JPH10116882A - ウェハ位置決め装置および方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、ウェハ中心を正確に位置決めでき、
しかも、サイズの異なるウェハにも簡単に対応できるウ
ェハ位置決め装置および方法を提供する。 【解決手段】ウェハ３７（３８）に対して直線移動可能
に設けられたサブベース３０をウェハ３７（３８）方向
に前進動作させ、オリフラピン３４１、３４２またはノ
ッチピン３５によりウェハ３７（３８）のオリフラ３７
１またはノッチ３８１を位置決めした後、サブベース１
２、１３をウェハ３７（３８）方向に前進動作させ、芯
出しピン２７１、２７２および２８１、２８２をウェハ
３７（３８）周縁に押圧力を作用させてウェハの中心位
置決めをする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体の検査工程
において、ウェハの位置決めを行うウェハ位置決め装置
および方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体の検査工程において、ウェ
ハの位置決めを行うウェハ位置決め装置として、図８に
示すようにベース１上に位置決め用ピン２ａ、２ｂ、２
ｃとともに、押圧ピン３を設け、予めプリアライメント
されたウェハ４を、そのオリフラ４ａを位置決め用ピン
２ａ、２ｂに当接させるようにベース１上に供給し、こ
の状態で、押圧ピン３によりウェハ４を位置決め用ピン
２ａ、２ｂ、２ｃ側に押圧することで、ウェハ４を所定
位置に位置決めするようにしたものが特公平５−５２０
６５号公報に開示されている。また、図９に示すように
ベース５上に位置決め用ピン６ａ、６ｂ、６ｃととも
に、押圧部材７、８を設け、予めプリアライメントされ
たウェハ９をベース５上に供給すると、まず、押圧部材
７により、ウェハ９のオリフラ９ａを位置決め用ピン６
ａ、６ｂ側に押圧し、さらに押圧部材８によりウェハ９
を位置決め用ピン６ｃ側に押圧することで、ウェハ９を
所定位置に位置決めするように特公昭６１−３０４２０
号公報に開示されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、これらの構
成によると、位置決め基準となる位置決め用ピン２ａ、
２ｂ（６ａ、６ｂ）は、固定されているので、例えば、
ウェハ４（９）のオリフラ４ａ（９ａ）の切り込み誤差
やウェハ４（９）のサイズのバラツキなどにより、ベー
ス１（５）上のウェハ４（９）の中心位置がずれること
がある。そして、このようなウェハ中心位置にずれが発
生すると、その後、ウェハ検査により欠陥部などの位置
を座標データとして取り込むような場合、座標の基準点
をウェハ中心としているため、座標データが正確でなく
なり、さらに、ウェハを回転させて検査を行うような場
合も、ウェハ中心のずれにより欠陥位置の座標データが
正確でなくなり、このことから、その後に、座標データ
に基づいてウェハ上の欠陥部の位置を取り出そうとして
も、この位置を再現できないという問題があった。

【０００４】また、サイズの異なるウェハ４（９）を取
り扱う場合は、その都度、位置決め用ピン２ａ、２ｂ
（６ａ、６ｂ）の位置を移動させなければならず、その
ための作業が面倒になるとともに、これら位置決め用ピ
ン２ａ、２ｂ（６ａ、６ｂ）の移動作業により、埃など
が周囲に飛散し、これがウェハ４（９）の汚染原因にな
るという問題もあった。

【０００５】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、ウェハ中心を正確に位置決めでき、しかも、サイズ
の異なるウェハにも簡単に対応できるウェハ位置決め装
置および方法を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
ウェハが供給されるベースと、このベースに供給された
ウェハに対して直線移動可能に設けられ、前記ウェハの
オリフラまたはノッチを位置決めする第１の位置決め手
段と、予め設定された中心位置に対して同じ距離関係で
移動可能に設けられ、前記第１の位置決め手段によりオ
リフラまたはノッチを位置決めされたウェハの周縁を少
なくとも３点で挟持してウェハの中心位置決めをする第
２の位置決め手段とにより構成している。

【０００７】請求項２記載の発明は、請求項１記載にお
いて、前記第２の位置決め手段は、前記ウェハに対して
同じ距離関係で直線移動される複数組の芯出しピンを有
し、これら複数組の芯出しピンのウェハ方向の直線動作
により、ウェハの周縁を各芯出しピンで挟持して前記ウ
ェハの中心に位置決めしている。

【０００８】請求項３記載の発明は、ベースに供給され
たウェハに対して直線移動される第１の位置決め手段に
より該ウェハのオリフラまたはノッチを位置決めした
後、該オリフラまたはノッチを位置決めされたウェハに
対し第２の位置決め手段によりウェハ中心を位置決めし
ている。

【０００９】この結果、請求項１記載の発明によれば、
ウェハに対して直線移動可能な第１の位置決め手段によ
り、ウェハのオリフラまたはノッチを位置決めした状態
で、第２の位置決め手段によりウェハの周縁を挟持して
中心位置決めができるので、サイズの異なるウェハにつ
いても、該ウェハのオリフラまたはノッチの位置決めを
正確に行うことができる。

【００１０】請求項２記載の発明によれば、第１の位置
決め手段によりオリフラまたはノッチを位置決めされた
ウェハについて、さらに第２の位置決め手段による複数
組の芯出しピンのウェハ方向の直線移動によりウェハ位
置を所定位置に位置決めできる。

【００１１】請求項３記載の発明によれば、ウェハのオ
リフラまたはノッチの位置決めと、ウェハ中心の所定位
置への位置決めを連続的に実行できるので、かかる位置
決め作業を効率よく行うことができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従い説明する。 （第１の実施の形態）図１（ａ）（ｂ）は、本発明が適
用されるウェハ位置決め装置の概略構成を示している。
なお、このウェハ位置決め装置は、オリフラを有するオ
リフラウェハとノッチを有するノッチウェハに、それぞ
れ対応できるものを示している。

【００１３】図において、１１はベースで、このベース
１１上には、一対のサブベース１２、１３を対峙して配
置している。この場合、サブベース１２は、ガイド１４
を介してガイドレール１５に設けられ、また、サブベー
ス１３もガイド１６を介してガイドレール１７に設けら
れている。この場合、これらガイドレール１５、１７
は、ベース１１上に一直線に所定間隔をおいて配置さ
れ、これらガイドレール１５、１７に沿って、それぞれ
サブベース１２、１３を直線移動可能にしている。

【００１４】そして、これらサブベース１２、１３に
は、これらサブベース１２、１３を同じ距離の関係で前
進後退させるためのサブベース駆動機構１８を設けてい
る。このサブベース駆動機構１８は、モータ１９の回転
軸に、回転中心を偏心したカム２０を設け、このカム２
０に、リンク支点２１１に回動自在に支持されたレバー
２１のカムフォロア２１２を当接している。このレバー
２１は、モータ１９によるカム２０の回転によりリンク
支点２１１を中心に回動動作するようになっている。そ
して、このレバー２１のリンク支点２１１を挾んで相等
しい距離の位置に、それぞれベース１１の下面にほぼ平
行に延びるリンクアーム２２、２３の一端を回動自在に
設け、このうちのリンクアーム２２の他端には、ベース
１１を貫通してベース１１上のサブベース１２に固定さ
れたアーム２４を回動自在に連結し、また、リンクアー
ム２３の他端には、ベース１１を貫通して、同ベース１
１上のサブベース１３に固定されたアーム２５を回転自
在に連結し、さらに、これらアーム２４、２５の間に、
バネ２６を張設して、カム２０の回転にともなうリンク
支点２１１を中心としたカム２０の回動動作により、リ
ンクアーム２２、２３、アーム２４、２５を介してサブ
ベース１２、１３をガイドレール１５、１７に沿って同
じ距離の関係で前進後退させるようにしている。

【００１５】サブベース１２上には、一対の芯出しピン
２７１、２７２を所定間隔をおいて配置し、また、サブ
ベース１３上にも、一対の芯出しピン２８１、２８２を
所定間隔をおいて配置している。この場合、これら芯出
しピン２７１、２７２、２８１、２８２は、図２に示す
ようにサイズの異なるウェハ２９についても、その中心
を同一位置に位置決めするため、各芯出しピン２７１、
２７２、２８１、２８２の中心を結ぶ外形線を長方形Ａ
とし、この長方形Ａの長辺を、ガイドレール１５、１７
と平行に、短辺を、ガイドレール１５、１７と直交する
ようにし、さらに、各芯出しピン２７１、２７２、２８
１、２８２の径を等しくしている。

【００１６】ここで、芯出しピン２７１は、図３に示す
ように軸２７１１の先端部にベアリング２７１２を介し
てローラ状の芯出しピン本体２７１３を回転自在に支持
したもので、このローラ状の芯出しピン本体２７１３周
面によりウェハ２９に接触することで、ウェハ２９に対
する接触抵抗を小さくするようにしている。その他の芯
出しピン２７２、２８１、２８２についても、上述した
芯出しピン２７１と同様に構成している。

【００１７】さらに、サブベース１３上には、芯出しピ
ン２８１、２８２の間にサブベース３０を配置してい
る。このサブベース３０は、ガイド３１を介してガイド
レール３２に設けられている。このガイドレール３２
は、ガイドレール１７に対して平行に配置されたもの
で、このガイドレール３２に沿って、サブベース３０を
サブベース１３の移動方向に沿って、さらに直線移動可
能にしている。この場合、サブベース３０には、バネ３
３を設け、常時、前進方向の弾性力を作用させるように
している。ここで、３３１は、サブベース３０の前進方
向の移動量を規制するストッパである。

【００１８】サブベース３０上には、一対のオリフラピ
ン３４１、３４２を所定間隔をおいて配置し、これらオ
リフラピン３４１、３４２の間にノッチピン３５を設け
ている。この場合、オリフラピン３４１、３４２は、後
述するオリフラウェハ３７のオリフラ３７１を位置決め
するもので、また、ノッチピン３５は、後述するノッチ
ウェハ３８のノッチ３８１を位置決めするものである。
また、これらオリフラピン３４１、３４２およびノッチ
ピン３５は、サブベース１２に向いた側面位置をほぼ面
一にしている。

【００１９】サブベース１２、１３の中間に吸着ウェハ
ステージ３６を設けている。この吸着ウェハステージ３
６上には、後述する位置決めされるウェハ３７（３８）
が供給され、位置決めされたウェハを真空吸着により保
持するようにしている。

【００２０】次に、このように構成した実施の形態の動
作を説明する。まず、オリフラウェハの位置決めを行う
場合を説明する。いま、吸着ウェハステージ３６上に予
めプリアライメントされたオリフラウェハ３７が供給さ
れると、駆動機構１８のモータ１９が駆動され、カム２
０の回転によりレバー２１がリンク支点２１１を中心に
回動動作される。すると、レバー２１の回動にともな
い、リンクアーム２２、アーム２４を介してサブベース
１２が前進動作を開始し、同時に、リンクアーム２３、
アーム２５を介してサブベース１３も前進動作を開始す
る。

【００２１】この状態で、まず、サブベース１２の芯出
しピン２７１、２７２がオリフラウェハ３７の周縁に当
接されるとともに、サブベース３０のオリフラピン３４
１、３４２がオリフラウェハ３７のオリフラ３７１に当
接される（図４（ａ））。この時、オリフラピン３４
１、３４２には、バネ３３による前進方向の弾性力が作
用されているので、オリフラウェハ３７のオリフラ合わ
せが行われる。

【００２２】そして、さらにサブベース１２、１３が中
心点に対して前進移動されると、オリフラピン３４１、
３４２が、オリフラ３７１に接触したまま、サブベース
１３の芯出しピン２８１、２８２がオリフラウェハ３７
の周縁に当接される（図４（ｂ））。

【００２３】すると、これら芯出しピン２７１、２７
２、２８１、２８２の当接により、オリフラウェハ３７
周縁に押圧力が加えられ、各ピン２７１、２７２、２８
１、２８２により挟持される。この時、図２で述べたよ
うに、各芯出しピン２７１、２７２、２８１、２８２の
位置関係は、長方形Ａをなしているので、オリフラウェ
ハ３７は、その中心に位置決めされる。

【００２４】そして、オリフラウェハ３７の中心が位置
決めされた状態で、吸着ウェハステージ３６によりオリ
フラウェハ３７は吸着される。この状態で、さらなるカ
ム２０の回転により、今度は、レバー２１がリンク支点
２１１を中心に上述したと反対方向に回動動作される
と、今度は、リンクアーム２２、アーム２４を介してサ
ブベース１２が中心点に対して後退動作を開始し、同時
に、リンクアーム２３、アーム２５を介してサブベース
１３も後退動作を開始し、これによりサブベース１２の
芯出しピン２７１、２７２およびサブベース１３の芯出
しピン２８１、２８２は、それぞれオリフラウェハ３７
の周縁から離間され、オリフラウェハ３７の位置決めは
完了する（図４（ｃ））。

【００２５】その後は、位置決めされたオリフラウェハ
３７は、吸着ウェハステージ３６に吸着保持された状態
で、図示しないウェハ検査部に移送され、顕微鏡などを
用いたウェハ表面の検査が実行される。

【００２６】次に、ノッチウェハの位置決めを行うに
は、吸着ウェハステージ３６上に予めプリアライメント
されたノッチウェハ３８が供給されると、この場合も、
上述したように駆動機構１８のモータ１９の駆動によ
り、サブベース１２、１３がともに中心点に対して前進
動作を開始する。

【００２７】この状態で、まず、サブベース１２の芯出
しピン２７１、２７２がノッチウェハ３８の周縁に当接
されるとともに、サブベース３０のノッチピン３５がノ
ッチウェハ３８のノッチ３８１に挿入される（図５
（ａ））。この時、ノッチピン３５には、バネ３３によ
る前進方向の弾性力が作用され、ノッチウェハ３８のノ
ッチ３８１に確実に挿入されてノッチ合わせが行われ
る。

【００２８】そして、さらにサブベース１２、１３の前
進が続くと、ノッチピン３５がノッチ３８１に挿入した
まま、さらにサブベース１３の芯出しピン２８１、２８
２がノッチウェハ３８の周縁に当接される（図５
（ｂ））。

【００２９】すると、これら芯出しピン２７１、２７
２、２８１、２８２の当接により、ノッチウェハ３８周
縁に押圧力が加えられ、各ピン２７１、２７２、２８
１、２８２により挟持される。この時も、図２で述べた
ように、各芯出しピン２７１、２７２、２８１、２８２
の位置関係は、長方形Ａをなしているので、オリフラウ
ェハ３７は、その中心点に位置決めされる。そして、ノ
ッチウェハ３８の中心点が位置決めされた状態で、吸着
ウェハステージ３６によりノッチウェハ３８は吸着され
る。

【００３０】この状態で、さらなるカム２０の回転によ
り、今度は、レバー２１がリンク支点２１１を中心に上
述したと反対方向に回動動作されると、今度は、リンク
アーム２２、アーム２４を介してサブベース１２が中心
点に対して後退動作を開始し、同時に、リンクアーム２
３、アーム２５を介してサブベース１３も後退動作を開
始し、これによりサブベース１２の芯出しピン２７１、
２７２およびサブベース１３の芯出しピン２８１、２８
２は、それぞれノッチウェハ３８の周縁から離間され、
ノッチウェハ３８の位置決めは完了する（図５
（ｃ））。

【００３１】その後、位置決めされたノッチウェハ３８
は、吸着ウェハステージ３６に吸着保持された状態で、
図示しないウェハ検査部に移送され、顕微鏡などを用い
たウェハ表面の検査が実行される。

【００３２】従って、このようにすれば、ウェハ３７
（３８）に対して直線移動可能に設けられたサブベース
３０をウェハ３７（３８）方向に弾性的に押圧させ、オ
リフラピン３４１、３４２またはノッチピン３５により
ウェハ３７（３８）のオリフラ３７１またはノッチ３８
１を位置決めした状態で、芯出しピン２７１、２７
２、、２８１、２８２の中心点に対して同じ距離移動さ
せながらウェハ３７（３８）の周縁を挟持して中心位置
決めを行うことで、サイズの異なるウェハに対してオリ
フラ３７１またはノッチ３８１の位置決めと中心位置決
めを正確に行うことができる。これにより、従来のよう
にウェハサイズの変更に伴う位置決めピンの移動などの
煩わしい作業を無くすことができ、これら作業により発
生する埃などが周囲に飛散し、これがウェハを汚染する
ようなことを回避できる。

【００３３】また、オリフラピン３４１、３４２または
ノッチピン３５によりオリフラ３７１またはノッチ３８
１を位置決めされたウェハ３７（３８）について、さら
にサブベース１２、１３をウェハ３７（３８）方向に前
進動作させ、芯出しピン２７１、２７２および２８１、
２８２をウェハ３７（３８）周縁に押圧力を作用させて
ウェハ中心を所定位置に位置決めするようにしたので、
ウェハのオリフラの切り込み誤差やウェハサイズのバラ
ツキがあっても、ウェハ中心を所定位置に正確に位置決
めすることができる。これにより、その後にウェハ検査
により欠陥部などの位置を座標データで取り込むような
場合も、正確なデータを取り込むことができ、これら座
標データに基づき正確な欠陥部の再現を実現できる。

【００３４】さらに、オリフラピン３４１、３４２また
はノッチピン３５の前進動作によるウェハ３７（３８）
のオリフラ３７１またはノッチ３８１の位置決めと、芯
出しピン２７１、２７２および２８１、２８２の前進動
作によるウェハ中心の所定位置への位置決めを連続的に
実行できるので、かかる位置決め作業を効率よく行うこ
とができる。 （第２の実施の形態）第１の実施の形態では、芯出しピ
ン２７１、２７２および芯出しピン２８１、２８２は、
ローラ状の芯出しピン本体の周面にウェハ３７（３８）
を当接した状態で保持するようにしたが、この第２の実
施の形態では、図６に示すように各芯出しピン２７１、
２７２、２８１、２８２の上面に、それぞれ段部２７１
１、２７２１、２８１１、２８２１を形成し、この段部
２７１１、２７２１、２８１１、２８２１にウェハ３７
（３８）周縁を当接させて保持するようにしている。

【００３５】この場合、ウェハ３７（３８）周縁部が載
置される各芯出しピン２７１、２７２、２８１、２８２
の上面は、摩擦の小さなフラットな面に形成している。
このようにしても、ウェハ３７（３８）を安定して保持
した状態で、位置決めを行うことができる。また、サイ
ズの異なるウェハ３７（３８）に対しても対応すること
ができる。 （第３の実施の形態）第１の実施の形態では、サブベー
ス１２、１３の前進後退を駆動するサブベース駆動機構
１８は、リンクとアームの組み合わせにより構成した
が、この第３の実施の形態では、ピニオンとラックによ
り構成している。

【００３６】図７は、第３の実施の形態の概略構成を示
すもので、図１と同一部分には、同符号を付している。
この場合、サブベース１２、１３にそれぞれラック４
１、４２を設けている。これらラック４１、４２は、所
定間隔を介して平行に配置され、これらラック４１、４
２の間にピニオン４３を、各ラック４１、４２に噛合す
るように設けている。この場合、ピニオン４３は、回転
自在な状態で、固定軸に支持されており、ピニオン４３
の固定軸を中心にしてラック４１、４２を同じ距離の関
係で直線移動させるようにしている。また、ラック４１
は、カムフォロア４４を介してモータ１９の回転軸に設
けられたカム２０に当接され、このカム２０の回転によ
り、ラック４１を直線移動するようにしている。

【００３７】なお、４５は、ラック４１のカムフォロア
４４をカム２０に当接させるための弾性力を作用させる
バネである。このような構成によっても、モータ１９の
駆動により、カム２０が回転されると、このカム２０の
回転に応じてラック４１が直線移動され、ピニオン４３
を介してラック４２も同じ距離関係で直線移動され、サ
ブベース１２、１３の前進後退が行われる。

【００３８】従って、このように構成したサブベース駆
動機構１８を用いても、第１の実施の形態で述べたと同
様な位置決め動作が得られ、上述したと同様な効果を期
待できる。

【００３９】なお、上述した各実施の形態では、サブベ
ース駆動機構１８の駆動源としてモータを使用している
が、油圧や圧縮空気などを駆動源として使用することが
できる。また、サブベース駆動機構１８の構成は、上述
した各実施の形態による構成のものに限らず、サブベー
ス１２、１３が同じ距離関係で前進後退できるものであ
れば、他の構成のものを採用してもよい。

【００４０】

【発明の効果】本発明によれば、ウェハに対して直線移
動可能な第１の位置決め手段により、ウェハのオリフラ
またはノッチを位置決めしながら、さらに第２の位置決
め手段による少なくとも３個の芯出しピンのウェハ方向
の移動動作によりウェハ中心位置決めができるので、例
えば、オリフラの切り込み誤差やウェハサイズの大きさ
にかかわらず、ウェハ中心を正確に位置決めすることが
できる。これにより、その後にウェハ検査により欠陥部
などの位置を座標データで取り込むような場合も、正確
なデータを取り込むことができ、これら座標データに基
づき正確な欠陥部の再現を実現できる。

【００４１】さらに、ウェハのオリフラまたはノッチの
位置決めと、ウェハ中心の所定位置への位置決めを連続
的に実行できるので、かかる位置決め作業を効率よく行
うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態によるウェハ位置決
め装置の概略構成を示す図。

【図２】第１の実施の形態による芯出しピンの配置関係
を説明する図。

【図３】第１の実施の形態に用いられる芯出しピンの概
略構成を示す図。

【図４】第１の実施の形態による位置決め動作を説明す
るための図。

【図５】第１の実施の形態による位置決め動作を説明す
るための図。

【図６】本発明の第２の実施の形態の芯出しピンの概略
構成を示す図。

【図７】本発明の第３の実施の形態に用いられるサブベ
ース駆動機構の概略構成を示す図。

【図８】従来のウェハ位置決め装置の一例の概略構成を
示す図。

【図９】従来のウェハ位置決め装置の他例の概略構成を
示す図。

【符号の説明】

１１…ベース、 １２…サブベース、 １３…サブベース、 １４…ガイド、 １５…ガイドレール、 １６…ガイド、 １７…ガイドレール、 １８…サブベース駆動機構、 １９…モータ、 ２０…カム、 ２１…レバー、 ２１１…リンク支点、 ２１２…カムフォロア、 ２２、２３…リンクアーム、 ２４、２５…アーム、 ２６…バネ、 ２７１、２７２…芯出しピン、 ２７１１…軸、 ２７１２…ベアリング、 ２７１３…芯出しピン本体、 ２８１、２８２…芯出しピン、 ２７１１、２７２１、２８１１、 ２８２１…段部、 ２９…ウェハ、 ３０…サブベース、 ３１…ガイド、 ３２…ガイドレール、 ３３…バネ、 ３４１、３４２…オリフラピン、 ３５…ノッチピン、 ３６…吸着ウェハステージ、 ３７…オリフラウェハ、 ３７１…オリフラ、 ３８…ノッチウェハ、 ３８１…ノッチ、 ４１、４２…ラック、 ４３…ピニオン軸、 ４４…カムフォロア。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウェハが供給されるベースと、このベー
   スに供給されたウェハに対して直線移動可能に設けら
   れ、前記ウェハのオリフラまたはノッチを位置決めする
   第１の位置決め手段と、 予め設定された中心位置に対して同じ距離関係で移動可
   能に設けられ、前記第１の位置決め手段によりオリフラ
   またはノッチを位置決めされたウェハの周縁を少なくと
   も３点で挟持してウェハの中心位置決めをする第２の位
   置決め手段とを具備したことを特徴とするウェハ位置決
   め装置。
2. 【請求項２】 前記第２の位置決め手段は、前記ウェハ
   に対して同じ距離関係で直線移動される複数組の芯出し
   ピンを有し、これら複数組の芯出しピンのウェハ方向の
   直線動作によりウェハの周縁を各芯出しピンで挟持して
   前記ウェハの中心に位置決めすることを特徴とする請求
   項１記載のウェハ位置決め装置。
3. 【請求項３】 ベースに供給されたウェハに対して直線
   移動される第１の位置決め手段により該ウェハのオリフ
   ラまたはノッチを位置決めした後、該オリフラまたはノ
   ッチを位置決めされたウェハに対し第２の位置決め手段
   によりウェハ中心を位置決めすることを特徴とするウェ
   ハ位置決め方法。