JPS6231183A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS6231183A JPS6231183A JP60171561A JP17156185A JPS6231183A JP S6231183 A JPS6231183 A JP S6231183A JP 60171561 A JP60171561 A JP 60171561A JP 17156185 A JP17156185 A JP 17156185A JP S6231183 A JPS6231183 A JP S6231183A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spherical
- laser device
- fixed stand
- resonator
- spherical bearings
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Laser Surgery Devices (AREA)
- Radiation-Therapy Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は加工用、医療用としてのガスレーザ装置に関す
るものである。
るものである。
従来の技術
従来のガスレーザ装置の共振器は第２図に示すように内
部を油冷したメインパイプ１０両端部にメイン７ランジ
２，１７を取付け、前記メイン７□ランジ２に絶縁物を
介してカソード３を設け、さらに前記メインパイプ１の
取付脚４に絶縁用ガイシ５を介してアノードブロック６
を取付け、このアノードブロック６にレーザ管ホルダ７
を固定し、カソード３とレーザ管ホルダ７の間にレーザ
管８を取付けている。このレーザ管８は左右前後に８゜
９．１０．１１と配置し、レーザ管８と９、またレーザ
管１０と１１をそれぞれ一直線上に置くことが、レーザ
光線の直進性を活かし、安定した高出力レーザ光を取出
すために必要不可欠となる。
部を油冷したメインパイプ１０両端部にメイン７ランジ
２，１７を取付け、前記メイン７□ランジ２に絶縁物を
介してカソード３を設け、さらに前記メインパイプ１の
取付脚４に絶縁用ガイシ５を介してアノードブロック６
を取付け、このアノードブロック６にレーザ管ホルダ７
を固定し、カソード３とレーザ管ホルダ７の間にレーザ
管８を取付けている。このレーザ管８は左右前後に８゜
９．１０．１１と配置し、レーザ管８と９、またレーザ
管１０と１１をそれぞれ一直線上に置くことが、レーザ
光線の直進性を活かし、安定した高出力レーザ光を取出
すために必要不可欠となる。
一般的に、ガスレーザ装置は第３図ｄに示すよう忙共振
器部は筐体１２の内部１３に置き、筐体１２の外面は防
塵、美観のために、パネル１４で密閉している。
器部は筐体１２の内部１３に置き、筐体１２の外面は防
塵、美観のために、パネル１４で密閉している。
ガスレーザ装置の運転に伴なって前記アノード部。
カソード部等が発熱し、さらに熱伝導でメインパイプ１
も発熱するので、メインフランジは第２図。
も発熱するので、メインフランジは第２図。
第３図Ｃに示すように右端のメイン７ランジ２は筐体１
２の固定脚１６にボルト１６で固定し、左端のメイン２
ランジ１７は第２図、第３図すに示すように円柱状のロ
ッド１８を固定脚１９に固定されたＶ溝付ブロック２０
の上に置き、メインバイブ１の熱膨張を吸収し、レーザ
管の直線配置を保っている。
２の固定脚１６にボルト１６で固定し、左端のメイン２
ランジ１７は第２図、第３図すに示すように円柱状のロ
ッド１８を固定脚１９に固定されたＶ溝付ブロック２０
の上に置き、メインバイブ１の熱膨張を吸収し、レーザ
管の直線配置を保っている。
発明が解決しようとする問題点
第４図に示すようにメイン７ランジの固定脚１５゜１９
を溶接固定している筐体１２のベース２２は内部側を加
熱され、内側に凸状に熱歪を生じる。
を溶接固定している筐体１２のベース２２は内部側を加
熱され、内側に凸状に熱歪を生じる。
その結果、固定側のメイン７ランジ２は右方向に回転し
、ロッド１８がＶ溝付ブロックから浮き上がりメイン７
ランジ１が片持梁となり、約７０〜１００Ｋｙの自重の
ため曲がりを生ずる。レーザ装置の運転中、装置内部温
度上昇が４０〜５０ ｄｅｇにおいてロッド１８の浮き
上がりを実測すると５０〜６６μｍになり、温度上昇と
ともに増加する。室部状態で？−レーザ管配置を一直線
にしたものが、前記の温度変化とともに一直線でなくな
り、レーザ出力が順次低下することになる。
、ロッド１８がＶ溝付ブロックから浮き上がりメイン７
ランジ１が片持梁となり、約７０〜１００Ｋｙの自重の
ため曲がりを生ずる。レーザ装置の運転中、装置内部温
度上昇が４０〜５０ ｄｅｇにおいてロッド１８の浮き
上がりを実測すると５０〜６６μｍになり、温度上昇と
ともに増加する。室部状態で？−レーザ管配置を一直線
にしたものが、前記の温度変化とともに一直線でなくな
り、レーザ出力が順次低下することになる。
レーザ出力の低下率は従来のレーザ装置においてはペー
ス２２の板厚を４．５〜ｅｗｎとすると６．６〜４．２
％にも達し、最低出力を定格出力とするために最大出力
を前記低下率を補う程度以上に高めなければならない。
ス２２の板厚を４．５〜ｅｗｎとすると６．６〜４．２
％にも達し、最低出力を定格出力とするために最大出力
を前記低下率を補う程度以上に高めなければならない。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するため、本発明のガスレーザ装置は
、一端のロフトをスライド軸受とし、他端のメイン７ラ
ンジは球面軸受を介して固定脚の上に置き、球面軸受の
ボールを固定脚の穴に入れる構造とし、共振器全体が前
後左右に位置が決まりながら上下には自由であるものと
する。
、一端のロフトをスライド軸受とし、他端のメイン７ラ
ンジは球面軸受を介して固定脚の上に置き、球面軸受の
ボールを固定脚の穴に入れる構造とし、共振器全体が前
後左右に位置が決まりながら上下には自由であるものと
する。
作 用
上記構成により筐体の熱歪が生じても球面軸受、スライ
ド軸受で受けられた共振器は左右とも常に軸受に接し、
メインパイプが片持梁の状態とならず、共振器全体が移
動することはあっても共振器が変形することは々く、レ
ーザ管の一直線状態は機内温度上昇に関連なく常に安定
する。
ド軸受で受けられた共振器は左右とも常に軸受に接し、
メインパイプが片持梁の状態とならず、共振器全体が移
動することはあっても共振器が変形することは々く、レ
ーザ管の一直線状態は機内温度上昇に関連なく常に安定
する。
実施例
以下、本発明の実施例について説明する。
なお、従来例と同一構成物に対し、同一番号を付し説明
を省略する。
を省略する。
第１図に示すように、一端のメインフランジ１７は円柱
状のロッド１８を、固定脚１９に固定されたＶ溝付ブロ
ック２ｏの上に置いである。他端のメインフランジ２は
球面軸受２３を介して固定脚１５の上に置き、球面軸受
２３のポールを固定脚の穴２４に入れである。
状のロッド１８を、固定脚１９に固定されたＶ溝付ブロ
ック２ｏの上に置いである。他端のメインフランジ２は
球面軸受２３を介して固定脚１５の上に置き、球面軸受
２３のポールを固定脚の穴２４に入れである。
上記構成により、共振器全体が前後左右に位置が決まり
ながら上下には自由である。
ながら上下には自由である。
なお、球面軸受２３の替わりに球面金属体１円錐金属体
等の球面状金属体であってもよい。
等の球面状金属体であってもよい。
そして、具体例として、球面軸受２３を２個用い、円柱
状ロフト１８を含めた３点支持構成として、前記と同様
の運転を行ったところ、ロッド１８の浮き上がりは６〜
１６μｍとなり、レーザ出力の低下率は２．１〜１．６
％となった。
状ロフト１８を含めた３点支持構成として、前記と同様
の運転を行ったところ、ロッド１８の浮き上がりは６〜
１６μｍとなり、レーザ出力の低下率は２．１〜１．６
％となった。
発明の効果
以上のように本発明によれば、筐体の熱歪を生じても共
振器は常に軸受に接し、共振器が変形することはなく、
レーザ管の一直線状態は常に安定である。
振器は常に軸受に接し、共振器が変形することはなく、
レーザ管の一直線状態は常に安定である。
例
第１図ａ、ｂ、ｃはそれぞれ本発明の一実施′を示すガ
スレーザ装置の正面図、左側面図、右側面図、第２図は
従来のガスレーザ装置の要部斜視図、第３図ａ、ｂ、ｃ
はそれぞれ同ガスレーザ装置の正面図、左側面図、右側
面図、第４図は熱歪を受けた状態の従来のガスレーザ装
置の正面図、第５図は熱歪を受けた状態の本発明の実施
例におけるガスレーザ装置の正面図である。 １・・・・・・メインパイプ、２，１７・・・・・・メ
インフランジ、３・・・・・・カソード、６・・・・・
・アノード、８，９゜１０．１１・・・・・・レーザ管
、１２・・・・・・筐体、１８・・・・・・ロッド、２
０・・・・・・Ｖ溝付プロリフ、２２・・・・・・筐体
ベース。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名゛
０１図 （す （ｂジ （Ｃ）
第２図 第３図 （αン （ｂ） （Ｃ） 第４図 第５図
スレーザ装置の正面図、左側面図、右側面図、第２図は
従来のガスレーザ装置の要部斜視図、第３図ａ、ｂ、ｃ
はそれぞれ同ガスレーザ装置の正面図、左側面図、右側
面図、第４図は熱歪を受けた状態の従来のガスレーザ装
置の正面図、第５図は熱歪を受けた状態の本発明の実施
例におけるガスレーザ装置の正面図である。 １・・・・・・メインパイプ、２，１７・・・・・・メ
インフランジ、３・・・・・・カソード、６・・・・・
・アノード、８，９゜１０．１１・・・・・・レーザ管
、１２・・・・・・筐体、１８・・・・・・ロッド、２
０・・・・・・Ｖ溝付プロリフ、２２・・・・・・筐体
ベース。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名゛
０１図 （す （ｂジ （Ｃ）
第２図 第３図 （αン （ｂ） （Ｃ） 第４図 第５図
Claims (1)
- 共振器の一方端部を球面軸受または球面状金属体とし、
他方端部をスライド軸受とし、前記球面軸受または球面
状金属体に対しては丸穴を、スライド軸受に対してはＶ
字形溝をレーザ装置筐体にそれぞれ設け、前記共振器を
前記レーザ装置筐体に取付けたガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60171561A JPH0758815B2 (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60171561A JPH0758815B2 (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | ガスレーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6231183A true JPS6231183A (ja) | 1987-02-10 |
| JPH0758815B2 JPH0758815B2 (ja) | 1995-06-21 |
Family
ID=15925417
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60171561A Expired - Lifetime JPH0758815B2 (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0758815B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002198591A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-07-12 | Miyachi Technos Corp | レーザ発振装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5651885A (en) * | 1979-10-05 | 1981-05-09 | Hitachi Ltd | Laser device |
| JPS5952887A (ja) * | 1982-09-20 | 1984-03-27 | Hitachi Ltd | レ−ザ発生装置 |
| JPS6218780A (ja) * | 1985-07-17 | 1987-01-27 | Nec Corp | ガスレ−ザ装置 |
-
1985
- 1985-08-02 JP JP60171561A patent/JPH0758815B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5651885A (en) * | 1979-10-05 | 1981-05-09 | Hitachi Ltd | Laser device |
| JPS5952887A (ja) * | 1982-09-20 | 1984-03-27 | Hitachi Ltd | レ−ザ発生装置 |
| JPS6218780A (ja) * | 1985-07-17 | 1987-01-27 | Nec Corp | ガスレ−ザ装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002198591A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-07-12 | Miyachi Technos Corp | レーザ発振装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0758815B2 (ja) | 1995-06-21 |
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