CN105866031A - 一种用于太赫兹无损检测的扫描台、扫描成像装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于太赫兹无损检测的扫描台、扫描成像装置及方法，该扫描台包括第一支架，所述第一支架上安装有X轴支撑导向机构，所述X轴支撑导向机构上设置有第一滑块，第一滑块在X轴传动机构的作用下，沿X轴支撑导向机构作直线运动；第一滑块上安装有第二支架，所述第二支架上安装有Y轴支撑导向机构，Y轴支撑导向机构上设置有第二滑块，第二滑块在Y轴传动机构的作用下，沿Y轴支撑导向机构作直线运动；X轴支撑导向机构和Y轴支撑导向机构上分别设置有第一光栅尺和第二光栅尺，第一滑块和第二滑块上分别设置有第一读数头和第二读数头。

Description

一种用于太赫兹无损检测的扫描台、扫描成像装置及方法

技术领域

本发明属于自动化领域，尤其涉及一种用于太赫兹无损检测的扫描台、扫描成像装置及方法。

背景技术

太赫兹波(THz，1THz＝10¹²Hz)通常指的是频率在0.1～10THz(波长在330um～3mm)之间的电磁波。它可以穿透绝大多数的非极性材料(例如塑料、复合材料、纸板等)，可用以揭示样品表面、特别是隐藏在样品内部的缺陷或损伤。现有的THz无损检测过程中，大多需要利用一种扫描装置带动测试样品进行逐行或逐列运动，依此实现THz扫描成像。

现有的太赫兹无损检测扫描装置中，除了机械装置本身产生的误差，其位置控制系统直接决定了定位精度，若采用伺服系统实现位置控制，定位精度较高，但实施成本高，若采用步进控制系统，结构简单，容易实现，但定位精度是个普遍存在的问题，难以满足高分辨率检测需求。

现有的用于太赫兹无损检测扫描台和扫描成像装置中，采用“一步一停，一停一读”的定点扫描模式，检测效果较好，缺陷点定位精确，但扫描时间较长，效率较低；采用连续扫描模式，扫描时间明显减少，但是由于中间不停顿，扫描过程中，波形采样点和扫描步进点坐标无法保持全部一致，使用扫描步进点成像最终会造成扫描图像出现误差或失真。

发明内容

为了解决现有技术的缺点，本发明提供一种用于太赫兹无损检测的扫描台、扫描成像装置及方法。本发明的该用于太赫兹无损检测的扫描台能快速地完成测试样品整体扫描，其定位精确、结构简单；该扫描成像装置满足了高分辨率检测需求，它具有定位精确、结构简单、自动化程度高和易于推广的特点。

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种用于太赫兹无损检测的扫描台，包括第一支架，所述第一支架上安装有X轴支撑导向机构，所述X轴支撑导向机构上设置有第一滑块，所述第一滑块在X轴传动机构的作用下，沿X轴支撑导向机构作直线运动；

所述第一滑块上安装有第二支架，所述第二支架上安装有Y轴支撑导向机构，所述Y轴支撑导向机构上设置有第二滑块，所述第二滑块在Y轴传动机构的作用下，沿Y轴支撑导向机构作直线运动；所述第二滑块安装有用于固定测试样品的夹具；

所述X轴支撑导向机构和Y轴支撑导向机构上分别设置有第一光栅尺和第二光栅尺，第一滑块和第二滑块上分别设置有第一读数头和第二读数头；第一读数头读取其与第一光栅尺平行的X轴相对位移信息，并传送至控制器进行计算X轴上扫描点位置信息；第二读数头读取其与第二光栅尺平行的Y轴相对位移信息，并传送至控制器进行计算Y轴上扫描点位置信息。

本发明的第二滑块上设置有用于固定测试样品的夹具，这样测试样品随着第二滑块运动而运动，且第一光栅尺和第二光栅尺分别固定在X轴支撑导向机构和Y轴支撑导向机构上，第一读数头和第二读数头分别随着X轴传动机构和Y轴传动机构进行运动。本发明能够实现连续扫描模式，缩短了扫描时间，且在扫描过程中，通过波形采样点坐标对成像扫描步进点坐标进行修正，提高了扫描图像的检测精度。

所述第一支架的两端还安装有X轴接近开关，X轴接近开关用于检测第一滑块与第一支架两端的距离，并传送至控制器产生使能信号来控制X轴传动机构工作。

所述X轴支撑导向机构包括第一导轨和第二导轨，所述第一导轨和第二导轨对称固定在第一支架的两侧。

所述第二支架的两端还安装有Y轴接近开关，Y轴接近开关用于检测第二滑块与第二支架两端的距离，并传送至控制器产生使能信号来控制Y轴传动机构工作。

所述Y轴支撑导向机构包括第三导轨和第四导轨，所述第三导轨和第四导轨对称固定在第二支架的两侧。

一种用于太赫兹无损检测的扫描成像装置，其包括上述扫描台，以及太赫兹发射源，所述太赫兹发射源发射太赫兹波穿过测试样品。

所述控制器与上位机采用位置串口和命令串口这两种串口分离模式进行相互通信。这样实现了扫描台运动位移、运动速度控制以及位置反馈功能，避免了扫描过程中信号干扰，扫描过程稳定可靠。

一种用于太赫兹无损检测的扫描成像装置的工作方法，包括以下步骤：

步骤(1)：将测试样品固定在扫描台的夹具上；

步骤(2)：测试上位机与控制器通信状态，通信成功后配置扫描台参数：输入测试样品长度、宽度及扫描步进；

步骤(3)：上位机依据配置的扫描台参数，计算出测试样品所有扫描步进点坐标；

步骤(4)：上位机向控制器发送扫描台原点校准指令进行扫描台的原点校正，校正完成后，进入下一步：

步骤(5)：上位机启动扫描台位置反馈坐标实时接收线程，并向控制器发送扫描台连续扫描指令同时开始采样测试样品波形数据线程，在测试样品采样过程中对采样点进行取舍判断处理，直至扫描至终点结束；

步骤(6)：上位机依据测试样品采样点数据，生成测试样品无损检测图像。

在所述步骤(5)中上位机启动扫描台位置反馈坐标实时接收线程的过程中：

控制器对扫描台第一读数头和第二读数头传送来的脉冲信号进行计数；

计数统计后进行处理转化成X轴、Y轴位置坐标，通过位置串口实时上传上位机；

上位机通过位置串口实时接收X轴、Y轴位置坐标。

在所述步骤(5)中，上位机向控制器发送扫描台连续扫描指令同时开始采样测试样品波形数据线程，在测试样品采样过程中对采样点进行取舍判断处理的具体过程，包括：

步骤(5.1)：计算相邻扫描步进点坐标差值，根据坐标差值计算出运动脉冲数量，通过上位机命令串口发送至控制器；

步骤(5.2)：控制器驱动X轴、Y轴传动机构，扫描台启动连续扫描；

步骤(5.3)：上位机获取当前时刻以及下一时刻的波形数据，同时读取位置串口的位置坐标作为该时刻采样点坐标；

步骤(5.4)：比较读取的当前时刻以及下一时刻采样点位置的纵坐标是否相等，当两者相等时，计算当前时刻以及下一时刻的采样点横坐标的差值，若计算得到的差值小于扫描步进的1/2倍，则舍弃下一时刻采样点数据，继续下一次数据采集；否则，保存下一时刻采样点数据；

当前时刻以及下一时刻采样点位置的纵坐标不相等时，舍弃下一时刻采样点数据，继续下一次数据采集；

步骤(5.5)：重复执行步骤(5.2)-步骤(5.4)，直至扫描结束。

本发明的有益效果为：

(1)本发明的扫描台中的第二滑块上设置有用于固定测试样品的夹具，这样测试样品随着第二滑块运动而运动，且第一光栅尺和第二光栅尺分别固定在X轴支撑导向机构和Y轴支撑导向机构上，第一读数头和第二读数头分别随着X轴传动机构和Y轴传动机构进行运动。本发明能够实现连续扫描模式，缩短了扫描时间，且在扫描过程中对波形采样点进行了取舍判断处理，提高了扫描图像的检测精度；

(2)本发明的扫描台中的X轴支撑导向机构和Y轴支撑导向机构采用了对称设置的双导轨结构减少了滑块对于传动机构的载重负荷与摩擦力，让滑块能在传动机构作用下快速稳定移动，保证了扫描速度与连续性，减少了测试样品扫描时间。

(3)本发明采用光栅尺实现了位置校准功能，定位精度高，有效提高了连续扫描模式下无损检测的分辨率，该装置应用在太赫兹无损检测扫描成像方面，自动化程度较高，操作简单、容易实施。

(4)扫描过程中，上位机采用位置串口、命令串口双串口分离模式实现了扫描台运动位移、运动速度控制以及位置反馈功能，避免了扫描过程中的信号干扰，扫描过程稳定可靠。

附图说明

图1为本发明的用于太赫兹无损检测的扫描台结构主视图；

图2为本发明的用于太赫兹无损检测的扫描台结构立体图；

图3为本发明的用于太赫兹无损检测的扫描台X轴主视图；

图4为本发明无损检测扫描流程图；

图5为本发明数据采样处理流程图。

其中，1.底座，2.第一支架，3.第一步进电机，4.第一丝杠，5.第一丝杠螺母，6.第一联轴器，7.第一导轨，8.第二导轨，9.第一触头，10.第二触头，11.第一光栅尺，12.第一读数头，13.第二支架，14.第二步进电机，15.第二丝杠，16.第二丝杠螺母，17.第二联轴器，18.第三导轨，19.第四导轨，20.第一滑块，21.第二滑块，22.第三触头，23.第四触头，24.第二光栅尺，25.第二读数头，26.夹具。

具体实施方式

下面结合附图与实施例对本发明做进一步说明：

如图1、图2和图3所示，本发明的用于太赫兹无损检测的扫描台，包括第一支架2，所述第一支架2上安装有X轴支撑导向机构，所述X轴支撑导向机构上设置有第一滑块20，所述第一滑块20在X轴传动机构的作用下，沿X轴支撑导向机构作直线运动；

所述第一滑块20上安装有第二支架13，所述第二支架13上安装有Y轴支撑导向机构，所述Y轴支撑导向机构上设置有第二滑块21，所述第二滑块21在Y轴传动机构的作用下，沿Y轴支撑导向机构作直线运动；所述第二滑块21安装有用于固定测试样品的夹具；

X轴支撑导向机构和Y轴支撑导向机构上分别设置有第一光栅尺11和第二光栅尺24，第一滑块20和第二滑块21上分别设置有第一读数头12和第二读数头25；第一读数头12读取其与第一光栅尺11平行的X轴相对位移信息，并传送至控制器进行计算X轴上扫描点位置信息；第二读数头25读取其与第二光栅尺24平行的Y轴相对位移信息，并传送至控制器进行计算Y轴上扫描点位置信息。

本发明的第二滑块21上设置有用于固定测试样品的夹具26，这样测试样品随着第二滑块21运动而运动，且第一光栅尺11和第二光栅尺24分别固定在X轴支撑导向机构和Y轴支撑导向机构上，第一读数头12和第二读数头25分别随着X轴传动机构和Y轴传动机构进行运动。本发明能够实现连续扫描模式，缩短了扫描时间，且在扫描过程中，对波形采样点进行了取舍判断处理，提高了扫描图像的检测精度。

本发明的用于太赫兹无损检测的扫描台的X轴支撑导向机构设置在底座1上。

实施例一：本发明的X轴传动机构和Y轴传动机构可采用步进电机和丝杠相结合的方式，具体结构如下。

X轴传动机构包括第一步进电机3，所述第一步进电机3通过第一联轴器6与第一丝杠4的一端相连，第一丝杠4的另一端与第一丝杠螺母5相连。本发明的该第一步进电机3驱动第一丝杠4运行，进而带动第一滑块20沿X轴运动。

第一滑块20安装在第一丝杠螺母5上。这样第一滑块能够随着第一丝杠螺母5的运动而运动，从而实现扫描台的行扫描。

Y轴传动机构包括第二步进电机14，所述第二步进电机14通过第二联轴器17与第二丝杠15的一端相连，第二丝杠15的另一端与第二丝杠螺母16相连。本发明的该第二步进电机14驱动第二丝杠15运行，进而带动第二滑块21沿Y轴运动。

具体实施过程中，X轴支撑导向机构和Y轴支撑导向机构的一种实施例结构为：

X轴支撑导向机构的包括第一支架2、第一导轨7和第二导轨8，所述第一导轨7和第二导轨8对称固定在与第一支架2垂直的两侧。对称设置的导轨结构减少了第一滑块20对于第一丝杠4的载重负荷与摩擦力，让第一滑块20能沿着第一丝杆4快速稳定移动，保证了X轴扫描速度与扫描的连续性。

第一支架2的两端还安装有X轴接近开关，X轴接近开关与控制器相连。当第一滑块与X轴接近开关接触时，第一步进电机3将停止工作，保证了X轴的限位保护。

具体地，X轴接近开关包括第一触头9和第二触头10，第一触头9和第二触头10头分别安装在第一支架2的两侧。

第一光栅尺11安装在第一支架2上，第一读数头12安装在第一滑块20上。

由于第一支架2固定不动，因此第一光栅尺11固定在第一支架2上，安装在第一滑块20上的第一读数头12随着第一丝杠4的运动而运动，这样第一读数头12可读取透过第一光栅尺11的光栅信号，进而计算得到在X轴上行扫描的扫描点的坐标信息。

Y轴支撑导向机构包括第三导轨18和第四导轨19，所述第三导轨18和第四导轨19对称固定在与第二支架13垂直的两侧。对称设置的导轨结构减少了第二滑块21对于第二丝杠15的载重负荷与摩擦力，让第二滑块21能沿着第二丝杠15快速稳定移动，保证了Y轴扫描速度与连续性。

第二支架13的两端还安装有Y轴接近开关，Y轴接近开关与控制器相连。当第二滑块21与Y轴接近开关接触时，第二步进电机14将停止工作，保证了Y轴的限位保护。

具体地，Y轴接近开关包括第三触头22和第四触头23，第三触头22和第四触头23分别安装在第二支架13的两侧。

第二光栅尺24安装在第二支架13上，第二读数头25安装在第二滑块21上。

由于第二支架13固定不动，因此第二光栅尺24固定在第二支架13上，安装在第二滑块21上的第二读数头25随着第二丝杠15的运动而运动，这样第二读数头25可读取透过第二光栅尺24的光栅信号，进而计算得到在Y轴上行扫描的扫描点的坐标信息。

具体实施过程中，本发明的X轴传动机构和Y轴传动机构还可以采用其他的传动机构，比如步进电机与齿轮齿条、齿轮链条或者步进电机通过皮带、带轮进行传动，但传动精度都会有所下降。

本发明的用于太赫兹无损检测的扫描成像装置，其包括扫描台，以及太赫兹发射源，太赫兹发射源发射电磁波通过聚焦透镜穿过测试样品。

具体地，控制器与上位机采用位置串口、命令串口双串口分离模式进行相互通信。这样实现了扫描台运动位移、运动速度控制以及位置反馈功能，避免了扫描过程中信号干扰，扫描过程稳定可靠。

本发明的用于太赫兹无损检测的扫描成像装置的工作方法，包括以下步骤：

将测试样品固定在扫描台的夹具上；测试上位机与控制器的通信状态，通信成功后配置扫描台参数：输入测试样品长度、宽度及扫描步进；

上位机依据配置的扫描台参数，计算出测试样品所有扫描步进点坐标；

上位机向控制器发送扫描台原点校准指令进行扫描台的原点校正，校正完成后，进入下一步：

上位机启动扫描台位置坐标反馈实时接收线程，并向控制器发送扫描台连续扫描指令同时开始采样测试样品波形数据线程，在测试样品采样过程中对采样点进行取舍判断处理，直至扫描至终点结束；

上位机依据测试样品采样点数据，生成测试样品无损检测图像。

具体实施过程，扫描成像装置的工作方法流程如图3所示，包括以下几个步骤：

步骤(1)：首先将测试样品固定在扫描台夹具上；

步骤(2)：确认上位机与扫描台控制器两条串口线已连接；

步骤(3)：在上位机程序中，设置串口端口号、波特率、数据位、停止位、校验位，与扫描台进行握手通信；

步骤(4)：判断双方握手通信是否成功，返回OK代表通信成功，返回Error代表失败，根据返回的错误代码来确定错误的原因，解决后重新执行步骤(3)；

步骤(5)：输入测试样品长度、宽度及扫描步进，上位机对扫描台进行参数配置；

步骤(6)：判断参数配置是否成功，返回OK代表配置成功，返回Error代表失败，根据返回的错误代码来确定错误的原因，解决后重新执行步骤(5)；

步骤(7)：上位机依据设置参数计算出测试样品所有扫描步进点坐标；

步骤(8)：上位机发送扫描台原点校准指令；

步骤(9)：判断原点校准是否结束，返回OK代表校准结束，返回Error代表失败，根据返回的错误代码来确定错误的原因，解决后重新执行步骤(8)；

步骤(10)：上位机启动扫描台位置反馈坐标实时接收线程；

步骤(11)：上位机发送扫描台连续扫描指令同时开始采样波形数据线程，在采样过程中对采样点进行取舍判断处理；

步骤(12)：重复步骤(11)，直至扫描至终点结束；

步骤(13)：依据采样点的信号强度和坐标信息成像。

具体地，步骤(7)的实施过程包括：

步骤(7-1)：测试样品扫描行数R(X轴方向)、列数C(Y轴方向)计算公式：

式中：

W是测试样品宽度(单位：mm)；

S是扫描步进(单位：mm)；

L是测试样品长度(单位：mm)。

步骤(7-2)：测试样品第i列第j行扫描坐标(x_(i,j),y_(i,j))计算公式：

x_(i,j)＝x₀+i×S|i＝0,1,2…C

y_(i,j)＝y₀+j×S|j＝0,1,2…R ③

式中：C由②式可得，R由①式可得，S是扫描步进，x₀是原点x坐标，y₀是原点y坐标；

步骤(7-3)：计算测试样品逐行扫描过程中扫描步进点坐标：

④、⑤式中：C是由②式可得，R由①式可得，S是扫描步进，x₀是原点x坐标，y₀是原点y坐标；

以行数j作外循环主控变量，执行式⑤，以列数i作内循环变量，循环执行式④，依次计算出所有扫描点坐标，存储到扫描坐标数组序列中。

具体地，步骤(10)的实施过程包括：

步骤(10-1)：控制器对扫描台X轴、Y轴光栅尺读数头脉冲信号进行计数；

步骤(10-2)：计数统计后进行处理转化成X轴、Y轴位置坐标，通过位置串口实时上传上位机；

步骤(10-3)：上位机接收位置串口发送的位置坐标数据，定义动态数组Cx[]，Cy[]用于存储实时坐标Cx_k，Cy_k。

具体地，步骤(11)的实施过程如图4所示，包括以下几个步骤：

步骤(11-1)：由式④，⑤计算相邻扫描步进点坐标差值：

ΔSx＝|Sx_i+1-Sx_i| ⑥

ΔSy＝|Sy_i+1-Sy_i| ⑦

步骤(11-2)：根据ΔSx，ΔSy计算出运动脉冲数量，通过上位机命令串口发送至控制器；

步骤(11-3)：控制器驱动X轴、Y轴传动机构，扫描台启动连续扫描；

步骤(11-4)：采样第K次波形数据，同时读取位置串口中坐标Cx_k，Cy_k作为采样点坐标；

Cx_k，Cy_k获取方法如步骤(10)所述，定义采样点位置坐标动态数组Ex[]，Ey[]用于存储采样点坐标数据Ex_k，Ey_k；Ex_k＝Cx_k，Ey_k＝Cy_k其中，K表示大于等于1的正整数；

步骤(11-5)：采样第K+1次波形数据，同时读取位置串口中坐标Cx_k+1，Cy_k+1；

当Cy_k＝＝Cy_k+1时，两次数据采集点在同一行内，计算Δx＝|Cx_k+1-Cx_k|：

当Δx＜S/2时，该次采样数据舍弃，继续下一次数据采集；

当Δx≥S/2时，保存该次采样数据，Ex_k+1＝Cx_k+1，Ey_k+1＝Cy_k+1；

当Cy_k！＝Cy_k+1时，跨行扫描：该次采样数据舍弃，继续采集下一次数据；

步骤(11-6)：重复执行步骤(11-2)，步骤(11-3)，步骤(11-4)，步骤(11-5)至扫描结束。

本发明采用对称设置的双导轨支撑导向结构减少了滑块对于丝杠的载重负荷与摩擦力，让滑块能沿着丝杠带动测试样品快速稳定移动，保证了扫描速度与连续性，减少了测试样品扫描时间，采用光栅尺实现了位置反馈校准功能，定位精度高，有效提高了连续扫描模式下无损检测的分辨率，该装置应用在太赫兹无损检测扫描成像方面，自动化程度较高，操作简单、容易实施；扫描过程中，上位机采用位置串口、命令串口双串口分离模式实现了扫描台运动位移、运动速度控制以及位置反馈功能，避免了扫描过程中信号干扰，扫描过程稳定可靠。

上述虽然结合附图对本发明的具体实施方式进行了描述，但并非对本发明保护范围的限制，所属领域技术人员应该明白，在本发明的技术方案的基础上，本领域技术人员不需要付出创造性劳动即可做出的各种修改或变形仍在本发明的保护范围以内。

Claims (10)

1.一种用于太赫兹无损检测的扫描台，其特征在于，包括第一支架，所述第一支架上安装有X轴支撑导向机构，所述X轴支撑导向机构上设置有第一滑块，所述第一滑块在X轴传动机构的作用下，沿X轴支撑导向机构作直线运动；

所述第一滑块上安装有第二支架，所述第二支架上安装有Y轴支撑导向机构，所述Y轴支撑导向机构上设置有第二滑块，所述第二滑块在Y轴传动机构的作用下，沿Y轴支撑导向机构作直线运动；所述第二滑块安装有用于固定测试样品的夹具；

所述X轴支撑导向机构和Y轴支撑导向机构上分别设置有第一光栅尺和第二光栅尺，第一滑块和第二滑块上分别设置有第一读数头和第二读数头；第一读数头读取其与第一光栅尺平行的X轴相对位移信息，并传送至控制器进行计算X轴上扫描点位置信息；第二读数头读取其与第二光栅尺平行的Y轴相对位移信息，并传送至控制器进行计算Y轴上扫描点位置信息。

2.如权利要求1所述的一种用于太赫兹无损检测的扫描台，其特征在于，所述第一支架的两端还安装有X轴接近开关，X轴接近开关用于检测第一滑块与第一支架两端的距离，并传送至控制器产生使能信号来控制X轴传动机构工作。

3.如权利要求1所述的一种用于太赫兹无损检测的扫描台，其特征在于，所述X轴支撑导向机构包括第一导轨和第二导轨，所述第一导轨和第二导轨对称固定在第一支架的两侧。

4.如权利要求1所述的一种用于太赫兹无损检测的扫描台，其特征在于，所述第二支架的两端还安装有Y轴接近开关，Y轴接近开关用于检测第二滑块与第二支架两端的距离，并传送至控制器产生使能信号来控制Y轴传动机构工作。

5.如权利要求1所述的一种用于太赫兹无损检测的扫描台，其特征在于，所述Y轴支撑导向机构包括第三导轨和第四导轨，所述第三导轨和第四导轨对称固定在第二支架的两侧。

6.一种用于太赫兹无损检测的扫描成像装置，其特征在于，其包括如权利要求1-7任一所述的扫描台，以及太赫兹发射源，所述太赫兹发射源发射太赫兹波穿过测试样品。

7.如权利要求6所述的一种用于太赫兹无损检测的扫描成像装置，其特征在于，所述控制器与上位机采用位置串口和命令串口的这两种串口分离模式进行相互通信。

8.一种如权利要求6-7任一所述的用于太赫兹无损检测的扫描成像装置的工作方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤(1)：将测试样品固定在扫描台的夹具上；

步骤(2)：测试上位机与控制器通信状态，通信成功后配置扫描台参数：输入测试样品长度、宽度及扫描步进；

步骤(3)：上位机依据配置的扫描台参数，计算出测试样品所有扫描步进点坐标；

步骤(4)：上位机向控制器发送扫描台原点校准指令进行扫描台的原点校正，校正完成后，进入下一步：

步骤(5)：上位机启动扫描台位置反馈坐标实时接收线程，并向控制器发送扫描台连续扫描指令同时开始采样测试样品波形数据线程，在测试样品采样过程中对采样点进行取舍判断，直至扫描至终点结束；

步骤(6)：上位机依据测试样品采样点数据，，生成测试样品无损检测图像。

9.如权利要求8所述的用于太赫兹无损检测的扫描成像装置的工作方法，其特征在于，在所述步骤(5)中上位机启动扫描台位置反馈坐标实时接收线程的过程中：

控制器对扫描台第一读数头和第二读数头传送来的脉冲信号进行计数；

计数统计后进行处理转化成X轴、Y轴位置坐标，通过位置串口实时上传上位机；

上位机通过位置串口实时接收X轴、Y轴位置坐标，采用动态数组形式存储坐标数据。

10.如权利要求8所述的用于太赫兹无损检测的扫描成像装置的工作方法，其特征在于，在所述步骤(5)中，上位机向控制器发送扫描台连续扫描指令同时开始采样测试样品波形数据线程，在测试样品采样过程中对采样点进行取舍判断处理的具体过程，包括：

步骤(5.1)：计算相邻扫描步进点坐标差值，根据坐标差值计算出运动脉冲数量，通过上位机命令串口发送至控制器；

步骤(5.2)：控制器驱动X轴、Y轴传动机构，扫描台启动连续扫描；

步骤(5.3)：上位机获取当前时刻以及下一时刻的波形数据，同时读取位置串口的位置坐标作为该时刻采样点坐标；

步骤(5.4)：比较读取的当前时刻以及下一时刻采样点位置的纵坐标是否相等，当两者相等时，计算当前时刻以及下一时刻的采样点横坐标差值，若计算得到的差值小于扫描步进的1/2倍，则舍弃下一时刻采样点数据，继续下一次数据采集；否则，保存下一时刻采样点数据；

当前时刻以及下一时刻采样点位置的纵坐标不相等时，舍弃下一时刻采样点数据，继续下一次数据采集；

步骤(5.5)：重复执行步骤(5.2)-步骤(5.4)，直至扫描结束。