JP2002267618A - 微小部品の外観検査装置及び該装置の使用方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 作業スペースを確保して不具合処理等の作業
効率を向上することができる微小部品の外観検査装置を
提供する。 【解決手段】 仕分けユニットＵ３は、ガイドブロック
１１、１２が直動ガイドレール２Ｆ、２Ｒに摺動可能に
嵌合し、Ｘ方向にのみスライド移動が可能であり、Ｘ方
向調整機構２８、検査ユニットＵ２及び固定ブロック３
が当接関係になった状態でＸ方向における位置が規定さ
れる。ユニットＵ２とユニットＵ３との間に角チップ９
が詰まった場合等は、ロックレバー５を解除し、ユニッ
トＵ３を右方に移動させることで作業スペースを得る。
その後、ユニットＵ３を左方に移動させてＸ方向調整機
構２８と固定ブロック３とでユニットＵ２を挟み込むよ
うにしてロックレバー５をクランプ状態に戻せば、ユニ
ットＵ３の原位置が自動的に再現される。Ｙ方向及びＺ
方向の微調整は必要に応じて行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術の分野】本発明は、角チップ等の微
小な部品をユニット間で搬送し、その外観等を検査して
良品を識別する微小部品の外観検査装置及び該装置の使
用方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、角チップ等の電子部品のように微
小な部品については、その機能を保証するべく、例えば
外観や寸法を検査して良品と不良品とに仕分けることが
行われている。これらの部品は微小であるため、検査手
法としては例えば、各微小部品を１つ１つ浮遊飛送させ
たところをＣＣＤカメラにてタイミングよく撮像し、そ
の撮像画像から画像処理技術を用いて外観等のチェック
を行うようにしたものが知られている。

【０００３】このような検査手法を実現するための外観
検査装置は、大まかには、検査ユニットに微小部品を受
け渡す部品供給ユニットと、微小部品の外観を検査する
検査ユニットと、検査ユニットから検査済みの微小部品
を受け取り検査結果に応じて仕分ける仕分けユニットと
いう３つのユニットから構成される。これら３つのユニ
ットは、ベース上において、検査ユニットを真ん中とし
て近接配置されて固定され、部品供給ユニットから検査
ユニットを介し仕分けユニットに亘って搬送経路が形成
される。

【０００４】すなわち通常の検査工程では、例えば、微
小部品は、部品供給ユニットで振動等によって整列され
ながら、仕分けユニットからの吸引により、仕分けユニ
ットにおける所定の穴をめがけて１つずつ検査ユニット
内に飛送され、飛送中にカメラ撮像がなされ、その後、
仕分けユニットにおける上記所定の穴に収まって、検査
結果に応じた仕分けがなされる。

【０００５】ところが、微小部品の各ユニット間での受
け渡しが失敗したり、微小部品が１つずつではなく２つ
以上飛送したりすることに起因して、各ユニット間ある
いは検査ユニット内部に微小部品が詰まる等して滞るこ
とがある。

【０００６】このようなトラブル発生時には、滞った微
小部品を取り除く必要があるが、部品が微小ゆえ各ユニ
ット間は近接しており、しかも各ユニットはベース上に
ネジ等で固定されているため、そのままではスペースが
なく、不具合処理の作業を行うのが困難である。従っ
て、従来は、適当なユニットをベースから取り外し、作
業スペースを確保して修復処理等を行うようにしてい
た。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、検査対
象は微小な部品であり、適切な位置での撮像、検査が必
要とされるため、各ユニットの位置精度はもともと高い
ものが要求される。従って、上記従来のように、ユニッ
トをベースから一旦取り外すと、そのユニットの位置出
しに時間がかかり、不具合処理時における作業効率が悪
化するという問題があった。これは、トラブル発生時だ
けでなく定期等のメンテナンス時も同様である。

【０００８】本発明は上記従来技術の問題を解決するた
めになされたものであり、その目的は、作業スペースを
確保して不具合処理等の作業効率を向上することができ
る微小部品の外観検査装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の請求項１の微小部品の外観検査装置は、微小
部品の外観を検査する検査ユニットと、該検査ユニット
に前記微小部品を受け渡す部品供給ユニットと、前記検
査ユニットから検査済みの微小部品を受け取り検査結果
に応じて前記検査済みの微小部品を仕分ける仕分けユニ
ットとがベース上に配設され、これら３つのユニットを
前記微小部品の外観検査を行える近接配置状態にしたと
き、前記微小部品が、前記部品供給ユニットから前記検
査ユニットを介し前記仕分けユニットに亘る搬送経路を
通じて搬送され得るように構成された微小部品の外観検
査装置であって、前記３つのユニットの少なくとも１つ
は前記ベースに対して定まった態様でのみ変位可能で、
前記少なくとも１つを前記定まった態様で変位させたと
き、ユニット間に作業スペースが確保され得る一方、変
位させた前記少なくとも１つを前記近接配置状態に復帰
させたとき、前記少なくとも１つの原位置が再現され得
るように構成されたことを特徴とする。

【００１０】この構成によれば、部品供給ユニット、検
査ユニット及び仕分けユニットの３つのユニットが近接
配置状態となっている場合において、その少なくとも１
つを、ベースに対して定まった態様で変位させたとき、
前記少なくとも１つが他のユニットから離間するので、
ユニット間（部品供給ユニットと検査ユニットとの間、
及び／又は検査ユニットと仕分けユニットとの間）に間
隙が生じ、これにより、不具合処理等のための作業スペ
ースが確保され得る。一方、上記変位させた前記少なく
とも１つを元の近接配置状態に復帰させたとき、前記少
なくとも１つの原位置が再現され得る。従って、微小部
品がユニット間やユニット内に詰まる等の不具合が発生
した場合は、詰まり部分にかかわるユニットを変位させ
ることで、作業スペースが確保されるので、不具合処理
等を簡単に行うことができる。そして、不具合処理終了
後は、変位させたユニットを逆の行程を辿って復帰させ
れば、原位置が再現されるので、外観検査処理に速やか
に復帰することができる。よって、作業スペースを確保
して不具合処理等の作業効率を向上することができる。

【００１１】請求項２の微小部品の外観検査装置は、上
記請求項１記載の構成において、前記３つのユニットの
前記少なくとも１つを前記近接配置状態に復帰させたと
き、前記少なくとも１つが変位可能な方向とは異なる方
向における前記少なくとも１つの位置を微調整する微調
整手段を備えたことを特徴とする。

【００１２】この構成によれば、前記３つのユニットの
前記少なくとも１つが変位可能な方向とは異なる方向に
関しては、必要に応じて微調整手段により微調整を行え
る。よって、高精度の原位置復帰を確保しつつ、作業ス
ペースを確保して不具合処理等の作業効率を向上するこ
とができる。

【００１３】なお、ユニットの位置精度維持に完全を期
す上では、微調整手段は、ユニットが変位可能な方向と
は略直角を成す２方向に調整可能に構成するのが望まし
い。例えば、Ｘ方向に変位可能なユニットについては、
微調整手段は、Ｙ方向及びＺ方向について微調整が可能
に構成すればよい。

【００１４】上記目的を達成するために本発明の請求項
３の微小部品の外観検査装置は、微小部品の外観を検査
する検査ユニットと、該検査ユニットに前記微小部品を
受け渡す部品供給ユニットと、前記検査ユニットから検
査済みの微小部品を受け取り検査結果に応じて前記検査
済みの微小部品を仕分ける仕分けユニットとがベース上
に配設され、これら３つのユニットを前記微小部品の外
観検査を行える近接配置状態にしたとき、前記微小部品
が、前記部品供給ユニットから前記検査ユニットを介し
前記仕分けユニットに亘って直線的に形成される搬送経
路を通じて搬送され得るように構成された微小部品の外
観検査装置であって、前記ベースには、前記搬送経路の
方向と略同方向に延びる直動ガイドが設けられ、前記部
品供給ユニット及び前記仕分けユニットの少なくとも一
方は、前記直動ガイド上に設置されることで前記検査ユ
ニットから離間する方向に移動可能で、前記少なくとも
一方を前記離間する方向に移動させたとき、ユニット間
に作業スペースが確保され得る一方、離間させた前記少
なくとも一方を前記近接配置状態に復帰させたとき、前
記少なくとも一方の原位置が再現され得るように構成さ
れたことを特徴とする。

【００１５】この構成によれば、部品供給ユニット、検
査ユニット及び仕分けユニットの３つのユニットが近接
配置状態となっている場合において、検査される微小部
品は、部品供給ユニットから検査ユニットを介し仕分け
ユニットに亘って直線的に形成される搬送経路を通じて
搬送され得る。部品供給ユニット及び仕分けユニットの
少なくとも一方を、搬送経路の方向と略同方向に延びる
直動ガイド上で検査ユニットから離間する方向に移動さ
せたとき、ユニット間（部品供給ユニットと検査ユニッ
トとの間、及び／又は検査ユニットと仕分けユニットと
の間）に間隙が生じ、これにより、不具合処理等のため
の作業スペースが確保され得る。一方、上記離間させた
前記少なくとも一方を元の近接配置状態に復帰させたと
き、前記少なくとも一方の原位置が再現され得る。特
に、直動ガイドは搬送経路の方向と略同方向に延びるの
で、離間方向については多少の誤差は許容され、位置の
再現が容易である。従って、微小部品がユニット間やユ
ニット内に詰まる等の不具合が発生した場合は、詰まり
部分にかかわるユニットを移動させることで、作業スペ
ースが確保されるので、不具合処理等を簡単に行うこと
ができる。そして、不具合処理終了後は、移動させたユ
ニットを逆方向に戻して復帰させれば、原位置が再現さ
れるので、外観検査処理に速やかに復帰することができ
る。よって、作業スペースを確保して不具合処理等の作
業効率を向上することができる。

【００１６】請求項４の微小部品の外観検査装置は、上
記請求項３記載の構成において、前記部品供給ユニット
及び前記仕分けユニットの前記少なくとも一方を前記近
接配置状態に復帰させたとき、前記少なくとも一方が移
動可能な方向とは異なる方向における前記少なくとも一
方の位置を微調整する微調整手段を備えたことを特徴と
する。

【００１７】この構成によれば、前記部品供給ユニット
及び前記仕分けユニットの前記少なくとも一方が移動可
能な方向とは異なる方向に関しては、必要に応じて微調
整手段により微調整を行える。よって、高精度の原位置
復帰を確保しつつ、作業スペースを確保して不具合処理
等の作業効率を向上することができる。

【００１８】なお、ユニットの位置精度維持に完全を期
す上では、微調整手段は、ユニットが移動可能な方向と
は略直角を成す２方向に調整可能に構成するのが望まし
い。例えば、Ｘ方向に移動可能なユニットについては、
微調整手段は、Ｙ方向及びＺ方向について微調整が可能
に構成すればよい。

【００１９】上記目的を達成するために本発明の請求項
５の微小部品の外観検査装置の使用方法は、微小部品の
外観を検査する検査ユニットと、該検査ユニットに前記
微小部品を受け渡す部品供給ユニットと、前記検査ユニ
ットから検査済みの微小部品を受け取り検査結果に応じ
て前記検査済みの微小部品を仕分ける仕分けユニットと
がベース上に配設され、これら３つのユニットを前記微
小部品の外観検査を行える近接配置状態にしたとき、前
記微小部品が、前記部品供給ユニットから前記検査ユニ
ットを介し前記仕分けユニットに亘る搬送経路を通じて
搬送され得るように構成され、且つ前記３つのユニット
の少なくとも１つは、前記ベースに対して定まった態様
でのみ変位可能に構成された微小部品の外観検査装置の
使用方法であって、不具合処理時には、前記３つのユニ
ットの少なくとも１つを前記定まった態様で変位させる
ことで、ユニット間に不具合処理のための作業用スペー
スを確保し、不具合処理からの復帰時は、変位させた前
記少なくとも１つを前記近接配置状態に復帰させること
で、前記少なくとも１つの原位置を再現することを特徴
とする。

【００２０】この構成によれば、不具合処理時には、部
品供給ユニット、検査ユニット及び仕分けユニットの３
つのユニットの少なくとも１つをベースに対して定まっ
た態様で変位させることで、前記少なくとも１つが他の
ユニットから離間するので、ユニット間（部品供給ユニ
ットと検査ユニットとの間、及び／又は検査ユニットと
仕分けユニットとの間）に間隙が生じ、ユニット間に不
具合処理のための作業用スペースが確保され得る。一
方、不具合処理からの復帰時は、変位させた前記少なく
とも１つを元の近接配置状態に復帰させることで、前記
少なくとも１つの原位置が再現され得る。従って、微小
部品がユニット間やユニット内に詰まる等の不具合が発
生した場合は、詰まり部分にかかわるユニットを変位さ
せることで、作業スペースが確保されるので、不具合処
理等を簡単に行うことができる。そして、不具合処理終
了後は、変位させたユニットを逆の行程を辿って復帰さ
せれば、原位置が再現されるので、外観検査処理に速や
かに復帰することができる。よって、作業スペースを確
保して不具合処理等の作業効率を向上することができ
る。

【００２１】なお、上記請求項１、５において「ベース
に対して定まった態様でのみ変位可能」とあるが、変位
の態様は、例えば、水平または垂直方向へのスライド移
動のほか、ある軸を中心とした回動移動等が適当であ
る。３つのユニットのうちいずれを変位可能にした構成
でもよいし、２つまたは３つ全部を変位可能にした構成
でもよい。例えば、検査ユニットは真ん中に位置するの
で、３つのユニットのうち部品供給ユニットを変位可能
にした構成であれば、部品供給ユニットと検査ユニット
との間のトラブルに対して対処可能であり、仕分けユニ
ットを変位可能にした構成であれば、検査ユニットと仕
分けユニットとの間のトラブルに対して対処可能とな
る。また、検査ユニットを部品供給ユニット及び仕分け
ユニットの双方から離間する方向（例えば、両ユニット
から抜き出すような方向）変位可能にした構成であれ
ば、いずれのユニット間におけるトラブルに対しても対
処可能となる。

【００２２】なお、上記請求項１、３、５において、変
位（または移動）させたユニットを近接配置状態に復帰
させたとき原位置が再現されるようにするには、例え
ば、対応する基準部をベースに設けておき、変位させた
ユニットとこの基準部との当接等によって、変位（また
は移動）方向における位置決めを行うようにする手法が
考えられる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。

【００２４】（第１の実施の形態）図１は、本発明の第
１の実施の形態に係る微小部品の外観検査装置を作業者
側からみた正面図である。図２は、同装置を上方からみ
た平面図である。図３は、同装置の右側面図である。以
下、図１、図２でいう左右方向を「Ｘ方向」、図１でい
う奥行き方向（図２でいう紙面上下方向）を「Ｙ方
向」、図１でいう上下方向を「Ｚ方向」と定めて説明す
る。また、図１における紙面手前側、すなわち作業者側
を本装置の前方と称する。

【００２５】本外観検査装置は、微小な電子部品として
例えば角チップの外観を検査し、検査結果によって仕分
けるものであり、部品供給ユニットＵ１、検査ユニット
Ｕ２及び仕分けユニットＵ３がベース１上に配設されて
構成される。後述するように、部品供給ユニットＵ１、
検査ユニットＵ２及び仕分けユニットＵ３はＸ方向にス
ライド移動が可能になっている。図１、図２では、これ
ら３つのユニットが、角チップの検査が可能な原位置に
配置固定された状態が示されている。

【００２６】図２に示すように、ベース１上には、２本
の直動ガイドレール２（２Ｆ、２Ｒ）が設けられてい
る。直動ガイドレール２は一定の間隔を保って、互いに
平行にＸ方向に沿いベース１の略全長に亘って固着され
ている。図３に示すように、直動ガイドレール２の断面
は、両側面が内側にくびれた形状をしている。ベース１
にはまた、固定ブロック３、４が設けられている（図
１、図２）。固定ブロック３、４はいずれも、直動ガイ
ドレール２Ｆの前方においてベース１にボルトで固定さ
れる。後述するように、固定ブロック３は、検査ユニッ
トＵ２及び仕分けユニットＵ３のＸ方向における位置決
めの基準となり、固定ブロック４は部品供給ユニットＵ
１のＸ方向における位置決めの基準となる。

【００２７】ここでまず、仕分けユニットＵ３の構成を
説明する。仕分けユニットＵ３は、下段ブロックＵ３
Ｌ、中段ブロックＵ３Ｍ及び上段ブロックＵ３Ｕで構成
される（図１、図３）。

【００２８】下段ブロックＵ３Ｌは、直動ガイドブロッ
ク１１、１２及びＸ方向調整機構２８等を備える（図
２）。ガイドブロック１１、１２は、それぞれ直動ガイ
ドレール２Ｆ、２Ｒに摺動可能に嵌合している。図３に
示すように、直動ガイドレール２において断面凹状にく
びれた両側の溝部に、各ガイドブロック１１、１２の両
内側面に突出した突条部が嵌合しているので、ガイドブ
ロック１１、１２は共にＸ方向にスライド移動が可能で
ある一方、Ｙ方向及びＺ方向方向には基本的に移動する
ことができない。

【００２９】Ｘ方向調整機構２８は、図１に示すよう
に、ボルト４０、ナット３０で構成され、ナット３０の
位置を変えることで、ボルト４０の突き出し量を任意に
調整することができるようになっている。図１、図２で
は、ボルト４０の頭部が検査ユニットＵ２に当接してお
り、これによりＸ方向における下段ブロックＵ３Ｌの検
査ユニットＵ２に対する相対位置が規定される。

【００３０】中段ブロックＵ３Ｍは、ブリッジ４４及び
前後の両脚部１３、１４等を備える。ブリッジ４４と下
段ブロックＵ３Ｌとの間には、Ｙ方向用ガイドキー１５
が介装されている。Ｙ方向用ガイドキー１５は直動ガイ
ドレール２Ｆ及び２Ｒの上方においてＹ方向に沿って各
１本設けられている（図２、図３）。ブリッジ４４の下
面Ｕ３Ｍａと下段ブロックＵ３Ｌの上面Ｕ３Ｌａとは当
接しており（図１参照）、前後各２本の固定ボルト１６
で両者が固定されている。４本の固定ボルト１６を緩め
た状態では、ブリッジ４４の下面Ｕ３Ｍａと下段ブロッ
クＵ３Ｌの上面Ｕ３Ｌａとの間でＹ方向用ガイドキー１
５に沿って摺動が可能となり、中段ブロックＵ３Ｍが下
段ブロックＵ３Ｌに対してＹ方向に移動自在になる。

【００３１】ブリッジ４４の下面Ｕ３Ｍａには、ステイ
１７が固着され（図３）、このステイ１７にＹ方向微調
整機構１８が設けられている。Ｙ方向微調整機構１８は
ボルト１９及びナット２０から成り、ボルト１９の胴体
先端部（頭部の反対側）の突き出し量を任意に微調整可
能になっている。ボルト１９の胴体先端部が下段ブロッ
クＵ３Ｌに当接することで、下段ブロックＵ３Ｌに対す
る中段ブロックＵ３ＭのＹ方向の位置が規定される。

【００３２】上段ブロックＵ３Ｕは、モータ２７及び振
り分け部４１等を備え、両脚部１３、１４に挟持される
ように支持されている。上段ブロックＵ３Ｕと両脚部１
３、１４との間には、Ｚ方向用ガイドキー２１が介装さ
れている。Ｚ方向用ガイドキー２１は両脚部１３、１４
に対応してＺ方向に沿って各１本設けられている。脚部
１３の後面Ｕ３Ｍｂと上段ブロックＵ３Ｕの前面Ｕ３Ｕ
ｂとは当接しており（図２参照）、４本の固定ボルト２
２で両者が固定されている（図１、図３参照）。上段ブ
ロックＵ３Ｕの後面についても脚部１４との間で同様に
固定される。なお、図２では、固定ボルト２２の図示が
省略されている。

【００３３】図３に示すように、脚部１３には、ステイ
２３が固着され、このステイ２３にＺ方向微調整機構２
４が設けられている。Ｚ方向微調整機構２４はボルト２
５及びナット２６から成り、ボルト２５の胴体先端部
（頭部の反対側）の突き出し量を任意に微調整可能にな
っている。ボルト２５の胴体先端部に上段ブロックＵ３
Ｕが当接することで、中段ブロックＵ３Ｍに対する上段
ブロックＵ３ＵのＺ方向の位置が規定される。

【００３４】なお、Ｙ方向微調整機構１８及びＺ方向微
調整機構２４では、０．０１ｍｍのオーダーでの微調整
が可能である。

【００３５】仕分けユニットＵ３はかかる構成により、
下段ブロックＵ３ＬがＸ方向に移動可能且つ位置調整が
可能で、中段ブロックＵ３ＭがＹ方向に微調整可能で、
上段ブロックＵ３ＵがＺ方向に微調整可能となってい
る。

【００３６】振り分け部４１には、不図示の吸引装置が
接続され、所定の吸引位置においてエア吸引により負圧
を与えられる。振り分け部４１にはまた、不図示の圧力
発生装置が接続され、所定の排出位置において正圧を与
えられる。振り分け部４１は、後述する角チップ９を一
時収納する複数のポケットを有しており、後述する撮像
後の角チップ９を吸引により収納し、モータ２７でポケ
ットの位置を移動させながら、ＯＫ品とＮＧ品のそれぞ
れに対応する排出位置で角チップ９をポケットから排出
することで、角チップ９を振り分けるように構成されて
いる。

【００３７】次に、検査ユニットＵ２の構成を説明す
る。検査ユニットＵ２は、２つの直動ガイドブロック５
１、フレーム５７、検査部５０及び４つのＣＣＤカメラ
７（７Ａ、７Ｂ、７Ｃ、７Ｄ）等から構成される。な
お、図２では、カメラ７の図示が省略されている。前後
２つの直動ガイドブロック５１は、直動ガイドブロック
１１と同様に、直動ガイドレール２Ｆ、２Ｒに摺動可能
に嵌合しており（図示せず）、共にＸ方向にのみスライ
ド移動が可能になっている。直動ガイドブロック５１に
は、Ｘ方向調整機構５２が設けられている（図１、図
２）。Ｘ方向調整機構５２の構成及び機能はＸ方向調整
機構２８と同様であり、Ｘ方向調整機構５２が固定ブロ
ック３に当接することで、Ｘ方向における検査ユニット
Ｕ２の位置が規定される。

【００３８】検査ユニットＵ２は、かかる構成により、
全体としてＸ方向に移動可能且つ位置調整が可能になっ
ている。なお、仕分けユニットＵ３と同様に、Ｙ方向及
びＺ方向への微調整機能を設けてもよい。

【００３９】図４は、検査ユニットＵ２のみを図１の左
方からみた側面図である。同図では、仕分けユニットＵ
３は図示されていない。図５は、検査部５０近傍の部分
拡大断面図である。図５において、角チップ９について
は側面図で示されている。なお、角チップ９の寸法は、
長手方向の全長が０．５〜１ｍｍ、高さ（乃至幅）がい
ずれも０．２〜０．５ｍｍ程度の略直方体である。本実
施の形態では、検査対象を直方体の角チップ９として説
明するが、これ以外の他の形態の微小部品であっても検
査の対象にすることができる。

【００４０】図４に示すように、カメラ７は、検査部５
０を向いて、９０度の等間隔で４つ設けられる。カメラ
７Ａは、垂直方向とは略４５度傾き、検査部５０の前方
（作業者側）の上側に配置される。カメラ７Ｄは、検査
部５０の前方（作業者側）の下側に配置され、カメラ７
Ｂ、７Ｃは検査部５０の後方（反作業者側）の上側、下
側にそれぞれ配置される。カメラ７は、不図示の脚部に
よって支持される。

【００４１】検査ユニットＵ２にはまた、一対のトリガ
用透過型センサ５４と等間隔に４つ配設されたストロボ
５３とが設けられている。トリガ用透過型センサ５４
は、検査部５０内を飛送して通過する角チップ９を検出
し、トリガ信号を発生する。ストロボ５３は、トリガ用
透過型センサ５４からのトリガ信号に従って、不図示の
光源から４つに分岐した光ファイバを通じて供給される
光を角チップ９に照射する。

【００４２】図５に示すように、検査部５０内には、後
述する部品供給ユニットＵ１の直進フィーダ７０の先端
部（シュート部７０ａ）が挿入されている。検査部５０
内には、Ｖ溝付き乗り移り部５５が設けられ、直進フィ
ーダ７０のシュート部７０ａはＶ溝付き乗り移り部５５
と僅かな間隙（０．０５ｍｍ程度）をもって近接してい
る。検査部５０内の仕分けユニットＵ３側には、吸引ノ
ズル５６が設けられ、吸引ノズル５６の先端部が検査部
５０内に挿入されている。吸引ノズル５６は角チップ９
が通過可能な貫通孔５６ａを有する。

【００４３】直進フィーダ７０のシュート部７０ａ及び
Ｖ溝付き乗り移り部５５は、いずれもＶ溝を有してお
り、両Ｖ溝は斜面が略面一になっている。これらＶ溝と
吸引ノズル５６の貫通孔５６ａとは軸線が一致してい
る。従って、シュート部７０ａ及びＶ溝付き乗り移り部
５５の両Ｖ溝から貫通孔５６ａを経て振り分け部４１に
亘り、角チップ９の直線的な搬送経路ＨＫが形成され
る。この搬送経路ＨＫは、直動ガイドレール２と略平行
である。

【００４４】直進フィーダ７０は、振動によって角チッ
プ９を整列させつつＶ溝付き乗り移り部５５まで搬送す
る。Ｖ溝付き乗り移り部５５まで搬送された角チップ９
は、直進フィーダ７０からの後続の角チップ９による押
圧によって仕分けユニットＵ３側に前進する。吸引ノズ
ル５６は、前述した振り分け部４１側からの吸引力によ
ってＶ溝付き乗り移り部５５における先頭の角チップ９
を吸引する。振り分け部４１の上記ポケットが所定位置
にきたタイミングで、角チップ９が１つずつ吸引され、
Ｖ溝付き乗り移り部５５から吸引ノズル５６に向かって
検査部５０内を飛送する。

【００４５】角チップ９が検査部５０の略中央にきたと
き、それがトリガ用透過型センサ５４によって検出さ
れ、ストロボ５３から光が角チップ９に照射されたとこ
ろで、カメラ７によって角チップ９の４面が同時撮像さ
れる。そして、得られた４枚の画像を不図示のＣＰＵが
画像処理することで、電極の寸法等の外観が検査され
る。

【００４６】次に、部品供給ユニットＵ１の構成を説明
する。図１、図２に示すように、部品供給ユニットＵ１
は、下段ブロックＵ１Ｌ、中段ブロックＵ１Ｍ及び上段
ブロックＵ１Ｕで構成される。下段ブロックＵ１Ｌ、中
段ブロックＵ１Ｍ及び上段ブロックＵ１Ｕの移動機構乃
至調整機能は、仕分けユニットＵ３の場合と同様であ
る。

【００４７】まず、下段ブロックＵ１Ｌは、直動ガイド
ブロック６２、６３等を備える。直動ガイドブロック６
２、６３は、直動ガイドブロック１１と同様に、直動ガ
イドレール２Ｆに対応して各２つ、直動ガイドレール２
Ｒに対応して各２つ（図示せず）がそれぞれ摺動可能に
嵌合しており、いずれもＸ方向にのみスライド移動が可
能になっている。直動ガイドブロック６２には、Ｘ方向
調整機構７６が設けられている。Ｘ方向調整機構７６の
構成及び機能はＸ方向調整機構２８と同様であり、Ｘ方
向調整機構７６が固定ブロック４に当接することで、Ｘ
方向における下段ブロックＵ１Ｌの位置が規定される。

【００４８】中段ブロックＵ１Ｍと下段ブロックＵ１Ｌ
との間には、Ｙ方向用ガイドキー６６が介装されてい
る。Ｙ方向用ガイドキー６６はＹ方向に沿って２本設け
られる。中段ブロックＵ１Ｍの下面Ｕ１Ｍａと下段ブロ
ックＵ１Ｌのプレート６１の上面Ｕ１Ｌａとは当接して
おり（図１参照）、２本の固定ボルト６７で両者が固定
されている。２本の固定ボルト６７を緩めた状態では、
中段ブロックＵ１Ｍの下面Ｕ１Ｍａとプレート６１の上
面Ｕ１Ｌａとの間でＹ方向用ガイドキー６６に沿って摺
動が可能となり、中段ブロックＵ１Ｍが下段ブロックＵ
１Ｌに対してＹ方向に移動自在になる。

【００４９】プレート６１には、ステイ６４が固着され
（図１）、このステイ６４にＹ方向微調整機構６５が設
けられている。Ｙ方向微調整機構６５の構成、機能は仕
分けユニットＵ３のＹ方向微調整機構１８と同様であ
り、ボルトの胴体先端部が中段ブロックＵ１Ｍに当接す
ることで、下段ブロックＵ１Ｌに対する中段ブロックＵ
１ＭのＹ方向の位置が規定される。

【００５０】上段ブロックＵ１Ｕは、ホッパ６８、直進
フィーダ７０等を備える。上段ブロックＵ１Ｕと中段ブ
ロックＵ１Ｍとの間には、Ｚ方向用ガイドキー７３が介
装されている。Ｚ方向用ガイドキー７３はＺ方向に沿っ
て２本設けられる。中段ブロックＵ１Ｍの後面Ｕ１Ｍｂ
と上段ブロックＵ１Ｕの前面Ｕ１Ｕｂとは当接しており
（図２参照）、４本の固定ボルト７４で両者が固定され
ている（図１参照）。なお、図２では固定ボルト７４の
図示が省略されている。

【００５１】上段ブロックＵ１Ｕにはさらに、突設部材
７１が突設されている。一方、中段ブロックＵ１Ｍには
ステイ７５が固着されている。このステイ７５にＺ方向
微調整機構７２が設けられている。Ｚ方向微調整機構７
２の構成、機能は、仕分けユニットＵ３のＺ方向微調整
機構２４と同様であり、ボルトの胴体先端部に突設部材
７１が当接することで、中段ブロックＵ１Ｍに対する上
段ブロックＵ１ＵのＺ方向の位置が規定される。

【００５２】ホッパ６８には、検査対象となる角チップ
９が多数収容される。直進フィーダ７０は、ホッパ６８
と共に不図示の振動機構によって振動し、この振動によ
って、ホッパ６８内の角チップ９が適当な数量だけ直進
フィーダ７０上に落下し、直進フィーダ７０上を検査ユ
ニットＵ２方向に搬送されていく。

【００５３】部品供給ユニットＵ１はかかる構成によ
り、下段ブロックＵ１ＬがＸ方向に移動可能且つ位置調
整が可能で、中段ブロックＵ１ＭがＹ方向に微調整可能
で、上段ブロックＵ１ＵがＺ方向に微調整可能となって
いる。

【００５４】本外観検査装置には、ロックレバー５、６
が設けられている（図２参照）。なお、図１ではロック
レバー５、６の図示が省略されている。ロックレバー
５、６はそれぞれ仕分けユニットＵ３、部品供給ユニッ
トＵ１に対応してベース１に設けられ、垂直に起立する
状態から手前側に水平に横倒する状態まで回動可能に取
り付けられている。ロックレバー５には、押さえ片８が
設けられ、押さえ片８は図２の左方に凸となるように反
った形状をしている。

【００５５】ロックレバー５を起立させた状態では、押
さえ片８がＸ方向調整機構２８の右端部を左方に押圧す
る。さらに押圧されたＸ方向調整機構２８が検査ユニッ
トＵ２を左方に押圧し、この押圧力を受けた検査ユニッ
トＵ２のＸ方向調整機構５２が固定ブロック３を押圧す
る。これにより、Ｘ方向に関しては、検査ユニットＵ２
及び仕分けユニットＵ３が、外観検査が行える位置に固
定（ロック）された状態となる。

【００５６】一方、ロックレバー５を横倒させた状態で
は、押さえ片８による押圧が解除されるので、アンロッ
ク状態となり、検査ユニットＵ２及び仕分けユニットＵ
３はＸ方向に沿って右方にスライド移動が可能となる。

【００５７】ロックレバー６はロックレバー５とは左右
対称であるが同様に構成される。ロックレバー６を起立
させると部品供給ユニットＵ１が外観検査が行える位置
でロック状態となり、横倒させると部品供給ユニットＵ
１がＸ方向に沿って左方にスライド移動が可能となる。

【００５８】さて、図１、図２に示す各ユニットのロッ
ク状態にて、角チップ９の外観検査は行われる。上述し
たように、３つのユニット間で角チップ９が受け渡さ
れ、直進フィーダ７０、Ｖ溝付き乗り移り部５５、吸引
ノズル５６の貫通孔５６ａという直線的に形成された搬
送経路ＨＫ内を角チップ９が搬送されていく。しかし、
各ユニット間で角チップ９の受け渡しがうまくいかなか
ったり、特定のユニット内で角チップ９が詰まったりす
ると、装置の動作は停止する。この場合は、復旧作業が
必要となる。

【００５９】このような不具合が発生した場合は、各ユ
ニットをＸ方向に移動させることで作業を行う。例え
ば、部品供給ユニットＵ１と検査ユニットＵ２との間で
角チップ９が詰まった場合は、ロックレバー６を横倒さ
せてロックを解除し、部品供給ユニットＵ１を直動ガイ
ドレール２に沿って左方に適当量移動させる。これによ
り、部品供給ユニットＵ１が検査ユニットＵ２から離間
するので、両ユニット間に作業スペースが生じ、角チッ
プ９を除去する等の不具合処理を容易に行える。

【００６０】不具合処理後は、部品供給ユニットＵ１を
右方に戻しＸ方向調整機構７６が固定ブロック４に当接
したところでロックレバー６を起立させてクランプすれ
ば、部品供給ユニットＵ１が固定される。特に、上記搬
送経路ＨＫは、直動ガイドレール２と略平行であるの
で、Ｙ方向やＺ方向に比べれば、Ｘ方向についての多少
の誤差は許容される。従って、部品供給ユニットＵ１が
再度固定されたとき、その原位置（図１に示す位置）が
自動的に再現される。これにより、通常は不具合処理の
度に位置出しを行う必要がないので、作業効率が向上す
る。

【００６１】部品供給ユニットＵ１はＸ方向にしか移動
できないため、通常は、ロックレバー６によるクランプ
で原位置が再現される。しかし、角チップ９は微小であ
り、各ユニットの相対的位置の精度は高いものが要求さ
れる。従って、本装置では、必要に応じてＹ方向及びＺ
方向の微調整も行うようにしている。

【００６２】例えば、Ｙ方向の微調整を行う場合は、固
定ボルト６７を緩めて、上述のようにＹ方向微調整機構
６５で微調整を行いつつ中段ブロックＵ１ＭをＹ方向用
ガイドキー６６に沿ってＹ方向に適当量スライド移動さ
せ、固定ボルト６７を締める。その際の位置の計測はダ
イヤルゲージやピックテスト等を用いて行う。また、Ｚ
方向の微調整を行う場合は、固定ボルト７４を緩めて、
上述のようにＺ方向微調整機構７２で微調整を行いつつ
上段ブロックＵ１ＵをＺ方向用ガイドキー７３に沿って
Ｚ方向に適当量スライド移動させ、固定ボルト７４を締
める。これにより、より高精度の原位置復帰が確保され
る。

【００６３】検査ユニットＵ２と仕分けユニットＵ３と
の間に角チップ９が詰まった場合も同様である。すなわ
ち、ロックレバー５を横倒させてロックを解除し、仕分
けユニットＵ３を直動ガイドレール２に沿って右方に適
当量移動させることで、検査ユニットＵ２及び仕分けユ
ニットＵ３間に作業スペースを得る。不具合処理後の作
業も部品供給ユニットＵ１の場合と同様で、仕分けユニ
ットＵ３を左方に移動させてＸ方向調整機構２８と固定
ブロック３とで検査ユニットＵ２を挟み込むようにし
て、ロックレバー５をクランプ状態に戻せば、仕分けユ
ニットＵ３の原位置が通常は自動的に再現される。Ｙ方
向及びＺ方向の微調整も同様に必要に応じて行えばよ
い。

【００６４】なお、ロックレバー５を解除した場合は、
仕分けユニットＵ３だけでなく検査ユニットＵ２も同時
にＸ方向にフリーとなる。従って、部品供給ユニットＵ
１及び検査ユニットＵ２間におけるトラブルも処理可能
になる。かかる観点から、トラブル発生箇所が不明であ
る場合は、とりあえずロックレバー５（ロックレバー６
でなく）を解除し、仕分けユニットＵ３と共に検査ユニ
ットＵ２を右方に移動させれば、トラブル発生箇所が速
やかにわかり、同時に作業スペースも確保されるので都
合がよい。

【００６５】なお、不具合処理の場合に限らず、通常の
定期等のメンテナンスで各ユニットを移動させる場合
も、上記と同様の作業により容易に原位置復帰を行うこ
とができる。

【００６６】本実施の形態によれば、各ユニットを、角
チップ９の搬送経路ＨＫと同じ方向であるＸ方向にのみ
移動可能に構成し、ユニットを移動させることでユニッ
ト間に作業スペースを確保するようにしたので、不具合
処理やメンテナンスを容易に行うことができる。また、
不具合処理等からの復帰時は、固定ブロック３、４を基
準として各ユニットのＸ方向の原位置が容易に再現され
るようにしたので、位置出しに時間がかかるという問題
が解消される。よって、作業スペースを確保して不具合
処理等の作業効率を向上することができる。しかも、必
要に応じて、Ｙ方向及びＺ方向の微調整機構を設けたの
で、より高精度の原位置復帰を確保することができる。

【００６７】なお、検査ユニットＵ２をＸ方向に移動可
能に構成したが、検査ユニットＵ２はベース１に対して
常時固定状態とし、部品供給ユニットＵ１または仕分け
ユニットＵ３を移動させることで不具合処理を行うよう
にしてもよい。

【００６８】なお、検査ユニットＵ２にはＹ方向及びＺ
方向への微調整機構を設けなかったが、これらを検査ユ
ニットＵ２にも設けてもよい。

【００６９】なお、検査ユニットＵ２は仕分けユニット
Ｕ３と共に右方に移動可能に構成したが、これとは逆
に、部品供給ユニットＵ１と共に左方に移動可能に構成
してもよい。

【００７０】なお、各ユニット間におけるトラブル対処
のためのスペースを確保する観点からは、３つのユニッ
トのうち２つを移動可能に構成すれば十分である。ま
た、不具合発生が予定される箇所が設計上定まっている
ような場合は、その箇所にかかわる１つのユニットを移
動可能に構成するだけでも効果はある。

【００７１】なお、微調整機構は、Ｘ方向と異なる２方
向であれば、必ずしもＸ方向に直交する方向に調整する
ものでなくてもよい。また、ユニットの微調整機構は、
Ｙ方向及びＺ方向としたが、これに限るものでなく、設
計上の特性によって調整が必要となる方向にのみ機構を
設けてもよい。

【００７２】なお、各ユニットはＸ方向へスライド可能
に構成したが、直動ガイドレール２の延設方向をＹ方向
とし、これを各ユニット毎に個別に設けることで、スラ
イド可能方向をＹ方向にすることもできる。これによっ
ても、第１の実施の形態と同様の効果を奏することは可
能である。ただし、角チップ９の搬送方向とは平行でな
くなることから、精度誤差の許容範囲が小さくなるた
め、装置の製造誤差を小さく抑えなければならない。各
ユニットをＺ方向に移動可能に構成する場合も同様であ
る。

【００７３】（第２の実施の形態）第１の実施の形態で
は、仕分けユニットＵ３等はＸ方向に沿ってスライド移
動可能であった。これに対し本発明の第２の実施の形態
では、仕分けユニットＵ３０等がスライド移動でなく回
動可能に構成される。

【００７４】図６は、本発明の第２の実施の形態におけ
る仕分けユニットの正面図である。同図では、回動後の
状態が併せて示されている。

【００７５】仕分けユニットＵ３０は、回動軸１０２を
中心としてＸ−Ｚ面に平行に時計方向（右方）に回動可
能に構成される。Ｘ、Ｙ、Ｚ方向へのがたつきは最小限
に押さえられるように構成されている。角チップ９の検
査が可能な固定状態では、同図に示すように、仕分けユ
ニットＵ３０の下面Ｕ３０ａがベース１０１の上面１０
１ａに当接しており、上面１０１ａが回動方向における
基準となっている。仕分けユニットＵ３０の固定はボル
ト１０３によってなされるが、第１の実施の形態と同様
に、ロックレバー５のような操作容易な方式を採用して
もよい。

【００７６】検査ユニットＵ２と仕分けユニットＵ３０
との間で角チップ９が詰まった場合は、ボルト１０３を
外して仕分けユニットＵ３０を時計方向、すなわち検査
ユニットＵ２から離間する方向に回動させる。すると、
両ユニット間が開放される結果、第１の実施の形態と同
様に不具合処理等のための作業スペースが容易に確保さ
れる。処理後は、仕分けユニットＵ３０を反時計方向に
回動させ、ユニットＵ３０の下面Ｕ３０ａがベース１０
１の上面１０１ａに当接したところでボルト１０３を締
めれば、仕分けユニットＵ３０の回動方向における原位
置が自動的に再現される。

【００７７】なお、図示はしないが、部品供給ユニット
についても仕分けユニットＵ３０と対称であるが同様に
構成され、左端部下部の回動軸を中心として、検査ユニ
ットＵ２から離間する方向に回動する。なお、ホッパ６
８が傾いたとき、角チップ９がこぼれないように、蓋を
設ける等の手当をしておく必要がある。動作は仕分けユ
ニットＵ３０と対称であるが同様である。また、検査ユ
ニットＵ２は、ベース１０１に常時固定状態とされてい
る。その他の構成は第１の実施の形態と同様である。

【００７８】本実施の形態によれば、第１の実施の形態
と同様の効果を奏することができる。

【００７９】（第３の実施の形態）第２の実施の形態で
は、仕分けユニットＵ３等はＸ−Ｚ面に平行に回動可能
であった。これに対し本発明の第３の実施の形態では、
仕分けユニットＵ３０等がＹ−Ｚ面に平行に回動可能に
構成される。

【００８０】図７は、本発明の第３の実施の形態におけ
る仕分けユニットの右側面図である。同図では、回動後
の状態が併せて示されている。

【００８１】仕分けユニットＵ３００は、回動軸１１２
を中心としてＹ−Ｚ面に平行に時計方向（後方）に回動
可能に構成される。Ｘ、Ｙ、Ｚ方向へのがたつきは最小
限に押さえられるように構成されている。角チップ９の
検査が可能な固定状態では、同図に示すように、仕分け
ユニットＵ３００の下面Ｕ３００ａがベース１１１の上
面１１１ａに当接しており、上面１１１ａが回動方向に
おける基準となっている。仕分けユニットＵ３００の固
定はボルト１１３によってなされるが、第１の実施の形
態と同様に、ロックレバー５のような操作容易な方式を
採用してもよい。

【００８２】不具合発生時等における仕分けユニットＵ
３００の回動動作は、第２の実施の形態とは回動方向が
異なるだけで、他の点では同様である。なお、図示はし
ないが、部品供給ユニットについても仕分けユニットＵ
３００と対称であるが同様に構成され、前端部下部の回
動軸を中心として、後方に回動する。なお、その場合、
移動に際し干渉する部分は形状を変更して設計する必要
がある。部品供給ユニットの回動動作は仕分けユニット
Ｕ３００と同様である。また、検査ユニットＵ２は、ベ
ース１１１に常時固定状態とされている。その他の構成
は第１の実施の形態と同様である。

【００８３】本実施の形態によれば、第１の実施の形態
と同様の効果を奏することができる。

【００８４】なお、第２、第３の実施の形態では、検査
ユニットＵ２は固定であり回動しないものとして説明し
た。しかし、検査ユニットＵ２についても、Ｙ−Ｚ面に
平行に回動可能に構成してもよい。このようにすれば、
部品供給ユニットＵ１、仕分けユニットＵ３０（Ｕ３０
０）を移動させることなく、検査ユニットＵ２を回動さ
せるだけで、各ユニット間に作業スペースを確保するこ
とができる。

【００８５】なお、第１の実施の形態で示したＸ方向へ
のスライド移動機構、第２の実施の形態で示したＸ−Ｚ
面に平行な回動機構、第３の実施の形態で示したＹ−Ｚ
面に平行な回動機構の３つの機構は、いずれか１つだけ
を採用するだけでなく、ユニット毎に適当な機構を採用
するようにしてもよい。作業スペース確保の観点から
は、基本的には、隣接するユニット同士が互いに離間す
る方向に移動乃至回動すればよく、例えば、部品供給ユ
ニットＵ１についてはスライド機構、仕分けユニットＵ
３については回動機構を採用する、というようにしても
よい。また、効果は減少するが、３つのユニットのうち
１つだけを移動乃至回動可能に構成してもよい。

【００８６】なお、第２、第３の実施の形態において、
Ｙ方向及びＺ方向の微調整機構に加えて、同様の構成で
Ｘ方向の微調整機構を加えれば、高精度な原位置再現が
より確実に確保される。

【００８７】なお、上記各実施の形態において、各ユニ
ットは、ベースに対して定まった態様でのみ変位可能
で、変位によってユニット間に作業用の間隙ができるの
であれば、必ずしも直線移動や回動という態様で変位す
るような構成に限定されるものではない。

【００８８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項１
に係る微小部品の外観検査装置によれば、作業スペース
を確保して不具合処理等の作業効率を向上することがで
きる。

【００８９】請求項２に係る微小部品の外観検査装置に
よれば、高精度の原位置復帰を確保しつつ、作業スペー
スを確保して不具合処理等の作業効率を向上することが
できる。

【００９０】請求項３に係る微小部品の外観検査装置に
よれば、作業スペースを確保して不具合処理等の作業効
率を向上することができる。

【００９１】請求項４に係る微小部品の外観検査装置に
よれば、高精度の原位置復帰を確保しつつ、作業スペー
スを確保して不具合処理等の作業効率を向上することが
できる。

【００９２】請求項５に係る微小部品の外観検査装置の
使用方法によれば、作業スペースを確保して不具合処理
等の作業効率を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１の実施の形態に係る微小部品の
外観検査装置の正面図である。

【図２】 同装置の平面図である。

【図３】 同装置の右側面図である。

【図４】 検査ユニットのみを図１の左方からみた側面
図である。

【図５】 検査部近傍の部分拡大断面図である。

【図６】 本発明の第２の実施の形態における仕分けユ
ニットの正面図である。

【図７】 本発明の第３の実施の形態における仕分けユ
ニットの右側面図である。

【符号の説明】

１ ベース、 ２ 直動ガイドレール（直動ガイド）、
３、４ 固定ブロック、 ７ ＣＣＤカメラ、 ５、
６ ロックレバー、 ９ 角チップ（微小部品）、 １
１、１２ 直動ガイドブロック、 １５ Ｙ方向用ガイ
ドキー、 １８Ｙ方向微調整機構（微調整手段）、 ２
１ Ｚ方向用ガイドキー、 ２４ Ｚ方向微調整機構
（微調整手段）、 ２８ Ｘ方向調整機構、 ４１ 振
り分け部、 ５０ 検査部、 ５１ 直動ガイドブロッ
ク、 ５２ Ｘ方向調整機構、５５ Ｖ溝付き乗り移り
部、 ５６ 吸引ノズル、 ５６ａ 貫通孔、 ６２、
６３ 直動ガイドブロック、 ６５ Ｙ方向微調整機構
（微調整手段）、 ６６Ｙ方向用ガイドキー、 ７０
直進フィーダ、 ７２ Ｚ方向微調整機構（微調整手
段）、 ７３ Ｚ方向用ガイドキー、 ７６ Ｘ方向調
整機構、 ＨＫ搬送経路、 Ｕ１ 部品供給ユニット、
Ｕ２ 検査ユニット、Ｕ３ 仕分けユニット

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G051 AA61 AB07 AB08 BA02 BB17 BC02 CA03 CA08 CB01 DA01 DA13 EB01 3F079 AD06 BA06 CA23 CB25 CB30 CC01 5E082 AA01 BC40 MM11 MM19 MM21 MM31

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 微小部品の外観を検査する検査ユニット
   と、該検査ユニットに前記微小部品を受け渡す部品供給
   ユニットと、前記検査ユニットから検査済みの微小部品
   を受け取り検査結果に応じて前記検査済みの微小部品を
   仕分ける仕分けユニットとがベース上に配設され、これ
   ら３つのユニットを前記微小部品の外観検査を行える近
   接配置状態にしたとき、前記微小部品が、前記部品供給
   ユニットから前記検査ユニットを介し前記仕分けユニッ
   トに亘る搬送経路を通じて搬送され得るように構成され
   た微小部品の外観検査装置であって、 前記３つのユニットの少なくとも１つは前記ベースに対
   して定まった態様でのみ変位可能で、前記少なくとも１
   つを前記定まった態様で変位させたとき、ユニット間に
   作業スペースが確保され得る一方、 変位させた前記少なくとも１つを前記近接配置状態に復
   帰させたとき、前記少なくとも１つの原位置が再現され
   得るように構成されたことを特徴とする微小部品の外観
   検査装置。
2. 【請求項２】 前記３つのユニットの前記少なくとも１
   つを前記近接配置状態に復帰させたとき、前記少なくと
   も１つが変位可能な方向とは異なる方向における前記少
   なくとも１つの位置を微調整する微調整手段を備えたこ
   とを特徴とする請求項１記載の微小部品の外観検査装
   置。
3. 【請求項３】 微小部品の外観を検査する検査ユニット
   と、該検査ユニットに前記微小部品を受け渡す部品供給
   ユニットと、前記検査ユニットから検査済みの微小部品
   を受け取り検査結果に応じて前記検査済みの微小部品を
   仕分ける仕分けユニットとがベース上に配設され、これ
   ら３つのユニットを前記微小部品の外観検査を行える近
   接配置状態にしたとき、前記微小部品が、前記部品供給
   ユニットから前記検査ユニットを介し前記仕分けユニッ
   トに亘って直線的に形成される搬送経路を通じて搬送さ
   れ得るように構成された微小部品の外観検査装置であっ
   て、 前記ベースには、前記搬送経路の方向と略同方向に延び
   る直動ガイドが設けられ、 前記部品供給ユニット及び前記仕分けユニットの少なく
   とも一方は、前記直動ガイド上に設置されることで前記
   検査ユニットから離間する方向に移動可能で、前記少な
   くとも一方を前記離間する方向に移動させたとき、ユニ
   ット間に作業スペースが確保され得る一方、 離間させた前記少なくとも一方を前記近接配置状態に復
   帰させたとき、前記少なくとも一方の原位置が再現され
   得るように構成されたことを特徴とする微小部品の外観
   検査装置。
4. 【請求項４】 前記部品供給ユニット及び前記仕分けユ
   ニットの前記少なくとも一方を前記近接配置状態に復帰
   させたとき、前記少なくとも一方が移動可能な方向とは
   異なる方向における前記少なくとも一方の位置を微調整
   する微調整手段を備えたことを特徴とする請求項３記載
   の微小部品の外観検査装置。
5. 【請求項５】 微小部品の外観を検査する検査ユニット
   と、該検査ユニットに前記微小部品を受け渡す部品供給
   ユニットと、前記検査ユニットから検査済みの微小部品
   を受け取り検査結果に応じて前記検査済みの微小部品を
   仕分ける仕分けユニットとがベース上に配設され、これ
   ら３つのユニットを前記微小部品の外観検査を行える近
   接配置状態にしたとき、前記微小部品が、前記部品供給
   ユニットから前記検査ユニットを介し前記仕分けユニッ
   トに亘る搬送経路を通じて搬送され得るように構成さ
   れ、且つ前記３つのユニットの少なくとも１つは、前記
   ベースに対して定まった態様でのみ変位可能に構成され
   た微小部品の外観検査装置の使用方法であって、 不具合処理時には、前記３つのユニットの少なくとも１
   つを前記定まった態様で変位させることで、ユニット間
   に不具合処理のための作業用スペースを確保し、 不具合処理からの復帰時は、変位させた前記少なくとも
   １つを前記近接配置状態に復帰させることで、前記少な
   くとも１つの原位置を再現することを特徴とする微小部
   品の外観検査装置の使用方法。