JPS61187386A - レ−ザ発振器 - Google Patents
レ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS61187386A JPS61187386A JP2647085A JP2647085A JPS61187386A JP S61187386 A JPS61187386 A JP S61187386A JP 2647085 A JP2647085 A JP 2647085A JP 2647085 A JP2647085 A JP 2647085A JP S61187386 A JPS61187386 A JP S61187386A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polarizing
- laser
- mirror
- axis
- laser light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、折返し式レーザビームの発振方式によるレ
ーザ発振器の改良に関するものである。
ーザ発振器の改良に関するものである。
第６図は従来のコの字状折返し形レーザ発振器の構成を
示す模式図である。図において、（１）は出力ミラー、
（２）はりャミラー、（３）は励起部、（４ａ）〜（４
ｄ）は偏向ミラー、Ａは出力ミラー（１）と偏向ミラー
（４ａ）％ ＢＦｉ偏向ミラー（４ｂ）と偏向ミラー
（４ｃ）、 Ｃｔｊ：偏向ミラー（４ｄ）とりャミラ−
（２）とで、それぞれが平行に調節されている共振光軸
である。
示す模式図である。図において、（１）は出力ミラー、
（２）はりャミラー、（３）は励起部、（４ａ）〜（４
ｄ）は偏向ミラー、Ａは出力ミラー（１）と偏向ミラー
（４ａ）％ ＢＦｉ偏向ミラー（４ｂ）と偏向ミラー
（４ｃ）、 Ｃｔｊ：偏向ミラー（４ｄ）とりャミラ−
（２）とで、それぞれが平行に調節されている共振光軸
である。
第４図および第５図は従来性なわれている直線偏光され
たレーザ光を円偏光にする手段を示した模式図で、（５
）、 （７）、 （８）は偏光ミラー、（６）はし４波
長ミラー、（９）は集光レンズ、（７）は被加工物であ
る。
たレーザ光を円偏光にする手段を示した模式図で、（５
）、 （７）、 （８）は偏光ミラー、（６）はし４波
長ミラー、（９）は集光レンズ、（７）は被加工物であ
る。
上記のように構成された従来の折返し形レーザ発振器に
おけるレーザ励起部（３）は、ガスレーザ中の代表的な
炭酸ガスレーザの場合、レーザ媒質ガスであるＣＯｔ分
子を放電によって励起する機能を有する部分であり、単
位体積めるいは単位長さ当りの投入電力は、このレーザ
励起部（３）を形成する部材の耐力および励起によって
発生するガスの温度上昇によって制限を受けるとされて
いる。
おけるレーザ励起部（３）は、ガスレーザ中の代表的な
炭酸ガスレーザの場合、レーザ媒質ガスであるＣＯｔ分
子を放電によって励起する機能を有する部分であり、単
位体積めるいは単位長さ当りの投入電力は、このレーザ
励起部（３）を形成する部材の耐力および励起によって
発生するガスの温度上昇によって制限を受けるとされて
いる。
一般に、出力ミラー（１）の耐光強度上の制限で励起部
（３）を共振光軸方向に長くして、出力ビーム径を拡大
させるために））アミラー（２）から出力ミラー（１）
へ至る距離を長くする必要がある。ただし、高出力のも
のは上記のビーム路を同軸上（すると非常に長くなって
しまうので、第６図のように励起部（３）を分割して、
平面偏向ミラー（４ａ）〜（４ｄ）により、コの字状に
多段の折返しをして発振器の長さを短縮するようになっ
ている。
（３）を共振光軸方向に長くして、出力ビーム径を拡大
させるために））アミラー（２）から出力ミラー（１）
へ至る距離を長くする必要がある。ただし、高出力のも
のは上記のビーム路を同軸上（すると非常に長くなって
しまうので、第６図のように励起部（３）を分割して、
平面偏向ミラー（４ａ）〜（４ｄ）により、コの字状に
多段の折返しをして発振器の長さを短縮するようになっ
ている。
レーザ光を金属等の切断加工の熱源として使用する場合
、例えば、特開昭５６−１３４０９４公報に示されてい
るように、被加工物に照射するレーザ光は直線偏光より
円偏光化されているほうが良好な加工品質が得られるこ
とが知られている。
、例えば、特開昭５６−１３４０９４公報に示されてい
るように、被加工物に照射するレーザ光は直線偏光より
円偏光化されているほうが良好な加工品質が得られるこ
とが知られている。
第６図におけるレーザ発振器より出力されるレーザ光は
、折返し軸Ａ、Ｂ、Ｃに平行な平面内で、第４図または
第５図のイで示すように光軸に直角方向の直線偏光とな
っているため、このレーザ光を円偏光にするｒＣは、出
力ビームの伝搬方向を偏向ミラー（５）によって水平軸
に対して斜め４５方向に偏向させ、１／４波長ミラー（
６）に入射させることによ９円偏光ビーム化している。
、折返し軸Ａ、Ｂ、Ｃに平行な平面内で、第４図または
第５図のイで示すように光軸に直角方向の直線偏光とな
っているため、このレーザ光を円偏光にするｒＣは、出
力ビームの伝搬方向を偏向ミラー（５）によって水平軸
に対して斜め４５方向に偏向させ、１／４波長ミラー（
６）に入射させることによ９円偏光ビーム化している。
上記のような従来のレーザ発振器は、水平に設置されて
いるため、直線偏光レーザ光を円偏光させるには、少な
くとも斜め４５方向への偏向ミラー（５）が１枚必要と
なり、円偏光ビームを出力光軸Ａと一致させるためには
、偏光ミラー（７）と偏光ミラー（８）とを設けなけれ
ばならず、このために装置が高価になり、また、繁雑な
調整を要する問題があり、この問題の対策として、折返
し光軸は第６図と同様に同一平面上で平行になるように
して、レーザ発振器より出力するレーザ光の偏光方向を
水平または垂直方向に対して斜め４５方向にする装置も
あるが、この場合Ｆｉ発振器の高さ方向が大きくなり過
ぎる問題等があった。
いるため、直線偏光レーザ光を円偏光させるには、少な
くとも斜め４５方向への偏向ミラー（５）が１枚必要と
なり、円偏光ビームを出力光軸Ａと一致させるためには
、偏光ミラー（７）と偏光ミラー（８）とを設けなけれ
ばならず、このために装置が高価になり、また、繁雑な
調整を要する問題があり、この問題の対策として、折返
し光軸は第６図と同様に同一平面上で平行になるように
して、レーザ発振器より出力するレーザ光の偏光方向を
水平または垂直方向に対して斜め４５方向にする装置も
あるが、この場合Ｆｉ発振器の高さ方向が大きくなり過
ぎる問題等があった。
この発明はかかる問題点を解決するためになされ友もの
で、発振器より出力され九レーザ光の外部円偏光化装置
を簡単に安価にするとともに、コンパクトなコの字状折
返し形レーザ発振器の共振構造を得ることを目的として
いる。
で、発振器より出力され九レーザ光の外部円偏光化装置
を簡単に安価にするとともに、コンパクトなコの字状折
返し形レーザ発振器の共振構造を得ることを目的として
いる。
この発明に係るコの字状折返し形レーザ発振器の共振器
は、少くとも２個以上の偏向ミラーを設けてコの字形に
折返しを行うレーザ発振器の共振器構造において、レー
ザ光軸の長手方向に対する直角断面上の光軸位置が直角
三角形の頂点を成し。
は、少くとも２個以上の偏向ミラーを設けてコの字形に
折返しを行うレーザ発振器の共振器構造において、レー
ザ光軸の長手方向に対する直角断面上の光軸位置が直角
三角形の頂点を成し。
かつ、水平または垂直方向に千鳥状に配列し九ものであ
る。
る。
この発明におけるレーザ発振器では、共振光軸が複数の
励起部を折返しながら励起され、最終の励起部の出口よ
り水平または垂直方向に対して斜め４５方向に直線偏光
されたレーザ出力を出射する。
励起部を折返しながら励起され、最終の励起部の出口よ
り水平または垂直方向に対して斜め４５方向に直線偏光
されたレーザ出力を出射する。
＠１図および第２図はこの発明の一実施例を示す模式図
であり、第１図は全体の構成を示し、第２図は第１図に
おけるＸ−ｘ断面を示す。図において、符号（１）〜（
４ｄ）は従来例を示した第３図の同符号と同一部分また
は相当部分であり、レーザ光路は偏向ミラー（４ｄ）
、 （４ｃ） 、 （４ｂ） 、 （４ａ）の順で
折返して出力ミラー（１）より出射するが、共振光軸Ａ
、Ｂ、ＣはＸ−ｘ断面で示すとおシ、Ｂ軸の位置はＡ、
Ｃ軸の位置となす直角二等辺三角形の頂点をなすように
配設されている。また、第２図における符号りは共振光
軸Ａ、８２点を結ぶ線上で、ｈｎ＝Ｕｏの関係が成立す
るような仮定点を示している。
であり、第１図は全体の構成を示し、第２図は第１図に
おけるＸ−ｘ断面を示す。図において、符号（１）〜（
４ｄ）は従来例を示した第３図の同符号と同一部分また
は相当部分であり、レーザ光路は偏向ミラー（４ｄ）
、 （４ｃ） 、 （４ｂ） 、 （４ａ）の順で
折返して出力ミラー（１）より出射するが、共振光軸Ａ
、Ｂ、ＣはＸ−ｘ断面で示すとおシ、Ｂ軸の位置はＡ、
Ｃ軸の位置となす直角二等辺三角形の頂点をなすように
配設されている。また、第２図における符号りは共振光
軸Ａ、８２点を結ぶ線上で、ｈｎ＝Ｕｏの関係が成立す
るような仮定点を示している。
上記のように構成されたこの発明による折返し形レーザ
発振器においては、レーザ発振器より出力されるレーザ
光の偏光方向は、第２図における光軸Ａ、“Ｂとを結ぶ
方向、すなわち第１図において矢印イで示した方向と、
Ｂ、ＣＩ結ぶ方向の２方向の設定ができるが、ここで、
偏光方向を上記のイの方向に設定したい場合は、偏向ミ
ラー（４ａ）および（４ｂ）の偏光方向方向イの反射率
が、偏向ミラー（４ｃ）および（４ｄ）の偏光方向イに
対する反射率より僅かに上まわるように選択して設定す
れば、共振光の可干渉性から一義的に偏光方向を設定で
きる。したがって、発振器の出力ミラー（１）からは取
付面方向に対して斜め４５方向に偏光されたレーザ光が
出射されることになる。
発振器においては、レーザ発振器より出力されるレーザ
光の偏光方向は、第２図における光軸Ａ、“Ｂとを結ぶ
方向、すなわち第１図において矢印イで示した方向と、
Ｂ、ＣＩ結ぶ方向の２方向の設定ができるが、ここで、
偏光方向を上記のイの方向に設定したい場合は、偏向ミ
ラー（４ａ）および（４ｂ）の偏光方向方向イの反射率
が、偏向ミラー（４ｃ）および（４ｄ）の偏光方向イに
対する反射率より僅かに上まわるように選択して設定す
れば、共振光の可干渉性から一義的に偏光方向を設定で
きる。したがって、発振器の出力ミラー（１）からは取
付面方向に対して斜め４５方向に偏光されたレーザ光が
出射されることになる。
なお、第２図における仮定点りは、この発明による励起
部（３）の配列の場合と従来の励起部（３）の配列の場
合と従来の励起部（３）の配列とを比較するための点で
あり、従来のようにＡ、Ｂ、Ｄの配列によるスペースと
本発明によるＡ、Ｂ、Ｃの配列によるスペースとの比率
はｌ＋ ／ｌ＋ ＋ Ａｔとなり、はぼｌになることを
示している。
部（３）の配列の場合と従来の励起部（３）の配列の場
合と従来の励起部（３）の配列とを比較するための点で
あり、従来のようにＡ、Ｂ、Ｄの配列によるスペースと
本発明によるＡ、Ｂ、Ｃの配列によるスペースとの比率
はｌ＋ ／ｌ＋ ＋ Ａｔとなり、はぼｌになることを
示している。
また、上記実施例では折返しの回数が２回の場合につい
て説明したが、これ以上の折返しの回数でもよく、さら
に、ＣＯ，レーザ発振の場合を示したが、他のガスある
いは液体、固体レーザの場合でも上記実施例と同様の効
果を奏する。
て説明したが、これ以上の折返しの回数でもよく、さら
に、ＣＯ，レーザ発振の場合を示したが、他のガスある
いは液体、固体レーザの場合でも上記実施例と同様の効
果を奏する。
この発明は以上説明したとおり、共振器光軸の長手方向
に対して直角な断面における光軸の位置が直角二等辺三
角形の頂点の位置になるように構成したので、従来の装
置に比べて円偏光する場合の外部光学系が簡単で安価に
できるとともに、装置がコンパクトにできる効果がある
。
に対して直角な断面における光軸の位置が直角二等辺三
角形の頂点の位置になるように構成したので、従来の装
置に比べて円偏光する場合の外部光学系が簡単で安価に
できるとともに、装置がコンパクトにできる効果がある
。
第１図はこの発明の一実施例によるコの字状折返し形レ
ーザ発振器の構成を示す斜視図、第２図は第１図におけ
るＸ−Ｘ軸方向から共振光軸に対して直角な断面図、第
３図は従来のコの字状折返し形レーザ発振器の構成を示
す図、第４図および第５図は直線偏光されたレーザ光を
円偏光にする手段を示す図である。 図において、（１）は出力ミラー、（２）はりャミラー
。 （３）は励起部、（４ａ） 、 （４ｔ）） 、
（４ｃ） 、 （４ｄ）ｔｊ偏向ミラー。 なお、図中の同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第 １ 図 第 ２ 図 Ａし 第３図 第４図
ーザ発振器の構成を示す斜視図、第２図は第１図におけ
るＸ−Ｘ軸方向から共振光軸に対して直角な断面図、第
３図は従来のコの字状折返し形レーザ発振器の構成を示
す図、第４図および第５図は直線偏光されたレーザ光を
円偏光にする手段を示す図である。 図において、（１）は出力ミラー、（２）はりャミラー
。 （３）は励起部、（４ａ） 、 （４ｔ）） 、
（４ｃ） 、 （４ｄ）ｔｊ偏向ミラー。 なお、図中の同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第 １ 図 第 ２ 図 Ａし 第３図 第４図
Claims (1)
- 共振器光軸を少なくとも２回以上偏光ミラーによつてコ
の字形に折返しを行うレーザ発振器において、上記共振
器光軸の長手方向に対する直角断面上の光軸位置が直角
二等辺三角形の頂点を成し、かつ水平または垂直方向に
千鳥状に配列されたことを特徴とするレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2647085A JPS61187386A (ja) | 1985-02-15 | 1985-02-15 | レ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2647085A JPS61187386A (ja) | 1985-02-15 | 1985-02-15 | レ−ザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61187386A true JPS61187386A (ja) | 1986-08-21 |
| JPH0376793B2 JPH0376793B2 (ja) | 1991-12-06 |
Family
ID=12194400
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2647085A Granted JPS61187386A (ja) | 1985-02-15 | 1985-02-15 | レ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61187386A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01243796A (ja) * | 1988-03-25 | 1989-09-28 | Mitsubishi Electric Corp | 画像符号化伝送装置 |
| JPH05235454A (ja) * | 1992-02-19 | 1993-09-10 | Fanuc Ltd | レーザ発振器 |
| US5596594A (en) * | 1994-01-20 | 1997-01-21 | Fanuc Ltd. | Laser oscillator |
| EP0901205A2 (de) * | 1997-08-08 | 1999-03-10 | Rofin Sinar Laser GmbH | Gaslaser mit in mehreren Ebenen gefaltetem Strahlengang |
| JP2019527479A (ja) * | 2016-07-15 | 2019-09-26 | メトラー−トレド ゲーエムベーハー | 光源に対する反射器の不適切な位置整合を補償するための光学装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2846521B2 (ja) * | 1992-03-30 | 1999-01-13 | ファナック株式会社 | レーザ発振装置 |
-
1985
- 1985-02-15 JP JP2647085A patent/JPS61187386A/ja active Granted
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01243796A (ja) * | 1988-03-25 | 1989-09-28 | Mitsubishi Electric Corp | 画像符号化伝送装置 |
| JPH05235454A (ja) * | 1992-02-19 | 1993-09-10 | Fanuc Ltd | レーザ発振器 |
| US5596594A (en) * | 1994-01-20 | 1997-01-21 | Fanuc Ltd. | Laser oscillator |
| EP0901205A2 (de) * | 1997-08-08 | 1999-03-10 | Rofin Sinar Laser GmbH | Gaslaser mit in mehreren Ebenen gefaltetem Strahlengang |
| EP0901205A3 (de) * | 1997-08-08 | 1999-07-14 | Rofin Sinar Laser GmbH | Gaslaser mit in mehreren Ebenen gefaltetem Strahlengang |
| JP2019527479A (ja) * | 2016-07-15 | 2019-09-26 | メトラー−トレド ゲーエムベーハー | 光源に対する反射器の不適切な位置整合を補償するための光学装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0376793B2 (ja) | 1991-12-06 |
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