JPH07122624A - ウェハのプリアライメント装置 - Google Patents
ウェハのプリアライメント装置Info
- Publication number
- JPH07122624A JPH07122624A JP26932093A JP26932093A JPH07122624A JP H07122624 A JPH07122624 A JP H07122624A JP 26932093 A JP26932093 A JP 26932093A JP 26932093 A JP26932093 A JP 26932093A JP H07122624 A JPH07122624 A JP H07122624A
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- wafer
- shaft
- base
- slide base
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】外形誤差の影響なしにウェハの中心線を正確に
位置決めする。 【構成】メインベース１にサブベース３が固定され、ウ
ェハ台５上にウェハ４のオリエンテーションフラットよ
り短いピッチで２本の位置決めピン６が設けられメイン
ベース１のガイド７にスライドベース８が案内され、位
置決めピン６と中心線が一致する２本の押圧シャフト９
がスライドベース８に軸支されたシャフト１１に固定さ
れ、シャフト１１とスライドベース８はメインベース１
との間に設けられたバネ１３により付勢され、押圧シャ
フト９でウェハ台上のウェハのオリエンテーションフラ
ットを位置決めピンに押し当てる。回り止めブロック１
５でウェハの位置決め時の押圧シャフト９の角度を決
め、シリンダ１７でスライドベース８を押すとシャフト
１１に固定の回転ブロック２０にメインベース１に固定
のつき当てネジ１９がつき当たり押圧シャフト９を傾け
る。
位置決めする。 【構成】メインベース１にサブベース３が固定され、ウ
ェハ台５上にウェハ４のオリエンテーションフラットよ
り短いピッチで２本の位置決めピン６が設けられメイン
ベース１のガイド７にスライドベース８が案内され、位
置決めピン６と中心線が一致する２本の押圧シャフト９
がスライドベース８に軸支されたシャフト１１に固定さ
れ、シャフト１１とスライドベース８はメインベース１
との間に設けられたバネ１３により付勢され、押圧シャ
フト９でウェハ台上のウェハのオリエンテーションフラ
ットを位置決めピンに押し当てる。回り止めブロック１
５でウェハの位置決め時の押圧シャフト９の角度を決
め、シリンダ１７でスライドベース８を押すとシャフト
１１に固定の回転ブロック２０にメインベース１に固定
のつき当てネジ１９がつき当たり押圧シャフト９を傾け
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウェハのプリアライメ
ント装置、特に半導体の製造工程においてウェハを位置
決めするためのウェハのプリアライメント装置に関す
る。
ント装置、特に半導体の製造工程においてウェハを位置
決めするためのウェハのプリアライメント装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来のウェハのプリアライメント
装置の斜視図、図５（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ平面図
及びＡＡ’断面図である。このウェハのプリアライメン
ト装置は、ベース２１とベース２１上に設けられたウェ
ハ台５と、ベース２１上に設けられたウェハ４を位置決
めする位置決めピン６と、位置決めピン６に対してウェ
ハ４を押圧する押圧ピン２２とを備えている。概略位置
決めされてウェハ台５に置かれたウェハ４を、押圧ピン
２２により位置決めピン６と押圧し、ウェハ４の外形に
合わせて位置決めを行なう。
装置の斜視図、図５（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ平面図
及びＡＡ’断面図である。このウェハのプリアライメン
ト装置は、ベース２１とベース２１上に設けられたウェ
ハ台５と、ベース２１上に設けられたウェハ４を位置決
めする位置決めピン６と、位置決めピン６に対してウェ
ハ４を押圧する押圧ピン２２とを備えている。概略位置
決めされてウェハ台５に置かれたウェハ４を、押圧ピン
２２により位置決めピン６と押圧し、ウェハ４の外形に
合わせて位置決めを行なう。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のウェハ
のプリアライメント装置は、ウェハ４のオリエンテーシ
ョンフラットの中心を通る中心線に対し位置決めピン６
及び押圧ピン２２が対称に位置していないため、ウェハ
の外形誤差によりウェハの中心線を正確に定位置に位置
決めできずウェハの中心線に対象に形成されたパターン
を正確に位置決めできないという欠点があった。
のプリアライメント装置は、ウェハ４のオリエンテーシ
ョンフラットの中心を通る中心線に対し位置決めピン６
及び押圧ピン２２が対称に位置していないため、ウェハ
の外形誤差によりウェハの中心線を正確に定位置に位置
決めできずウェハの中心線に対象に形成されたパターン
を正確に位置決めできないという欠点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明のウェハのプリア
ライメント装置は、メインベースと、このメインベース
に対し固定され概略位置決めされたウェハを上部に置く
ウェハ台と、このウェハ台上に設けられこのウェハ台上
に位置決めされたウェハのオリエンテーションフラット
に当接する２本の位置決めピンと、メインベースに設け
られているガイドに案内されて前記２本の位置決めピン
の中心線と平行な方向に直線移動するスライドベース
と、このスライドベースに軸支され前記ウェハ台上に位
置決めされたウェハのオリエンテーションフラットに平
行なシャフトと、このシャフトに設けられ前記位置決め
ピンと中心線を一致させて前記ウェハ台上のウェハを押
して位置決めするための押圧シャフトと、この押圧シャ
フトが前記ウェハ台上のウェハを押すように前記シャフ
トを回転させると共に前記スライドベースを移動させる
ように付勢するバネ手段と、前記押圧シャフトが前記ウ
ェハ台上に位置決めされたウェハに対して垂直になるよ
うに前記バネ手段に付勢された前記シャフトの回転を止
める回り止め手段とにより構成される。
ライメント装置は、メインベースと、このメインベース
に対し固定され概略位置決めされたウェハを上部に置く
ウェハ台と、このウェハ台上に設けられこのウェハ台上
に位置決めされたウェハのオリエンテーションフラット
に当接する２本の位置決めピンと、メインベースに設け
られているガイドに案内されて前記２本の位置決めピン
の中心線と平行な方向に直線移動するスライドベース
と、このスライドベースに軸支され前記ウェハ台上に位
置決めされたウェハのオリエンテーションフラットに平
行なシャフトと、このシャフトに設けられ前記位置決め
ピンと中心線を一致させて前記ウェハ台上のウェハを押
して位置決めするための押圧シャフトと、この押圧シャ
フトが前記ウェハ台上のウェハを押すように前記シャフ
トを回転させると共に前記スライドベースを移動させる
ように付勢するバネ手段と、前記押圧シャフトが前記ウ
ェハ台上に位置決めされたウェハに対して垂直になるよ
うに前記バネ手段に付勢された前記シャフトの回転を止
める回り止め手段とにより構成される。
【０００５】本発明のウェハのプリアライメント装置
は、スライドベースを位置決めピンから離れるように移
動させるシリンダ手段と、メインベースに固定され前記
スライドベースが前記シリンダ手段に移動させられた時
にシャフトに固定された回転ブロックに当接して前記シ
ャフトを回転させ押圧シャフトを前記ウェハ台上のウェ
ハが置かれる位置から遠ざけるように傾けるつき当て手
段を有する。
は、スライドベースを位置決めピンから離れるように移
動させるシリンダ手段と、メインベースに固定され前記
スライドベースが前記シリンダ手段に移動させられた時
にシャフトに固定された回転ブロックに当接して前記シ
ャフトを回転させ押圧シャフトを前記ウェハ台上のウェ
ハが置かれる位置から遠ざけるように傾けるつき当て手
段を有する。
【０００６】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
【０００７】図１は、本発明の一実施例を示す斜視図で
ある。メインベース１と、メインベース１に支柱２によ
り支持されているサブベース３と、サブベース３に設け
られ、あらかじめ概略位置決めされたウェハ４を上部に
置くウェハ台５と、ウェハ台５上にオリエンテーション
フラットより短いピッチで設けられている２本の位置決
めピン６と、メインベース１に設けられているガイド７
により案内されて方向Ｂにスライドするスライドベース
８と、２本の位置決めピン６と中心線を一致させ、ウェ
ハ４を位置決めピン６に押し付けて位置決めする２本の
押圧シャフト９と、スライドベース８に固定された支持
ブロック１０と、押圧シャフト９が固定され支持ブロッ
ク１０により軸支されているシャフト１１と、押圧シャ
フト９と同じ向きにシャフト１１に取り付けられメイン
ベース１に設けられているテンションネジ１２との間を
圧縮バネ１３により結ばれているポスト１４と、シャフ
ト１１の端部に設けられている回り止めブロック１５
と、回り止めブロック１５に当接する回転位置決めネジ
１６と、スライドベース８の端部に固定されたスライド
ブロック１８と、メインベース１に取り付けられスライ
ドブロック１８を押してスライドベース８をスライドさ
せるシリンダ１７と、押圧シャフト９と同じ向きでシャ
フト１１に取り付けられ回転ブロック２０と、メインベ
ース１に取り付けられているつき当てネジ１９とを備え
ている。
ある。メインベース１と、メインベース１に支柱２によ
り支持されているサブベース３と、サブベース３に設け
られ、あらかじめ概略位置決めされたウェハ４を上部に
置くウェハ台５と、ウェハ台５上にオリエンテーション
フラットより短いピッチで設けられている２本の位置決
めピン６と、メインベース１に設けられているガイド７
により案内されて方向Ｂにスライドするスライドベース
８と、２本の位置決めピン６と中心線を一致させ、ウェ
ハ４を位置決めピン６に押し付けて位置決めする２本の
押圧シャフト９と、スライドベース８に固定された支持
ブロック１０と、押圧シャフト９が固定され支持ブロッ
ク１０により軸支されているシャフト１１と、押圧シャ
フト９と同じ向きにシャフト１１に取り付けられメイン
ベース１に設けられているテンションネジ１２との間を
圧縮バネ１３により結ばれているポスト１４と、シャフ
ト１１の端部に設けられている回り止めブロック１５
と、回り止めブロック１５に当接する回転位置決めネジ
１６と、スライドベース８の端部に固定されたスライド
ブロック１８と、メインベース１に取り付けられスライ
ドブロック１８を押してスライドベース８をスライドさ
せるシリンダ１７と、押圧シャフト９と同じ向きでシャ
フト１１に取り付けられ回転ブロック２０と、メインベ
ース１に取り付けられているつき当てネジ１９とを備え
ている。
【０００８】スライドベース８がシリンダー１７により
押されバネ１３に抗してサブベース３から離れる方向に
押されると回転ブロック２０の下部がつき当てネジ１９
に当接して押圧シャフト９，シャフト１１及び回り止め
ブロック１５が方向Ｃに回転する。回転ブロック２０の
下部がつき当てネジ１９に当接していないときは、シャ
フト１１はバネ１３により方向Ｃの逆の方向の力を受け
るが回り止めブロック１５の下部が回転位置決めネジ１
６に当接して固定され、このときに押圧シャフト９はメ
インベース１に対し垂直に向いて保持される。
押されバネ１３に抗してサブベース３から離れる方向に
押されると回転ブロック２０の下部がつき当てネジ１９
に当接して押圧シャフト９，シャフト１１及び回り止め
ブロック１５が方向Ｃに回転する。回転ブロック２０の
下部がつき当てネジ１９に当接していないときは、シャ
フト１１はバネ１３により方向Ｃの逆の方向の力を受け
るが回り止めブロック１５の下部が回転位置決めネジ１
６に当接して固定され、このときに押圧シャフト９はメ
インベース１に対し垂直に向いて保持される。
【０００９】図２は本実施例のウェハを搭載する時を示
す側面図であり、図３は本実施例のウェハのプリアライ
メント時を示す側面図である。
す側面図であり、図３は本実施例のウェハのプリアライ
メント時を示す側面図である。
【００１０】図２に示すようにシリンダ１７によりスラ
イドブロック１８を押込むとスライドベース８がスライ
ドし、シャフト１１に設けられた回転ブロック２０につ
き当てネジ１９が当り、押圧シャフト９が傾き、ハンド
２３によるウェハ４の搭載の妨げにならないようにし、
あらかじめ概略位置決めされたウェハ４を搭載する。次
にシリンダ１７が戻り、メインベース１に設けられてい
るテンションネジ１２とポスト１４の間のバネ１３によ
り、２本の位置決めピン６と中心線が一致している２本
の押圧シャフト９がウェハ４と垂直になるまで回転し、
ウェハ４と垂直を保った状態でオリエンテーションフラ
ットが位置決めピン６に押しつけられるまでウェハ４を
押込みプリアライメントを行なう。またこの時、２本の
押圧シャフト９は２本の位置決めピン６と中心線が一致
しているため、ウェハ４の中心線が位置決めピン６およ
び押圧シャフト９の中心線と一致するようにウェハ４が
位置決めされる。
イドブロック１８を押込むとスライドベース８がスライ
ドし、シャフト１１に設けられた回転ブロック２０につ
き当てネジ１９が当り、押圧シャフト９が傾き、ハンド
２３によるウェハ４の搭載の妨げにならないようにし、
あらかじめ概略位置決めされたウェハ４を搭載する。次
にシリンダ１７が戻り、メインベース１に設けられてい
るテンションネジ１２とポスト１４の間のバネ１３によ
り、２本の位置決めピン６と中心線が一致している２本
の押圧シャフト９がウェハ４と垂直になるまで回転し、
ウェハ４と垂直を保った状態でオリエンテーションフラ
ットが位置決めピン６に押しつけられるまでウェハ４を
押込みプリアライメントを行なう。またこの時、２本の
押圧シャフト９は２本の位置決めピン６と中心線が一致
しているため、ウェハ４の中心線が位置決めピン６およ
び押圧シャフト９の中心線と一致するようにウェハ４が
位置決めされる。
【００１１】
【発明の効果】本発明のウェハのプリアライメント装置
は、外形誤差のあるウェハであろうと、ウェハの中心線
を正確に位置決めできるという効果がある。
は、外形誤差のあるウェハであろうと、ウェハの中心線
を正確に位置決めできるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す斜視図である。
【図２】図１に示す実施例のウェハを搭載する時の側面
図である。
図である。
【図３】図１に示す実施例のウェハをプリアライメント
時の側面図である。
時の側面図である。
【図４】従来のウェハのプリアライメント装置の斜視図
である。
である。
【図５】（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ従来のウェハのプ
リアライメント装置の平面図及び断面図である。
リアライメント装置の平面図及び断面図である。
１ メインベース ２ 支柱 ３ サブベース ４ ウェハ ５ ウェハ台 ６ 位置決めピン ７ ガイド ８ スライドベース ９ 押圧シャフト １０ 支持ブロック １１ シャフト １２ テンションネジ １３ バネ １４ ポスト １６ 回転位置決めネジ １７ シリンダ １８ スライドブロック １９ つき当てネジ ２０ 回転ブロック ２１ ベース ２２ 押圧ピン
Claims (2)
- 【請求項１】 メインベースと、このメインベースに対
し固定され概略位置決めされたウェハを上部に置くウェ
ハ台と、このウェハ台上に設けられこのウェハ台上に位
置決めされたウェハのオリエンテーションフラットに当
接する２本の位置決めピンと、メインベースに設けられ
ているガイドに案内されて前記２本の位置決めピンの中
心線と平行な方向に直線移動するスライドベースと、こ
のスライドベースに軸支され前記ウェハ台上に位置決め
されたウェハのオリエンテーションフラットに平行なシ
ャフトと、このシャフトに設けられ前記位置決めピンと
中心線を一致させて前記ウェハ台上のウェハを押して位
置決めするための押圧シャフトと、この押圧シャフトが
前記ウェハ台上のウェハを押すように前記シャフトを回
転させると共に前記スライドベースを移動させるように
付勢するバネ手段と、前記押圧シャフトが前記ウェハ台
上に位置決めされたウェハに対して垂直になるように前
記バネ手段に付勢された前記シャフトの回転を止める回
り止め手段とを含むことを特徴とするウェハのプリアラ
イメント装置。 - 【請求項２】 スライドベースを位置決めピンから離れ
るように移動させるシリンダ手段と、メインベースに固
定され前記スライドベースが前記シリンダ手段に移動さ
せられた時にシャフトに固定された回転ブロックに当接
して前記シャフトを回転させ押圧シャフトを前記ウェハ
台上のウェハが置かれる位置から遠ざけるように傾ける
つき当て手段を有する請求項１記載のウェハのプリアラ
イメント装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26932093A JPH07122624A (ja) | 1993-10-28 | 1993-10-28 | ウェハのプリアライメント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26932093A JPH07122624A (ja) | 1993-10-28 | 1993-10-28 | ウェハのプリアライメント装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07122624A true JPH07122624A (ja) | 1995-05-12 |
Family
ID=17470715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26932093A Pending JPH07122624A (ja) | 1993-10-28 | 1993-10-28 | ウェハのプリアライメント装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07122624A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100481277B1 (ko) * | 2002-05-10 | 2005-04-07 | 한국디엔에스 주식회사 | 반도체 제조 장치 및 방법 |
| CN100449408C (zh) * | 2004-09-06 | 2009-01-07 | 东京毅力科创株式会社 | 基板处理装置和基板定位装置 |
| CN106493660A (zh) * | 2016-12-15 | 2017-03-15 | 重庆道同动力机械设备有限公司 | 一种发动机活塞夹持工装 |
| JP2017076679A (ja) * | 2015-10-14 | 2017-04-20 | ローツェ株式会社 | テープフレーム搬送のためのエンドエフェクタ、及びこれを備える搬送ロボット |
| CN109623412A (zh) * | 2018-12-21 | 2019-04-16 | 合肥南方汽车零部件有限公司 | 一种应用于平衡轴支撑块的组合钻孔工装及设备 |
| CN112050041A (zh) * | 2020-08-06 | 2020-12-08 | 北京惠风联合防务科技有限公司 | 一种单框架位标器装置 |
| CN117316848A (zh) * | 2023-09-18 | 2023-12-29 | 上海诺银机电科技有限公司 | 一种多功能晶圆定位装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01102841A (ja) * | 1987-10-14 | 1989-04-20 | Toshiba Corp | 画像形成方法 |
| JPH01220454A (ja) * | 1988-02-27 | 1989-09-04 | Nitto Denko Corp | フレームアライメント装置 |
| JPH028039B2 (ja) * | 1986-06-06 | 1990-02-22 | Sankyo Alu Ind | |
| JPH04274343A (ja) * | 1991-03-01 | 1992-09-30 | Fujitsu Ltd | 半導体ウエーハの位置決め装置と位置決め方法 |
-
1993
- 1993-10-28 JP JP26932093A patent/JPH07122624A/ja active Pending
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| CN112050041B (zh) * | 2020-08-06 | 2022-01-25 | 北京惠风联合防务科技有限公司 | 一种单框架位标器装置 |
| CN117316848A (zh) * | 2023-09-18 | 2023-12-29 | 上海诺银机电科技有限公司 | 一种多功能晶圆定位装置 |
| CN117316848B (zh) * | 2023-09-18 | 2024-04-26 | 上海诺银机电科技有限公司 | 一种多功能晶圆定位装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19970520 |