JP4144642B2 - レーザ光源装置及びこれを用いた画像生成装置 - Google Patents
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Description
この場合、折り返し反射ミラーによって反射されて戻る高調波と、元の出射方向に発生する高調波との干渉によって、高調波の出力が安定しないという問題が生じる。
また、波長変換効率を高めるためには、波長変換素子においてビームを絞ることが望ましいので、このように距離をおいて反射ミラーを設ける場合は、大型のミラーが必要となってしまう。
上記特許文献1に記載されているような線状光を出力する横マルチモードのレーザ光源装置に適用する場合は、特にビームの長軸方向において大きなサイズの折り返し反射ミラーが必要になってしまい、装置の小型化が困難となるという問題がある。
このように、高調波の時間干渉距離の1/2以上の曲率半径の凹面鏡を折り返し反射部として設ける構成とすることによって、波長変換素子から凹面鏡までの光路長を時間干渉距離以上とすることができ、また、凹面鏡を回転又は並進移動することによって、比較的少ない移動量により、所望の空間的ずらし量をもって高調波を波長変換素子に戻す機構を実現できる。
本発明の画像生成装置によれば、本発明のレーザ光源装置を用いることにより、安定した高い出力の高調波光を利用した画像生成が可能となる。
本発明の画像生成装置によれば、空間的干渉が低減されて安定した出力の高調波を利用した画像の生成が可能となる。
図1は、本発明の実施形態例に係るレーザ光源装置の一例の概略平面構成図である。この例においては、図1に示すように、励起光源1と、その出射光路上に、共振器30を構成する一方の共振器ミラー5、レーザ媒質6、凹面ミラー等より成る反射部7が配置され、更にこの反射部7による反射光路上に、非線形光学素子等より成る波長変換素子9、共振器30を構成する他方の共振器ミラーが配置される。そして本発明のレーザ光源装置20においては、この共振器ミラー10の波長変換素子9とは反対側、すなわち共振器30の外部に、波長変換素子9で発生する高調波のうち一方の高調波を反射する折り返し反射部11を設ける構成とする。
なお、図2及び図3において、ビームBL1及びBS1は折り返し反射部11の反射面における高調波の長軸方向の断面、短軸方向の断面の強度分布をそれぞれ示す。ビームの全幅はビーム断面における強度分布が光軸強度の1/e2(eは自然対数の底)となる位置の幅とする。また、破線BL3及びBS3はビーム全幅に対して略100%位置をずらした場合の強度分布を示す。
同様に、y軸方向について、高調波の干渉強度がビジビリティの1/e2となる位置ずれ量のビーム全幅に対する割合がR%であるとき、y軸方向の位置ずれ量としてはR%から100%の間において、用途に応じて適宜選定することができる。
図7に示すように、ビームB1に対し、x及びy軸方向の回転又は並進異動と、z軸方向の並進移動を行う場合は、図8A〜Gに示すように7通りの空間的なずらしを実現できる。図8において、図5と対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。図8A〜Cにおいては、x軸方向の回転又は並進移動、y軸方向の回転又は並進移動、z軸方向の並進移動をそれぞれ単独で行う場合のビームB1及びB2を重ね合わせた様子を示す。図8D〜Fにおいては、x軸及びy軸方向の回転又は並進移動の組み合わせ、x軸方向の回転又は並進移動とz軸方向の並進移動との組み合わせ、y軸方向の回転又は並進移動とz軸方向の並進移動との組み合わせによる2方向の移動を行う場合を示す。そして図8Gにおいては、x及びy軸方向の回転又は並進移動とz軸方向の並進移動との組み合わせによる3方向の移動を行う場合を示す。
例えばz軸方向にずらさない場合(実線V)、x軸方向のずらし量をbとすると、ビジビリティがv0からv1に低下するとする。
逆にx軸方向にずらさずに、z軸方向だけのずらし量Zを±dとすることで、同様にビジビリティがv0からv1に低下する。
つまり、前述の図2及び図3においては、それぞれの方向(横マルチモードのビームを用いる場合、長軸方向と短軸方向のどちらか)にずらした場合について説明したが、このように、2軸以上の方向にずらす場合においては、空間コヒーレンス長未満のずらし量であっても、総合的にビジビリティを光軸位置に対して1/e2以下に低減できるといえる。
この場合、x軸方向のずらし量がa<bと少なくなることにより、ビームが変形しにくくなるという利点がある。また、z軸方向のずらし量も少なくなるため、折り返し反射部の移動距離を抑え、移動空間を小さくでき、小型化に有利となる。
〔1〕第1の実施形態例
本実施形態例に係るレーザ光源装置20の一例の概略平面構成図及び概略側面光製図を図13及び図14に示す。この例においては、励起光源として半導体レーザアレイ等より成る横マルチモードのレーザ光を出射する固体レーザを用いてレーザ光源装置20を構成する例を示す。図13及び図14において、図1と対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
図13及び図14に示すように、励起光源1の出射光路上には、2つのコリメータレンズ2及び3、集光レンズ4、共振器ミラー5、レーザ媒質6、凹面鏡等より成る反射部7が配置される。そして反射部7の反射光路上に、凹面鏡等より成り、基本波を高反射率で反射し、高調波を高透過率で透過するもう1つの反射部8を配置する。反射部8の反射光路上に、非線形光学結晶、非線形光学素子等より成る波長変換素子9、共振器ミラー10及び折り返し反射部11を配置する。このように、共振器ミラー5及び10の間の光路で構成される共振器30内に、反射部7及び8を設けて折り返し光路構成とすることで、レーザ装置20全体の小型化を図ることができる。
半導体レーザを用いる場合、y−z平面内ではx−z平面内に比べて大きな発散角をもつが、各面について別個のシリンドリカルレンズを用いるので、出射ビーム径をそれぞれ独立に制御して所望のビーム形状にすることができる。また、レーザダイオードの発光領域の大きさにより非点収差が問題となるときは、その補正用として上記のシリンドリカルレンズを用いることが好ましい。
またこの例においては、上述したように横マルチモードのレーザ光を励起光源1からの励起光として利用する構成であり、横マルチモードとする長軸方向に折り返し高調波をずらすことによって、比較的少ないずらし量で干渉ビジビリティを低減することが可能である。
また、共振器30内に設ける光路折り返し用の反射部7又は8として凹面鏡を用いる場合は、ビームウエスト位置での干渉が強められるが、折り返し反射部11のずらし量を調整し、例えば2軸又は3軸方向に移動することによって、十分に干渉を低減することが可能である。
次に、図15〜図18を参照して、本発明の第2の実施形態例に係るレーザ光源装置20の各例について説明する。これらの例においては、レーザ媒質の側面から励起光を照射するいわゆるサイドポンプ型構成とするものである。図15〜図18において、図13及び図14と対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
サイドポンプ型構成とする場合、構成の簡素化によって部品点数の削減やコスト低減に有効であり、光学的な調整箇所が少なく組み立て調整作業の簡易化を図るなどの利点が得られる。
また、図16に示す例においては、コリメータレンズ3を使わないため、x−y平面内においてのみコリメーションが行われる。
そして、レーザ媒質6から出射される基本波の光路上に反射部7が配置され、反射部7の反射光路上に例えば凹面ミラーより成る反射部8、反射部8の反射光路上に波長変換素子9、共振器ミラー10、更に折り返し反射部11が配置される。共振器ミラー5及び10、反射部7及び8が基本波に対して高反射率とされる。
波長変換素子9としては、上述の図1において説明した例と同様に各種材料より成る非線形光学素子又は非線形光学結晶を用いることができる。
z軸方向に沿って反射部7に到達したレーザ光は反射部7で反射され、反射部8に向かい、更に反射部8によって反射されて波長変換素子9に入射される。波長変換素子9を透過した基本波は共振器ミラー10により反射され、共振器ミラー5との間の光路を往復する。
図1において説明した例と同様に、折り返し反射部11の配置位置、反射角度を調整することによって、折り返し反射部11により反射される高調波を波長変換素子9において他方に出射される高調波と空間的にずらして重ね合わせることができる。これにより、高調波の重ねあわせによる干渉効果を低減し、出力及びビームプロファイルの安定化を図ることができる。
またこの例においても、上述したように横マルチモードのレーザ光を励起光源1からの励起光として利用する構成であり、横マルチモードとする長軸方向に折り返し高調波をずらすことによって、比較的少ないずらし量で干渉ビジビリティを低減することが可能である。
また、共振器30内に設ける光路折り返し用の反射部7又は8又は10として凹面鏡を用いる場合は、ビームウエスト位置での干渉が強められるが、折り返し反射部11のずらし量を調整し、例えば2軸又は3軸方向に移動することによって、十分に干渉を低減することが可能である。
図15に示す例においては、コリメータレンズ2及び3によるコリメートを行うため、平行光での励起により、高効率のサイドポンプを実現することが可能である。発振モードサイズと励起光のサイズを一致させれば、1次元横マルチモード発振においてエンドポンプ型構成とするレーザ光源装置と同様の高効率発振が可能となる。
また、図16に示す例では、コリメータレンズ2を用いてx−y平面内でのコリメーションを行い、レーザ媒質6の縦方向(z軸方向)において発振モードサイズと励起光のサイズを一致させることができる。
更に、図17に示す例では、コリメータレンズを用いない構成とするので、部品点数やコストの削減、製造工程の簡易化に有利となる。
この例においても、折り返し反射部11によって、波長変換素子9に戻す高調波を反射部8に向かって出射され高調波に対し空間的にずらして重ね合わせることができるので、干渉効果を低減することが可能となる。
この場合、共振器30は、平面鏡等より成る共振器ミラー5、凹面鏡等より成る反射部7、平面鏡等より成る反射部10を用いて構成され、反射部7と共振器ミラー10との間の光路上に、波長変換素子9が配置される。
そして反射部10の波長変換素子9と対向する側とは反対側に、波長変換素子9から出射される高調波を反射する折り返し反射部11が配置される。
この場合においても、この折り返し反射部11の配置位置、反射角度を調整することによって、上述の各実施形態例と同様に、波長変換素子9内で高調波を空間的にずらして重ね合わせることができる。これにより、干渉効果を低減し、出力及びビームプロファイルの安定化を図ることができる。
またこの例においても、上述したように横マルチモードのレーザ光を励起光源1からの励起光として利用する構成であり、横マルチモードとする長軸方向に折り返し高調波をずらすことによって、比較的少ないずらし量で干渉ビジビリティを低減することが可能である。
また、共振器30内に設ける光路折り返し用の反射部7として凹面鏡を用いるため、ビームウエスト位置での干渉が強められるが、折り返し反射部11のずらし量を調整し、例えば2軸又は3軸方向に移動することによって、十分に干渉を低減することが可能である。
時間干渉のみでなく空間干渉効果をも合わせて低減することにより、時間干渉のみを低減する場合と比べて折り返しに必要なスペースを最小限とすることができ、レーザ光源装置の小型化を図ることができる。
また、x軸方向、y軸方向及びz軸方向のうち2軸以上の方向について空間的にずらして重ね合わせる構成とすることにより、単独のずらし量を少なくしても十分に干渉効果を低減することが可能である。またずらし量を小さくできる場合は、ビームのプロファイル形状の変形を抑制し、波長変換素子の有効径を小さくすることができ、振動等の外乱の影響をより受けにくくすることができる。
なお、このように2軸以上の方向についてずらして重ね合わせる場合は、波長変換素子から時間コヒーレンス長以下の距離をもって折り返し反射部を配置することも可能となる。このため、ビーム形状にもよるが、折り返し反射部と波長変換素子との間隔を小さくすることで、折り返し反射部の小径化も可能である。
また、共振器内に設ける反射部として凹面鏡を用いる場合は、ビームウエスト位置での干渉が強められるが、折り返し反射部のずらし量を調整し、例えば2軸又は3軸方向に移動することによって、十分に干渉を低減することが可能である。
更に、部品点数を少なくすることで、光学ロスの少ない高効率なレーザ光源装置を提供することが可能である。
図20に示すように、この画像生成装置100は本発明構成によるレーザ光源装置20と、照明光学系50、例えば回折格子型の1次元光変調装置51及び光選択部52を含む光変調部55、投射光学部53、走査素子54を有する走査光学部56から構成される。レーザ光源装置20としては、前述の実施形態例と同様に例えば横マルチモードの1次元状の高調波を出力する構成とし得る。そしてこのレーザ光源装置20から出射されて照明光学系50において例えば光束形状を整えられたレーザ光Loは、例えば回折格子型構成の1次元光変調装置51に例えば1次元状(線状)の光ビームとして照射される。
回折格子型の光変調装置51は外部演算部150において生成された画像信号をもとに、図示しない駆動回路からの信号Spを受けて動作する。光変調装置51を回折格子型構成とする場合、その回折光が光選択部52に入射される。なお、例えば三原色の光を用いる場合は、各色の光源からそれぞれ1次元照明装置、各色用光変調装置を経てL字型プリズム等の色合成部により光束を重ね合わせて光選択部に出射される構成としてもよい。
光選択部52はオフナーリレー光学系等より成り、シュリーレンフィルター等の空間フィルター(図示せず)を有し、ここにおいて例えば+1次光が選択されて1次元画像光Lmとして出射される。更に投射光学部53によって拡大等を行い、走査光学部56における走査素子54の矢印rで示す回転によりL1、L2、・・・Ln−1、Lnで示すように走査され、スクリーン等の画像生成面100上に2次元像57が生成される。画像生成面60上において走査位置は矢印sで示すように走査される。走査素子54としては、例えばガルバノミラー、ポリゴンミラーの他、例えば電磁石等によって共振して走査を行ういわゆるレゾナントスキャナを用いることも可能である。
高調波光の折り返しにビームを重ね合わせると干渉効果が比較的大きい場合、これを画像生成装置100のレーザ光源装置として得られる画質は、時間的な変化を伴った不安定なものになる。これは、干渉効果によって時間変動する光源の出力変動そのものを反映するからである。この不安定性は、高調波折り返し用の折り返し反射部を時間干渉距離以上に波長変換素子から離間させて配置する場合にも起こり得る。
これに対し、上述した本発明構成のレーザ光源装置を用いる場合は、出力及びビームプロファイルを安定化できるので、時間変動の少ない画質を達成できる。
更にまた、画像生成装置以外においても、共振器内部に波長変換素子を有するレーザ装置を1以上用いる光学装置であれば、その少なくとも1つのレーザ光源装置に本発明を適用することが可能である。
Claims (8)
- 励起光源と、一対の共振器ミラーとを有し、前記共振器ミラーにより構成される共振器内に少なくともレーザ媒質と波長変換素子とが設けられるレーザ光源装置であって、
前記波長変換素子において発生する2本の高調波のうち一方の高調波が、前記共振器の外部に取り出されて折り返し反射部により前記波長変換素子に戻される構成とされ、
前記折り返し反射部により戻された高調波は、前記波長変換素子で発生する他方の高調波と空間的にずらして重ね合わされて、外部に出力される
ことを特徴とするレーザ光源装置。 - 前記共振器外部に設置する前記高調波の折り返し反射部に、凹面鏡が用いられることを特徴とする請求項1記載のレーザ光源装置。
- 前記波長変換素子で発生する2本の高調波のうちの一方の高調波が、前記共振器の外部に取り出された後前記折り返し反射部によって反射されて再び前記波長変換素子に戻される際に、前記波長変換素子においてもう一方向に出射した高調波とビームの大きさをずらして、前記波長変換素子で発生する他方の高調波に重ね合わされることを特徴とする請求項2記載のレーザ光源装置。
- 前記共振器を構成する共振器ミラーの載置された基体の表面と垂直な方向をy軸とし、前記折り返し反射部に入射する光の光軸に沿う方向をz軸とし、前記y軸及びz軸と直交する方向をx軸とすると、
前記波長変換素子で発生する2本の高調波のうちの一方の高調波が、前記共振器の外部に取り出された後前記折り返し反射部によって反射されて再び前記波長変換素子に戻される際に、前記x軸方向、y軸方向及びz軸方向のうち、少なくとも1以上の方向にビームをずらして、前記波長変換素子で発生する他方の高調波に重ね合わされることを特徴とする請求項1記載のレーザ光源装置。 - 前記共振器を構成する共振器ミラーの載置された基体の表面と垂直な方向をy軸とし、前記折り返し反射部に入射する光の光軸に沿う方向をz軸とし、前記y軸及びz軸と直交する方向をx軸とすると、
前記x軸を中心軸とする回転移動、前記x軸方向の並進移動、前記y軸を中心軸とする回転移動、前記y軸方向の並進移動、前記z軸を中心軸とする回転移動、前記z軸方向の並進移動のうち、少なくとも1以上の方向に、前記折り返し反射部を移動可能とする駆動部が設けられて成ることを特徴とする請求項1記載のレーザ光源装置。 - 前記共振器の外部に設けられる折り返し反射部が、前記波長変換素子の前記折り返し反射部側の端面を基準として、前記高調波の時間干渉距離以上離れた位置に設置されていることを特徴とする請求項1記載のレーザ光源装置。
- 前記励起光源から横マルチモードパターンで前記レーザ媒質を励起して得られる線状ビームを波長変換素子に照射することにより、線状の高調波光を出力することを特徴とする請求項1記載のレーザ光源装置。
- レーザ光源装置と、該レーザ光源装置から出射される光を情報に対応して変調する光変調部と、投射光学部とを備える画像生成装置において、
前記レーザ光源装置は、励起光源と、一対の共振器ミラーとを有し、前記共振器ミラーにより構成される共振器内に少なくともレーザ媒質と波長変換素子とを備え、
前記波長変換素子において発生する2本の高調波のうち一方の高調波が、前記共振器の外部に取り出されて折り返し反射部により前記波長変換素子に戻される構成とされ、
前記折り返し反射部により戻された高調波は、前記波長変換素子で発生される他方の高調波と空間的にずらして重ね合わされて、外部に出力される
ことを特徴とする画像生成装置。
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