー
トとを具備し、 前記熱交換器用入口ポートと前記熱交換器用出口ポート
との互いの位置関係を前記筐体への取付面に対する垂直
方向からみて前記放電電極に平行な前記筐体の中心線に
対してほぼ線対称とすることを特徴とするレーザ発振
器。 - 【請求項２】 前記熱交換器用入口ポートと前記熱交換
器用出口ポートとの互いの位置関係は、前記筐体への取
付面に対する垂直方向からみて前記放電電極に平行な前
記筐体の中心線に対してほぼ線対称でコ−ナ部とするこ
とを特徴とする請求項１記載のレーザ発振器。 - 【請求項３】 レーザ媒質ガスを封入する筐体と、 前記筐体内で対向して配設され、前記レーザ媒質ガスを
用いてレーザビームを発振させる一対の放電電極と、 前記レーザ媒質ガスを前記筐体内で循環する循環手段
と、 前記筐体内に配設され、前記放電電極で発生する放電に
て高温となった前記レーザ媒質ガスを冷却する複数の熱
交換器とを具備し、 前記複数の熱交換器の互いの位置関係を前記筐体への取
付面に対する垂直方向からみて前記筐体の中心に対して
ほぼ点対称とすることを特徴とするレーザ発振器。 - 【請求項４】 前記複数の熱交換器の互いの位置関係
は、前記筐体への取付面に対する垂直方向からみて前記
筐体の中心に対してほぼ点対称で前記筐体内の前記レー
ザ媒質ガスの循環を妨げない位置とすることを特徴とす
る請求項３記載のレーザ発振器。 - 【請求項５】 レーザ媒質ガスを封入する筐体と、 前記筐体内で対向して配設され、前記レーザ媒質ガスを
用いてレーザビームを発振させる一対の放電電極と、 前記レーザ媒質ガスを前記筐体内で循環する循環手段
と、 前記筐体に配設され、前記放電電極で発生する放電にて
高温となった前記放電電極を冷却する冷却媒質を供給・
排出する放電電極用入口ポート及び放電電極用出口ポー
トとを具備し、 前記放電電極用入口ポートと前記放電電極用出口ポート
との互いの位置関係を前記筐体への取付面に対する垂直
方向からみて前記放電電極に平行な前記筐体の中心線に
対してほぼ線対称とすることを特徴とするレーザ発振
器。 - 【請求項６】 前記放電電極用入口ポートと前記放電電
極用出口ポートとの互いの位置関係は、前記筐体への取
付面に対する垂直方向からみて前記放電電極に平行な前
記筐体の中心線に対してほぼ線対称でコ−ナ部とするこ
とを特徴とする請求項５記載のレーザ発振器。 - 【請求項７】 レーザ媒質ガスを封入する筐体と、 前記筐体内で対向して配設され、前記レーザ媒質ガスを
用いてレーザビームを発振させる一対の放電電極と、 前記レーザ媒質ガスを前記筐体内で循環する循環手段
と、 前記筐体内に配設され、前記放電電極で発生する放電に
て高温となった前記レーザ媒質ガスを冷却する熱交換器
と、 前記筐体に配設され、前記熱交換器に冷却媒質を供給・
排出する熱交換器用入口ポート及び熱交換器用出口ポー
トと、 前記熱交換器用入口ポート及び前記熱交換器用出口ポー
トに熱絶縁性部材を介して固定され、前記冷却媒質を流
通する流路形成部材とを具備することを特徴とするレー
ザ発振器。 - 【請求項８】 レーザ媒質ガスを封入する筐体と、 前記筐体内で対向して配設され、前記レーザ媒質ガスを
用いてレーザビームを発振させる一対の放電電極と、 前記レーザ媒質ガスを前記筐体内で循環する循環手段
と、 前記筐体に配設され、前記放電電極で発生する放電にて
高温となった前記放電電極を冷却する冷却媒質を供給・
排出する放電電極用入口ポート及び放電電極用出口ポー
トと、 前記放電電極用入口ポート及び前記放電電極用出口ポー
トに熱絶縁性部材を介して固定され、前記冷却媒質を流
通する流路形成部材とを具備することを特徴とするレー
ザ発振器。 - 【請求項９】 前記流路形成部材は、少なくとも前記筐
体に封入された前記レーザ媒質ガスに曝される部分を前
記レーザ媒質ガスで侵されない材料で形成することを特
徴とする請求項７または請求項８記載のレーザ発振器。 - 【請求項１０】 前記流路形成部材の形成材料は、金
属、フッ素系樹脂またはセラミックスとすることを特徴
とする請求項９記載のレーザ発振器。 - 【請求項１１】 レーザ媒質ガスを封入する筐体と、 複数の支持棒に挿嵌される支持部材を介して前記筐体に
支持される一対の対向する基板に複数のレーザ反射ミラ
ーを配設するレーザビーム反射手段と、 前記支持部材のほぼ真下に位置して前記筐体に配設さ
れ、前記筐体を他の構造物に固定する固定座とを具備す
ることを特徴とするレーザ発振器。 - 【請求項１２】 前記固定座は、前記筐体の長手方向の
ほぼ端部に位置して配設することを特徴する請求項１１
記載のレーザ発振器。 - 【請求項１３】 レーザ媒質ガスを封入する筐体と、 複数の支持棒に挿嵌される支持部材を介して前記筐体に
支持される一対の対向する基板に複数のレーザ反射ミラ
ーを配設するレーザビーム反射手段とを具備し、 前記支持部材は一対の軸受に前記支持棒が貫通されると
共に、前記一対の軸受のうち一方の軸受と前記支持棒と
の相対位置関係を機械的に決定することを特徴とするレ
ーザ発振器。 - 【請求項１４】 前記軸受と前記支持棒との相対位置関
係は、前記軸受に弾性部材を介して前記支持棒の段差部
に押付け機械的に決定することを特徴とする請求項１３
記載のレーザ発振器。 - 【請求項１５】 レーザ媒質ガスを封入する筐体と、 複数の支持棒に挿嵌される支持部材を介して前記筐体に
支持される一対の対向する基板に複数のレーザ反射ミラ
ーを配設するレーザビーム反射手段とを具備し、 前記支持部材は一対の球面軸受に前記支持棒が貫通され
ると共に、前記一対の球面軸受のうち一方の球面軸受の
片側を前記支持棒の段差部、反対側を弾性部材にて押さ
えることで前記球面軸受と前記支持棒との相対位置関係
を機械的に決定することを特徴とするレーザ発振器。 - 【請求項１６】 前記軸受または前記球面軸受と前記支
持棒との相対位置関係は、前記軸受または前記球面軸受
にバネを介して前記支持棒の段差部に押付け機械的に決
定することを特徴とする請求項１３または請求項１５記
載のレーザ発振器。 - 【請求項１７】 レーザ媒質ガスを封入する筐体と、 前記筐体内で対向して配設され、前記レーザ媒質ガスを
用いてレーザビームを発振させる一対の放電電極と、 前記レーザ媒質ガスを前記筐体内で循環する循環手段
と、 前記筐体内に配設され、前記放電電極で発生する放電に
て高温となった前記レーザ媒質ガスを冷却する複数の熱
交換器とを具備し、 前記複数の熱交換器の互いの位置関係を前記筐体への取
付面に対する垂直方向からみて前記筐体の中心に対して
ほぼ点対称とすると共に、更に、 前記筐体の長手方向のほぼ端部に位置して配設され、前
記筐体を他の構造物に固定する固定座を具備することを
特徴とするレーザ発振器。 - 【請求項１８】 レーザ媒質ガスを封入する筐体と、 前記筐体内で対向して配設され、前記レーザ媒質ガスを
用いてレーザビームを発振させる一対の放電電極と、 前記レーザ媒質ガスを前記筐体内で循環する循環手段
と、 前記筐体内に配設され、前記放電電極で発生する放電に
て高温となった前記レーザ媒質ガスを冷却する熱交換器
と、 前記筐体に配設され、前記熱交換器に冷却媒質を供給・
排出する熱交換器用入口ポート及び熱交換器用出口ポー
トとを具備し、 前記熱交換器用入口ポートと前記熱交換器用出口ポート
との互いの位置関係で前記筐体への取付面に対する垂直
方向からみて前記放電電極に平行な前記筐体の中心線か
らの距離をほぼ等しくすると共に、更に、 前記筐体の長手方向のほぼ端部に位置して配設され、前
記筐体を他の構造物に固定する固定座を具備することを
特徴とするレーザ発振器。 - 【請求項１９】 レーザ媒質ガスを封入する筐体と、 前記筐体内で対向して配設され、前記レーザ媒質ガスを
用いてレーザビームを発振させる一対の放電電極と、 前記レーザ媒質ガスを前記筐体内で循環する循環手段
と、 前記筐体に配設され、前記放電電極で発生する放電にて
高温となった前記放電電極を冷却する冷却媒質を供給・
排出する放電電極用入口ポート及び放電電極用出口ポー
トとを具備し、 前記放電電極用入口ポート及び前記放電電極用出口ポー
トとの互いの位置関係で前記筐体への取付面に対する垂
直方向からみて前記放電電極に平行な前記筐体の中心線
からの距離をほぼ等しくすると共に、更に、 前記筐体の長手方向のほぼ端部に位置して配設され、前
記筐体を他の構造物に固定する固定座を具備することを
特徴とするレーザ発振器。
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