JP3633441B2 - ステージ装置 - Google Patents
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- G03F7/70716—Stages
Description
【発明が属する技術分野】
各種産業分野で用いられる、交番荷重を受けるステージ装置全般に関する。
例えば、ワークにマスクパターンを露光するプロキシミティ露光装置におけるステージ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
交番荷重とは、物体に対して、通常ある一方向から、場合によってはその反対方向から働く荷重を言う。
一般に、交番荷重に対応したステージ装置とは、通常ステージの自重を荷重として受け、状況によっては、ステージを押し上げる方向に働く荷重を受ける場合に対応したステージ装置である。
交番荷重に対応したステージ装置として、例えば実開平3−117537号公報に記載されたステージ装置が挙げられる。
同公報のステージ装置の上面図を図6、同公報のステージ装置の分解斜視図を図7に示し、以下にその構造について説明する。
【0003】
上記公報のステージ装置は、ベース3を、移動台2とその移動台2に一体に連結する板状部材5によって挟み、ベース3と移動台2、及びベース3と板状部材5との間には、ボール6を回転自在に保持したボール保持板7が組み込まれている。そして、板状部材5が、ボール6の転がりによって、平面内を移動可能に案内されている。
また、移動台2と板状部材5の間には、スペーサ12が設けられ、ボール保持板7に回転自在に保持された各ボール6に適切な与圧が加わるように、その厚みが設定されている。
そして、図7において上下方向からの荷重、即ち交番荷重が移動台2とその移動台2に一帯に連結する板状部材5に対して加わった場合にも、支持精度を低下させない剛性がこの与圧によって与えられる。
【0004】
一方、板状部材5の一方の側辺には、支持板13を介して伸縮可能な1個の駆動装置4、例えば電動リニアアクチェエータが取り付けられ、それに直交する側辺には、支持板13を介して互いに平行に伸縮する2個の駆動装置4が取付けられている。そして、その各駆動装置4の接続シャフト14は、回動可能かつ伸縮方向に対して直交する方向にスライド可能に構成された継手15を介し板状部材5の側辺に連結されている。
そして、このような構成により、板状部材5を直交する2方向に直線移動させたり、板状部材5の任意の点を中心に回動させたりすることができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記に示したような交番荷重に対応したステージ装置を製作する場合には、高度な加工技術が必要となる。なぜなら、ベース3に対する移動台2、及び板状部材5の平行度の調節は、全て表面加工の精度のみで行なわなくてはならないからである。
【0006】
上記公報のステージ装置の断面部分拡大図を図8に示し、以下に詳しく説明する。
板状部材5は、ベース3と移動台2、及びベース3と板状部材5との間に組み込まれたボール保持板7に回転自在に保持されたボール6の転がりによって、平面内を移動可能に案内されている。また、移動台2と板状部材5の間には、スペーサ12が設けられ、各ボール6に適切な与圧が加わるように、その厚みが設定されている。
従って、移動台2とその移動台2に一体に連結する板状部材5が滑らかに移動する為には、ボール6の滑らかな転がりを維持する必要がある。
ボール6の滑らかな転がりを維持する為には、ボール6と接する面の平面度が高精度に維持されている必要がある。ボール6と接する面の平面度が高精度に維持されていない場合、ボール6は、ボール6と接する面の凹凸の影響を受け、滑らかな転がりを維持することができない。
従って、ベース3の両表面3a、3b、移動台2の面2b、板状部材5の面5aには、高い平面度が要求される。
【0007】
また、上記公報のステージ装置をワークにマスクパターンを露光するプロキシミティ露光装置に利用する場合、板状部材5の面5b(または、移動台2の面2a)上には、石英ガラスなどからなるマスク、またはポリイミドフィルム、ステンレス基板などからなるワークが載置され、真空吸着により板状部材の面5b(または、移動台2の面2a)上に保持される。
真空吸着により、マスク、またはワークの保持を良好に行う為には、マスク、またはワークと板状部材5の面5b(または、移動台2の面2a)との間の界面における真空漏れを防止する必要があり、従って、板状部材5の面5b(または、移動台2の面2a)にも、前述の4面と同様に高い平面度が要求される。
【0008】
また、移動台2とその移動台2に一体に連結する板状部材5ががたつき無く移動する為には、ボール保持板7に保持された各ボール6と各ボール6と接する4面2b,3a,3b,5aとが、移動の際に、常に接触していなければならない。各ボール6と各ボール6と接する4面2b,3a,3b,5aとが、移動の際に、常に接触しているためには、各ボール6と接する4面2b,3a,3b,5aが互いに高い平行度で維持されていなけらばならない。各ボール6と接する4面2b,3a,3b,5aが互いに高い平行度で維持されていない場合、ボール6が強い与圧を受けて接触する領域と、接触しないで隙間を生じる領域が存在し、移動台2とその移動台2に一体に連結する板状部材5の移動に際し、がたつきが生じる。
各ボール6と接する4面2b,3a,3b,5aが互いに高い平行度で維持されるためには、上記公報のステージ装置の構造上、ベース3の両表面3aと3b、移動台2の面2bと2c、スペーサ12の面12aと12bの3組の面の高い平行度に要求される。
【0009】
また、上記公報のステージ装置をワークにマスクパターンを露光するプロキシミティ露光装置に利用する場合、板状部材5の面5b(または、移動台2の面2a)上には、マスク、またはワークが載置されて保持されるが、ステージに載置されたマスク、またはワークが回転移動した時に水平度を維持する為には、移動台2とその移動台2に一体に連結する板状部材5の移動平面と板状部材5の面5b(または、移動台2の面2a)が互いに平行でなければならない。板状部材5の移動平面5aと板状部材5の面5b(または、移動台2の面2a)が互いに平行でない場合、ステージに載置されたマスク、またはワークが回転移動した時に水平度を維持することができない。
従って、板状部材5の面5aと5b(または、移動台2の面2aと2b)の高い平行度が要求される。
【0010】
更に、移動台2とその移動台2に一体に連結する板状部材5ががたつき無く、滑らかに移動する為には、ボール保持板7に回転自在に保持された各ボール6に適切な与圧が加わるように、その厚みを設定することも必要である。与圧の大きさが適切な与圧に比べて小さい場合、移動台2とその移動台2に一体に連結する板状部材5を押し上げる荷重が加わった時に、板状部材5の浮き上がりが生じ、与圧の大きさが適切な与圧に比べて大きい場合、ボール6の滑らかな転がりが妨げられ、移動台2とその移動台2に一体に連結する板状部材5の滑らかな移動を妨げる。
従って、スペーサ12の厚さには、高い寸法公差が要求される。
【0011】
更に、ボール保持板7に回転自在に保持された各ボール6が、均等に外部からの荷重を受けるためには、各ボール6の径がそれぞれ揃っていなければならない。
ボール6の径が揃っていない場合、径の大きなボール6にばかり荷重が加わることになる。この状態で、板状部材5の移動が繰り返されると、径の大きなボール6と接する、板状部材5、移動台2、またはベース3の一部が削れたり、ボール6が変形したりして、板状部材5とその移動台2に一体に連結する板状部材5の移動にがたつきを生じさせる。
しかし、高い等級のボールであっても、寸法にはμmレベルの公差がある。それ以上の精度でボールを加工し、多数のボールを同一の寸法に揃えることは可能であるが、非常に高価なものとなる。
【0012】
すなわち、上記公報のステージ装置において、ベース3の両表面3a,3b、移動台2の面2b、板状部材5の面5a、および移動台2の面2a(または、板状部材5面5b)の5面には高い平面度、ベース3の両表面3aと3b、移動台2の面2aと2b、スペーサの面12aと12b、および移動台2面2aと2b(または、板状部材5の面5aと5b)の4組には高い平行度、またスペーサ12の厚さには高い寸法公差が要求される。また多数のボール6は、全て同一の寸法に揃えておく必要がある。
【0013】
従って、上記に示した面またはボールの加工費は、加工精度確認のための測定費用等も含めると、非常に高価なものとなり、装置全体の価格も高くなる。
【0014】
本発明は、以上のような問題に鑑みてなされたものであって、その目的は、高精度部品の使用を最小限に抑え、且つ、支持精度を低下させない、高剛性を有する交番荷重に対応したステージ装置を提供することである。
【0015】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明は、ベースを、ボールを介して移動台とその移動台に一体に連結する板状部材により挟み、該ボールの転がりによって、該移動台が平面内で移動するステージ装置において、上記ベースの少なくとも一面側の3箇所に、回転自在に保持された各3個の上記ボールを設け、上記各3個のボールと移動台及び/または板状部材の間に、ボール受け板を設け、上記ボール受け板と向い合う上記移動台及び/または上記板状部材に、上記ボール受け板を押圧する支持軸を設けたことを特徴とする。
請求項2に記載の発明は、前記支持軸は、先端部に球面を有する突起体であり、前記ボール受け板の上記突起体に押圧される位置に、穴を設けたことを特徴とする。
【0016】
【作用】
上記構成によれば、ボール受板がボールの径に応じて、3点で接するよう自由に傾く。従って、それぞれのボールはほぼ均一の荷重を受けることになる。
【0017】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明のステージ装置をプロキシミティ露光装置のマスクステージとして使用した場合の平面図である。図2は、図1のA−A断面図である。
【0018】
最初に、プロキシミティ露光装置の動作を以下に示す。
▲1▼移動台2の面2aにマスクパターンが形成されたマスクMが真空吸着等によって保持される。
▲2▼ワークステージWSにワークWが載置され、ワークステージWSが上昇し、ワークWをマスクステージ1のマスクMに押しつける。
▲3▼ワークステージWSの“平行出し機構”(図示しない)により、マスクMに対してワークWを平行にする。
▲4▼ワークステージWSが予め設定された位置にまで下降し、マスクMに印されたマスクアライメントマーク(図示しない)とワークWに印されたワークアライメントマーク(図示しない)を一致させるように、マスクステージ1またはワークステージWSが移動し、マスクMとワークWの位置合せを行なう。
▲5▼位置合わせ終了後、マスクMを介して、光照射装置(図示しない)から露光光をワークWに照射し、マスクパターン(図示しない)をワークWに露光する。
ここで、本発明のマスクステージ1において、ベース3は、常に板状部材5、及び移動台2の自重G1(下向きの力)を受ける。ワークWの平行出しを行う時、ワークWが移動台2に押し付けられ、マスクステージ1には上方向の力P1が作用する。従って、移動台2の自重をG1とすると、P1>G1の場合には、ベース3は、上向きの力を受ける。
【0019】
次に、本発明のマスクステージの構造について説明する。
移動台2は、三つの駆動装置(駆動機素)4により、平面内を移動する。
移動台2と、移動台2の面2d上のほぼ均等な3箇所に固定した板状部材5とによって、移動可能な状態で、ベース3を挟み込んでいる。
【0020】
図3に、移動台または、板状部材とベースの界面の詳細な構造を示す。
3個のボール6が、ボール保持板7に回転自在に、且つ、ボール保持板7から突出させて保持されている。このとき、3個のボールの中心を結んでなる三角形が正三角形となるように配置されている。
ベース3の両表面、或いはいずれか一方には、移動制限枠8が予め設けられ、その内側に、ボール保持板7が収められ、その移動を制限している。また、移動制限枠8及び、ボール保持板7は、円形状を有しており、これにより、移動平面内の全方位に対して等量の移動を可能にしている。また、移動制限枠8及び、ボール保持板7の直径は、移動台2の移動可能範囲を考慮して適宜設計されている。
ボール受け板9は、移動制限枠8及び、ボール保持板7と同様に、円形状を有しており、その中心には、皿穴10が設けられている。そして、ボール受け板9は、ボール保持板7をベース3とボール受け板9とにより挟み込むように、ボール保持板7に接して配置されている。このとき、ボール受け板9は、ボール保持板7に回転自在に保持された各3個のボール6の中心を結んでなる三角形の内側にボール受け板9に設けられた皿穴10が位置するように配置されている。また、ボール受け板9に設けられた皿穴10が、ボール保持板7とは反対側を向くように配置されている。
一方、球先ボルト11は、移動台2、または板状部材5に設けられたタップ(図示しない)に螺合し、球先ボルト11の先端の球状部分は、ボール保持板7に設けられた皿穴10に押圧可能に接している。
【0021】
そして、ボール6に加えられる圧力、すなわち与圧は、球先ボルト11のねじ込み量によって調整する。
ボール6の径が互いに多少異なっていても、ボール受け板9がボール6の径に応じて、3点で接するよう自由に傾く。また、ボール受け板9の傾きに対して、ボール受け板9の皿穴10と球先ボルト11の先端の球状部分とが傾き自在に接する。従って、上記ボール6の径に違いがあったとしても、3点が均等な荷重を受けるように自動的に調整される。
【0022】
次に、本発明のマスクステージの組立て・調整手順について説明する。
図2において、最初に、ベース3の面3aと、移動台2の面2aのマスク吸着面とが平行になるように、調整用の球先ボルト11aで調整し、固定する。
次に、ボール6を保持したボール保持板7、移動制限枠8、ボール受け板9を図3に示す順序で、ベース3の両面に保持する。
そして、与圧用の球先ボルト11bのねじ込み量を調整して、3箇所同じ締め加減とし、ロックナット20等で固定する。
以上の手順により、組み立て、及びベース3に対する移動台2とその移動台2に一体に連結する板状部材5の移動平面の平行調整が完了する。
【0023】
上記構成のマスクステージにおいて、ボール6は、移動台2の面2b、板状部材5の面5aと接しないので、ボール6の滑らかな転がりを維持するためには、ベース3の両面3a,3bのみを高い平面度に維持しておけばよい。従って、高い平面度が要求されるのは、ベース3の両面3a,3b、及びマスクMを吸着する、移動台2の面2aの3面だけとなる。
また、球先ボルト11a、及び11bによって、ベース3に対する移動台2とその移動台2に一体に連結する板状部材5の移動平面の平行を調整することができるので、移動台2とその移動台2に一体に連結する板状部材5をがたつき無く移動させるためには、ベース3の両表面3aと3bの1組の面を高い平行度に維持しておけば良い。従って、高い平行度が要求されるのは、ベース3の両表面3aと3b、及びマスクMが回転移動した際に水平度を維持する、移動台2の両面2aと2bの2組の面だけとなる。
また、上記構成のマスクステージにおいては、各ボール6に加える与圧は、与圧用球先ボルト11bのねじ込み量によって調整可能であるので、スペーサ12は不要となる。
更に、ボール受け板9の傾きに対しては、ボール受け板9の皿穴10と球先ボルト11の先端の球状部分とが傾き自在に接するので、ボール6の径に違いがあったとしても、3点が均等な荷重を受けるように自動的に調整される。従って、ボール6を高い公差の寸法に揃えておく必要もない。
【0024】
図4は、他の実施例である。
ベース3の面3aと移動台2の面2bとが接する部分を、図2に示した構造ではなく、1個所につき1個のボール6で行なっている。
これは、移動台2とその移動台2に一体に連結する板状部材5の自重G1に比べて、移動台2とその移動台2に一体に連結する板状部材5に加わる上方向の力P1が小さい時に、このような構造であっても問題はない。但し、ベース3の面3aとそれに対向する移動台2の面2bとの平行度は、ベース3の面3aと移動台2の面2bとに挟まれた3個のボール6によって決まるので、3個のボールを同一の寸法に揃えておく必要がある。また、ベース3の面3aと移動台2の面2bとに挟まれた3個のボール6の滑らかな転がりを維持する為に、ベース3の面3aに加え、移動台2の面2bの平面度を高精度に維持しておく必要がある。
なお、移動台2とその移動台2に一体に連結する板状部材5の自重G1が、移動台2とその移動台2に一体に連結する板状部材5に加わる上方向の力P1に比べて小さい時には、図4とは逆の構成になる。
【0025】
また、図5に示すような、偏心荷重、すなわちステージに加わる荷重がステージ面内で均一でない荷重に対しても本発明のステージは有効である。
図5の場合、ベース3と移動台2及び/または板状部材5との間に配置された3箇所のボール保持板7の中心を結ぶ三角形の外側に、(偏心荷重として)荷重G2が加わる。3箇所に配置されたボール保持板7に回転自在に保持されたボール6に加わる荷重は、場所によって大きく異なり、極端な場合は逆向きになる。しかし、上記実施例のような構造であれば、移動台2がベース3から浮き上がることを防ぎ、それぞれのボール保持板7間のボールの径を適宜に決定すれば、高い剛性を保つこともできる。
【0026】
尚、本実施例においては、ボール受け板の9の中心に皿穴10を設けたが、これに限るものではなく、先端部に球面を有する突起体(本実施例の場合、球先ボルト11)の先端の中心と一点で係合する形状の穴であれば良い。
また、本実施例においては、ボール6は、ボール保持板7に回転自在に保持されているが、ボール6とボール保持板7とが一体になっている必要はなく、移動の際にボール保持板7からボール6が外れないように構成されていれば良い。
更に、3個のボール6の中心を結んでなる三角形が正三角形となるように配置したが、これに限るものではなく、3個のボールが直線状に並ぶことが無ければ、同一平面内で、どのように配置しても良い。
【0027】
【発明の効果】
ボール6の径が互いに多少異なっていても、ボール受け板9がボール6の径に応じて、3点で接するよう自由に傾く。また、ボール受け板9の傾きに対して、ボール受け板9の皿穴10と球先ボルト11の先端の球状部分とが傾き自在に接する。従って、上記ボール6の径に違いがあったとしても、3点が均等な荷重を受けるように自動的に調整されるので、移動台2とその移動台2に一体に連結する板状部材5の、高精度で安定した移動が実現できる。また、交番荷重に対応したステージ装置において、ステージ装置を本実施例のような構造とすることにより、高精度の加工を最小限に押さえ、装置全体の価格の上昇を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のステージ装置の平面図である。
【図2】本発明の第1の実施例に係るステージ装置であって、図1のA−A断面図である。
【図3】移動台または、板状部材とベースの界面の詳細な構造を示す図である。
【図4】本発明の第2の実施例に係るステージ装置であって、図1のA−A断面図である。
【図5】図1のA−A断面図であって、偏心荷重を受けた場合を示す図である。
【図6】交番荷重に対応した、従来のステージ装置の上面図である。
【図7】図6の分解斜視図である。
【図8】図7の部分拡大図である。
【符号の説明】
1 マスクステージ
2 移動台
3 ベース
4 駆動装置(駆動機素)
5 板状部材
6 ボール
7 ボール保持板
8 移動制限枠
9 ボール受け板
10 皿穴
11 球先ボルト
11a 調整用の球先ボルト
11b 与圧用の球先ボルト
12 スペーサ
13 支持板
14 接続シャフト
15 継手
20 ロックナット
Claims (2)
- ベースを、ボールを介して移動台とその移動台に一体に連結する板状部材により挟み、該ボールの転がりによって、該移動台が平面内で移動するステージ装置において、
上記ベースの少なくとも一面側の3箇所に、回転自在に保持された各3個の上記ボールを設け、
上記各3個のボールと移動台及び/または板状部材の間に、ボール受け板を設け、
上記ボール受け板と向い合う上記移動台及び/または上記板状部材に、上記ボール受け板を押圧する支持軸を設けたことを特徴とするステージ装置 - 前記支持軸は、先端部に球面を有する突起体であり、
前記ボール受け板の上記突起体に押圧される位置に、穴を設けたことを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。
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