JPS6028153B2 - レ−ザ発振装置 - Google Patents
レ−ザ発振装置Info
- Publication number
- JPS6028153B2 JPS6028153B2 JP17553380A JP17553380A JPS6028153B2 JP S6028153 B2 JPS6028153 B2 JP S6028153B2 JP 17553380 A JP17553380 A JP 17553380A JP 17553380 A JP17553380 A JP 17553380A JP S6028153 B2 JPS6028153 B2 JP S6028153B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fixed
- flange
- laser oscillator
- dimension
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、外部要因による歪、熱膨張等の影響を吸収す
る構造となし、もってレーザ発振器の両鏡間寸法を一定
に保持するようにしたレーザ発振装置に関する。
る構造となし、もってレーザ発振器の両鏡間寸法を一定
に保持するようにしたレーザ発振装置に関する。
まず標準的な炭酸ガスレーザ発振器について第1図の図
面とともに説明する。
面とともに説明する。
このレーザ発振器においては、通常ハーフミラーと呼ば
れる半透過出力結合鏡(以下出力鏡と称す)1が相対す
る全反射鏡2との間をレーザ管3で封じられ、端子4・
5間に電圧を印加した状態でレーザガス6を真空ポンプ
7で排気させることにより、出力鏡1からしーザ出力8
となって発振される。この時、出力鏡1と全反射鏡2と
の間の寸法Lの変動がパワーの変動となり、レーザ発振
器の不安定性の主因をなしている。このため、出力鏡1
と全反射鏡2との間の寸法Lを安定させることがレーザ
発振器設計の重要な点であり、従釆は、この左右の鏡1
と2を固定するのに第2図のような方法をとっていた。
れる半透過出力結合鏡(以下出力鏡と称す)1が相対す
る全反射鏡2との間をレーザ管3で封じられ、端子4・
5間に電圧を印加した状態でレーザガス6を真空ポンプ
7で排気させることにより、出力鏡1からしーザ出力8
となって発振される。この時、出力鏡1と全反射鏡2と
の間の寸法Lの変動がパワーの変動となり、レーザ発振
器の不安定性の主因をなしている。このため、出力鏡1
と全反射鏡2との間の寸法Lを安定させることがレーザ
発振器設計の重要な点であり、従釆は、この左右の鏡1
と2を固定するのに第2図のような方法をとっていた。
すなわち、レーザ発振器9の固定フランジ10を取付体
11に固定し、可動フランジ12との間をパイプ・板等
の連結材13を用いて一体化し、可動フランジ12は取
付体11に固定された摺動板14上を摺動するローラ1
5にて支持し、これにより鏡1と2との間の寸法LAは
フランジ10と12間寸法LBにのみ影響を受け、取付
体11が最も影響を受ける歪、熱膨張(特に外気温の変
化)はローラ15に吸収させていた。
11に固定し、可動フランジ12との間をパイプ・板等
の連結材13を用いて一体化し、可動フランジ12は取
付体11に固定された摺動板14上を摺動するローラ1
5にて支持し、これにより鏡1と2との間の寸法LAは
フランジ10と12間寸法LBにのみ影響を受け、取付
体11が最も影響を受ける歪、熱膨張(特に外気温の変
化)はローラ15に吸収させていた。
しかし、この方法は、ローラ15が摺動板14上に自重
で載っているだけであるため特定の方向にしか利用でき
なかった。また第3図は、取付方法を全姿勢としてもの
で、取付体11に一方の固定フランジ16と他方の固定
フランジ17を固定させ、連結材13で一体化し、鏡1
と2との間の寸法Lcを一定に保つため、特に膨張吸収
材18をレーザ発振器9とフランジ16との間に取付け
たものである。
で載っているだけであるため特定の方向にしか利用でき
なかった。また第3図は、取付方法を全姿勢としてもの
で、取付体11に一方の固定フランジ16と他方の固定
フランジ17を固定させ、連結材13で一体化し、鏡1
と2との間の寸法Lcを一定に保つため、特に膨張吸収
材18をレーザ発振器9とフランジ16との間に取付け
たものである。
この方法では、膨張率1の連結材13に対して膨張率1
0の膨張吸収材18をフランジ16と17との間の寸法
Loの1/10の長さで取付けることにより連結材13
の伸びは膨張吸収材18の伸びで相殺され、鏡1と2と
の間の寸法Lcは一定に保たれるが、連結材13にィン
バ一等の高級材を必要とし、構造的にも複雑であり、実
際的には取付体11の伸びと連結材13の伸びの差が吸
収できず、第2図に示すローラ方法と併用することがな
く、実用的でなかった。本発明は、以上のような従来か
らの問題点に対処してなされたものであり、以下その一
実施例を第4図、第5図の図面とともに説明する。
0の膨張吸収材18をフランジ16と17との間の寸法
Loの1/10の長さで取付けることにより連結材13
の伸びは膨張吸収材18の伸びで相殺され、鏡1と2と
の間の寸法Lcは一定に保たれるが、連結材13にィン
バ一等の高級材を必要とし、構造的にも複雑であり、実
際的には取付体11の伸びと連結材13の伸びの差が吸
収できず、第2図に示すローラ方法と併用することがな
く、実用的でなかった。本発明は、以上のような従来か
らの問題点に対処してなされたものであり、以下その一
実施例を第4図、第5図の図面とともに説明する。
レーザ発振器9の一端にある出力鏡1はアラィメントュ
ニット1′に取付けられて固定フランジ19に固定され
ており、その固定フランジ19は取付体11に締結臭2
川こより固定されている。一方、レーザ発振器9の他端
にある全反射鏡2はアラィメントュニット2′に取付け
られて可動フランジ21に固定されている。しかし、こ
の可動フランジ21は取付体11に固定されてはいない
。そして左右のフランジ19と21は4本の連結材22
に締結臭23により固定されて連結されている。また可
動フランジ21の近傍には取付体11に締結臭24によ
って固定された他方の固定フランジ25があり、この固
定フランジ25で連続材22を摺動機造にて支持する構
造である。26がその摺動部材を示している。
ニット1′に取付けられて固定フランジ19に固定され
ており、その固定フランジ19は取付体11に締結臭2
川こより固定されている。一方、レーザ発振器9の他端
にある全反射鏡2はアラィメントュニット2′に取付け
られて可動フランジ21に固定されている。しかし、こ
の可動フランジ21は取付体11に固定されてはいない
。そして左右のフランジ19と21は4本の連結材22
に締結臭23により固定されて連結されている。また可
動フランジ21の近傍には取付体11に締結臭24によ
って固定された他方の固定フランジ25があり、この固
定フランジ25で連続材22を摺動機造にて支持する構
造である。26がその摺動部材を示している。
なお、先に述べた締結臭23はフランジ21と連結材2
2を固定するものであるが、固定する方法はボルト.溶
接.ピン打込み等を問わない。中間フランジ27はしー
ザ管を長くできない時に分割して中央で中継した場合に
用いるものである。以上のような構造により、取付体1
1に生じる歪、熱膨張は寸法LEとなって変動するが、
鏡1と2との間の寸法LFはフランジ19・21間寸法
LGに左右されるのみで、固定フランジ25が連結材2
2に対して摺動機造になっているため寸法LEの影響を
ほとんど受けなくてすむ。このため鏡1と2との間の寸
法LFが安定し、レーザ出力8が安定する。またこのよ
うな摺動部以外はすべて固定した構造をなしているため
しーザ出力8を取出す方向が問われず、全姿勢レーザ発
振器が得られる。また、より精度の高い鏡1と2との間
の寸法を得ようとすれば、連結材22をィンバーのよう
な熱膨張の4・さし、材料にするか、連結材22をパイ
プとし、その中に水、油等を温度調整しつつ流せばよい
。さらにはしーザ発振器その物を全体的に温度調整すれ
ばよい。横動部材26としては油舎浸軸受やニードルベ
アリングを用いるのが望ましいが、鏡1と2間の寸法精
度を大きくとれる場合には摺動部材26は廃止し、単に
連結材22の挿入可能な穴だけを固定フランジ25に設
けてもかまわなく、基本的機能には影響がない。以上の
ように本発明のレーザ発振装置は、外部要因による歪、
熱膨張等の影響を吸収する構造となっているので、レー
ザ発振器の両鏡間の寸法を一定に保つことができ、した
がってレーザ出力を安定にすることができるものである
。
2を固定するものであるが、固定する方法はボルト.溶
接.ピン打込み等を問わない。中間フランジ27はしー
ザ管を長くできない時に分割して中央で中継した場合に
用いるものである。以上のような構造により、取付体1
1に生じる歪、熱膨張は寸法LEとなって変動するが、
鏡1と2との間の寸法LFはフランジ19・21間寸法
LGに左右されるのみで、固定フランジ25が連結材2
2に対して摺動機造になっているため寸法LEの影響を
ほとんど受けなくてすむ。このため鏡1と2との間の寸
法LFが安定し、レーザ出力8が安定する。またこのよ
うな摺動部以外はすべて固定した構造をなしているため
しーザ出力8を取出す方向が問われず、全姿勢レーザ発
振器が得られる。また、より精度の高い鏡1と2との間
の寸法を得ようとすれば、連結材22をィンバーのよう
な熱膨張の4・さし、材料にするか、連結材22をパイ
プとし、その中に水、油等を温度調整しつつ流せばよい
。さらにはしーザ発振器その物を全体的に温度調整すれ
ばよい。横動部材26としては油舎浸軸受やニードルベ
アリングを用いるのが望ましいが、鏡1と2間の寸法精
度を大きくとれる場合には摺動部材26は廃止し、単に
連結材22の挿入可能な穴だけを固定フランジ25に設
けてもかまわなく、基本的機能には影響がない。以上の
ように本発明のレーザ発振装置は、外部要因による歪、
熱膨張等の影響を吸収する構造となっているので、レー
ザ発振器の両鏡間の寸法を一定に保つことができ、した
がってレーザ出力を安定にすることができるものである
。
第1図は標準的な炭酸ガスレーザ発振器の原理図、第2
図、第3図はそれぞれ従釆のレーザ発振装置の正面図、
第4図は本発明によるレーザ発振装置の一実施例の正面
図、第5図は同側面図である。 1・・・・・・半透過出力結合鏡、2・・・・・・全反
射鏡、8・・・・・・レーザ出力、9・・・・・・レー
ザ発振器、11・・・・・・取付体、19・・・・・・
固定フランジ、21…・・・可動フランジ、22・・・
・・・連結材、25・・・・・・他の固定フランジ、2
6・・・・・・摺動部村。 第1図 第2図 第3図 第4図 第5図
図、第3図はそれぞれ従釆のレーザ発振装置の正面図、
第4図は本発明によるレーザ発振装置の一実施例の正面
図、第5図は同側面図である。 1・・・・・・半透過出力結合鏡、2・・・・・・全反
射鏡、8・・・・・・レーザ出力、9・・・・・・レー
ザ発振器、11・・・・・・取付体、19・・・・・・
固定フランジ、21…・・・可動フランジ、22・・・
・・・連結材、25・・・・・・他の固定フランジ、2
6・・・・・・摺動部村。 第1図 第2図 第3図 第4図 第5図
Claims (1)
- 1 レーザ発振器の両側の半透過出力結合鏡部と全反射
鏡部とを固定フランジと可動フランジにそれぞれ固定し
、前記固定フランジと可動フランジを連結材を用いて連
結して組立てによる一体構造となし、前記固定フランジ
を取付体に固定するとともに前記連結材に摺動構造にて
取付けた他の固定フランジと同じく前記取付体に固定し
たことを特徴とするレーザ発振器装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17553380A JPS6028153B2 (ja) | 1980-12-11 | 1980-12-11 | レ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17553380A JPS6028153B2 (ja) | 1980-12-11 | 1980-12-11 | レ−ザ発振装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5797689A JPS5797689A (en) | 1982-06-17 |
JPS6028153B2 true JPS6028153B2 (ja) | 1985-07-03 |
Family
ID=15997728
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17553380A Expired JPS6028153B2 (ja) | 1980-12-11 | 1980-12-11 | レ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6028153B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9233696B2 (en) | 2006-03-20 | 2016-01-12 | General Electric Company | Trip optimizer method, system and computer software code for operating a railroad train to minimize wheel and track wear |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6396980A (ja) * | 1986-10-14 | 1988-04-27 | Fanuc Ltd | レ−ザ共振器 |
JPH07307506A (ja) * | 1994-05-16 | 1995-11-21 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ発振器 |
JPH08256U (ja) * | 1995-08-02 | 1996-02-06 | ファナック株式会社 | レーザ共振器 |
JP3858695B2 (ja) | 2000-05-30 | 2006-12-20 | 松下電器産業株式会社 | レーザ発振装置 |
RU2570341C1 (ru) * | 2014-06-03 | 2015-12-10 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") | Резонатор лазера |
RU2570366C1 (ru) * | 2014-06-03 | 2015-12-10 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") | Универсальный резонатор лазера |
-
1980
- 1980-12-11 JP JP17553380A patent/JPS6028153B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9233696B2 (en) | 2006-03-20 | 2016-01-12 | General Electric Company | Trip optimizer method, system and computer software code for operating a railroad train to minimize wheel and track wear |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5797689A (en) | 1982-06-17 |
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