JPH0212067Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、ウエハ固定装置の位置決め装置に関
する。

従来、電子ビーム露光装置等に設けられたウエ
ハ固定装置は、次のような機構によつてウエハの
位置決めを行つている。ウエハ固定装置の本体に
設けられた基板の表面に接着剤を塗布し、その上
にウエハ載置する。次いで、基板の周辺近傍に設
けられた位置決めブロツクに、押しねじによつて
ウエハの位置がずれないようにウエハを押し付け
る。然る後、基板の中央部に設けられた真空チヤ
ツク内を減圧状態にしてウエハを基板に吸着固定
する。而して、真空チヤツクによつてウエハを基
板面に引き寄せると、ウエハが基板面に対して完
全に平行に載置されていない場合には、ウエハが
平行になろうとする際に接着剤が厚さ分の幅内で
ウエハの局部的な上下移動が起きるが、このと
き、位置決めブロツクはウエハの周辺を前記のよ
うに押し付けているため、ウエハの周面に局部的
に大きな力が加わり、ウエハは基板面に対して完
全に平行な状態で固定されない。著しい場合には
ウエハの端面を破損する等の問題があつた。

本考案は、かかる点に鑑みてなされたもので、
ウエハの破損を防止して高い位置決め精度でウエ
ハを基板面に対してほぼ完全に平行な状態に固定
することができるウエハ固定装置の位置決め装置
を提供するものである。

以下、本考案の実施例について図面を参照して
詳細に説明する。

第１図は、本考案の一実施例の平面図である。
図中１は、ウエハ固定装置の本体である。本体１
の図示しない真空チヤツク上にはウエハ２が固定
される基板３が取外し可能に載置されている。基
板３は２角を円弧状に切欠いた形状をなしてお
り、この切欠部３ａの端部に対向して設けられた
押出ねじ４とこれに対向する基板３の側面側に設
けられた固定ブロツク５によつて所定位置に固定
されるようになつている。固定ブロツク５間に
は、所定間隔で例えばベアリングなどの円柱状
（角形でもよい）の位置決めブロツク６が立設さ
れている。また、位置決めブロツク６に対向して
切欠部３ｂの近傍にも位置決めブロツク６が立設
されている。第１図において、押出ねじ４の後の
本体１上には軸７が回転可能に立設されている。
軸７は、本体１内の挿入孔１ｂにその下部７ａを
挿入して下部７ａに巻装されたねじりばね８によ
つて第１図において時計方向に回転するように付
勢されている。本体１から上部に突出した回転軸
７の上部７ｂには、旋回ホルダー９の一端部が軸
支されている。旋回ホルダ９の他端部には、旋回
量を規制する旋回量規制ピン１０が貫挿されてい
る。旋回量規制ピン１０の下端部１０ａは、本体
１に穿設されたガイド溝１ｃ内に嵌入されてい
る。また、旋回ホルダ９には基板３に対向するよ
うにしてマイクロメータ基体１１が貫挿されてい
る。マイクロメーク基体１１には、そのスピンド
ル１１ａが基板３上に載置されたウエハ２を位置
決め部材６に向けて押圧するようになつている。
スピンドル１１ａの先端部にはウエハ２の周面に
当接されるベアリング１２が回転自在に取付けら
れている。前記スピンドル１１ａは、マイクロメ
ーク基体１１の後部に設けられたつまみ１１ｂを
回転することにより通常のマイクロメータのスピ
ンドルとほぼ同じ機構にて出入のみが行なわれ、
ベアリング１２がウエハ２を押圧する際の挙動お
よび押圧力を微妙に調整できるようになつてい
る。

而して、このように構成されたウエハ固定装置
の位置決め装置１３は、次のようにしてウエハ２
の位置決めを行う。まず、押出ねじ４の押出し量
を調節して基板３を固定ブロツク５に押し付けて
所定位置に設定しておく。次いで、所定量の接着
剤を基板３上に塗布した後、ウエハ２のオリエン
テーシヨンフラツト面（切欠面）２ａが固定ブロ
ツク５間に設けられた位置決め部材６に当接し、
かつ、ウエハ２の周面が残りの位置決め部材６に
当接するようにして接着剤上にウエハ２を載置す
る。次に、マイクロメータ基体１１の後部のつま
み１１ｂを回転させて、ベアリング１２をウエハ
２の周面に押当てる。このとき、ベアリング１２
に作用する反力により、旋回ホルダ９はねじりば
ね８に抗して反時計方向（第１図において）へ旋
回し、前記つまみ１１ｂをさらに回転させ続ける
と、ついには旋回量規制ピン１０がガイド溝１ｃ
の後端に当接し、それ以上旋回ホルダ９およびマ
イクロメーク基体１１がウエハ２から遠ざかるこ
とを阻止する。この状態でわずかにつまみ１１ｂ
を回転させれば、ベアリング１２はねじりばね８
の強さには関係なく、つまみ１１ｂの回転に伴な
う押付け力にてウエハ２の周面を押圧し、該ウエ
ハ２を３つの位置決め部材６に押付け、位置決め
する。すなわち、この位置決め時には、旋回ホル
ダ９およびマイクロメーク基体１１は、固定され
たと同じ状態に置かれ、マイクロメーク機構を利
用したつまみ１１ｂとその回転によるベアリング
１２の微妙な移動によつて、ウエハ２を損傷する
ことなく、的確に位置決めすることが可能とな
る。こうして、位置決めしたならば、つまみ１１
ｂをわずかに緩め、旋回量規制ピン１０とガイド
溝１ｃの後端との間にわずかな間隙を生じさせる
ようにする。このようにすることにより、以後ベ
アリング１２はねじりばね８の付勢力にてウエハ
２を押圧し続けることになる。然る後、基板３の
中央部に設けられた真空チヤツク（図示せず）を
減圧状態にしてウエハ２を基板面に吸引して固定
する。この吸引により、ウエハ２は、全体的にわ
ずかに下降しようとし、さらにこのウエハ２が基
板面に平行に載置されていない場合には、局部的
に比較的大きく下降しようとする。このとき、旋
回ホルダ９、ベアリング１２の押付け力は、ねじ
りばね８によつて定められた所定の値になされて
いるため、ウエハ２は破損することなく、円滑に
下降して基板１上に吸着固定される。

以上説明した如く、本発明に係るウエハ固定装
置の位置決め装置によれば、マイクロメータ基体
のスピンドルによつて最適の押圧力でウエハを位
置決め部材に押し付けて、しかも、マイクロメー
タ基体を旋回自在にしてばね部材で付勢された旋
回ホルダに取付けたので、ウエハの破損を防止し
て高い位置決め精度でウエハを基板面に対してほ
ぼ完全に平行な状態に固定できるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の一実施例の平面図、第２図
は、同実施例の−線に沿う断面図である。 １……本体、２……ウエハ、３……基板、４…
…押出ねじ、５……固定ブロツク、６……位置決
め部材、７……軸、８……ねじりばね、９……旋
回ホルダ、１０……旋回量規制ピン、１１……マ
イクロメータ基体、１１ａ……スピンドル、１２
……ベアリング、１３……ウエハ固定装置の位置
決め装置。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ウエハ固定装置本体上の所定位置に設置され
   た基板上の所定位置に接着剤を介在させてウエ
   ハを載置し、該ウエハを前記基板に真空吸着さ
   せて前記接着剤を挟圧して前記ウエハを前記基
   板に固定するウエハ固定装置の前記ウエハの位
   置決め装置において、 前記基板上に載置されるウエハのオリエーテ
   ンシヨンフラツト面の２点および同フラツト面
   に続く円周外縁上の中央部より一側寄りの１点
   にそれぞれ当接可能に前記ウエハ固定装置本体
   に立設された複数の位置決め部材と、 マイクロメーク基体を保持し同マイクロメー
   タ基体のスピンドルの先端が前記ウエハの円周
   外縁上の中央より他側寄りの位置に当接するよ
   うに前記ウエハ固定装置本体上に配置されると
   共に前記ウエハの表面にほぼ垂直な軸によつて
   所定角度のみ施回可能になされた旋回ホルダ
   と、 前記スピンドルの先端をウエハの外周縁に向
   けて押圧すべく前記旋回ホルダを前記ウエハ固
   定装置本体に対して前記垂直な軸回りに付勢す
   るばね部材と を具備することを特徴とするウエハ固定装置の
   位置決め装置。 (2) 旋回ホルダに旋回量規制ピンが貫挿されてお
   り、該旋回量規制ピンの先端部が移動するガイ
   ド溝がウエハ固定装置本体に穿設されている実
   用新案登録請求の範囲第１項記載のウエハ固定
   装置の位置決め装置。