JPH05167132A - ガスレーザ装置 - Google Patents
ガスレーザ装置Info
- Publication number
- JPH05167132A JPH05167132A JP35280891A JP35280891A JPH05167132A JP H05167132 A JPH05167132 A JP H05167132A JP 35280891 A JP35280891 A JP 35280891A JP 35280891 A JP35280891 A JP 35280891A JP H05167132 A JPH05167132 A JP H05167132A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- invar rod
- rod
- rails
- laser device
- discharge chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 放電部の交換時における光学部品のアライメ
ント調整をなくす。 【構成】 全反射ミラー７０や出力ミラー７２を支持し
ている下部インバーロッド３４を、放電チャンバ２６を
移動させる一対のレール３２ａ、３２ｂを貫通するよう
に配置し、放電チャンバ２６の交換の際に、放電チャン
バ２６が下部インバーロッド３４に触れたり、インバー
ロッドをハウジング１２から取り出す必要をなくす。
ント調整をなくす。 【構成】 全反射ミラー７０や出力ミラー７２を支持し
ている下部インバーロッド３４を、放電チャンバ２６を
移動させる一対のレール３２ａ、３２ｂを貫通するよう
に配置し、放電チャンバ２６の交換の際に、放電チャン
バ２６が下部インバーロッド３４に触れたり、インバー
ロッドをハウジング１２から取り出す必要をなくす。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガスレーザ装置に係
り、特にレーザ媒質にフッ素ガスや塩素ガス等のハロゲ
ンガスが含まれているエキシマレーザ装置に関する。
り、特にレーザ媒質にフッ素ガスや塩素ガス等のハロゲ
ンガスが含まれているエキシマレーザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】エキシマレーザは、発振線の波長が短
く、大きな出力が得られるとこらから、半導体製造装置
（ステッパ）の光源として注目され、近年エキシマレー
ザ装置が著しい発達を見せている。そして、一部のエキ
シマレーザ装置は、ハウジング内にレールを設け、放電
管が収納してある放電チャンバをレール上を移動させる
ようにし、放電チャンバのハウジングへの出し入れを容
易にして保守の容易化を図っている。図３は、そのよう
なエキシマレーザ装置を示したものである。
く、大きな出力が得られるとこらから、半導体製造装置
（ステッパ）の光源として注目され、近年エキシマレー
ザ装置が著しい発達を見せている。そして、一部のエキ
シマレーザ装置は、ハウジング内にレールを設け、放電
管が収納してある放電チャンバをレール上を移動させる
ようにし、放電チャンバのハウジングへの出し入れを容
易にして保守の容易化を図っている。図３は、そのよう
なエキシマレーザ装置を示したものである。
【０００３】図３において、エキシマレーザ装置１０
は、ハウジング１２がフレーム１４と囲い板１６とによ
って箱状に形成してある。そして、一側（図の右側）の
囲い板１６は扉を構成しており、扉を開放することによ
りハウジング１２の内部が露出できるようになってい
る。また、ハウジング１２は、上下方向の中間部に、額
縁状の横枠１８が設けてあって、この横枠１８の下部に
仕切り板２０を固定し、上部室２２とし下部室２４とに
区画してある。
は、ハウジング１２がフレーム１４と囲い板１６とによ
って箱状に形成してある。そして、一側（図の右側）の
囲い板１６は扉を構成しており、扉を開放することによ
りハウジング１２の内部が露出できるようになってい
る。また、ハウジング１２は、上下方向の中間部に、額
縁状の横枠１８が設けてあって、この横枠１８の下部に
仕切り板２０を固定し、上部室２２とし下部室２４とに
区画してある。
【０００４】上部室２２には、放電部としての放電チャ
ンバ２６が収納してある。この放電チャンバ２６は、レ
ーザ媒質であるＸｅＣｌ、ＸｅＦ等のガスが封入してあ
り、これらのガスを励起することにより発光させ、発光
した光を窓２８から出射できるようにしてある。また、
放電チャンバ２６は複数の車輪３０が取り付けられ、横
枠１８に渡した一対のレール３２の上を移動できるよう
になっている。なお、下部室２４には、放電チャンバ２
６等を冷却するための補器や放電を制御するための制御
装置３６などが収納してある。
ンバ２６が収納してある。この放電チャンバ２６は、レ
ーザ媒質であるＸｅＣｌ、ＸｅＦ等のガスが封入してあ
り、これらのガスを励起することにより発光させ、発光
した光を窓２８から出射できるようにしてある。また、
放電チャンバ２６は複数の車輪３０が取り付けられ、横
枠１８に渡した一対のレール３２の上を移動できるよう
になっている。なお、下部室２４には、放電チャンバ２
６等を冷却するための補器や放電を制御するための制御
装置３６などが収納してある。
【０００５】このように構成したエキシマレーザ装置１
０は、ガスの劣化などにより放電チャンバ２６を交換す
る際、上部にレール３８を設けた台車４０をハウジング
１２に隣接させ、レール３２とレール３８とを接続した
のち、放電チャンバ２６を矢印４２のようにレール３２
上を移動させてハウジング１２から引き出し、台車４０
に乗せて運搬するようになっている。また、新しい放電
チャンバ２６を配置するときは、台車４０のレール３６
に乗せた新しい放電チャンバ２６を、レール３６からレ
ール３２に移し、所定の位置までレール３２上を移動さ
せる。
０は、ガスの劣化などにより放電チャンバ２６を交換す
る際、上部にレール３８を設けた台車４０をハウジング
１２に隣接させ、レール３２とレール３８とを接続した
のち、放電チャンバ２６を矢印４２のようにレール３２
上を移動させてハウジング１２から引き出し、台車４０
に乗せて運搬するようになっている。また、新しい放電
チャンバ２６を配置するときは、台車４０のレール３６
に乗せた新しい放電チャンバ２６を、レール３６からレ
ール３２に移し、所定の位置までレール３２上を移動さ
せる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記した従
来のエキシマレーザ装置１０においては、共振器を構成
している光学部品を支持した下部インバーロッドが、放
電チャンバ２６の移動を妨げるようにレール３２の上方
に配置してあり、放電チャンバ２６を交換する際に、放
電チャンバ２６がインバーロッドにぶつかってしまう。
従って、従来は放電チャンバ２６を交換する場合、一般
にインバーロッドも取り出すようにしていた。このた
め、放電チャンバ２６を交換したときには、インバーロ
ッドが支持している共振器の全反射ミラーや出力ミラー
の設定角度等が変化するために、これらの光学部品のア
ライメント調整を必要とし、放電チャンバ２６の交換に
多くの時間がかかる。
来のエキシマレーザ装置１０においては、共振器を構成
している光学部品を支持した下部インバーロッドが、放
電チャンバ２６の移動を妨げるようにレール３２の上方
に配置してあり、放電チャンバ２６を交換する際に、放
電チャンバ２６がインバーロッドにぶつかってしまう。
従って、従来は放電チャンバ２６を交換する場合、一般
にインバーロッドも取り出すようにしていた。このた
め、放電チャンバ２６を交換したときには、インバーロ
ッドが支持している共振器の全反射ミラーや出力ミラー
の設定角度等が変化するために、これらの光学部品のア
ライメント調整を必要とし、放電チャンバ２６の交換に
多くの時間がかかる。
【０００７】本発明は、前記従来技術の欠点を解消する
ためになされたもので、放電部の交換時に光学部品のア
ライメント調整を必要としないガスレーザ装置を提供す
ることを目的としている。
ためになされたもので、放電部の交換時に光学部品のア
ライメント調整を必要としないガスレーザ装置を提供す
ることを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記従来技術
の欠点を解消するためになされたもので、放電部を収納
したチャンバが移動する一対のレールを備えたガスレー
ザ装置において、光学部品を支持する下部インバーロッ
ドを、前記一対のレールを貫通させて配置したことを特
徴としている。
の欠点を解消するためになされたもので、放電部を収納
したチャンバが移動する一対のレールを備えたガスレー
ザ装置において、光学部品を支持する下部インバーロッ
ドを、前記一対のレールを貫通させて配置したことを特
徴としている。
【０００９】下部インバーロッドは、一対のレール間の
少なくとの上部をインバーロッド保護部材により覆うこ
とが望ましい。そして、インバーロッド保護部材は、イ
ンバーロッドを貫通させるパイプにすることができる。
少なくとの上部をインバーロッド保護部材により覆うこ
とが望ましい。そして、インバーロッド保護部材は、イ
ンバーロッドを貫通させるパイプにすることができる。
【００１０】
【作用】上記の如く構成した本発明は、光学部品を支持
している下部インバーロッドが、放電部を移動させるた
めの一対のレールを貫通して配置してあるため、放電部
をハウジングから引き出したり、ハウジング内に搬入す
るときに、放電部がインバーロッドにぶつかったりする
ことがなく、放電部の交換時の光学部品のアライメント
調整をなくすことができる。この結果、メンテナンスが
容易となり、またインバーロッドを取り外す必要がない
ため、放電部の交換を容易、迅速に行うことができる。
しかも、下部インバーロッドを、レールを貫通させたこ
とにより、インバーロッドの支持部を省略することがで
きる。
している下部インバーロッドが、放電部を移動させるた
めの一対のレールを貫通して配置してあるため、放電部
をハウジングから引き出したり、ハウジング内に搬入す
るときに、放電部がインバーロッドにぶつかったりする
ことがなく、放電部の交換時の光学部品のアライメント
調整をなくすことができる。この結果、メンテナンスが
容易となり、またインバーロッドを取り外す必要がない
ため、放電部の交換を容易、迅速に行うことができる。
しかも、下部インバーロッドを、レールを貫通させたこ
とにより、インバーロッドの支持部を省略することがで
きる。
【００１１】また、一対のレール間のインバーロッドの
上部をインバーロッド保護部材によって覆ったことによ
り、放電部を交換する際に、インバーロッドに物などが
触れる心配がなく、安心して作業をすることができる。
上部をインバーロッド保護部材によって覆ったことによ
り、放電部を交換する際に、インバーロッドに物などが
触れる心配がなく、安心して作業をすることができる。
【００１２】
【実施例】本発明に係るガスレーザ装置の好ましい実施
例を、添付図面に従って詳説する。なお、前記従来技術
において説明した部分に対応する部分に付いては、同一
の符号を付し、その説明を省略する。
例を、添付図面に従って詳説する。なお、前記従来技術
において説明した部分に対応する部分に付いては、同一
の符号を付し、その説明を省略する。
【００１３】図１は、本発明の実施例に係るガスレーザ
装置の要部を示す正面図である。図１において、一対の
レール３２ａ、３２ｂは、インバーロッド保護部材であ
るパイプ５０によって相互に接続してある。パイプ５０
は、図２に示したように、一対の下部インバーロッド３
４（図には１本だけ示してある）を貫通させるレール３
２ａ、３２ｂの貫通孔５２に対応した位置に配置され、
レール３２ａ、３２ｂに溶接等によって固着してあり、
内部を下部インバーロッド３４が貫通している。
装置の要部を示す正面図である。図１において、一対の
レール３２ａ、３２ｂは、インバーロッド保護部材であ
るパイプ５０によって相互に接続してある。パイプ５０
は、図２に示したように、一対の下部インバーロッド３
４（図には１本だけ示してある）を貫通させるレール３
２ａ、３２ｂの貫通孔５２に対応した位置に配置され、
レール３２ａ、３２ｂに溶接等によって固着してあり、
内部を下部インバーロッド３４が貫通している。
【００１４】下部インバーロッド３４は共振器６０を支
持している。すなわち、下部インバーロッド３４は、レ
ール３２ａ、３２ｂを貫通するとともに、レール３２
ａ、３２ｂに取り付けた支持板６２、６４を貫通し、両
端にミラー固定板６６、６８が取り付けてある。そし
て、ミラー固定板６６には、放電チャンバ２６に設けた
リアミラーボックス５４と対面させて全反射ミラー７０
が固定してある。また、ミラー固定板６８には、放電チ
ャンバ２６に設けたフロントミラーボックス５６と対面
させて出力ミラー７２が固定してある。さらに、ミラー
固定板６６、６８の上部には、放電チャンバ２６の後方
に配置した上部インバーロッド７４が接続してある。こ
の上部インバーロッド７４は、支持板６２、６４の上部
を貫通しているとともに、支持板６２に固着してある。
持している。すなわち、下部インバーロッド３４は、レ
ール３２ａ、３２ｂを貫通するとともに、レール３２
ａ、３２ｂに取り付けた支持板６２、６４を貫通し、両
端にミラー固定板６６、６８が取り付けてある。そし
て、ミラー固定板６６には、放電チャンバ２６に設けた
リアミラーボックス５４と対面させて全反射ミラー７０
が固定してある。また、ミラー固定板６８には、放電チ
ャンバ２６に設けたフロントミラーボックス５６と対面
させて出力ミラー７２が固定してある。さらに、ミラー
固定板６６、６８の上部には、放電チャンバ２６の後方
に配置した上部インバーロッド７４が接続してある。こ
の上部インバーロッド７４は、支持板６２、６４の上部
を貫通しているとともに、支持板６２に固着してある。
【００１５】このように構成した実施例は、下部インバ
ーロッド３４がレール３２ａ、３２ｂを貫通しているた
め、放電チャンバ２６を交換する際に放電チャンバ２６
が下部インバーロッド３４にぶつかる心配がない。この
ため、放電チャンバ２６の交換作業に際に、従来の如く
インバーロッドをハウジング１２から取り出したりする
必要がなく、インバーロッドが支持している光学部品の
アライメン調整作業を省略することができ、放電チャン
バ２６の交換を容易、迅速に行うことができる。そし
て、下部インバーロッドがレール３２ａ、３２ｂを貫通
しているため、レール３２ａ、３２ｂがインバーロッド
の支持部としての役割をなし、インバーロッドの支持部
を省くことができる。
ーロッド３４がレール３２ａ、３２ｂを貫通しているた
め、放電チャンバ２６を交換する際に放電チャンバ２６
が下部インバーロッド３４にぶつかる心配がない。この
ため、放電チャンバ２６の交換作業に際に、従来の如く
インバーロッドをハウジング１２から取り出したりする
必要がなく、インバーロッドが支持している光学部品の
アライメン調整作業を省略することができ、放電チャン
バ２６の交換を容易、迅速に行うことができる。そし
て、下部インバーロッドがレール３２ａ、３２ｂを貫通
しているため、レール３２ａ、３２ｂがインバーロッド
の支持部としての役割をなし、インバーロッドの支持部
を省くことができる。
【００１６】また、一対のレール３２ａ、３２ｂ間の下
部インバーロッド３４をパイプ５０内を通しているた
め、インバーロッドに直接接触する心配がなく、放電チ
ャンバ２６の作業効率を高めることができる。
部インバーロッド３４をパイプ５０内を通しているた
め、インバーロッドに直接接触する心配がなく、放電チ
ャンバ２６の作業効率を高めることができる。
【００１７】なお、前記実施例においては、インバーロ
ッド保護部材が下部インバーロッド３４を貫通させたパ
イプ５０である場合について説明したが、下部インバー
ロッド３４の上方に板状のインバーロッド保護部材を配
置してもよい。また、インバーロッド保護部材をレール
３２ａ、３２ｂの長手方向の全長にわたって設けると、
インバーロッド保護部材がレール３２ａ、３２ｂの補強
材としての役目をなし、レール３２ａ、３２ｂの剛性が
増して放電チャンバ２６を移動させた際のレール３２
ａ、３２ｂの撓みや歪みを低減することができる。さら
に、上記実施例においては、エキシマレーザ装置１０に
ついて説明したが、Ｃｏ2等の他のガスレーザ装置にも
適用することができる。
ッド保護部材が下部インバーロッド３４を貫通させたパ
イプ５０である場合について説明したが、下部インバー
ロッド３４の上方に板状のインバーロッド保護部材を配
置してもよい。また、インバーロッド保護部材をレール
３２ａ、３２ｂの長手方向の全長にわたって設けると、
インバーロッド保護部材がレール３２ａ、３２ｂの補強
材としての役目をなし、レール３２ａ、３２ｂの剛性が
増して放電チャンバ２６を移動させた際のレール３２
ａ、３２ｂの撓みや歪みを低減することができる。さら
に、上記実施例においては、エキシマレーザ装置１０に
ついて説明したが、Ｃｏ2等の他のガスレーザ装置にも
適用することができる。
【００１８】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、光学部品を支持している下部インバーロッドを、放
電部を移動させる一対のレールを貫通するように配置し
たことにより、放電部の交換の際に、放電部がインバー
ロッドに触れたり、インバーロッドをハウジングから取
り出す必要がなく、光学部品のアライメント調整をなく
すことができる。
ば、光学部品を支持している下部インバーロッドを、放
電部を移動させる一対のレールを貫通するように配置し
たことにより、放電部の交換の際に、放電部がインバー
ロッドに触れたり、インバーロッドをハウジングから取
り出す必要がなく、光学部品のアライメント調整をなく
すことができる。
【００１９】また、一対のレール間のインバーロッドの
上部をインバーロッド保護部材によって覆ったことによ
り、放電部を交換する際に、インバーロッドに物などが
触れる心配がなく、安心して作業をすることができる。
上部をインバーロッド保護部材によって覆ったことによ
り、放電部を交換する際に、インバーロッドに物などが
触れる心配がなく、安心して作業をすることができる。
【図１】本発明の実施例に係るガスレーザ装置の要部を
示す正面図である。
示す正面図である。
【図２】実施例のインバーロッド保護部材の断面図であ
る。
る。
【図３】従来の放電部を移動させるレールを設けたガス
レーザ装置の説明図である。
レーザ装置の説明図である。
１０ エキシマレーザ装置 ２６ 放電部（放電チャンバ） ３０ 車輪 ３２ａ、３２ｂ レール ３４ 下部インバーロッド ５０ インバーロッド保護部材（パイプ） ７０、７２ 光学部品（全反射ミラー、出力ミラ
ー）
ー）
Claims (3)
- 【請求項１】 放電部を収納したチャンバが移動する一
対のレールを備えたガスレーザ装置において、光学部品
を支持する下部インバーロッドを、前記一対のレールを
貫通させて配置したことを特徴とするガスレーザ装置。 - 【請求項２】 前記下部インバーロッドは、前記一対の
レール間の少なくとの上部がインバーロッド保護部材に
より覆われていることを特徴とする請求項１に記載のガ
スレーザ装置。 - 【請求項３】 前記インバーロッド保護部材は、前記イ
ンバーロッドを貫通させたパイプであることを特徴とす
る請求項２に記載のガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35280891A JPH05167132A (ja) | 1991-12-16 | 1991-12-16 | ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35280891A JPH05167132A (ja) | 1991-12-16 | 1991-12-16 | ガスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05167132A true JPH05167132A (ja) | 1993-07-02 |
Family
ID=18426580
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35280891A Pending JPH05167132A (ja) | 1991-12-16 | 1991-12-16 | ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05167132A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003224317A (ja) * | 2002-01-30 | 2003-08-08 | Komatsu Ltd | 注入同期式又はｍｏｐａ方式のガスレーザ装置 |
| WO2023013053A1 (ja) * | 2021-08-06 | 2023-02-09 | ギガフォトン株式会社 | ガスレーザ装置、ガスレーザ装置のメンテナンス方法、及び電子デバイスの製造方法 |
-
1991
- 1991-12-16 JP JP35280891A patent/JPH05167132A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003224317A (ja) * | 2002-01-30 | 2003-08-08 | Komatsu Ltd | 注入同期式又はｍｏｐａ方式のガスレーザ装置 |
| WO2023013053A1 (ja) * | 2021-08-06 | 2023-02-09 | ギガフォトン株式会社 | ガスレーザ装置、ガスレーザ装置のメンテナンス方法、及び電子デバイスの製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100909018B1 (ko) | 레이저 리소그래피 빔송출 광원 | |
| US5802094A (en) | Narrow band excimer laser | |
| US7184204B2 (en) | Master-oscillator power-amplifier (MOPA) excimer or molecular fluorine laser system with long optics lifetime | |
| Hooker et al. | The Astra Gemini project–A dual-beam petawatt Ti: Sapphire laser system | |
| KR20120003464A (ko) | 재생 링 공진기 | |
| JP3773858B2 (ja) | 注入同期式又はｍｏｐａ方式のガスレーザ装置 | |
| EP0580867B1 (en) | Laser | |
| US8817838B2 (en) | Laser device with optical element module on separate plate | |
| US8817831B1 (en) | High power UV lasers | |
| JPH05167132A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JP2000214285A (ja) | 支持格子溶接装置 | |
| JP2004039767A (ja) | Ｍｏｐａ式又は注入同期式レーザ装置 | |
| US4229711A (en) | Metal dihalide photodissociation cyclic laser | |
| WO2002071558A1 (en) | High repetition rate uv excimer laser | |
| US6839374B2 (en) | Barium fluoride high repetition rate UV excimer laser | |
| US6839375B1 (en) | On-line quality control of the key optical components in lithography lasers using laser induced fluorescence | |
| JPH0754857B2 (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPH04119683A (ja) | レーザ増幅システム | |
| JPH06310789A (ja) | エキシマーレーザー用予備電離ピンの位置調整装置 | |
| JPH05167160A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JP2003338647A (ja) | レーザ発振器 | |
| JP2000223757A (ja) | ガスレーザ | |
| JP2577350Y2 (ja) | エキシマレーザ装置 | |
| JPH0661550A (ja) | 固体レーザ装置 | |
| JPH043478A (ja) | ガスレーザ装置 |