JP2002198591A - レーザ発振装置 - Google Patents
レーザ発振装置Info
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- JP2002198591A JP2002198591A JP2000392435A JP2000392435A JP2002198591A JP 2002198591 A JP2002198591 A JP 2002198591A JP 2000392435 A JP2000392435 A JP 2000392435A JP 2000392435 A JP2000392435 A JP 2000392435A JP 2002198591 A JP2002198591 A JP 2002198591A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 筐体本体が歪んでもレーザ発振を安定させる
ことのできるレーザ発振装置を提供すること。 【解決手段】 筐体本体２の内部に、筐体本体２に生じ
る歪みの影響を防止する歪み防止手段３を設けるととも
に、少なくともレーザ発振器４を取付ベース１１に配設
し、取付ベース１１を歪み防止手段３を介して筐体本体
２の内部に配置したことを特徴としている。
ことのできるレーザ発振装置を提供すること。 【解決手段】 筐体本体２の内部に、筐体本体２に生じ
る歪みの影響を防止する歪み防止手段３を設けるととも
に、少なくともレーザ発振器４を取付ベース１１に配設
し、取付ベース１１を歪み防止手段３を介して筐体本体
２の内部に配置したことを特徴としている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ発振装置に
係り、特に、出力変動の少ないレーザ光を安定して得る
ことのできるレーザ発振装置に関する。
係り、特に、出力変動の少ないレーザ光を安定して得る
ことのできるレーザ発振装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、工作機械の一種として、レーザ
発振装置から出力されるレーザ光を用いて、マーキン
グ、穴あけ、切断、溶接などの加工を行う各種のレーザ
装置が知られている。
発振装置から出力されるレーザ光を用いて、マーキン
グ、穴あけ、切断、溶接などの加工を行う各種のレーザ
装置が知られている。
【０００３】このようなレーザ発振装置は、アルミニウ
ム合金鋳物などにより一体形成された筐体本体の内部
に、少なくともレーザ光を放射するレーザ媒体、光共振
器、および、レーザ媒体を励起するための励起手段を有
するレーザ発振器を取り付けることにより形成されてい
る。さらに、筐体本体には、筐体カバーが取り付けられ
ており、筐体本体の内部に取り付けたレーザ発振器を外
部と遮断することができるようになっている。また、レ
ーザ媒体は、例えばＹＡＧロッドなどにより形成されて
おり、光共振器は、反射ミラーおよび出力ミラーを具備
している。さらに、励起手段は、例えば励起ランプおよ
び励起電源などにより形成されている。さらにまた、レ
ーザ発振器は、複数のユニットに分割されており、少な
くともレーザ媒体および励起ランプを内装したユニット
には、冷却水などの冷却媒体の流路が設けられている。
この流路には、レーザ発振装置とは個別に設けられた冷
却手段により所定の温度に温度調整された冷却媒体が循
環供給可能とされており、ユニット内の過度の温度上昇
を防止することができるようになっている。
ム合金鋳物などにより一体形成された筐体本体の内部
に、少なくともレーザ光を放射するレーザ媒体、光共振
器、および、レーザ媒体を励起するための励起手段を有
するレーザ発振器を取り付けることにより形成されてい
る。さらに、筐体本体には、筐体カバーが取り付けられ
ており、筐体本体の内部に取り付けたレーザ発振器を外
部と遮断することができるようになっている。また、レ
ーザ媒体は、例えばＹＡＧロッドなどにより形成されて
おり、光共振器は、反射ミラーおよび出力ミラーを具備
している。さらに、励起手段は、例えば励起ランプおよ
び励起電源などにより形成されている。さらにまた、レ
ーザ発振器は、複数のユニットに分割されており、少な
くともレーザ媒体および励起ランプを内装したユニット
には、冷却水などの冷却媒体の流路が設けられている。
この流路には、レーザ発振装置とは個別に設けられた冷
却手段により所定の温度に温度調整された冷却媒体が循
環供給可能とされており、ユニット内の過度の温度上昇
を防止することができるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た従来のレーザ発振装置においては、筐体本体に加わる
物理的な負荷や、熱的な負荷によって生じる筐体本体の
歪みに起因して光共振器を構成する反射ミラーと出力ミ
ラーとの相互間の平行度、および、距離が変動し、レー
ザ発振が不安定になるという問題点があった。
た従来のレーザ発振装置においては、筐体本体に加わる
物理的な負荷や、熱的な負荷によって生じる筐体本体の
歪みに起因して光共振器を構成する反射ミラーと出力ミ
ラーとの相互間の平行度、および、距離が変動し、レー
ザ発振が不安定になるという問題点があった。
【０００５】例えば、筐体本体に加わる物理的な負荷と
しては、筐体本体にカバーを取り付けたときの取付状態
の違いや、冷却媒体をレーザ発振器に供給するホースに
よる重みなどがある。
しては、筐体本体にカバーを取り付けたときの取付状態
の違いや、冷却媒体をレーザ発振器に供給するホースに
よる重みなどがある。
【０００６】また、筐体本体に加わる熱的な負荷として
は、レーザ発振器の熱源によって筐体本体の温度分布の
不均一がある。
は、レーザ発振器の熱源によって筐体本体の温度分布の
不均一がある。
【０００７】そこで、筐体本体が歪んでもレーザ発振を
安定させることのできるレーザ発振装置が求められてい
る。
安定させることのできるレーザ発振装置が求められてい
る。
【０００８】本発明はこれらの点に鑑みてなされたもの
であり、筐体本体が歪んでもレーザ発振を安定させるこ
とのできるレーザ発振装置を提供することを目的とす
る。
であり、筐体本体が歪んでもレーザ発振を安定させるこ
とのできるレーザ発振装置を提供することを目的とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ため特許請求の範囲の請求項１に係る本発明のレーザ発
振装置の特徴は、筐体本体の内部に、筐体本体に生じる
歪みの影響を防止する歪み防止手段を設けるとともに、
少なくとも前記ザ発振器を取付ベースに配設し、取付ベ
ースを歪み防止手段を介して筐体本体の内部に配置した
点にある。そして、このような構成を採用したことによ
り、歪み防止手段は、筐体本体に生じる歪みがレーザ発
振器に伝達するのを防止できるので、レーザ発振器によ
るレーザ発振を安定させることができる。
ため特許請求の範囲の請求項１に係る本発明のレーザ発
振装置の特徴は、筐体本体の内部に、筐体本体に生じる
歪みの影響を防止する歪み防止手段を設けるとともに、
少なくとも前記ザ発振器を取付ベースに配設し、取付ベ
ースを歪み防止手段を介して筐体本体の内部に配置した
点にある。そして、このような構成を採用したことによ
り、歪み防止手段は、筐体本体に生じる歪みがレーザ発
振器に伝達するのを防止できるので、レーザ発振器によ
るレーザ発振を安定させることができる。
【００１０】また、請求項２に係る本発明のレーザ発振
装置の特徴は、請求項１において、歪み防止手段が、取
付ベースを筐体本体の内部に１点で支持する構成となっ
ている点にある。そして、このような構成を採用したこ
とにより、筐体本体に生じる歪みをレーザ発振器に伝達
するのを防止するための歪み防止手段を容易に実現する
ことができるので、レーザ発振器によるレーザ発振を確
実に安定させることができる。
装置の特徴は、請求項１において、歪み防止手段が、取
付ベースを筐体本体の内部に１点で支持する構成となっ
ている点にある。そして、このような構成を採用したこ
とにより、筐体本体に生じる歪みをレーザ発振器に伝達
するのを防止するための歪み防止手段を容易に実現する
ことができるので、レーザ発振器によるレーザ発振を確
実に安定させることができる。
【００１１】また、請求項３に係る本発明のレーザ発振
装置の特徴は、請求項１において、歪み防止手段が、取
付ベースを筐体本体の内部に２点で支持する構成となっ
ている点にある。そして、このような構成を採用したこ
とにより、筐体本体に生じる歪みをレーザ発振器に伝達
するのを防止するための歪み防止手段を容易に実現する
ことができるので、レーザ発振器によるレーザ発振を確
実に安定させることができるとともに、１点で支持した
際に生じる取付ベースの支持部を中心とした回転を防止
することができるので、出力するレーザ光の位置を確実
に制御することができる。
装置の特徴は、請求項１において、歪み防止手段が、取
付ベースを筐体本体の内部に２点で支持する構成となっ
ている点にある。そして、このような構成を採用したこ
とにより、筐体本体に生じる歪みをレーザ発振器に伝達
するのを防止するための歪み防止手段を容易に実現する
ことができるので、レーザ発振器によるレーザ発振を確
実に安定させることができるとともに、１点で支持した
際に生じる取付ベースの支持部を中心とした回転を防止
することができるので、出力するレーザ光の位置を確実
に制御することができる。
【００１２】また、請求項４に係る本発明のレーザ発振
装置の特徴は、請求項１ないし請求項３のいずれか１項
において、取付ベースに温度上昇を防止する冷却媒体の
流路を設けた点にある。そして、このような構成を採用
したことにより、取付ベースに熱的な負荷が加わるのを
防止することができるので、レーザ発振器によるレーザ
発振をより確実に安定させることができる。
装置の特徴は、請求項１ないし請求項３のいずれか１項
において、取付ベースに温度上昇を防止する冷却媒体の
流路を設けた点にある。そして、このような構成を採用
したことにより、取付ベースに熱的な負荷が加わるのを
防止することができるので、レーザ発振器によるレーザ
発振をより確実に安定させることができる。
【００１３】また、請求項５に係る本発明のレーザ発振
装置の特徴は、請求項４において、レーザ発振器を複数
のユニットにより形成するとともに、これらのユニット
に温度上昇を防止する冷却媒体の流路を形成し、この流
路と、取付ベースに設けられた流路とを接続した点にあ
る。そして、このような構成を採用したことにより、レ
ーザ発振器および取付ベースに熱的な負荷が加わるのを
容易かつ確実に防止することができるので、レーザ発振
器によるレーザ発振をよりさらに確実に安定させること
ができる。
装置の特徴は、請求項４において、レーザ発振器を複数
のユニットにより形成するとともに、これらのユニット
に温度上昇を防止する冷却媒体の流路を形成し、この流
路と、取付ベースに設けられた流路とを接続した点にあ
る。そして、このような構成を採用したことにより、レ
ーザ発振器および取付ベースに熱的な負荷が加わるのを
容易かつ確実に防止することができるので、レーザ発振
器によるレーザ発振をよりさらに確実に安定させること
ができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示す実施形
態により説明する。
態により説明する。
【００１５】図１から図３は本発明に係るレーザ発振装
置の第１実施形態を示すものであり、図１は全体構成の
要部を筐体カバーを除いて示す一部切断正面図、図２は
図１の平面図、図３は図１の取付ベースの平面図であ
る。
置の第１実施形態を示すものであり、図１は全体構成の
要部を筐体カバーを除いて示す一部切断正面図、図２は
図１の平面図、図３は図１の取付ベースの平面図であ
る。
【００１６】本実施形態のレーザ発振装置は、レーザ光
を用いて加工対象物の表面に文字や図形などのマーキン
グを行うことのできるレーザマーキング装置に用いるも
のを例示している。
を用いて加工対象物の表面に文字や図形などのマーキン
グを行うことのできるレーザマーキング装置に用いるも
のを例示している。
【００１７】図１および図２に示すように、本実施形態
のレーザ発振装置１は、筐体本体２の内部に、筐体本体
２に生じる歪みの影響を防止する歪み防止手段３を設け
るとともに、少なくともレーザ発振器４を取付ベース１
１に配設し、取付ベース１１を歪み防止手段３を介して
筐体本体２の内部に配置している。
のレーザ発振装置１は、筐体本体２の内部に、筐体本体
２に生じる歪みの影響を防止する歪み防止手段３を設け
るとともに、少なくともレーザ発振器４を取付ベース１
１に配設し、取付ベース１１を歪み防止手段３を介して
筐体本体２の内部に配置している。
【００１８】前記筐体本体２は、ほぼ平板状に形成され
た底板５を有している。この底板５は、図示しないレー
ザ光の光軸に沿う、図１および図２において左右方向に
て示す前後方向が長手方向とされた平面ほぼ長方形形状
に形成されており、底板５の図１および図２において左
側に示す前側の端面には、前側板６が上方に向かって延
出するように立設されている。また、底板５の図１およ
び図２において右側に示す後側の端面には、後側板７が
上方に向かって延出するように立設されている。さら
に、底板５の上面には、底板５の上面を図２において上
下に示す短手方向に２分割する仕切板８が、底板５の長
手方向に対して平行な方向に延在するようにして立設さ
れており、仕切板８の長手方向の両端面は、前側板６お
よび後側板７にそれぞれ接続されている。また、仕切板
８によって２分割された底板５の上面のうちの図２にお
いて下方に示す一方は、歪み防止手段３およびレーザ発
振器４が配設される発振器配設部９とされており、図２
において上方に示す他方は、図示しない電源から送られ
てくる、各ユニットの制御信号を中継する基板が配設さ
れる基板配設部１０とされている。
た底板５を有している。この底板５は、図示しないレー
ザ光の光軸に沿う、図１および図２において左右方向に
て示す前後方向が長手方向とされた平面ほぼ長方形形状
に形成されており、底板５の図１および図２において左
側に示す前側の端面には、前側板６が上方に向かって延
出するように立設されている。また、底板５の図１およ
び図２において右側に示す後側の端面には、後側板７が
上方に向かって延出するように立設されている。さら
に、底板５の上面には、底板５の上面を図２において上
下に示す短手方向に２分割する仕切板８が、底板５の長
手方向に対して平行な方向に延在するようにして立設さ
れており、仕切板８の長手方向の両端面は、前側板６お
よび後側板７にそれぞれ接続されている。また、仕切板
８によって２分割された底板５の上面のうちの図２にお
いて下方に示す一方は、歪み防止手段３およびレーザ発
振器４が配設される発振器配設部９とされており、図２
において上方に示す他方は、図示しない電源から送られ
てくる、各ユニットの制御信号を中継する基板が配設さ
れる基板配設部１０とされている。
【００１９】なお、筐体本体２の製造方法としては、例
えば、アルミニウム合金を素材とし、この素材を鋳造な
どすることにより底板５、前側板６、後側板７および仕
切板８を一体成形して成形品を得、その後、成形品に対
して所定の加工を施すことにより完成品（筐体本体２）
を得る製造方法が、生産性に優れているなどの理由によ
り多用されている。
えば、アルミニウム合金を素材とし、この素材を鋳造な
どすることにより底板５、前側板６、後側板７および仕
切板８を一体成形して成形品を得、その後、成形品に対
して所定の加工を施すことにより完成品（筐体本体２）
を得る製造方法が、生産性に優れているなどの理由によ
り多用されている。
【００２０】前記底板５の発振器配設部９には、図３に
示すように、ほぼ平板状に形成された取付ベース１１が
配設されている。さらにまた、底板５の発振器配設部９
のほぼ中央部には、図１に示すように、貫通孔１２が穿
設されており、この貫通孔１２に挿通される取付ねじ１
３を前記取付ベース１１に形成されたねじ部１４に下方
から螺入させることにより、取付ベース１１が前記発振
器配設部９に１点で支持されるようにして固着されてい
る。
示すように、ほぼ平板状に形成された取付ベース１１が
配設されている。さらにまた、底板５の発振器配設部９
のほぼ中央部には、図１に示すように、貫通孔１２が穿
設されており、この貫通孔１２に挿通される取付ねじ１
３を前記取付ベース１１に形成されたねじ部１４に下方
から螺入させることにより、取付ベース１１が前記発振
器配設部９に１点で支持されるようにして固着されてい
る。
【００２１】すなわち、筐体本体２の内部に取付ベース
１１が１点で支持されており、この取付ベース１１を筐
体本体２の内部に１点支持する構成、詳しくは、貫通孔
１２、取付ねじ１３およびねじ部１４により、本実施形
態の筐体本体２に生じる歪みの影響を防止する歪み防止
手段３が形成されている。
１１が１点で支持されており、この取付ベース１１を筐
体本体２の内部に１点支持する構成、詳しくは、貫通孔
１２、取付ねじ１３およびねじ部１４により、本実施形
態の筐体本体２に生じる歪みの影響を防止する歪み防止
手段３が形成されている。
【００２２】また、本実施形態の取付ベース１１の図３
において左右に示す両端部近傍の下面には、図３におい
て破線にて示すように、取付ベース１１の長手方向に対
して直交する短手方向に長手方向が延在する長穴１１ａ
がそれぞれ形成されており、これらの長穴１１ａに対し
て筐体本体２の底板５に立設させた位置決めピン５ａを
それぞれ嵌合させることにより、取付ベース１１を底板
５に取着する際の位置ガイドが構成されている。
において左右に示す両端部近傍の下面には、図３におい
て破線にて示すように、取付ベース１１の長手方向に対
して直交する短手方向に長手方向が延在する長穴１１ａ
がそれぞれ形成されており、これらの長穴１１ａに対し
て筐体本体２の底板５に立設させた位置決めピン５ａを
それぞれ嵌合させることにより、取付ベース１１を底板
５に取着する際の位置ガイドが構成されている。
【００２３】図３に示すように、本実施形態の取付ベー
ス１１の右端部には、１対の流路１５ａ，１５ｂが形成
されている。これらの流路１５ａ，１５ｂは、取付ベー
ス１１の温度上昇を防止するための冷却媒体としての冷
却水が板厚方向のほぼ中央部を流動するように形成され
ている。これらの流路１５ａ，１５ｂのうちの一方１５
ａの図３下方に示す一端１５ａａは、冷却水が供給され
る供給端とされており、他方１５ｂの図３下方に示す一
端１５ｂａは、冷却水が排出される排出端とされてい
る。また、取付ベース１１の右端部近傍の上面には、各
流路１５ａ，１５ｂに連通する有底穴１６ａ，１６ｂが
それぞれ形成されている。
ス１１の右端部には、１対の流路１５ａ，１５ｂが形成
されている。これらの流路１５ａ，１５ｂは、取付ベー
ス１１の温度上昇を防止するための冷却媒体としての冷
却水が板厚方向のほぼ中央部を流動するように形成され
ている。これらの流路１５ａ，１５ｂのうちの一方１５
ａの図３下方に示す一端１５ａａは、冷却水が供給され
る供給端とされており、他方１５ｂの図３下方に示す一
端１５ｂａは、冷却水が排出される排出端とされてい
る。また、取付ベース１１の右端部近傍の上面には、各
流路１５ａ，１５ｂに連通する有底穴１６ａ，１６ｂが
それぞれ形成されている。
【００２４】図１および図２に示すように、前記取付ベ
ース１１の上部には、レーザ発振器４が配設されてい
る。本実施形態におけるレーザ発振器４は、チャンバユ
ニット１７、Ｑスイッチユニット１８、および、シャッ
タユニット１９に３分割されている。そして、チャンバ
ユニット１７は、取付ベース１１の図１右端側に配設さ
れており、その内部には、図示しないレーザ光を放射す
るレーザ媒体、光共振器の一方を構成する反射ミラー、
レーザ媒体を励起するための励起手段、シャッタなどが
格納されている。さらに、チャンバユニット１７の内部
には、図示しない冷却媒体の流路が形成されており、こ
のチャンバユニット１７の流路は、前記有底穴１６ａ，
１６ｂを介して取付ベース１１の流路１５ａ，１５ｂと
連通されている。また、本実施形態のＱスイッチユニッ
ト１８は、取付ベース１１の中央部に配設されており、
その内部には、図示しないＱスイッチが格納されてい
る。さらに、シャッタユニット１９は、取付ベース１１
の図１左端側に配設されており、その内部には、図示し
ないレーザ光の出力を制御するシャッタ、アパーチャ
（絞り）、光共振器の他方を構成する出力ミラーなどが
格納されている。
ース１１の上部には、レーザ発振器４が配設されてい
る。本実施形態におけるレーザ発振器４は、チャンバユ
ニット１７、Ｑスイッチユニット１８、および、シャッ
タユニット１９に３分割されている。そして、チャンバ
ユニット１７は、取付ベース１１の図１右端側に配設さ
れており、その内部には、図示しないレーザ光を放射す
るレーザ媒体、光共振器の一方を構成する反射ミラー、
レーザ媒体を励起するための励起手段、シャッタなどが
格納されている。さらに、チャンバユニット１７の内部
には、図示しない冷却媒体の流路が形成されており、こ
のチャンバユニット１７の流路は、前記有底穴１６ａ，
１６ｂを介して取付ベース１１の流路１５ａ，１５ｂと
連通されている。また、本実施形態のＱスイッチユニッ
ト１８は、取付ベース１１の中央部に配設されており、
その内部には、図示しないＱスイッチが格納されてい
る。さらに、シャッタユニット１９は、取付ベース１１
の図１左端側に配設されており、その内部には、図示し
ないレーザ光の出力を制御するシャッタ、アパーチャ
（絞り）、光共振器の他方を構成する出力ミラーなどが
格納されている。
【００２５】前記Ｑスイッチユニット１８およびシャッ
タユニット１９の内部には、図示しない冷却水の流路が
それぞれ形成されており、図３において取付ベース１１
の右端下方に示す流路１５ａの他端１５ａｂがシャッタ
ユニット１９の流路の一端とホース２０を介して接続さ
れている。また、シャッタユニット１９の流路の他端
は、Ｑスイッチユニット１８の流路の一端とホース２１
を介して接続されている。さらに、Ｑスイッチユニット
１８の流路の他端は、図３に示す取付ベース１１の右端
上方に示す流路１５ｂの排出側に位置する他端１５ｂｂ
とホース２２を介して接続されている。これにより、取
付ベース１１の流路１５ａの供給側に位置する一端１５
ａａに供給された冷却水が、シャッタユニット１９およ
びＱスイッチユニット１８の順に通過して取付ベース１
１の排出側に位置する流路１５ｂの一端に循環して排出
されるように構成されている。
タユニット１９の内部には、図示しない冷却水の流路が
それぞれ形成されており、図３において取付ベース１１
の右端下方に示す流路１５ａの他端１５ａｂがシャッタ
ユニット１９の流路の一端とホース２０を介して接続さ
れている。また、シャッタユニット１９の流路の他端
は、Ｑスイッチユニット１８の流路の一端とホース２１
を介して接続されている。さらに、Ｑスイッチユニット
１８の流路の他端は、図３に示す取付ベース１１の右端
上方に示す流路１５ｂの排出側に位置する他端１５ｂｂ
とホース２２を介して接続されている。これにより、取
付ベース１１の流路１５ａの供給側に位置する一端１５
ａａに供給された冷却水が、シャッタユニット１９およ
びＱスイッチユニット１８の順に通過して取付ベース１
１の排出側に位置する流路１５ｂの一端に循環して排出
されるように構成されている。
【００２６】すなわち、本実施形態のレーザ発振器４
は、複数、本実施形態においては３つのユニット１７，
１８，１９により形成されているとともに、各ユニット
１７，１８，１９には、温度上昇を防止する冷却媒体の
流路が形成されており、さらにこの流路は、取付ベース
１１に形成された流路１５ａ，１５ｂと接続されてい
る。
は、複数、本実施形態においては３つのユニット１７，
１８，１９により形成されているとともに、各ユニット
１７，１８，１９には、温度上昇を防止する冷却媒体の
流路が形成されており、さらにこの流路は、取付ベース
１１に形成された流路１５ａ，１５ｂと接続されてい
る。
【００２７】したがって、取付ベース１１に供給された
冷却水によって、取付ベース１１、およびチャンバユニ
ット１７、Ｑスイッチユニット１８およびシャッタユニ
ット１９を所定の温度に温度調整することができるよう
にされている。
冷却水によって、取付ベース１１、およびチャンバユニ
ット１７、Ｑスイッチユニット１８およびシャッタユニ
ット１９を所定の温度に温度調整することができるよう
にされている。
【００２８】すなわち、本実施形態のレーザ発振装置１
においては、取付ベース１１に温度上昇を防止する冷却
媒体の流路１５ａ，１５ｂが設けられているとともに、
レーザ発振器４を複数のユニット１７，１８，１９によ
り形成するとともに、これらのユニット１７，１８，１
９に温度上昇を防止する冷却媒体の流路を形成し、この
流路と、前記取付ベース１１３の流路１５ａ，１５ｂと
を接続した構成になっている。
においては、取付ベース１１に温度上昇を防止する冷却
媒体の流路１５ａ，１５ｂが設けられているとともに、
レーザ発振器４を複数のユニット１７，１８，１９によ
り形成するとともに、これらのユニット１７，１８，１
９に温度上昇を防止する冷却媒体の流路を形成し、この
流路と、前記取付ベース１１３の流路１５ａ，１５ｂと
を接続した構成になっている。
【００２９】前記筐体本体２の前側板６には、スキャナ
ユニット（スキャナヘッド）２３が取着されている。こ
のスキャナユニット２３は、レーザ発振器４から出力さ
れるレーザ光を加工対象物の表面に沿って相互にほぼ直
交する縦・横の２方向に走査するためのものであり、少
なくともレーザ発振器４から出力されるレーザ光が入射
される第１ガルバノスキャナと、この第１ガルバノスキ
ャナからの反射光が入射される第２ガルバノスキャナ
と、ｆθレンズ（ともに図示せず）とを有している。
ユニット（スキャナヘッド）２３が取着されている。こ
のスキャナユニット２３は、レーザ発振器４から出力さ
れるレーザ光を加工対象物の表面に沿って相互にほぼ直
交する縦・横の２方向に走査するためのものであり、少
なくともレーザ発振器４から出力されるレーザ光が入射
される第１ガルバノスキャナと、この第１ガルバノスキ
ャナからの反射光が入射される第２ガルバノスキャナ
と、ｆθレンズ（ともに図示せず）とを有している。
【００３０】なお、前側板６に、図示しない光ケーブル
の入力端を取り付ける構成としてもよい。この場合、レ
ーザ発振器４から出力されるレーザ光を、光ケーブルを
介して離れた位置に配設されるスキャナユニット２３な
どのレーザ加工ヘッドユニットへ損失なく伝達すること
ができる。
の入力端を取り付ける構成としてもよい。この場合、レ
ーザ発振器４から出力されるレーザ光を、光ケーブルを
介して離れた位置に配設されるスキャナユニット２３な
どのレーザ加工ヘッドユニットへ損失なく伝達すること
ができる。
【００３１】また、筐体本体２の後側板７には、板厚方
向に貫通するようにして、上下１対のホースジョイント
２４ａ，２４ｂが取着されている。これらのホースジョ
イント２４ａ，２４ｂのうちの一方のホースジョイント
２４ａは、外部に配設された図示しないクーラによって
所定温度に温度調節された冷却媒体としての冷却水が供
給される供給ポートとされており、他方のホースジョイ
ント２４ｂは、冷却に用いた冷却水を図示しないクーラ
に向かって戻すための排出ポートとされている。そし
て、供給ポートとされた一方のホースジョイント２４ａ
は、取付ベース１１の流路１５ａの供給側に位置する一
端１５ａａとホース２５を介して接続されており、排出
ポートとされた他方のホースジョイント２４ｂは、取付
ベース１１の流路１５ｂの排出側に位置する一端１５ｂ
ａとホース２６を介して接続されている。
向に貫通するようにして、上下１対のホースジョイント
２４ａ，２４ｂが取着されている。これらのホースジョ
イント２４ａ，２４ｂのうちの一方のホースジョイント
２４ａは、外部に配設された図示しないクーラによって
所定温度に温度調節された冷却媒体としての冷却水が供
給される供給ポートとされており、他方のホースジョイ
ント２４ｂは、冷却に用いた冷却水を図示しないクーラ
に向かって戻すための排出ポートとされている。そし
て、供給ポートとされた一方のホースジョイント２４ａ
は、取付ベース１１の流路１５ａの供給側に位置する一
端１５ａａとホース２５を介して接続されており、排出
ポートとされた他方のホースジョイント２４ｂは、取付
ベース１１の流路１５ｂの排出側に位置する一端１５ｂ
ａとホース２６を介して接続されている。
【００３２】つぎに、前述した構成からなる本実施形態
の作用について説明する。
の作用について説明する。
【００３３】本実施形態のレーザ発振装置１によれば、
筐体本体２の内部に、筐体本体２に生じる歪みの影響を
防止する歪み防止手段３を設けるとともに、少なくとも
レーザ発振器４を取付ベース１１に配設し、この取付ベ
ース１１を歪み防止手段３を介して筐体本体２の内部に
配置した構成とされているため、歪み防止手段３は、筐
体本体２に生じる歪みがレーザ発振器４に伝達するのを
防止できるので、レーザ発振器４によるレーザ発振を安
定させることができる。
筐体本体２の内部に、筐体本体２に生じる歪みの影響を
防止する歪み防止手段３を設けるとともに、少なくとも
レーザ発振器４を取付ベース１１に配設し、この取付ベ
ース１１を歪み防止手段３を介して筐体本体２の内部に
配置した構成とされているため、歪み防止手段３は、筐
体本体２に生じる歪みがレーザ発振器４に伝達するのを
防止できるので、レーザ発振器４によるレーザ発振を安
定させることができる。
【００３４】また、本実施形態のレーザ発振装置１によ
れば、歪み防止手段３が、取付ベース１１を筐体本体２
の内部に１点で支持する構成とされているため、筐体本
体２に生じる歪みをレーザ発振器４に伝達するのを防止
するための歪み防止手段３を容易に実現することができ
るので、レーザ発振器４によるレーザ発振を確実に安定
させることができる。すなわち、筐体本体２に歪みが生
じても、レーザ発振器４の一部を構成する反射ミラーと
出力ミラーとの相互間の平行度が変化するのを確実に防
止できる。
れば、歪み防止手段３が、取付ベース１１を筐体本体２
の内部に１点で支持する構成とされているため、筐体本
体２に生じる歪みをレーザ発振器４に伝達するのを防止
するための歪み防止手段３を容易に実現することができ
るので、レーザ発振器４によるレーザ発振を確実に安定
させることができる。すなわち、筐体本体２に歪みが生
じても、レーザ発振器４の一部を構成する反射ミラーと
出力ミラーとの相互間の平行度が変化するのを確実に防
止できる。
【００３５】さらに、本実施形態のレーザ発振装置１に
よれば、取付ベース１１に温度上昇を防止する冷却媒体
としての冷却水の流路１５ａ，１５ｂを設けた構成とさ
れているため、取付ベース１１に熱的な負荷が加わるの
を防止することができるので、レーザ発振器４によるレ
ーザ発振をより確実に安定させることができる。
よれば、取付ベース１１に温度上昇を防止する冷却媒体
としての冷却水の流路１５ａ，１５ｂを設けた構成とさ
れているため、取付ベース１１に熱的な負荷が加わるの
を防止することができるので、レーザ発振器４によるレ
ーザ発振をより確実に安定させることができる。
【００３６】さらにまた、本実施形態のレーザ発振装置
１によれば、レーザ発振器４を複数のユニット１７，１
８，１９により形成するとともに、これらのユニット１
７，１８，１９に温度上昇を防止する冷却媒体としての
冷却水の流路を形成し、この流路と、取付ベース１１の
流路１５ａ，１５ｂとを接続した構成とされているた
め、レーザ発振器４および取付ベース１１の両者に熱的
な負荷が加わるのを容易かつ確実に防止することができ
るので、レーザ発振器４によるレーザ発振をよりさらに
確実に安定させることができる。
１によれば、レーザ発振器４を複数のユニット１７，１
８，１９により形成するとともに、これらのユニット１
７，１８，１９に温度上昇を防止する冷却媒体としての
冷却水の流路を形成し、この流路と、取付ベース１１の
流路１５ａ，１５ｂとを接続した構成とされているた
め、レーザ発振器４および取付ベース１１の両者に熱的
な負荷が加わるのを容易かつ確実に防止することができ
るので、レーザ発振器４によるレーザ発振をよりさらに
確実に安定させることができる。
【００３７】また、従来のレーザ発振装置におけるレー
ザ光の出力変動が１０％程度生じるのに対し、本実施形
態のレーザ発振装置１におけるレーザ光の出力変動を２
％以下にできることが実機試験により確認できた。
ザ光の出力変動が１０％程度生じるのに対し、本実施形
態のレーザ発振装置１におけるレーザ光の出力変動を２
％以下にできることが実機試験により確認できた。
【００３８】図４および図５は本発明に係るレーザ発振
装置の第２実施形態の取付ベースを示すものである。ま
た、本実施形態のレーザ発振装置１Ａは、前述した第１
実施形態の歪み防止手段３において、１点支持した際に
生じる取付ベース１１の支持部を中心とした回転を防止
するようにしたものである。すなわち、図４に示すよう
に、本実施形態の取付ベース１１Ａの中央部には、歪み
防止手段３Ａの一部を構成する２つのねじ部１４が３０
ｍｍ程度の間隔をおいて形成されている。そして、図５
に示すように、筐体本体２Ａに形成された２つの貫通孔
１２に挿通される取付ねじ１３を取付ベース１１Ａに形
成された２つのねじ部１４に下方からそれぞれ螺入させ
ることにより、取付ベース１１Ａが筐体本体２Ａの発振
器配設部９に２点で支持されるようにして固着されてい
る。なお、本実施形態においては、取付ねじ１３の少な
くとも一方にウレタンワッシャなどの弾性体（図示せ
ず）が装着されており、取付ねじ１３による応力をキャ
ンセルすることができるようになっている。
装置の第２実施形態の取付ベースを示すものである。ま
た、本実施形態のレーザ発振装置１Ａは、前述した第１
実施形態の歪み防止手段３において、１点支持した際に
生じる取付ベース１１の支持部を中心とした回転を防止
するようにしたものである。すなわち、図４に示すよう
に、本実施形態の取付ベース１１Ａの中央部には、歪み
防止手段３Ａの一部を構成する２つのねじ部１４が３０
ｍｍ程度の間隔をおいて形成されている。そして、図５
に示すように、筐体本体２Ａに形成された２つの貫通孔
１２に挿通される取付ねじ１３を取付ベース１１Ａに形
成された２つのねじ部１４に下方からそれぞれ螺入させ
ることにより、取付ベース１１Ａが筐体本体２Ａの発振
器配設部９に２点で支持されるようにして固着されてい
る。なお、本実施形態においては、取付ねじ１３の少な
くとも一方にウレタンワッシャなどの弾性体（図示せ
ず）が装着されており、取付ねじ１３による応力をキャ
ンセルすることができるようになっている。
【００３９】したがって、本実施形態においては、筐体
本体２Ａの内部に取付ベース１１Ａが２点で支持されて
おり、この取付ベース１１Ａを筐体本体２Ａの内部に２
点で支持する構成により、本実施形態の筐体本体２Ａに
生じる歪みの影響を防止する歪み防止手段３Ａが形成さ
れている。
本体２Ａの内部に取付ベース１１Ａが２点で支持されて
おり、この取付ベース１１Ａを筐体本体２Ａの内部に２
点で支持する構成により、本実施形態の筐体本体２Ａに
生じる歪みの影響を防止する歪み防止手段３Ａが形成さ
れている。
【００４０】その他の構成は、前述した第１実施形態の
レーザ発振装置１と同様とされているので、その詳しい
説明は省略する。
レーザ発振装置１と同様とされているので、その詳しい
説明は省略する。
【００４１】このような構成により、本実施形態のレー
ザ発振装置１Ａは、前述した第１実施形態のレーザ発振
装置１と同様の効果を奏することができるとともに、更
に、１点で支持した際に生じる取付ベース１１Ａの支持
部を中心とした回転を防止することができるので、出力
するレーザ光の位置を確実に制御することができる。す
なわち、レーザ発振器４から出力されるレーザ光をスキ
ャナユニット２３へ正確に入射することができる。
ザ発振装置１Ａは、前述した第１実施形態のレーザ発振
装置１と同様の効果を奏することができるとともに、更
に、１点で支持した際に生じる取付ベース１１Ａの支持
部を中心とした回転を防止することができるので、出力
するレーザ光の位置を確実に制御することができる。す
なわち、レーザ発振器４から出力されるレーザ光をスキ
ャナユニット２３へ正確に入射することができる。
【００４２】なお、取付ベース１１Ａを２点で支持する
場合、支持点の間隔である２つのねじ部１４の間隔を大
きくすると、１点支持と同様の筐体本体２Ａに生じる歪
みの影響を防止する効果が少なくなる傾向があり、２つ
のねじ部１４の間隔を小さくすると、取付ベース１１Ａ
の回転を防止する効果が少なくなる傾向がある。この取
付ベース１１Ａを２点で支持する場合の支持点の間隔
は、筐体本体２Ａの大きさや剛性などに応じて設定すれ
ばよい。
場合、支持点の間隔である２つのねじ部１４の間隔を大
きくすると、１点支持と同様の筐体本体２Ａに生じる歪
みの影響を防止する効果が少なくなる傾向があり、２つ
のねじ部１４の間隔を小さくすると、取付ベース１１Ａ
の回転を防止する効果が少なくなる傾向がある。この取
付ベース１１Ａを２点で支持する場合の支持点の間隔
は、筐体本体２Ａの大きさや剛性などに応じて設定すれ
ばよい。
【００４３】さらに、本発明のレーザ発振装置は、マー
キング、穴あけ、切断、溶接などの加工を行う各種のレ
ーザ装置に用いることができる。
キング、穴あけ、切断、溶接などの加工を行う各種のレ
ーザ装置に用いることができる。
【００４４】さらにまた、本発明のレーザ発振装置は、
小型化、軽量化を図るうえで特に有効である。
小型化、軽量化を図るうえで特に有効である。
【００４５】また、本発明は、前記各実施形態に限定さ
れるものではなく、必要に応じて種々変更することがで
きる。
れるものではなく、必要に応じて種々変更することがで
きる。
【００４６】
【発明の効果】以上説明したように請求項１に係る本発
明のレーザ発振装置によれば、歪み防止手段は、筐体本
体に生じる歪みがレーザ発振器に伝達するのを防止でき
るので、レーザ発振器によるレーザ発振を安定させるこ
とができるなどの極めて優れた効果を奏する。
明のレーザ発振装置によれば、歪み防止手段は、筐体本
体に生じる歪みがレーザ発振器に伝達するのを防止でき
るので、レーザ発振器によるレーザ発振を安定させるこ
とができるなどの極めて優れた効果を奏する。
【００４７】また、請求項２に係る本発明のレーザ発振
装置によれば、筐体本体に生じる歪みをレーザ発振器に
伝達するのを防止するための歪み防止手段を容易に実現
することができるので、レーザ発振器によるレーザ発振
を確実に安定させることができるなどの極めて優れた効
果を奏する。
装置によれば、筐体本体に生じる歪みをレーザ発振器に
伝達するのを防止するための歪み防止手段を容易に実現
することができるので、レーザ発振器によるレーザ発振
を確実に安定させることができるなどの極めて優れた効
果を奏する。
【００４８】また、請求項３に係る本発明のレーザ発振
装置によれば、筐体本体に生じる歪みをレーザ発振器に
伝達するのを防止するための歪み防止手段を容易に実現
することができるので、レーザ発振器によるレーザ発振
を確実に安定させることができるとともに、１点で支持
した際に生じる取付ベースの支持部を中心とした回転を
防止することができるので、出力するレーザ光の位置を
確実に制御することができるなどの極めて優れた効果を
奏する。
装置によれば、筐体本体に生じる歪みをレーザ発振器に
伝達するのを防止するための歪み防止手段を容易に実現
することができるので、レーザ発振器によるレーザ発振
を確実に安定させることができるとともに、１点で支持
した際に生じる取付ベースの支持部を中心とした回転を
防止することができるので、出力するレーザ光の位置を
確実に制御することができるなどの極めて優れた効果を
奏する。
【００４９】また、請求項４に係る本発明のレーザ発振
装置によれば、取付ベースに熱的な負荷が加わるのを防
止することができるので、レーザ発振器によるレーザ発
振をより確実に安定させることができるなどの極めて優
れた効果を奏する。
装置によれば、取付ベースに熱的な負荷が加わるのを防
止することができるので、レーザ発振器によるレーザ発
振をより確実に安定させることができるなどの極めて優
れた効果を奏する。
【００５０】また、請求項５に係る本発明のレーザ発振
装置によれば、レーザ発振器および取付ベースに熱的な
負荷が加わるのを容易かつ確実に防止することができる
ので、レーザ発振器によるレーザ発振をよりさらに確実
に安定させることができるなどの極めて優れた効果を奏
する。
装置によれば、レーザ発振器および取付ベースに熱的な
負荷が加わるのを容易かつ確実に防止することができる
ので、レーザ発振器によるレーザ発振をよりさらに確実
に安定させることができるなどの極めて優れた効果を奏
する。
【図１】 本発明に係るレーザ発振装置の第１実施形態
の全体構成の要部を筐体カバーを除いて示す一部切断正
面図
の全体構成の要部を筐体カバーを除いて示す一部切断正
面図
【図２】 図１に示すレーザ発振装置の平面図
【図３】 図１に示すレーザ発振装置の取付ベースの平
面図
面図
【図４】 本発明に係るレーザ発振装置の第２実施形態
の取付ベースを示す平面図
の取付ベースを示す平面図
【図５】 本発明に係るレーザ発振装置の第２実施形態
の要部を示す一部切断拡大正面図
の要部を示す一部切断拡大正面図
１、１Ａ レーザ発振装置 ２、２Ａ 筐体本体 ３、３Ａ 歪み防止手段 ４ レーザ発振器 ５ 底板 ５ａ 位置決めピン ９ 発振器配設部 １０ 基板配設部 １１、１１Ａ 取付ベース １２ 貫通孔 １３ 取付ねじ １４ ねじ部 １５ａ、１５ｂ 流路 １６ａ、１６ｂ 有底穴 １７ チャンバユニット １８ Ｑスイッチユニット １９ シャッタユニット ２３ スキャナユニット
Claims (5)
- 【請求項１】 筐体本体の内部に、少なくともレーザ光
を放射するレーザ媒体、光共振器、レーザ媒体を励起す
るための励起手段を有するレーザ発振器を取り付けたレ
ーザ発振装置において、 前記筐体本体の内部に、前記筐体本体に生じる歪みの影
響を防止する歪み防止手段を設けるとともに、少なくと
も前記レーザ発振器を取付ベースに配設し、前記取付ベ
ースを前記歪み防止手段を介して前記筐体本体の内部に
配置したことを特徴とするレーザ発振装置。 - 【請求項２】 前記歪み防止手段が、前記取付ベースを
前記筐体本体の内部に１点で支持する構成であることを
特徴とする請求項１に記載のレーザ発振装置。 - 【請求項３】 前記歪み防止手段が、前記取付ベースを
前記筐体本体の内部に２点で支持する構成であることを
特徴とする請求項１に記載のレーザ発振装置。 - 【請求項４】 前記取付ベースに温度上昇を防止する冷
却媒体の流路を設けたことを特徴とする請求項１ないし
請求項３のいずれか１項に記載のレーザ発振装置。 - 【請求項５】 前記レーザ発振器を複数のユニットによ
り形成するとともに、これらのユニットに温度上昇を防
止する冷却媒体の流路を形成し、この流路と、前記取付
ベースの流路とを接続したことを特徴とする請求項４に
記載のレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000392435A JP2002198591A (ja) | 2000-12-25 | 2000-12-25 | レーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000392435A JP2002198591A (ja) | 2000-12-25 | 2000-12-25 | レーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002198591A true JP2002198591A (ja) | 2002-07-12 |
Family
ID=18858425
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000392435A Pending JP2002198591A (ja) | 2000-12-25 | 2000-12-25 | レーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002198591A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015122450A (ja) * | 2013-12-25 | 2015-07-02 | ブラザー工業株式会社 | レーザ加工装置 |
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-
2000
- 2000-12-25 JP JP2000392435A patent/JP2002198591A/ja active Pending
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| JP5954286B2 (ja) | レーザ加工装置 |
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