JP3193742B2 - Ld光源装置 - Google Patents

Ld光源装置

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    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、LD光源装置、詳し
くは、LDを2個有するLD光源を用いるLD光源装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】「LD」即ち半導体レーザーを走査用光
源として用いる光走査装置は良く知られている。このよ
うな光走査装置の一種として、光源に複数のLDを用い
複数ラインを同時に光走査する方式のものが提案されて
いる(例えば、特開昭64−10805号公報、同64
−10806号公報等)。このような光走査方式を「複
数光源方式」と呼ぶことにすると、複数光源方式には以
下の如き利点がある。即ち、1度に複数ラインを走査で
きるので、回転多面鏡等の光偏向器による光偏向の速度
を大きくすることなく光走査を能率的に行なうことがで
きる。このため、光走査を比較的ゆっくり行なうことが
でき、光走査に必要なLD発光強度をさほど大きくする
必要がなく、従って光源の寿命を長期化することができ
る。しかし反面、複数光源方式には以下の如き問題があ
る。即ち、複数のLDを配列した光源を用いて複数ライ
ンを1度に光走査する場合、走査線のピッチ幅即ち「走
査線間隔」は、光源におけるLDの副走査対応方向の配
列ピッチ:dに、光源と被走査面との間にある光学系の
副走査対応方向の結像倍率:βsを乗じたものとなる。
一般の光走査装置では上記倍率はβs>1である。
【0003】一方、複数のLDを高密度に配列する方法
としては全体をモノリシックに形成する方法が良く知ら
れているが、この場合でも、隣接するLDの間隔は10
0μm程度が限度であり、これより細かいピッチでLD
を配列するのは難しい。このように、複数のLDを最近
接させて配列した場合でも、上記結像倍率βsが1より
大きいことを考えると、走査線のピッチは100μm以
上となり、400dpiというような高密度の光走査を
実現できない。この問題を有効に解決する方向として
「光源を主走査対応方向に対して有限の角:θだけ傾け
る」方法が知られている。上述の如く、光源におけるL
Dの配列ピッチを:dとすると、LD配列方向を主走査
対応方向に対して角:θだけ傾ければ、副走査対応方向
におけるLDの配列間隔は(d・sinθ)となるか
ら、角:θを小さくとれば副走査対応方向におけるLD
配列間隔を小さくでき、高密度の光走査が可能となる。
しかし、この場合には以下の如き問題が生じる。
【0004】即ち一般に、LDを光源として用いる光走
査装置では、被走査面上に形成される光スポットの形状
を所望の形状とするために、主走査対応方向に長い矩形
状開口を持つアパーチュアによる光束制限(ビーム整
形)を行なっている。一方、周知の如く、LDからの放
射光束のファーフィールドパターンは楕円形状であり、
光源からの光のエネルギーをなるべく有効に光走査に利
用するには、上記ファーフィールドパターンにおける長
軸の方向を上記アパーチュアにおける矩形状開口の長手
方向(主走査対応方向)に対応させるのが望ましい。し
かるに複数のLDをモノリシックに配列した場合、個々
のLDのファーフィールドパターンにおける長軸方向は
LD配列方向に直交する方向となるため、上述のように
LD配列方向を主走査対応方向に対して微小角傾けて高
密度光走査を実現しようとすると、個々のLDからの放
射光束のファーフィールドパターンの長軸方向は副走査
対応方向(アパーチュアの矩形状開口の短手方向)に略
平行となり、光走査に対する個々のLDの光利用効率が
低下してしまうのである。このような光利用効率の低下
があると「光走査に必要なLD発光強度をさ程大きくす
る必要がなく、光源の寿命を長期化することができる」
という複数光源方式の利点を有効に活かすことができな
い。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】この発明は上述した事
情に鑑みてなされたものであって、複数光源方式の利点
を活かしつつ、高密度光走査を可能ならしめる新規なL
D光源装置の提供を目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明のLD光源装置
は、以下の如き「LD光源」を用いる。即ち、このLD
光源は「平板状の支持体の表・裏面に各1個ずつ、LD
を、その接合面が上記支持体の表・裏面に略平行となる
ように配設して設け、同一パッケージ内に装備し、各L
Dを独立に駆動可能とした」ものである。上記LD光源
のパッケージ内には「LDから後方に放射される光束
を、各LDごとに個別的に受光する2個のフォトダイオ
ード」を設けることができ、あるいは「LDから後方に
放射される光束を、2個のLDに共通して受光する単一
のフォトダイオード」を設けることができる。この発明
のLD光源装置は、上記LD光源を、LD光源からの光
束をコリメートするコリメート光学系と組み合わせて構
成される。
【0007】請求項1のLD光源装置は「LD光源と、
このLD光源からの光をコリメートするコリメート光学
系とを一体化して」なる。LD光源は上述の「平板状の
支持体の表・裏面に各1個ずつ、LDを、その接合面が
上記支持体の表・裏面に略平行となるように配設して設
け、同一パッケージ内に装備し、各LDを独立に駆動可
能とした」ものであり、LD光源装置の配設態位がコリ
メート光学系の光軸の回りに調整可能である。請求項1
記載のLD光源装置に用いられるLD光源は、上記の構
成に加え、パッケージ内に「LDから後方に放射される
光束を、各LDごとに個別的に受光する2個のフォトダ
イオード」を設けることもできるし(請求項2)、ある
いは上記パッケージ内に「LDから後方に放射される光
束を、2個のLDに共通して受光する単一のフォトダイ
オード」を設けることもできる(請求項3)。
【0008】請求項4のLD光源装置は、「LD光源
と、このLD光源からの光をコリメートするコリメート
光学系と」を有する。LD光源は前述の「平板状の支持
体の表・裏面に各1個ずつ、LDを、その接合面が上記
支持体の表・裏面に略平行となるように配設して設け、
同一パッケージ内に装備し、各LDを独立に駆動可能と
した」ものである。LD光源はまた、コリメート光学系
に嵌合可能で、コリメート光学系に対し、その光軸の回
りに回転可能である。請求項4記載のLD光源装置に用
いられるLD光源は、上記の構成に加え、パッケージ内
に「LDから後方に放射される光束を、各LDごとに個
別的に受光する2個のフォトダイオード」を設けること
もできるし(請求項5)、あるいは上記パッケージ内に
「LDから後方に放射される光束を、2個のLDに共通
して受光する単一のフォトダイオード」を設けることも
できる(請求項6)。
【0009】
【作用】上記のように、この発明のLD光源装置に用い
られるLD光源では、2つのLDが平板状の支持体の表
裏に1つずつ配備され、且つ、各LDの接合面は、支持
体の表面・裏面に略平行であるから、接合面同士も略平
行である。従って、2つのLDの配列方向を主走査対応
方向に対して微小角:θだけ傾けて副走査対応方向のL
D配列間隔を小さくした場合、各LDの接合面は副走査
対応方向に略平行になり、各放射光束のファーフィール
ドパターンの長軸方向は主走査対応方向に略平行にな
る。
【0010】
【実施例】図1に示す実施例において、符号10AはL
Dの本体部、符号10Bはサブマウント部を示す。これ
ら本体部10Aとサブマウント部10Bとが一方のLD
11Aを構成する。LD11Aは平板状の支持体12の
表面側に装荷されている。支持体12はステム16と一
体であってステム16の表面から直立している。支持体
12の裏面側には、本体部10Cとサブマウント部10
Dとにより構成される他方のLD11Bが装荷されてい
る。本体部10Aとサブマウント部10Bとの境界部、
本体部10Cとサブマウント部10Dの境界部は、それ
ぞれLD11A,11Bの接合面をなしており、これら
は支持体12の表・裏面と略平行である。ステム16に
は電極18A,18B,18C,18Dが植立され、本
体部10A,10Cはそれぞれ電極18A,18Bと接
続されている。これら電極18A,18B,18C,1
8Dはステム16を貫通して、ステム16の裏側ではリ
ード部をなしている。支持体12は電極18A,18B
に対する対電極となっている。
【0011】ステム16にはまた、2つのフォトダイオ
ード14A,14Bが設けられている。フォトダイオー
ド14Aは、LD11Aから後方すなわちステム16の
側に放射される光を受光し得るように配備され、受光量
に応じた信号を電極18Cを介して出力するようになっ
ている。フォトダイオード14Bは、LD11Aから後
方に放射される光を受光し得るように配備され、受光量
に応じた信号を電極18Dを介して出力するようになっ
ている。図1のLD光源は、従来から知られたLD光源
と同じく、「窓ガラスを取り付けられたキャップ(図示
されず)」を被せられ、内部が密閉される。ステム16
と図示されないキャップとはパッケージを構成する。高
密度の光走査を行なう場合は、図5に示すように、LD
11A,11Bの配列方向Lを主走査対応方向LPに対
して微小角:θだけ傾け、副走査対応方向(図5で主走
査対応方向LPに直交する方向)における発光部間隔が
小さくなるようにする。角:θが小さいので、LD11
A,11Bからの光束のファーフィールドパターンFP
A,FPBの長軸方向は主走査対応方向LPに平行に近
く、主走査対応方向に長い矩形状開口を持つアパーチュ
アでビーム整形を行なっても、高い光利用効率を確保で
きる。
【0012】光走査に際しては、LD11A,11Bか
ら後方に放射される光を、それぞれフォトダイオード1
4A,14Bにより検出し、図2に示すように駆動回路
20を介してLD11A,11Bにフィードバックする
ことにより、例えばパルス幅変調時の光強度や、パワー
変調時の段階的な強度レベルを正確に制御することがで
きる。図3は、別実施例を要部のみ略示している。煩雑
をさけるため、混同の虞れがないと思われるものに就い
ては図1におけると同一の符号を用いる。図中、符号1
2Aもって示す平板状の支持体はL字状の平面形状でス
テム16から鉤状に直立し、ステム表面から離れた部分
に1対のLD11A,11Bが、支持体12Aの表・裏
面に形成されている。符号14で示すフォトダイオード
はLD11A,11Bから、これらの後方へ放射される
光を受光できるように、LD11A,11Bに共通に設
けられている。この実施例の場合は図4に示すように、
フォトダイオード14と駆動回路20とLD11A,1
1Bとによりフィードバック回路を構成し、光走査領域
外で、LD11A,11Bを順次発光させ、光走査領域
内におけるパルス幅変調時の光強度の安定化を図ること
ができる。勿論、図1,図3の実施例とも、光走査に際
してはLD11A,11Bを独立に駆動する。
【0013】図6に、請求項1のLD光源装置の1実施
例を分解斜視図により示す。符号1で示すLD光源は、
例えば図1,3に即して説明したようなLD光源であ
り、符号2で示すコリメート光学系に一体化され、コリ
メート光学系2とともにLD光源装置を構成する。コリ
メートレンズ2Aを保持する基部2Bには曲がり長孔2
a,2bが穿設され、これらの曲がり長孔2a,2bに
螺子4a,4bを貫通させて不動部材3に、LD光源装
置を固定する。螺子4a,4bを若干弛めた状態では、
LD光源装置全体をコリメートレンズ2Aの光軸の回り
に、曲がり長孔2a,2bの許容限度内で回転させるこ
とができる。この回転により、図5に即して説明した、
角:θを変化させることができ、走査線のピッチを画素
密度に応じて調整・変更することが可能となる。
【0014】図7に、請求項5のLD光源装置の1実施
例を示す。符号1’で示すLD光源は図6の実施例と同
様、例えば図1,3に即して説明したようなLD光源
で、図7(a)に示すように、コリメート光学系2’に
対して矢印方向へ抜き差しできるようになっている。L
D光源1’は、コリメート光学系2’に嵌合した状態で
摺動的に回転可能であるが、図7(b)に示すように、
パッケージのステムの周縁部分にはカニメ1aが形成さ
れ、これらカニメ1aは、コリメート光学系の基部2
B’に形成された係合部2aと係合する。そしてこの係
合が、LD光源1のコリメートレンズ2Aの光軸の回り
の回転領域を制限する。基部2B’に対してLD光源
1’を回転させることにより、図5に即して説明した
角:θを変化させることができ、走査線のピッチを画素
密度に応じて調整・変更することが可能となる。上に説
明したLD光源の各実施例においても、従来のLD光源
に対して提案されているような温度制御を実施すること
ができる。このためには例えば、ステムと支持体とを一
体に構成して支持体を「ヒートシンク」とし、パッケー
ジの外側においてステムの部分の温度を検出し、検出結
果に応じて例えばペルチエ素子等により周知の温度制御
方式で温度制御を行えば良い。このように温度制御を行
うことにより、モードホップ等を防止することができ
る。
【0015】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば新規な
LD光源装置を提供できる。このLD光源装置では、L
D光源の、2つのLDの配列方向を主走査対応方向に対
して微小角傾けて配置し、光利用効率の高い高密度の光
走査を行うことが可能であり、画素に応じて走査線のピ
ッチを容易に調整・変更できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明のLD光源装置に用いられるLD光源
の1実施例を要部のみ示す図である。
【図2】図1の実施例におけるLDの駆動制御を説明す
る図である。
【図3】この発明のLD光源装置に用いられるLD光源
の別実施例を要部のみ示す図である。
【図4】図3の実施例におけるLDの駆動制御を説明す
る図である。
【図5】この発明の特徴部分を説明する図である。
【図6】この発明のLD光源装置の1実施例を説明する
分解斜視図である。
【図7】この発明のLD光源装置の別実施例を説明する
図である。
【符号の説明】
11A,11B LD 12 支持体 16 ステム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01S 5/022 B41J 2/44 G02B 26/10

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】LD光源と、このLD光源からの光をコリ
    メートするコリメート光学系とを一体化してなり、配設
    態位が上記コリメート光学系の光軸の回りに調整可能
    で、 上記LD光源が、平板状の支持体の表・裏面に各1個ず
    つ、LDを、その接合面が上記支持体の表・裏面に略平
    行となるように配設して同一パッケージ内に装備し、上
    記各LDを独立に駆動可能としたものであることを特徴
    とするLD光源装置。
  2. 【請求項2】請求項1記載のLD光源装置において、 LD光源が、LDから後方に放射される光束を、各LD
    ごとに個別的に受光する2つのフォトダイオードをパッ
    ケージ内に有することを特徴とするLD光源装置。
  3. 【請求項3】請求項1記載のLD光源装置において、 LD光源が、LDから後方に放射される光束を、2個の
    LDに共通して受光する単一のフォトダイオードを、パ
    ッケージ内に有することを特徴とするLD光源装置。
  4. 【請求項4】LD光源と、このLD光源からの光をコリ
    メートするコリメート光学系とを有し、 上記LD光源は、平板状の支持体の表・裏面に各1個ず
    つ、LDを、その接合面が上記支持体の表・裏面に略平
    行となるように配設して同一パッケージ内に装備し、上
    記各LDを独立に駆動可能としたもので、上記コリメー
    ト光学系に嵌合可能であり、コリメート光学系に対し、
    その光軸の回りに回転可能であることを特徴とするLD
    光源装置。
  5. 【請求項5】請求項4記載のLD光源装置において、 LD光源が、LDから後方に放射される光束を、各LD
    ごとに個別的に受光する2つのフォトダイオードをパッ
    ケージ内に有することを特徴とするLD光源装置。
  6. 【請求項6】請求項4記載のLD光源装置において、 LD光源が、LDから後方に放射される光束を、2個の
    LDに共通して受光する単一のフォトダイオードをパッ
    ケージ内に有することを特徴とするLD光源装置。
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