JPH0758377A - レーザ共振器 - Google Patents
レーザ共振器Info
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- JPH0758377A JPH0758377A JP20055193A JP20055193A JPH0758377A JP H0758377 A JPH0758377 A JP H0758377A JP 20055193 A JP20055193 A JP 20055193A JP 20055193 A JP20055193 A JP 20055193A JP H0758377 A JPH0758377 A JP H0758377A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 放電管内のレーザガスを励起してレーザ光を
発生するレーザ共振器に関し、レーザ共振器のアライン
メントを常に良好に保てるようにする。 【構成】 共振器１は、直列に配置された２本の放電管
２１及び２２を有し、その放電管２１、２２は放電管ホ
ルダ６１で連結されている。放電管２１の一端側はエン
ドプレート４１に、放電管２２の他端側はエンドプレー
ト４２に固定されている。放電管２１及び２２に並行し
てインバロッド７１及び７２が設けられ、その両端は、
放電管２１及び２２と同様に、エンドプレート４１及び
４２に固定されている。インバロッド７１及び７２は、
熱膨張率の小さい材料で形成されており、放電管ホルダ
６１は、強制冷却されているホルダクランプ６２を介し
てインバロッド７１に固定されている。このように、放
電管ホルダ６１を、強制冷却したホルダクランプ６２を
介してインバロッド７１に固定するようにした。したが
って、インバロッド７１及び７２の熱変形はほとんど発
生せず、アラインメントを常に良好に保持しておくこと
ができる。
発生するレーザ共振器に関し、レーザ共振器のアライン
メントを常に良好に保てるようにする。 【構成】 共振器１は、直列に配置された２本の放電管
２１及び２２を有し、その放電管２１、２２は放電管ホ
ルダ６１で連結されている。放電管２１の一端側はエン
ドプレート４１に、放電管２２の他端側はエンドプレー
ト４２に固定されている。放電管２１及び２２に並行し
てインバロッド７１及び７２が設けられ、その両端は、
放電管２１及び２２と同様に、エンドプレート４１及び
４２に固定されている。インバロッド７１及び７２は、
熱膨張率の小さい材料で形成されており、放電管ホルダ
６１は、強制冷却されているホルダクランプ６２を介し
てインバロッド７１に固定されている。このように、放
電管ホルダ６１を、強制冷却したホルダクランプ６２を
介してインバロッド７１に固定するようにした。したが
って、インバロッド７１及び７２の熱変形はほとんど発
生せず、アラインメントを常に良好に保持しておくこと
ができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は放電管内のレーザガスを
励起してレーザ光を発生するレーザ共振器に関する。
励起してレーザ光を発生するレーザ共振器に関する。
【０００２】
【従来の技術】炭酸ガスレーザ等のガスレーザ装置は、
高効率で高出力が得られ、ビーム特性も良いため、数値
制御装置と結合されて複雑な形状を高速に加工すること
ができ、広く使用されるようになった。
高効率で高出力が得られ、ビーム特性も良いため、数値
制御装置と結合されて複雑な形状を高速に加工すること
ができ、広く使用されるようになった。
【０００３】図４は従来のガスレーザ装置の全体構成を
示す図である。図において、ガスレーザ装置は、例えば
炭酸ガスレーザであり、共振器１００、ガス循環系２０
０及びレーザ加工機３００から構成される。
示す図である。図において、ガスレーザ装置は、例えば
炭酸ガスレーザであり、共振器１００、ガス循環系２０
０及びレーザ加工機３００から構成される。
【０００４】共振器１００は、直列に配置された２本の
放電管２１０及び２２０を有し、その放電管２１０、２
２０は放電管ホルダ６１０で連結されている。放電管２
１０の一端側は、放電管ホルダ３１０を介してエンドプ
レート４１０に固定され、放電管２２０の他端側は、放
電管ホルダ３２０を介してエンドプレート４２０に固定
されている。また、放電管２１０及び２２０に並行して
インバロッド７１０及び７２０が設けられ、その両端
は、放電管２１０及び２２０と同様に、エンドプレート
４１０及び４２０に固定されている。インバロッド７１
０及び７２０は、熱膨張率の小さい材料で形成されてい
る。このように、共振器１００は、インバロッド７１
０、７２０、及びエンドプレート４１０、４２０によ
り、箱型に構成されている。
放電管２１０及び２２０を有し、その放電管２１０、２
２０は放電管ホルダ６１０で連結されている。放電管２
１０の一端側は、放電管ホルダ３１０を介してエンドプ
レート４１０に固定され、放電管２２０の他端側は、放
電管ホルダ３２０を介してエンドプレート４２０に固定
されている。また、放電管２１０及び２２０に並行して
インバロッド７１０及び７２０が設けられ、その両端
は、放電管２１０及び２２０と同様に、エンドプレート
４１０及び４２０に固定されている。インバロッド７１
０及び７２０は、熱膨張率の小さい材料で形成されてい
る。このように、共振器１００は、インバロッド７１
０、７２０、及びエンドプレート４１０、４２０によ
り、箱型に構成されている。
【０００５】さらに、放電管２１０及び２２０に並行し
てフレーム（パイプ）９１が設けられ、その一端はエン
ドプレート４１０に固定され、他端はリニアベアリング
４２１を介してエンドプレート４２０に支持されてい
る。上記の放電管ホルダ６１０はクランプ６２０を介し
てこのフレーム９１に固定され、放電管２１０、２２０
をより安定させて保持している。放電管ホルダ６１０
は、後述するように、レーザガスの出口側に位置するた
め、高温になったレーザガスによって加熱され、その熱
がフレーム９１まで伝わり、その結果フレーム９１が熱
変形する。上記のリニアベアリング４２１は、この熱変
形を吸収するために設けられたものである。
てフレーム（パイプ）９１が設けられ、その一端はエン
ドプレート４１０に固定され、他端はリニアベアリング
４２１を介してエンドプレート４２０に支持されてい
る。上記の放電管ホルダ６１０はクランプ６２０を介し
てこのフレーム９１に固定され、放電管２１０、２２０
をより安定させて保持している。放電管ホルダ６１０
は、後述するように、レーザガスの出口側に位置するた
め、高温になったレーザガスによって加熱され、その熱
がフレーム９１まで伝わり、その結果フレーム９１が熱
変形する。上記のリニアベアリング４２１は、この熱変
形を吸収するために設けられたものである。
【０００６】なお、この場合、放電管ホルダ６１０をイ
ンバロッド７１０または７２０側に固定することも考え
られるが、放電管ホルダ６１０をインバロッド７１０ま
たは７２０側に固定すると、放電管ホルダ６１０の自重
によってインバロッド７１０または７２０側が撓んでし
まう。また、インバロッド７１０及び７２０はエンドプ
レート４１０及び４２０に固定されているため、低熱膨
張率であっても放電管ホルダ６１０からの熱による変形
を吸収することができない。このような理由から放電管
ホルダ６１０をインバロッド７１０または７２０に固定
することは行われていない。
ンバロッド７１０または７２０側に固定することも考え
られるが、放電管ホルダ６１０をインバロッド７１０ま
たは７２０側に固定すると、放電管ホルダ６１０の自重
によってインバロッド７１０または７２０側が撓んでし
まう。また、インバロッド７１０及び７２０はエンドプ
レート４１０及び４２０に固定されているため、低熱膨
張率であっても放電管ホルダ６１０からの熱による変形
を吸収することができない。このような理由から放電管
ホルダ６１０をインバロッド７１０または７２０に固定
することは行われていない。
【０００７】ガス循環系２００のガス配管２０５が、放
電管ホルダ６１０から延出して設けられ、そのガス配管
２０５には、熱交換器２０１、送風機２０２及び熱交換
器２０３が順に配列されている。放電管２１０及び２２
０で加熱されたレーザガスは、図中矢印Ａに示すように
流れる。
電管ホルダ６１０から延出して設けられ、そのガス配管
２０５には、熱交換器２０１、送風機２０２及び熱交換
器２０３が順に配列されている。放電管２１０及び２２
０で加熱されたレーザガスは、図中矢印Ａに示すように
流れる。
【０００８】すなわち、ガス配管２０５を経由し熱変換
器２０１を通って冷却された後、送風機２０２から吐出
され、さらに熱交換器２０２において圧縮熱が取り去ら
れて常に一定温度に管理される。その後、ガス配管２０
４を経由して放電管ホルダ３１０及び３２０から放電管
２１０及び２２０にそれぞれ入る。放電管２１０及び２
２０に導入されたレーザガスは、レーザ用電源１１及び
１２による高周波放電により加熱された後、放電管ホル
ダ６１０からガス配管２０５を経由して熱交換器２０１
に入り、再び冷却される。
器２０１を通って冷却された後、送風機２０２から吐出
され、さらに熱交換器２０２において圧縮熱が取り去ら
れて常に一定温度に管理される。その後、ガス配管２０
４を経由して放電管ホルダ３１０及び３２０から放電管
２１０及び２２０にそれぞれ入る。放電管２１０及び２
２０に導入されたレーザガスは、レーザ用電源１１及び
１２による高周波放電により加熱された後、放電管ホル
ダ６１０からガス配管２０５を経由して熱交換器２０１
に入り、再び冷却される。
【０００９】放電管２１０及び２２０は、その両端に全
反射鏡５１０と出力鏡５２０を持ち、ファブリベロー型
共振器を構成しており、放電により発生したレーザ光を
増幅して一部を外部に出力する。出力されたレーザ光
は、ベンダミラー１３で方向を変え、レーザ加工機３０
０に入り、ワークを加工する。これら共振器１００、ガ
ス循環系２００及びレーザ加工機３００は、すべて数値
制御装置１０がメモリに記憶しているプログラムに従っ
て制御している。
反射鏡５１０と出力鏡５２０を持ち、ファブリベロー型
共振器を構成しており、放電により発生したレーザ光を
増幅して一部を外部に出力する。出力されたレーザ光
は、ベンダミラー１３で方向を変え、レーザ加工機３０
０に入り、ワークを加工する。これら共振器１００、ガ
ス循環系２００及びレーザ加工機３００は、すべて数値
制御装置１０がメモリに記憶しているプログラムに従っ
て制御している。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、イン
バロッド７１０及び７２０は、熱膨張率の小さい材料で
形成されているため、そのインバロッド７１０、７２０
が固定されているエンドプレート４１０及び４２０の位
置変化は起こらない。また、フレーム９１は熱変形する
が、その熱変形はリニアベアリング４２１によって吸収
されるため、やはりエンドプレート４１０及び４２０側
の位置変化は起こらない。ところが、放電管ホルダのク
ランプ６２０は、フレーム９１に固定されているため、
クランプ６２０の位置はフレーム９１の熱変形の影響を
受けてしまい変化する。例えば、フレーム９１が長手方
向に熱膨張すると、その影響を受けてクランプ６２０の
位置が変化し、その結果放電管ホルダ６１０も位置変化
を起こす。
バロッド７１０及び７２０は、熱膨張率の小さい材料で
形成されているため、そのインバロッド７１０、７２０
が固定されているエンドプレート４１０及び４２０の位
置変化は起こらない。また、フレーム９１は熱変形する
が、その熱変形はリニアベアリング４２１によって吸収
されるため、やはりエンドプレート４１０及び４２０側
の位置変化は起こらない。ところが、放電管ホルダのク
ランプ６２０は、フレーム９１に固定されているため、
クランプ６２０の位置はフレーム９１の熱変形の影響を
受けてしまい変化する。例えば、フレーム９１が長手方
向に熱膨張すると、その影響を受けてクランプ６２０の
位置が変化し、その結果放電管ホルダ６１０も位置変化
を起こす。
【００１１】放電管ホルダ６１０の位置が変化すると、
その位置変化は、全反射鏡５１０及び出力鏡５２０のア
ラインメント悪化を引き起こし、その結果出力ビームパ
ワーの低下やビームモードが悪化してしまう。
その位置変化は、全反射鏡５１０及び出力鏡５２０のア
ラインメント悪化を引き起こし、その結果出力ビームパ
ワーの低下やビームモードが悪化してしまう。
【００１２】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、共振器のアラインメントを常に良好に保つこ
とができるレーザ共振器を提供することを目的とする。
のであり、共振器のアラインメントを常に良好に保つこ
とができるレーザ共振器を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明では上記課題を解
決するために、放電管内のレーザガスを励起してレーザ
光を発生するレーザ共振器において、前記放電管の両端
に設けられ前記放電管を支持するエンドプレートと、前
記放電管と並列に設けられて両端を前記エンドプレート
によって支持され、熱膨張率の小さい材料から成るロッ
ドと、前記ロッドに固定されて前記放電管を支持すると
共に強制冷却される放電管ホルダと、を有することを特
徴とするレーザ共振器が、提供される。
決するために、放電管内のレーザガスを励起してレーザ
光を発生するレーザ共振器において、前記放電管の両端
に設けられ前記放電管を支持するエンドプレートと、前
記放電管と並列に設けられて両端を前記エンドプレート
によって支持され、熱膨張率の小さい材料から成るロッ
ドと、前記ロッドに固定されて前記放電管を支持すると
共に強制冷却される放電管ホルダと、を有することを特
徴とするレーザ共振器が、提供される。
【００１４】
【作用】エンドプレートが放電管の両端に設けられ放電
管を支持している。また、熱膨張率の小さい材料から成
るロッドが放電管と並列に設けられ、そのロッドの両端
もエンドプレートによって支持されている。そして、放
電管を保持するための放電管ホルダがそのロッドに固定
され、かつ強制冷却されている。
管を支持している。また、熱膨張率の小さい材料から成
るロッドが放電管と並列に設けられ、そのロッドの両端
もエンドプレートによって支持されている。そして、放
電管を保持するための放電管ホルダがそのロッドに固定
され、かつ強制冷却されている。
【００１５】放電管ホルダは強制冷却されるため、放電
管ホルダをロッドに固定しても放電管ホルダからロッド
へは熱が伝わらない。また、ロッドは熱膨張率の小さい
材料で形成される。したがって、ロッドの熱変形はほと
んど発生せず、アラインメントを良好に保持しておくこ
とができる。
管ホルダをロッドに固定しても放電管ホルダからロッド
へは熱が伝わらない。また、ロッドは熱膨張率の小さい
材料で形成される。したがって、ロッドの熱変形はほと
んど発生せず、アラインメントを良好に保持しておくこ
とができる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１は本発明のレーザ共振器の構成を示す図で
ある。図において、共振器１は、直列に配置された２本
の放電管２１及び２２を有し、その放電管２１、２２は
放電管ホルダ６１で連結されている。放電管２１の一端
側は、放電管ホルダ３１を介してエンドプレート４１に
固定され、放電管２２の他端側は、放電管ホルダ３２を
介してエンドプレート４２に固定されている。また、放
電管２１及び２２に並行してインバロッド７１及び７２
が設けられ、その両端は、放電管２１及び２２と同様
に、エンドプレート４１及び４２に固定されている。イ
ンバロッド７１及び７２は、熱膨張率の小さい材料で形
成されている。このように、共振器１は、インバロッド
７１、７２、及びエンドプレート４１、４２により、箱
型に構成されている。
明する。図１は本発明のレーザ共振器の構成を示す図で
ある。図において、共振器１は、直列に配置された２本
の放電管２１及び２２を有し、その放電管２１、２２は
放電管ホルダ６１で連結されている。放電管２１の一端
側は、放電管ホルダ３１を介してエンドプレート４１に
固定され、放電管２２の他端側は、放電管ホルダ３２を
介してエンドプレート４２に固定されている。また、放
電管２１及び２２に並行してインバロッド７１及び７２
が設けられ、その両端は、放電管２１及び２２と同様
に、エンドプレート４１及び４２に固定されている。イ
ンバロッド７１及び７２は、熱膨張率の小さい材料で形
成されている。このように、共振器１は、インバロッド
７１、７２、及びエンドプレート４１、４２により、箱
型に構成されている。
【００１７】上記の放電管ホルダ６１は、放電管ホルダ
６１と一体に構成されたホルダクランプ６２を介してイ
ンバロッド７１に固定されている。このホルダクランプ
６２には、ここでは図示されていない冷却水路が設けら
れ、冷却水がその冷却水路を循環することによって強制
冷却されている。 また、インバロッド７１、７２は、
放電管ホルダ６１の両側に設けられた２つのロッドクラ
ンプ８１及び８２で互いに連結されている。このロッド
クランプ８１及び８２によって、インバロッド７１に加
わる放電管ホルダ６１及びホルダクランプ６２からの力
がインバロッド７２にも分散する。これによってインバ
ロッド７１及び７２の支持力が強化される。
６１と一体に構成されたホルダクランプ６２を介してイ
ンバロッド７１に固定されている。このホルダクランプ
６２には、ここでは図示されていない冷却水路が設けら
れ、冷却水がその冷却水路を循環することによって強制
冷却されている。 また、インバロッド７１、７２は、
放電管ホルダ６１の両側に設けられた２つのロッドクラ
ンプ８１及び８２で互いに連結されている。このロッド
クランプ８１及び８２によって、インバロッド７１に加
わる放電管ホルダ６１及びホルダクランプ６２からの力
がインバロッド７２にも分散する。これによってインバ
ロッド７１及び７２の支持力が強化される。
【００１８】また、放電管ホルダ６１及びホルダクラン
プ６２は、インバロッド７１に加わる力を最小限度に抑
えるために、できるだけ軽量化すべく、その材料に例え
ばアルミニウムを使用する。
プ６２は、インバロッド７１に加わる力を最小限度に抑
えるために、できるだけ軽量化すべく、その材料に例え
ばアルミニウムを使用する。
【００１９】放電管２１及び２２は、その両端に全反射
鏡５１と出力鏡５２を持ち、ファブリベロー型共振器を
構成しており、放電により発生したレーザ光を増幅して
一部を外部に出力する。
鏡５１と出力鏡５２を持ち、ファブリベロー型共振器を
構成しており、放電により発生したレーザ光を増幅して
一部を外部に出力する。
【００２０】このように、放電管ホルダ６１を、強制冷
却したホルダクランプ６２を介してインバロッド７１に
固定するようにした。しかも、インバロッド７１及び７
２は熱膨張率の小さい材料で形成される。したがって、
インバロッド７１及び７２の熱変形はほとんど発生せ
ず、アラインメントを常に良好に保持しておくことがで
きる。
却したホルダクランプ６２を介してインバロッド７１に
固定するようにした。しかも、インバロッド７１及び７
２は熱膨張率の小さい材料で形成される。したがって、
インバロッド７１及び７２の熱変形はほとんど発生せ
ず、アラインメントを常に良好に保持しておくことがで
きる。
【００２１】また、インバロッド７１及び７２をロッド
クランプ８１及び８２で連結するようにしたので、イン
バロッド７１に加わる力は分散し、インバロッド７１及
び７２は互いに補強し合ってその支持力を強化してい
る。しかも、放電管ホルダ６１及びホルダクランプ６２
を軽量化したので、インバロッド７１及び７２の撓みは
ほとんど発生しない。
クランプ８１及び８２で連結するようにしたので、イン
バロッド７１に加わる力は分散し、インバロッド７１及
び７２は互いに補強し合ってその支持力を強化してい
る。しかも、放電管ホルダ６１及びホルダクランプ６２
を軽量化したので、インバロッド７１及び７２の撓みは
ほとんど発生しない。
【００２２】さらに、従来必要であったフレームが不要
になるので、共振器１の構成が簡単になり、アラインメ
ント作業そのものも容易に行えるようになる。図２は本
発明の第２の実施例を示す図である。上記第１の実施例
との相違点は、共振器１ａを４本の放電管２１ａ、２２
ａ、２３ａ及び２４ａで構成し、それに合わせて３つの
放電管ホルダ６１ａ、６２ａ及び６３ａを設け、その放
電管ホルダ６１ａ、６２ａ及び６３ａをインバロッド７
１ａに固定した点である。放電管ホルダ６１ａは、放電
管２２ａ、２３ａ間を接続し、放電管ホルダ６２ａは、
放電管２１ａ、２２ａ間を接続し、放電管ホルダ６３ａ
は、放電管２３ａ、２４ａ間を接続している。この放電
管ホルダ６１ａ、６２ａ及び６３ａのインバロッド７１
ａへの固定は、ホルダクランプ６４ａ、６５ａ及び６６
ａを介して行われる。また、２本のインバロッド７１
ａ、７２ａは、放電管ホルダ６２ａの片側に設けられた
ロッドクランプ８３ａ、放電管ホルダ６１ａの両側に設
けられたロッドクランプ８１ａ及び８２ａ、並びに放電
管ホルダ６３ａの片側に設けられたロッドクランプ８４
ａで互いに連結されている。
になるので、共振器１の構成が簡単になり、アラインメ
ント作業そのものも容易に行えるようになる。図２は本
発明の第２の実施例を示す図である。上記第１の実施例
との相違点は、共振器１ａを４本の放電管２１ａ、２２
ａ、２３ａ及び２４ａで構成し、それに合わせて３つの
放電管ホルダ６１ａ、６２ａ及び６３ａを設け、その放
電管ホルダ６１ａ、６２ａ及び６３ａをインバロッド７
１ａに固定した点である。放電管ホルダ６１ａは、放電
管２２ａ、２３ａ間を接続し、放電管ホルダ６２ａは、
放電管２１ａ、２２ａ間を接続し、放電管ホルダ６３ａ
は、放電管２３ａ、２４ａ間を接続している。この放電
管ホルダ６１ａ、６２ａ及び６３ａのインバロッド７１
ａへの固定は、ホルダクランプ６４ａ、６５ａ及び６６
ａを介して行われる。また、２本のインバロッド７１
ａ、７２ａは、放電管ホルダ６２ａの片側に設けられた
ロッドクランプ８３ａ、放電管ホルダ６１ａの両側に設
けられたロッドクランプ８１ａ及び８２ａ、並びに放電
管ホルダ６３ａの片側に設けられたロッドクランプ８４
ａで互いに連結されている。
【００２３】このように、共振器１ａを直列の４本の放
電管２１ａ等で構成した場合でも、３つの放電管ホルダ
６２ａ等をインバロッド７１ａに固定することにより、
共振器１ａ全体が熱の影響でアラインメントが悪化する
ことを防止することができ、アラインメントを常に良好
に保つことができる。
電管２１ａ等で構成した場合でも、３つの放電管ホルダ
６２ａ等をインバロッド７１ａに固定することにより、
共振器１ａ全体が熱の影響でアラインメントが悪化する
ことを防止することができ、アラインメントを常に良好
に保つことができる。
【００２４】図３は本発明の第３の実施例を示す図であ
る。第１の実施例との相違点は、直列接続の放電管２１
ｂ、２３ｂと、同じく直列接続の放電管２２ｂ、２４ｂ
とを互いに並列に構成し、それに合わせて放電管ホルダ
６１ｂを設け、その放電管ホルダ６１ｂをインバロッド
７１ｂに固定した点である。放電管ホルダ６１ｂは、直
列接続の放電管２１ｂと２３ｂとの接続部分、及び直列
接続の放電管２２ｂと２４ｂとの接続部分に設けられて
いる。この放電管ホルダ６１ｂのインバロッド７１ｂへ
の固定は、ホルダクランプ６２ｂを介して行われる。ま
た、２本のインバロッド７１ｂ、７２ｂは、放電管ホル
ダ６１ｂの両側に設けられたロッドクランプ８１ｂ及び
８２ｂで互いに連結されている。
る。第１の実施例との相違点は、直列接続の放電管２１
ｂ、２３ｂと、同じく直列接続の放電管２２ｂ、２４ｂ
とを互いに並列に構成し、それに合わせて放電管ホルダ
６１ｂを設け、その放電管ホルダ６１ｂをインバロッド
７１ｂに固定した点である。放電管ホルダ６１ｂは、直
列接続の放電管２１ｂと２３ｂとの接続部分、及び直列
接続の放電管２２ｂと２４ｂとの接続部分に設けられて
いる。この放電管ホルダ６１ｂのインバロッド７１ｂへ
の固定は、ホルダクランプ６２ｂを介して行われる。ま
た、２本のインバロッド７１ｂ、７２ｂは、放電管ホル
ダ６１ｂの両側に設けられたロッドクランプ８１ｂ及び
８２ｂで互いに連結されている。
【００２５】このように、共振器１ａを直列２本の放電
管２１ｂ等を並列に配置して構成した場合でも、共通の
放電管ホルダ６１ｂをインバロッド７１ｂに固定するこ
とにより、共振器１ｂ全体が熱の影響でアラインメント
が悪化することを防止することができ、アラインメント
を常に良好に保つことができる。
管２１ｂ等を並列に配置して構成した場合でも、共通の
放電管ホルダ６１ｂをインバロッド７１ｂに固定するこ
とにより、共振器１ｂ全体が熱の影響でアラインメント
が悪化することを防止することができ、アラインメント
を常に良好に保つことができる。
【００２６】上記の説明では、ホルダクランプを強制冷
却するようにしたが、本体側の放電管ホルダを強制冷却
するように構成することもできる。
却するようにしたが、本体側の放電管ホルダを強制冷却
するように構成することもできる。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明では、強制冷
却した放電管ホルダを、熱膨張率の小さい材料で形成さ
れるロッドに固定するようにした。したがって、ロッド
の熱変形はほとんど発生せず、アラインメントを常に良
好に保持しておくことができる。
却した放電管ホルダを、熱膨張率の小さい材料で形成さ
れるロッドに固定するようにした。したがって、ロッド
の熱変形はほとんど発生せず、アラインメントを常に良
好に保持しておくことができる。
【００２８】また、２本のロッドを互いに連結するよう
にしたので、ロッドに加わる力は分散し、ロッドは互い
に補強し合ってその支持力を強化することができる。さ
らに、従来必要であったフレームが不要になるので、共
振器の構成が簡単になり、アラインメント作業そのもの
も容易に行えるようになる。
にしたので、ロッドに加わる力は分散し、ロッドは互い
に補強し合ってその支持力を強化することができる。さ
らに、従来必要であったフレームが不要になるので、共
振器の構成が簡単になり、アラインメント作業そのもの
も容易に行えるようになる。
【図１】本発明のレーザ共振器の構成を示す図である。
【図２】本発明の第２の実施例を示す図である。
【図３】本発明の第３の実施例を示す図である。
【図４】従来のガスレーザ装置の全体構成を示す図であ
る。
る。
１，１ａ，１ｂ 共振器 ２１，２１ａ，２１ｂ，２２，２２ａ，２２ｂ，２３
ａ，２３ｂ，２４ａ，２４ｂ 放電管 ６１，６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６３ａ 放電管ホルダ ６２，６２ｂ，６４ａ，６５ａ，６６ａ ホルダクラン
プ ８１，８１ａ，８１ｂ，８２，８２ａ，８２ｂ，８３
ａ，８４ａ ロッドクランプ
ａ，２３ｂ，２４ａ，２４ｂ 放電管 ６１，６１ａ，６１ｂ，６２ａ，６３ａ 放電管ホルダ ６２，６２ｂ，６４ａ，６５ａ，６６ａ ホルダクラン
プ ８１，８１ａ，８１ｂ，８２，８２ａ，８２ｂ，８３
ａ，８４ａ ロッドクランプ
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 7454−4Ｍ Ｈ０１Ｓ 3/097 Ｄ
Claims (4)
- 【請求項１】 放電管内のレーザガスを励起してレーザ
光を発生するレーザ共振器において、 前記放電管の両端に設けられ前記放電管を支持するエン
ドプレートと、 前記放電管と並列に設けられて両端を前記エンドプレー
トによって支持され、熱膨張率の小さい材料から成るロ
ッドと、 前記ロッドに固定されて前記放電管を支持すると共に強
制冷却される放電管ホルダと、 を有することを特徴とするレーザ共振器。 - 【請求項２】 前記ロッドが複数存在する場合、前記複
数のロッドは前記エンドプレート以外の部分でも互いに
連結されることを特徴とする請求項１記載のレーザ共振
器。 - 【請求項３】 前記放電管ホルダは一体化されたクラン
プ部分と本体部分とから成り、前記クランプを介して前
記ロッドに固定されていることを特徴とする請求項１記
載のレーザ共振器。 - 【請求項４】 前記放電管ホルダは前記クランプ部分ま
たは本体部分またはその双方が強制冷却されることを特
徴とする請求項３記載のレーザ共振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20055193A JP3614450B2 (ja) | 1993-08-12 | 1993-08-12 | レーザ共振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20055193A JP3614450B2 (ja) | 1993-08-12 | 1993-08-12 | レーザ共振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0758377A true JPH0758377A (ja) | 1995-03-03 |
| JP3614450B2 JP3614450B2 (ja) | 2005-01-26 |
Family
ID=16426198
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20055193A Expired - Fee Related JP3614450B2 (ja) | 1993-08-12 | 1993-08-12 | レーザ共振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3614450B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010045336A (ja) * | 2008-07-17 | 2010-02-25 | Fanuc Ltd | ガスレーザ共振器 |
| US8594141B2 (en) | 2011-08-22 | 2013-11-26 | Korea Electrotechnology Research Institute | Femtosecond laser apparatus using laser diode optical pumping module |
| US8989224B2 (en) | 2011-08-22 | 2015-03-24 | Korea Electrotechnology Research Institute | Apparatus for femtosecond laser optically pumped by laser diode pumping module |
-
1993
- 1993-08-12 JP JP20055193A patent/JP3614450B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010045336A (ja) * | 2008-07-17 | 2010-02-25 | Fanuc Ltd | ガスレーザ共振器 |
| JP4565045B2 (ja) * | 2008-07-17 | 2010-10-20 | ファナック株式会社 | ガスレーザ共振器 |
| US8135051B2 (en) | 2008-07-17 | 2012-03-13 | Fanuc Ltd | Gas laser oscillator |
| US8594141B2 (en) | 2011-08-22 | 2013-11-26 | Korea Electrotechnology Research Institute | Femtosecond laser apparatus using laser diode optical pumping module |
| US8989224B2 (en) | 2011-08-22 | 2015-03-24 | Korea Electrotechnology Research Institute | Apparatus for femtosecond laser optically pumped by laser diode pumping module |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3614450B2 (ja) | 2005-01-26 |
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