JPS6059794A - 半導体レーザー用の安定化装置 - Google Patents
半導体レーザー用の安定化装置Info
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- JPS6059794A JPS6059794A JP59171687A JP17168784A JPS6059794A JP S6059794 A JPS6059794 A JP S6059794A JP 59171687 A JP59171687 A JP 59171687A JP 17168784 A JP17168784 A JP 17168784A JP S6059794 A JPS6059794 A JP S6059794A
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/14—External cavity lasers
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
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- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4256—Details of housings
- G02B6/4257—Details of housings having a supporting carrier or a mounting substrate or a mounting plate
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- G—PHYSICS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
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- H01S5/065—Mode locking; Mode suppression; Mode selection ; Self pulsating
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- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、レーザーの背面側に外部レフレクタを有ずろ
半導体レーザー用の安定化装置に関する。
半導体レーザー用の安定化装置に関する。
従来の技術
光′ｈ（ｇ技術においては単一モ−ド系が一層重要にな
って来た。この場合解決されるべきでありかつマルチモ
ー１ξ系では一層大きな障害を伴っている問題点には、
レーザースペクトルと光導波体の分散との相互作用に起
因する好ましくない効果が属する。このような効果に対
する有効な手段の１つは外部レフレクタを使用すること
である。
って来た。この場合解決されるべきでありかつマルチモ
ー１ξ系では一層大きな障害を伴っている問題点には、
レーザースペクトルと光導波体の分散との相互作用に起
因する好ましくない効果が属する。このような効果に対
する有効な手段の１つは外部レフレクタを使用すること
である。
この種の手段に関しては、例えばＥｌｅｃｔｒｏｎｉＬ
ｅｔｔｅｒＳ ” １９８１年１１月２６日発行、第１
７巻、第２４号、９３１〜９３２頁及びＩ −１８２年
１２月９日発行、第１８巻、第２６号 ］ （］ ！１
２〜１０９４頁が挙げられる。これらに記載さｌｌ！ｌ
た経験によれば、外部レフレクタの位置はレーザーは単
一モード駆動で作動するように可調整されねばならない
。このための尺度としては、単一モーＰ駆動でピークに
達するレーザーの出力が利用される。このために特に熱
的長さ変化によって作用する調整装置及びそれに配属さ
れろ制御回路が開発された。
ｅｔｔｅｒＳ ” １９８１年１１月２６日発行、第１
７巻、第２４号、９３１〜９３２頁及びＩ −１８２年
１２月９日発行、第１８巻、第２６号 ］ （］ ！１
２〜１０９４頁が挙げられる。これらに記載さｌｌ！ｌ
た経験によれば、外部レフレクタの位置はレーザーは単
一モード駆動で作動するように可調整されねばならない
。このための尺度としては、単一モーＰ駆動でピークに
達するレーザーの出力が利用される。このために特に熱
的長さ変化によって作用する調整装置及びそれに配属さ
れろ制御回路が開発された。
発明が解決しようとする問題点
本発明の課題は、上記形式の安定化装置、特に安定な、
単一モードの光発振器において使用するだめの安定化装
置の、簡単かつ廉価に製作され、操作しやすくかつ故障
の生じない構造を提供することであった。
単一モードの光発振器において使用するだめの安定化装
置の、簡単かつ廉価に製作され、操作しやすくかつ故障
の生じない構造を提供することであった。
問題点を解決するための手段
前記課題は、本発明により、レフレクタとして、レーザ
ー３に面した端面に中空反射鏡２を有する］軸線方向で
可動に保持された鏡体１と、該鏡体】の保持装置として
のばね締付は体４とを有し、該ばね締伺は体がレーザー
３を支持ずろ熱降下ブロック５に接触して軸線方向に
対して垂直な面内に可動に固定されていることによりブ
リイ決される。
ー３に面した端面に中空反射鏡２を有する］軸線方向で
可動に保持された鏡体１と、該鏡体】の保持装置として
のばね締付は体４とを有し、該ばね締伺は体がレーザー
３を支持ずろ熱降下ブロック５に接触して軸線方向に
対して垂直な面内に可動に固定されていることによりブ
リイ決される。
作用
本発明にとって重要なことは、レフレクタの初期の調整
後に作動中に継続的調整を必要としない、従って自動調
節可能な部月及υ；機構並びに検出器及び相応する制御
回路のための回路を省略することができることである。
後に作動中に継続的調整を必要としない、従って自動調
節可能な部月及υ；機構並びに検出器及び相応する制御
回路のための回路を省略することができることである。
レフレクタの調整、すなわち軸線方向に対して垂直な面
内でばね締伺は体を移動させることによる位置決め、鏡
体をその軸線方向の案内面を有する保持装置内での移動
による軸線での間隔の調整は、対象、すなわちレーザー
の光放出スポット、及び力・ζ−される反射像の観察（
顕微鏡）により行なわれる。それにより反射光出力に対
して最適状態が調整される。このレフレクタの調整後に
、レーザーが２つの隣接したモー ド間て゛２゛ヤンプ
しうるような事態が生じると、そのスペクトルはレーザ
ーの温度を変化させることにより幾分かシフトさせられ
る。レーザーのための温度制御装置はいずれにぜよ存在
するものてあり、従ってそれと付加的な費用は結び伺か
ない。１つだけのモードの安定な放出のための温度範囲
は、例えば株式会社日立製のレーザー”Ｉ（ＬＰ５４０
０ ”では約±１６′Ｃである。従って、安定な単一モ
ード駆動の調整は比較的容易である。
内でばね締伺は体を移動させることによる位置決め、鏡
体をその軸線方向の案内面を有する保持装置内での移動
による軸線での間隔の調整は、対象、すなわちレーザー
の光放出スポット、及び力・ζ−される反射像の観察（
顕微鏡）により行なわれる。それにより反射光出力に対
して最適状態が調整される。このレフレクタの調整後に
、レーザーが２つの隣接したモー ド間て゛２゛ヤンプ
しうるような事態が生じると、そのスペクトルはレーザ
ーの温度を変化させることにより幾分かシフトさせられ
る。レーザーのための温度制御装置はいずれにぜよ存在
するものてあり、従ってそれと付加的な費用は結び伺か
ない。１つだけのモードの安定な放出のための温度範囲
は、例えば株式会社日立製のレーザー”Ｉ（ＬＰ５４０
０ ”では約±１６′Ｃである。従って、安定な単一モ
ード駆動の調整は比較的容易である。
本発明の有利な実施態様では、鏡体は円筒形である。３
角形又は多角形を有する鏡体は製作が困短であるが、そ
れに対して特別の回動防雨装置を必要としない。上記実
施態様では有利には回動防止のために、鏡体に固定され
、ばね締付は体内を案内された部利が設けられるべきで
ある。
角形又は多角形を有する鏡体は製作が困短であるが、そ
れに対して特別の回動防雨装置を必要としない。上記実
施態様では有利には回動防止のために、鏡体に固定され
、ばね締付は体内を案内された部利が設けられるべきで
ある。
本発明の特に有利な実施態様は、鏡体に円ｆに）状ピン
を有し、該−ンのレーザーに而した端面に中空反射鏡が
押込まれている。レーザーの近１４部分のイ１”て量的
寸法は、最小化のため（であらゆｙ；、 ｉＪ」化性か
利用されるべき程（（小さい。この場合、他面操作性は
無視されろべきてない。この、１：ツに鏡体は小さずぎ
ろべきてないが、ビンは安定化装置の空間的に制限され
た範囲内で極めて？ｉｌ；、 （：構成されているべき
である。この構成はまた製作技術的に大きな困対（を伴
うことなく可能である。端面に中空反射鏡を押込むこと
は作業法として自体公知である。しかしながら、この場
合本発明の実施態様の利点は、中空反射鏡のために、後
で又は先に鏡体に固定しなければならない特殊な拐料か
ら成る特殊な構成部拐を使用しない点にある。本発明の
実施態様では、中空反射鏡並υ・に場合により円ｆ、５
）状ビンを含む鏡体全体を一体片から形成することがで
きる。
を有し、該−ンのレーザーに而した端面に中空反射鏡が
押込まれている。レーザーの近１４部分のイ１”て量的
寸法は、最小化のため（であらゆｙ；、 ｉＪ」化性か
利用されるべき程（（小さい。この場合、他面操作性は
無視されろべきてない。この、１：ツに鏡体は小さずぎ
ろべきてないが、ビンは安定化装置の空間的に制限され
た範囲内で極めて？ｉｌ；、 （：構成されているべき
である。この構成はまた製作技術的に大きな困対（を伴
うことなく可能である。端面に中空反射鏡を押込むこと
は作業法として自体公知である。しかしながら、この場
合本発明の実施態様の利点は、中空反射鏡のために、後
で又は先に鏡体に固定しなければならない特殊な拐料か
ら成る特殊な構成部拐を使用しない点にある。本発明の
実施態様では、中空反射鏡並υ・に場合により円ｆ、５
）状ビンを含む鏡体全体を一体片から形成することがで
きる。
更に、本発明の実施態様にとつ−Ｃは、中空反射鏡の形
状が重要である。このためには、レーザーがその光線を
約３０°の鋭角を有するローブに放射するように２慮す
べきである。レーザーの放射面は円形ではないので、ロ
ーブも回転対体ではない。それにもかかわらず、回転対
称形の鏡面で全く十分であることが判明した。本発明の
有利な実施態様は球状の中空反射鏡を有する。このため
には中空反射鏡を押込むためのラムとしても球が必要で
あるにずぎす、代雑な成形体は不必要である。
状が重要である。このためには、レーザーがその光線を
約３０°の鋭角を有するローブに放射するように２慮す
べきである。レーザーの放射面は円形ではないので、ロ
ーブも回転対体ではない。それにもかかわらず、回転対
称形の鏡面で全く十分であることが判明した。本発明の
有利な実施態様は球状の中空反射鏡を有する。このため
には中空反射鏡を押込むためのラムとしても球が必要で
あるにずぎす、代雑な成形体は不必要である。
この関係において、中空反射鏡はいかなる大きさを有す
るべきであるかという問題について簡単に説明する。曲
率半径が小さくなく）程、当然レーザーとレフレクタと
の間の距離は’ｔ：’；ｉ ＜ ｉｇる。このような短
い距離は所望の効果にとって好適である。これに関して
冒頭に記載した公知技術水準では６０〜２００μｎ〕の
値が単げられろ。
るべきであるかという問題について簡単に説明する。曲
率半径が小さくなく）程、当然レーザーとレフレクタと
の間の距離は’ｔ：’；ｉ ＜ ｉｇる。このような短
い距離は所望の効果にとって好適である。これに関して
冒頭に記載した公知技術水準では６０〜２００μｎ〕の
値が単げられろ。
製作技術」二の理由から、小さずぎる間隔及び曲率半径
は好ましくない。本発明の実施態様では、５００μｎ〕
で十分であることが判明した。できるだけ大量の光レー
ザーの後方の放射面に戻すことは、恐く全く予測され得
なかったことである３、それにより、鏡の品質に極端な
要求を課する必要はない。更にかつ同じ意図から、レフ
レクタは無条件に完全な中空反射鏡から形成されろべき
てな′い、すなわち中空反射鏡セグメントでも十分であ
ることが判明した。また、全部の放射光を捕捉しかつて
きるだけ完全に反射させる必要もない。
は好ましくない。本発明の実施態様では、５００μｎ〕
で十分であることが判明した。できるだけ大量の光レー
ザーの後方の放射面に戻すことは、恐く全く予測され得
なかったことである３、それにより、鏡の品質に極端な
要求を課する必要はない。更にかつ同じ意図から、レフ
レクタは無条件に完全な中空反射鏡から形成されろべき
てな′い、すなわち中空反射鏡セグメントでも十分であ
ることが判明した。また、全部の放射光を捕捉しかつて
きるだけ完全に反射させる必要もない。
このことは別の実施態様においては以下のようにして実
施される。突起が下側で平らにされ−こおりかつその端
面に中空反射鏡のセグメントが存在する。該突起はピン
又は同種のものの長さの一部分又はその全部を取ること
ができろ。
施される。突起が下側で平らにされ−こおりかつその端
面に中空反射鏡のセグメントが存在する。該突起はピン
又は同種のものの長さの一部分又はその全部を取ること
ができろ。
下面を平らにすることは、曲率半径が大きい場合でもレ
ーザーとレフレクタとの必要な間隔をイ！Ｉることを可
能にずろ。ずなわち、しばしば市販のレーザーはザブマ
ウント又は熱降下ブロックに数句りらＡしる。その場合
には上記手段を講じなければその寸法により、極端には
大きくない曲率半径を有するレフレクタを必要な間隔で
数句けることができなくなる。
ーザーとレフレクタとの必要な間隔をイ！Ｉることを可
能にずろ。ずなわち、しばしば市販のレーザーはザブマ
ウント又は熱降下ブロックに数句りらＡしる。その場合
には上記手段を講じなければその寸法により、極端には
大きくない曲率半径を有するレフレクタを必要な間隔で
数句けることができなくなる。
本発明の実施態様では、鏡体の背面側に機械的に操作さ
れる調節部拐が設けられていてもよい。これは鏡体を調
整する際に１軸線方向の移動を起すために役立つ。この
ためには例えば袋ねじ孔が設けられているべきである。
れる調節部拐が設けられていてもよい。これは鏡体を調
整する際に１軸線方向の移動を起すために役立つ。この
ためには例えば袋ねじ孔が設けられているべきである。
本発明の実施態様においては、ばね綿（ｔ ＋＝］体は
熱降下ブロックの材料と少なくとも類似した熱的特性を
有ずろ材料から製作するのが有利である。両ブロックと
も温度変化及びそれと結び刊いた膨張率は、応力及び鏡
体の調整変化を回避するために、はぼ同じ範囲にあるべ
きである。
熱降下ブロックの材料と少なくとも類似した熱的特性を
有ずろ材料から製作するのが有利である。両ブロックと
も温度変化及びそれと結び刊いた膨張率は、応力及び鏡
体の調整変化を回避するために、はぼ同じ範囲にあるべ
きである。
この種の材料は一般にまた、保持フランジのばね応力の
ために必要とされる必要な機械的特性を有する。他面、
ばね舌状片のフラップ及び締伺けねじ又は同種のものが
設けられていてもよ（１゜ 最後にまた、本発明の実施態様においては、ばね締付は
体が、鏡体の保持フランジと、レーザーを支持する熱降
下ブロックないしはサブマウントとの間の大きな間隔を
形成する拡大された脚部を有しているのが重要かつ有利
である。
ために必要とされる必要な機械的特性を有する。他面、
ばね舌状片のフラップ及び締伺けねじ又は同種のものが
設けられていてもよ（１゜ 最後にまた、本発明の実施態様においては、ばね締付は
体が、鏡体の保持フランジと、レーザーを支持する熱降
下ブロックないしはサブマウントとの間の大きな間隔を
形成する拡大された脚部を有しているのが重要かつ有利
である。
この機構は、鏡体の調整の際の取扱い及び観４（イ〈簡
−ｊ（にすｚ、。
−ｊ（にすｚ、。
実施例
（ゲ；〕１の１２ｉ示の実施例により本発明の詳細な説
明ずろ、。
明ずろ、。
第１図に示した安定な単一モード光発振器の１’；ＩＩ
Ｊ告にオ６いては、市販のレーザー３を使用ずろことか
てきろ。この場合、レーザー３は場合に１：リザゾマウ
ントの介在下にいずれにせよ熱降［ブロック５十に固定
されている。レーザー３に電流を供給するために、同様
に既に絶縁体１４に弾性部月１５、例えば全条片が数個
けられている０、チー・ぐを有する光導波体１Ｇをレー
ザー、うの前方放射面上に調整することができる結合装
置は、埋ｊイしやすくするために、この図面では省略さ
れている。この秒の装置は同様に市販されており、かつ
それにより本発明が理解しやすくなるものでもないので
、図示及び詳細な説明の必要はないと思われる。
Ｊ告にオ６いては、市販のレーザー３を使用ずろことか
てきろ。この場合、レーザー３は場合に１：リザゾマウ
ントの介在下にいずれにせよ熱降［ブロック５十に固定
されている。レーザー３に電流を供給するために、同様
に既に絶縁体１４に弾性部月１５、例えば全条片が数個
けられている０、チー・ぐを有する光導波体１Ｇをレー
ザー、うの前方放射面上に調整することができる結合装
置は、埋ｊイしやすくするために、この図面では省略さ
れている。この秒の装置は同様に市販されており、かつ
それにより本発明が理解しやすくなるものでもないので
、図示及び詳細な説明の必要はないと思われる。
レーザー３０安定化装置は鏡体１を有し、該鏡体のレー
ザー３の背面側の中空反射鏡２はレーザーの該背面で枚
射するｉｌｌに対して正確（、で調鮮［可能であるべき
である。図示の実施例（ぐおげ４・ように、との場合不
発り（］ては１．３つの立体座標軸において必要な移動
からまず反射したレーザー画像の調整は、レーザー、３
の長手軸線０τ合致するように行なわれるべきであると
いうことから出発ずろ。との際ンーザー：３／中空反射
鏡２０間隔は上記長手軸線」二を鏡体１に移動さぜろこ
とにより調整されろ。軸方向に対して重直な面内での移
動は、熱降下ブロック５を貫通して十分な遊びをもって
貫通孔内な案内されかつばわ締伺は体・１の袋ねじ孔内
に係合するねじ・Ｊ？ルト１３を幾分か弛めかっばね締
伺は体４を熱降下ブロック５に対して往復運動させるこ
とにより実施することができる。レーザー ３の反射像
が長手軸線に当った時点で、ねじ７」？ルト１３を固く
締伺ける。次いで、鏡体１の長手方向移動を鏡体１の背
面に設けられた調節部没（図示せず）を用いて行なう。
ザー３の背面側の中空反射鏡２はレーザーの該背面で枚
射するｉｌｌに対して正確（、で調鮮［可能であるべき
である。図示の実施例（ぐおげ４・ように、との場合不
発り（］ては１．３つの立体座標軸において必要な移動
からまず反射したレーザー画像の調整は、レーザー、３
の長手軸線０τ合致するように行なわれるべきであると
いうことから出発ずろ。との際ンーザー：３／中空反射
鏡２０間隔は上記長手軸線」二を鏡体１に移動さぜろこ
とにより調整されろ。軸方向に対して重直な面内での移
動は、熱降下ブロック５を貫通して十分な遊びをもって
貫通孔内な案内されかつばわ締伺は体・１の袋ねじ孔内
に係合するねじ・Ｊ？ルト１３を幾分か弛めかっばね締
伺は体４を熱降下ブロック５に対して往復運動させるこ
とにより実施することができる。レーザー ３の反射像
が長手軸線に当った時点で、ねじ７」？ルト１３を固く
締伺ける。次いで、鏡体１の長手方向移動を鏡体１の背
面に設けられた調節部没（図示せず）を用いて行なう。
鏡体Ｊが円筒状に構成されている場合には、鏡体１内で
半径方向で固定されかつ例えば鏡体Ｊのためθ？元来の
保持クシノゾ１１のばね間隙内で縦方向運動だけを許容
するビ′ン６を回動運動防止のため（で設けるべきて゛
ある。
半径方向で固定されかつ例えば鏡体Ｊのためθ？元来の
保持クシノゾ１１のばね間隙内で縦方向運動だけを許容
するビ′ン６を回動運動防止のため（で設けるべきて゛
ある。
この手段は、中空反射鏡２に向って案内されたビン７が
非対称的に、特に平らにされた突起８を有するように形
成されている、本発明の実施態様のためには特に重要で
ある。該平坦化は安定化装置の当該領域におけろ所要ス
ペースを減少させるために役立ちかつ正確に突起８の下
側に存在すべきである。中空反射鏡は、この場合にはよ
り大きな曲率半径をもって構成されていてもよい球］ｎ
ｊの１つのセグメントだけから成る。また、この領域に
おける所要スペースを考慮して、保持フランジ１１と熱
降下ブロック５ないしく・まサブマウント１２との間の
大きな間隔を形成するために、ばね締伺は体４は拡開さ
れた脚部９を有するように構成されていてもよい。
非対称的に、特に平らにされた突起８を有するように形
成されている、本発明の実施態様のためには特に重要で
ある。該平坦化は安定化装置の当該領域におけろ所要ス
ペースを減少させるために役立ちかつ正確に突起８の下
側に存在すべきである。中空反射鏡は、この場合にはよ
り大きな曲率半径をもって構成されていてもよい球］ｎ
ｊの１つのセグメントだけから成る。また、この領域に
おける所要スペースを考慮して、保持フランジ１１と熱
降下ブロック５ないしく・まサブマウント１２との間の
大きな間隔を形成するために、ばね締伺は体４は拡開さ
れた脚部９を有するように構成されていてもよい。
ば、ね締＋］け体・１と熱降下ブロック５とはその他の
点では熱的に相互に絶縁されていない。更に、これらは
調整状態をＫ、ｆｆ、持ずろため（Ｊ、少なくとも類似
した熱特性を有する、すなわちＱ ？’ｆｉ動がほぼ同
じ範囲て行なわれるＮ／ｌ’ Ｊ」かも成っているべき
である。
点では熱的に相互に絶縁されていない。更に、これらは
調整状態をＫ、ｆｆ、持ずろため（Ｊ、少なくとも類似
した熱特性を有する、すなわちＱ ？’ｆｉ動がほぼ同
じ範囲て行なわれるＮ／ｌ’ Ｊ」かも成っているべき
である。
第２図には、安定な単一モー１５光発振器のレーザー、
単一モードＬＷＬ及びレフレクタの成分が略示されてい
る。
単一モードＬＷＬ及びレフレクタの成分が略示されてい
る。
レフレクタはレーザーの単一モー ド特性を著しく改良
する。レフレクタを有しないレーザーでは、レーザース
ペクトルの小さな障害に至適化されたファイノく一結合
でもレーザースペクトルに影響する。しかしながら、前
記のレフレクタを使用すると直ちに、レーザーの単一モ
ー ド特性はファイバー結合によってもはや悪影響を受
けにくなる。
する。レフレクタを有しないレーザーでは、レーザース
ペクトルの小さな障害に至適化されたファイノく一結合
でもレーザースペクトルに影響する。しかしながら、前
記のレフレクタを使用すると直ちに、レーザーの単一モ
ー ド特性はファイバー結合によってもはや悪影響を受
けにくなる。
この個々の作用の度合を明らかにするため（へ：、結合
された光導波体もまたレフレクタも有しない絶縁された
レーザーの動作点の選択によって良好なスペクトルが示
されている。唯一のきわ立ったスペクトル線のそばに、
そＡ１に隣接して数（ｔ’：ｉの４Ｗめて小ごなきわ立
ったスペクトル線か偵’（１−ｔｊｉ＃ ｅれろ（Ｃず
ぎない。
された光導波体もまたレフレクタも有しない絶縁された
レーザーの動作点の選択によって良好なスペクトルが示
されている。唯一のきわ立ったスペクトル線のそばに、
そＡ１に隣接して数（ｔ’：ｉの４Ｗめて小ごなきわ立
ったスペクトル線か偵’（１−ｔｊｉ＃ ｅれろ（Ｃず
ぎない。
ｉ′： ／ｌ Ｉ／ｌは、う種類のレーザー／Ｔ、ＷＬ
間隔に関して（・ずれの場合にも２つの著しくきわ立っ
たスペクトル線とそのそばの別の幾分か弱いスペク）・
ル線を示す１．更に、きわ立ったター３りトル線はノ、
い）←波長にター］して程度の差こそあれかなり一力又
は他方向にシフトされている。
間隔に関して（・ずれの場合にも２つの著しくきわ立っ
たスペクトル線とそのそばの別の幾分か弱いスペク）・
ル線を示す１．更に、きわ立ったター３りトル線はノ、
い）←波長にター］して程度の差こそあれかなり一力又
は他方向にシフトされている。
最後に、第５図にはレフレクタによる外的安定化装置を
有するレーザーのスペクトルが対数で示されている。そ
の場合、きわ立ったスペクトル線のそばに現われる全て
のものは、該スペクトル線に対して１％以下である。し
かも、第；う図のスペクトルに比較し′不約１０倍の改
良が達成されている。
有するレーザーのスペクトルが対数で示されている。そ
の場合、きわ立ったスペクトル線のそばに現われる全て
のものは、該スペクトル線に対して１％以下である。し
かも、第；う図のスペクトルに比較し′不約１０倍の改
良が達成されている。
第】図は安定化装置を有する半導体レーザー発振器の構
造を示す斜視図、第２図は前面に結合された光導体と、
背面にレフレクタとを有するレーザーの原理図、第３図
は絶縁されたレーザーで形成される典型的レーザースペ
クトル４・−示ず図、第４図（主第３図と直接的に比較
するために、；３不重類の異なったし チー／ファイ・
ぐ間隔に関して背面側のレフレクタを有しな（・レーザ
ー／ファイ・Ｓ−結合におけろ３つのレーザ７ ヘクｌ
−ルを示す図（上記の１１つの全てのスペクトル画像は
相互に基準波長に対して示さＡｔでいる）及び第５図は
第１図及び第２図による装置に関するレーーヂースペク
トルを対数で示す図で゛ある。 １・・鏡体、２・・中空反射鏡、３ ・レーザー、４・
・・ばね締付は体、５・・熱降下ブロック、６・・部Ａ
３．７・・・ｔン、８ ・突起、９−脚部、１０・間隔
、］１・・保持クランプ、１２・・ザブマウント 第１頁の続き ０発 明 者 ロタール・キュラー ドイツ連邦共和国
ベイク １６ ０発 明 者 クラウス・ペータース ドイツ連邦共和
国ベラニー ＠発明者 ゲルハルト・ヴエンケ ドイツ連邦共和国へ
６３アー
造を示す斜視図、第２図は前面に結合された光導体と、
背面にレフレクタとを有するレーザーの原理図、第３図
は絶縁されたレーザーで形成される典型的レーザースペ
クトル４・−示ず図、第４図（主第３図と直接的に比較
するために、；３不重類の異なったし チー／ファイ・
ぐ間隔に関して背面側のレフレクタを有しな（・レーザ
ー／ファイ・Ｓ−結合におけろ３つのレーザ７ ヘクｌ
−ルを示す図（上記の１１つの全てのスペクトル画像は
相互に基準波長に対して示さＡｔでいる）及び第５図は
第１図及び第２図による装置に関するレーーヂースペク
トルを対数で示す図で゛ある。 １・・鏡体、２・・中空反射鏡、３ ・レーザー、４・
・・ばね締付は体、５・・熱降下ブロック、６・・部Ａ
３．７・・・ｔン、８ ・突起、９−脚部、１０・間隔
、］１・・保持クランプ、１２・・ザブマウント 第１頁の続き ０発 明 者 ロタール・キュラー ドイツ連邦共和国
ベイク １６ ０発 明 者 クラウス・ペータース ドイツ連邦共和
国ベラニー ＠発明者 ゲルハルト・ヴエンケ ドイツ連邦共和国へ
６３アー
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ レーザーの背面側に外部レフレクタを有する半導体
レーザー用の安定化装置において、レフレクタとして、
レーザー（３）に而した端面に中空反射鏡（２）を有す
る軸線方向で可動に保持された鏡体（］、 ）と、該鏡
体（Ｊ、）の保持装置としてのばね締イ」け体（７Ｉ）
とを有し、該ばね締付は体がレーザー（３）を支持する
熱降下ブロック（５）に軸線方向に対して垂直な面内な
可動に固定されることを！１々・徴とする、半導体レー
ザー用の安定化装置。 ２ 円筒状鏡体（１）を有する、特許請求の範囲第１項
記載の装＠。 ；う 鏡体（１）の回動を防止するために、鏡体（１）
に固定され、ばね締付は体（４つ内を案内された部拐（
６）を有する、特許請求の範囲第２項記載の装置。 １ 鏡体（１）に円筒状ビン（７）が設げら４じごおり
、該ピンのレーザー（：３）に面した昂：而（ＣＩ’ｌ
：１空反射鏡（２ニルが埋込まれている、特１；′１ｕ
１いｋの範囲第１項から第３項まてのいずれか＋ ＩＪ
’ｊに記載の装置。 ５ 球状中空反射鏡（２）を有する、特許請求の範囲第
１項から第４項までのいずれかｌＪＪ′ｉに記載の装置
。 ６ 下側が平らにされた突起（８）を有し、該突起が端
面に中空反射鏡（２）のセグノン）・を有する、特許請
求の範囲第１項から第５項までのいずれか１項に記載の
装置。 ７ 鏡体（１）の背面側に機械的に操作さＪｔろ調節部
材を有する、特許請求の範囲第１項から第６項までのい
ずれか１項に記載の装置。 ８ ばね締付は体（４）が、熱降下ブロック（５）の材
料と少なくとも類似した熱特性を有ずイ）材料から成る
、特許請求の範囲第１項から第７項までのいずれか１項
に記載の装置。 ９ ばね締付は体（４）が、鏡体（１）の保持クラ７ノ
（１１）と、レーザ−（、う）を支持する熱降下ブロッ
ク（５）ないしはサブマウント（１２）との間の大きな
間隔を形成する拡大された脚部（９）を有する、特許請
求の範囲第１項から第８項までのいずれか］Ｊｆｉに記
載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3330434A DE3330434A1 (de) | 1983-08-19 | 1983-08-19 | Stabilisationseinrichtung fuer einen halbleiter-laser |
| DE3330434.3 | 1983-08-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6059794A true JPS6059794A (ja) | 1985-04-06 |
Family
ID=6207256
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59171687A Pending JPS6059794A (ja) | 1983-08-19 | 1984-08-20 | 半導体レーザー用の安定化装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0140820A3 (ja) |
| JP (1) | JPS6059794A (ja) |
| DE (1) | DE3330434A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0274090A (ja) * | 1988-07-22 | 1990-03-14 | Amp Inc | 光結合構造体 |
| JPH02177601A (ja) * | 1988-09-01 | 1990-07-10 | Asahi Glass Co Ltd | 自動車用窓ガラス |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4761788A (en) * | 1985-10-28 | 1988-08-02 | American Telephone And Telegraph Company | Stripline mount for semiconductor lasers |
| EP0308603A1 (de) * | 1987-09-25 | 1989-03-29 | Siemens Aktiengesellschaft | Dynamisch einmodiger Lasersender |
| DE3917388C1 (ja) * | 1989-05-29 | 1990-11-29 | Rainer 8000 Muenchen De Thiessen | |
| DE3943470A1 (de) * | 1989-05-29 | 1990-12-13 | Rainer Thiessen | Gegenstands-naeherungs und troepfchendetektor |
| US5699463A (en) * | 1995-06-28 | 1997-12-16 | Hewlett-Packard Company | Mechanical fiber optic switch |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2222668A1 (de) * | 1972-05-09 | 1973-11-22 | Deutsche Bundespost | Justiervorrichtung fuer laserspiegel |
-
1983
- 1983-08-19 DE DE3330434A patent/DE3330434A1/de not_active Withdrawn
-
1984
- 1984-08-17 EP EP84730088A patent/EP0140820A3/de not_active Withdrawn
- 1984-08-20 JP JP59171687A patent/JPS6059794A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0274090A (ja) * | 1988-07-22 | 1990-03-14 | Amp Inc | 光結合構造体 |
| JPH02177601A (ja) * | 1988-09-01 | 1990-07-10 | Asahi Glass Co Ltd | 自動車用窓ガラス |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0140820A2 (de) | 1985-05-08 |
| EP0140820A3 (de) | 1986-04-16 |
| DE3330434A1 (de) | 1985-03-07 |
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