JP2007329260A - レーザ発振装置 - Google Patents
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- 230000010355 oscillation Effects 0.000 title claims abstract description 37
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 23
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 8
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 4
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000012788 optical film Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 230000010356 wave oscillation Effects 0.000 description 1
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- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/181—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation
- G02B7/1815—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation with cooling or heating systems
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- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
- H01S3/0071—Beam steering, e.g. whereby a mirror outside the cavity is present to change the beam direction
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
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Abstract
【解決手段】筐体を有し、この筐体の内部でレーザ光を発生するレーザ発振器、このレーザ発振器で発生したレーザ光を導く第1ミラー、および第1ミラーと平行に配置され第1ミラーからのレーザ光をさらに導く第2ミラーを備え、第1ミラーと第2ミラーがともに共通のミラー支持部材に取り付けられ、このミラー支持部材が、レーザ発振器の筐体に対して、三角形の各頂点に位置する単に3つの固着部材により、機械的に結合された。
【選択図】図1
Description
図1は、この発明によるレーザ発振装置の実施の形態1を示す斜視図である。この実施の形態1のレーザ発振装置100は、例えばレーザ加工機に使用される。
図5は、この発明によるレーザ発振装置の実施の形態2を示す斜視図である。この実施の形態2のレーザ発振装置100Aは、実施の形態1における光学ユニット20に代わって、光学ユニット20Aを使用する。この光学ユニット20Aは、ミラー系21と、ミラー支持構造30と、ミラー支持部材411を有する。ミラー系21は、実施の形態1と同じに、第1ミラー22と、第2ミラー24を有する。ミラー支持構造30は、これらのミラー22、24を共通に支持する。このミラー支持構造30は、実施の形態2では、円筒状のミラー支持体31とされる。ミラー支持部材411は、実施の形態1で使用されたミラー支持部材41に一対の取付アーム46を付加して構成される。この取付アーム46はミラー支持部材411の主面41Aに一体に形成され、この取付アーム46によりミラー支持体31がミラー支持部材411に取り付けられる。第1ミラー22が取り付けられるミラーブロック23Aおよび第2ミラー24が取り付けられるミラーブロック25Aは、円筒状のミラー支持体31の両端部にねじ込まれるように、円筒状に構成される。その他は、実施の形態1と同じに構成される。
図6は、この発明によるレーザ発振装置の実施の形態3を示す斜視図であり、図7は、実施の形態3における箱形ミラー支持体35をレーザ発振器10の側から見た斜視図である。
20、20A、20B:光学ユニット、21、21A:ミラー系、22:第1ミラー、
24:第2ミラー、41、411、412:ミラー支持部材、17:支持基板、
30:ミラー支持体、31:円筒状ミラー支持体、35:箱形ミラー支持体、
39A、39B:対角リブ、33:冷却配管。
Claims (7)
- 筐体を有し、この筐体の内部でレーザ光を発生するレーザ発振器、
前記レーザ発振器で発生した前記レーザ光を導く第1ミラー、および
前記第1ミラーと平行に配置され前記第1ミラーからの前記レーザ光をさらに導く第2ミラーを備えたレーザ発振装置であって、
前記第1ミラーと前記第2ミラーがともに共通のミラー支持部材に取り付けられ、このミラー支持部材が、前記レーザ発振器の筐体に対して、三角形の各頂点に位置する単に3つの固着部材により、機械的に結合されたことを特徴とするレーザ発振装置。 - 請求項1記載のレーザ発振装置であって、前記ミラー支持部材が、前記3つの固着部材により、前記レーザ発振器の筐体に直接取り付けられたことを特徴とするレーザ発振装置。
- 請求項1記載のレーザ発振装置であって、前記レーザ発振器の筐体が支持基板に取り付けられ、また、前記ミラー支持部材が前記3つの固着部材により前記支持基板に取り付けられたことを特徴とするレーザ発振装置。
- 請求項1記載のレーザ発振装置であって、さらに、前記第1ミラーと前記第2ミラーを共通に支持するミラー支持構造を備え、このミラー支持構造が、平板よりも剛性の高い形状に構成され、前記ミラー支持部材に取り付けられたことを特徴とするレーザ発振装置。
- 請求項4記載のレーザ発振装置であって、前記ミラー支持構造として円筒状のミラー支持体が使用されたことを特徴とするレーザ発振装置。
- 請求項4記載のレーザ発振装置であって、前記ミラー支持構造として方形の箱形ミラー支持体が使用され、この箱形ミラー支持体は、4つのコーナー部と、この各コーナー部を連結する対角リブを含むことを特徴とするレーザ発振装置。
- 請求項4記載のレーザ発振装置であって、前記第1ミラーと前記第2ミラーには、それらを冷却する冷却配管が付設されたことを特徴とするレーザ発振装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006158646A JP4979277B2 (ja) | 2006-06-07 | 2006-06-07 | レーザ発振装置 |
DE102006056406A DE102006056406B4 (de) | 2006-06-07 | 2006-11-29 | Laseroszillationsvorrichtung |
CNB2006101630634A CN100540203C (zh) | 2006-06-07 | 2006-11-30 | 激光振荡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006158646A JP4979277B2 (ja) | 2006-06-07 | 2006-06-07 | レーザ発振装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011241983A Division JP5400123B2 (ja) | 2011-11-04 | 2011-11-04 | レーザ発振装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007329260A true JP2007329260A (ja) | 2007-12-20 |
JP4979277B2 JP4979277B2 (ja) | 2012-07-18 |
Family
ID=38663889
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006158646A Active JP4979277B2 (ja) | 2006-06-07 | 2006-06-07 | レーザ発振装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4979277B2 (ja) |
CN (1) | CN100540203C (ja) |
DE (1) | DE102006056406B4 (ja) |
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-
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- 2006-06-07 JP JP2006158646A patent/JP4979277B2/ja active Active
- 2006-11-29 DE DE102006056406A patent/DE102006056406B4/de active Active
- 2006-11-30 CN CNB2006101630634A patent/CN100540203C/zh active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
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CN100540203C (zh) | 2009-09-16 |
CN101085493A (zh) | 2007-12-12 |
JP4979277B2 (ja) | 2012-07-18 |
DE102006056406A1 (de) | 2007-12-13 |
DE102006056406B4 (de) | 2010-07-22 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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