JPH0653573A - レーザ発振器の支持装置 - Google Patents
レーザ発振器の支持装置Info
- Publication number
- JPH0653573A JPH0653573A JP20005392A JP20005392A JPH0653573A JP H0653573 A JPH0653573 A JP H0653573A JP 20005392 A JP20005392 A JP 20005392A JP 20005392 A JP20005392 A JP 20005392A JP H0653573 A JPH0653573 A JP H0653573A
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- JP
- Japan
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- base
- mount
- fixed
- discharge tube
- supporting
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】
【目的】外部振動の影響を受けにくくし、安定した出力
特性が得られるようにしたレーザ発振器の支持装置を提
供する。 【構成】ベース１と、このベース１の中央部に固定さ
れ、放電管４の中央部を支持する保持マウント１６と、
この保持マウント１６を貫通し、前記ベース１０と平行
に支持された複数のロッド１１と、反射鏡５を支持し、
前記ロッド１１の一端に固定されたマウント１２と、出
力鏡６を支持し、前記ロッド１１の他端に固定されたマ
ウント１３とを備え、前記ベース１０と各マウント１
２、１３の間に振動減衰装置１８を配置した。
特性が得られるようにしたレーザ発振器の支持装置を提
供する。 【構成】ベース１と、このベース１の中央部に固定さ
れ、放電管４の中央部を支持する保持マウント１６と、
この保持マウント１６を貫通し、前記ベース１０と平行
に支持された複数のロッド１１と、反射鏡５を支持し、
前記ロッド１１の一端に固定されたマウント１２と、出
力鏡６を支持し、前記ロッド１１の他端に固定されたマ
ウント１３とを備え、前記ベース１０と各マウント１
２、１３の間に振動減衰装置１８を配置した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ発振器における
共振器の支持装置に関するものである。
共振器の支持装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】炭酸ガスレーザ発振器は、図 に示すよ
うに、電源１に接続されたアノード２とカソード３が封
入された放電管４の一端に共振器を構成する反射鏡５、
他端に出力鏡６を配置した構成になっている。そして、
放電管４の中には炭酸ガス、窒素ガス、ヘリウムガスな
どが混合されたレーザガスが、循環装置７によって供給
されている。また、放電管４の外周には、冷却水の供給
装置８に接続された冷却器９が巻かれている。１５はレ
ーザ光である。
うに、電源１に接続されたアノード２とカソード３が封
入された放電管４の一端に共振器を構成する反射鏡５、
他端に出力鏡６を配置した構成になっている。そして、
放電管４の中には炭酸ガス、窒素ガス、ヘリウムガスな
どが混合されたレーザガスが、循環装置７によって供給
されている。また、放電管４の外周には、冷却水の供給
装置８に接続された冷却器９が巻かれている。１５はレ
ーザ光である。
【０００３】そして、前記放電管４は、ロッド１１で結
合されたマウント１２、１３の間に支持されている。ま
た、反射鏡５および出力鏡６は、それぞれマウント１
２、１３の端面に取付けられている。そして、各マウン
ト１２、１３は、鋼球１４を介してベース１０上に載置
されている。
合されたマウント１２、１３の間に支持されている。ま
た、反射鏡５および出力鏡６は、それぞれマウント１
２、１３の端面に取付けられている。そして、各マウン
ト１２、１３は、鋼球１４を介してベース１０上に載置
されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような支持装置で
は、放電管４をその両端のみで支えているため、ベース
１０に振動が加わった場合、その振動により放電管４の
中央部が大きく振動して、放電管４、反射鏡５及び出力
鏡６の光軸がわん曲するため、放電管４内での増幅作用
が不安定になり、出力エネルギーが不安定になる。ま
た、レーザ光１５の出射方向が変動するなど、耐震性に
ついての配慮がなされていなかった。
は、放電管４をその両端のみで支えているため、ベース
１０に振動が加わった場合、その振動により放電管４の
中央部が大きく振動して、放電管４、反射鏡５及び出力
鏡６の光軸がわん曲するため、放電管４内での増幅作用
が不安定になり、出力エネルギーが不安定になる。ま
た、レーザ光１５の出射方向が変動するなど、耐震性に
ついての配慮がなされていなかった。
【０００５】本発明の目的は、前記の事情に鑑み、振動
の影響を受けにくくしたレーザ発振器の支持装置を提供
することにある。
の影響を受けにくくしたレーザ発振器の支持装置を提供
することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明においては、ベースと、このベースの中央部
に固定され、放電管の中央部を支持する保持マウント
と、この保持マウントを貫通し、前記ベースと平行に支
持された複数のロッドと、反射鏡を支持し、前記ロッド
の一端に固定されたマウントと、出力鏡を支持し、前記
ロッドの他端に固定されたマウントとを備え、前記ベー
スと各マウントの間に振動減衰装置を配置した。
め、本発明においては、ベースと、このベースの中央部
に固定され、放電管の中央部を支持する保持マウント
と、この保持マウントを貫通し、前記ベースと平行に支
持された複数のロッドと、反射鏡を支持し、前記ロッド
の一端に固定されたマウントと、出力鏡を支持し、前記
ロッドの他端に固定されたマウントとを備え、前記ベー
スと各マウントの間に振動減衰装置を配置した。
【０００７】
【作用】ベースに振動が加わった場合、保持マウントを
介して放電管も振動するが、放電管の両端を保持するマ
ウントとベースの間が振動減衰装置で接続されているた
め、放電管の両端の自由な振動が抑制され、安定した特
性を維持することができる。
介して放電管も振動するが、放電管の両端を保持するマ
ウントとベースの間が振動減衰装置で接続されているた
め、放電管の両端の自由な振動が抑制され、安定した特
性を維持することができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図面に従って説明
する。図１および図２は、本発明の第１の実施例を示す
もので、同図において、図４と同じものは同じ符号を付
けて示してある。１６は保持マウントで、ベース１０の
中央に固定されている。ロッド１１は、保持マウント１
６を貫通し、保持マウント１６にベース１０と平行に支
持されている。１７はＯリングで、保持マウント１６と
冷却器９の間に配置されている。１８は振動減衰装置
で、ベース１０とマウント１２、１３の間に配置されて
いる。
する。図１および図２は、本発明の第１の実施例を示す
もので、同図において、図４と同じものは同じ符号を付
けて示してある。１６は保持マウントで、ベース１０の
中央に固定されている。ロッド１１は、保持マウント１
６を貫通し、保持マウント１６にベース１０と平行に支
持されている。１７はＯリングで、保持マウント１６と
冷却器９の間に配置されている。１８は振動減衰装置
で、ベース１０とマウント１２、１３の間に配置されて
いる。
【０００９】前記振動減衰装置１８は、図２に示すよう
に、ばね１９が挿入され、油２０が充填されたシリンダ
２１内に、油２０の流動が可能な隙間を形成するよう
に、ピストン２２を移動可能に挿入し、ばね１９の弾性
と、油２０の粘性により振動を減衰させるようにしたも
のである。
に、ばね１９が挿入され、油２０が充填されたシリンダ
２１内に、油２０の流動が可能な隙間を形成するよう
に、ピストン２２を移動可能に挿入し、ばね１９の弾性
と、油２０の粘性により振動を減衰させるようにしたも
のである。
【００１０】このような構成とすることにより、ベース
１０に振動が加わると、保持マウント１６を介して放電
管４に振動が伝達され、放電管４もベース１０と共に振
動する。このとき、放電管４の両端を支えるマウント１
２、１３は、振動減衰装置１８によってベース１０に接
続されているため、自由な振動が規制される。したがっ
て、ベース１０に振動が加わったときの放電管４のわん
曲などの変形を最小限に留め、安定した出力特性を得る
ことができる。
１０に振動が加わると、保持マウント１６を介して放電
管４に振動が伝達され、放電管４もベース１０と共に振
動する。このとき、放電管４の両端を支えるマウント１
２、１３は、振動減衰装置１８によってベース１０に接
続されているため、自由な振動が規制される。したがっ
て、ベース１０に振動が加わったときの放電管４のわん
曲などの変形を最小限に留め、安定した出力特性を得る
ことができる。
【００１１】図３は振動減衰装置の他の実施例を示すも
ので、同図において、２３はゴム製の脚。２４はばね
で、脚２３の外周に装着されている。このような構成に
しても、前記実施例と同様の効果を達成することができ
る。
ので、同図において、２３はゴム製の脚。２４はばね
で、脚２３の外周に装着されている。このような構成に
しても、前記実施例と同様の効果を達成することができ
る。
【００１２】
【発明の効果】以上述べた如く、本発明によれば、ベー
スと、このベースの中央部に固定され放電管の中央部を
支持する保持マウントと、この保持マウントを貫通し、
前記ベースと平行に支持された複数のロッドと、反射鏡
を支持し、前記ロッドの一端に固定されたマウントと、
出力鏡を支持し、前記ロッドの他端に固定されたマウン
トと、前記ベースと各マウントの間に振動減衰装置を配
置したので、振動の影響を受けにくくし、安定した出力
特性を維持することができる。
スと、このベースの中央部に固定され放電管の中央部を
支持する保持マウントと、この保持マウントを貫通し、
前記ベースと平行に支持された複数のロッドと、反射鏡
を支持し、前記ロッドの一端に固定されたマウントと、
出力鏡を支持し、前記ロッドの他端に固定されたマウン
トと、前記ベースと各マウントの間に振動減衰装置を配
置したので、振動の影響を受けにくくし、安定した出力
特性を維持することができる。
【図１】本発明によるレーザ発振器の支持装置の一例を
示す側面断面図。
示す側面断面図。
【図２】図１で使用される振動減衰装置の一例を示す側
面断面図。
面断面図。
【図３】振動減衰装置の他の例を示す側面断面図。
【図４】従来のレーザ発振器の支持装置を示す側面断面
図。
図。
４ 放電管 ５ 反射鏡 ６ 出力鏡 １０ ベース １１ ロッド １２ マウント １３ マウント １６ 保持マウント １８ 振動減衰装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 伸彦 神奈川県海老名市上今泉2100番地 日立精 工株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】ベースと、このベースの中央部に固定さ
れ、放電管の中央部を支持する保持マウントと、この保
持マウントを貫通し、前記ベースと平行に支持された複
数のロッドと、反射鏡を支持し、前記ロッドの一端に固
定されたマウントと、出力鏡を支持し、前記ロッドの他
端に固定されたマウントと、前記ベースと各マウントの
間に振動減衰装置を配置したことを特徴とするレーザ発
振器のフレーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20005392A JPH0653573A (ja) | 1992-07-28 | 1992-07-28 | レーザ発振器の支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20005392A JPH0653573A (ja) | 1992-07-28 | 1992-07-28 | レーザ発振器の支持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0653573A true JPH0653573A (ja) | 1994-02-25 |
Family
ID=16418051
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20005392A Withdrawn JPH0653573A (ja) | 1992-07-28 | 1992-07-28 | レーザ発振器の支持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0653573A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002198591A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-07-12 | Miyachi Technos Corp | レーザ発振装置 |
| JP6486447B1 (ja) * | 2017-11-27 | 2019-03-20 | 馬鞍山市明珠電子科技有限公司 | レーザー発振器支持台座 |
-
1992
- 1992-07-28 JP JP20005392A patent/JPH0653573A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002198591A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-07-12 | Miyachi Technos Corp | レーザ発振装置 |
| JP6486447B1 (ja) * | 2017-11-27 | 2019-03-20 | 馬鞍山市明珠電子科技有限公司 | レーザー発振器支持台座 |
| WO2019102632A1 (ja) * | 2017-11-27 | 2019-05-31 | 馬鞍山市明珠電子科技有限公司 | レーザー発振器支持台座 |
| JP2019096813A (ja) * | 2017-11-27 | 2019-06-20 | 馬鞍山市明珠電子科技有限公司 | レーザー発振器支持台座 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991005 |